JP6905197B2 - 化合物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 182
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims description 173
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 52
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 146
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 15
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 239000000809 air pollutant Substances 0.000 description 7
- 231100001243 air pollutant Toxicity 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 4
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001687 destabilization Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
本実施形態では、化合物半導体装置として、窒化物半導体のInAlGaN HEMTを開示する。
図1〜図5は、第1の実施形態によるInAlGaN HEMTの製造方法を工程順に示す概略断面図である。
InAlGaN HEMTでは、電子走行層2cの電子供給層2e(正確には中間層2d)との界面近傍に2次元電子ガス(2DEG)が発生する。この2DEGは、電子走行層2cの化合物半導体(ここではGaN)と電子供給層2eの化合物半導体(ここではInAlGaN)との格子定数の相違及び自発分極差に基づいて生成される。
SiC基板1上に、AlNを100nm程度の厚みに、GaNを1μm程度の厚みに、i(インテンショナリ・アンドープ)−GaNを0.2μm程度の厚みに、AlNを1nm程度の厚みに、InAlGaNを10nm程度の厚みに順次成長する。これにより、核形成層2a、バッファ層2b、電子走行層2c、中間層2d、及び電子供給層2eが形成される。中間層2dは必要に応じて形成されるものであり、形成しない場合もある。電子供給層2eとしては、InAlGaNの代わりにAl組成の高いAlGaN(例えば、Al組成を50%以上とする)を成長し、AlGaN HEMTとする場合もある。また、電子供給層2eとしてInAlNを形成し、InAlN HEMTとする場合もある。また、電子供給層2eとしてAlNを形成し、AlN HEMTとする場合もある。
詳細には、化合物半導体領域2の素子分離領域に、例えばアルゴン(Ar)を注入する。これにより、化合物半導体領域2及びSiC基板1の表層部分に素子分離構造3が形成される。素子分離構造3により、化合物半導体領域2上で活性領域が画定される。
なお、素子分離は、上記の注入法の代わりに、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法を用いて行っても良い。このとき、化合物半導体領域2のドライエッチングには、例えば塩素系のエッチングガスを用いる。
詳細には、先ず、化合物半導体領域2の全面に絶縁膜として、例えばSiNを形成する。SiNの堆積は、例えばプラズマCVD法を用い、SiH4及びNH3ガスを原料ガスとして、Siリッチの成膜条件で例えば100nm程度の厚みとする。成膜された絶縁膜、ここではSiNは、SiH結合又はN−H結合を1×1020/cm3程度以上の密度に含有した、比較的緻密性の低い状態に形成される。当該SiNにおいては、波長633nmの光に対する屈折率が例えばストイキオメトリで例えば2.05程度以上である。絶縁膜としては、SiNの代わりにSiO2やSiONを形成しても良い。
詳細には、レジストマスク11を引き続いて用い、化合物半導体領域2の一部、ここでは電子供給層2e、中間層2d、電子走行層2c、及びバッファ層2bの一部まで、例えば50nm程度の深さまでドライエッチングする。以上により、化合物半導体領域2にリセス2A,2Bが形成される。ドライエッチングには、Ar等の不活性ガス及びCl2等の塩素系ガスをエッチングガスとして用いる。
詳細には、MBE法等により、n型不純物として例えばSiを含む例えばSi原子ビームを照射してn+−GaN13を成長(再成長)する。n+−GaN13のSiのドーピング濃度は、例えば2×1019/cm3程度とする。n+−GaN13は、連通するリセス2A,2B及び開口12a,12bを埋め込む厚み、例えば100nm程度の厚みに形成される。ここで、n+−GaN13は、連通するリセス2A,2B及び開口12a,12b内で選択成長用マスク12と接触して形成される。選択成長用マスク12は、上記のように、SiH結合又はN−H結合を1×1022/cm3程度以上の密度に含有した、比較的緻密性の低い状態に形成されている。そのため、n+−GaN13の成長時における熱印加により、選択成長用マスク12からn+−GaN13内にSiが更に供給される。n+−GaN13の選択成長用マスク12と近接する側面部分には、Si濃度がn+−GaN13の他の部分より高い高n+−GaN13aが形成される。
詳細には、フッ化水素酸の水溶液を用いたウェット処理により、選択成長用マスク12と、N+−GaN13及び高n+−GaN13aのうち選択成長用マスク12上の部分とを選択除去する。以上により、リセス2A,2Bを埋め込みリセス2A,2Bから上方に若干突出するGaNプラグ4,5が形成される。GaNプラグ4,5は、化合物半導体領域2との界面となる側面に、GaNプラグ4,5の他の部分(n+−GaN13からなる部分)よりも高濃度のドーパントを含有する(高n+−GaN13aからなる)高濃度ドーパント層4a,5aを有する。GaNプラグ4,5では、高濃度ドーパント層4a,5aが他の部分と一体形成されている。
詳細には、先ず、ソース電極及びドレイン電極を形成するためのレジストマスクを形成する。ここでは、蒸着法及びリフトオフ法に適した例えば庇構造2層レジストを用いる。このレジストを化合物半導体領域2上に塗布し、GaNプラグ4,5の上面を露出させる開口を形成する。以上により、当該開口を有するレジストマスクが形成される。
詳細には、全面を覆うように絶縁物、例えばSiN膜を形成する。SiNの堆積は、例えばプラズマCVD法を用い、SiH4及びNH3ガスを原料ガスとして、例えば50nm程度の厚みとする。堆積されたSiNにおいては、波長633nmの光に対する屈折率が例えばストイキオメトリで2.0近傍である。以上により、保護膜8が形成される。
詳細には、先ず、保護膜8上に単層の電子線レジストを塗布する。電子線レジストは、例えばPMMA(米国マイクロケム社製)が用いられ、スピンコート法及びプリベークにより形成される。レジストに電子線を入射して感光させ、現像することにより、レジストのゲート電極の形成予定領域に、電流方向で例えば0.1μm長以上の開口を形成する。以上により、開口15aを有するレジストマスク14が形成される。
3層電子線レジスト15は、下層レジスト15Aが例えばPMMA(米国マイクロケム社製)で、中間層レジスト15Bが例えばPMGI(米国マイクロケム社製)、上層レジスト15Cが例えばZEP520(日本ゼオン社製)で構成される。3層電子線レジスト15は、例えばスピンコート法及びプリベークにより形成される。上層レジスト15Cに、電流方向で0.8μm長程度に電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、例えば現像液ZEP−SD(日本ゼオン社製)を用いて、上層レジスト15Cに0.8μm長の開口15Caを形成する。
次に、中間層レジスト15Bの開口15Baの中央部位における下層レジスト15Aに、保護膜8の開口8aを内包するように、電流方向で0.15μm長程度に電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、例えば現像液ZMD−B(日本ゼオン社製)を用いて、下層レジスト15Aに0.15μm長程度の開口15Aaを形成する。
3層電子線レジスト15をマスクとして用いて、例えば高真空蒸着法により、電極材料16として例えばNi/Auを堆積する。Niの厚みは10nm程度、Auの厚みは300nm程度とする。
加温された有機溶剤を用い、リフトオフ法により、3層電子線レジスト15及びその上に堆積された電極材料16を除去する。以上により、保護膜8の開口8aを電極材料16の一部で埋め込むゲート電極9が形成される。
従来のInAlGaN HEMTやAl組成の高い電子供給層を有するAlGaN HEMTにおいては、オーミック電極であるソース電極及びドレイン電極のオーミックコンタクト抵抗が高い。そのため、当該材料系の特徴である高い2次元電子密度による大きなソース電極−ドレイン電極間電流を得られていない。この高いオーミックコンタクト抵抗の一因は、高Al組成に起因した高いエネルギー障壁(金属−半導体間障壁)である。GaAsデバイス等のオーミック電極は、合金化・混晶反応により本来のショットキー性が消失し、オーミックコンタクトを形成している。一方、窒化物半導体では、明確な混晶反応が進み難く、オーミック電極と窒化物半導体との合金化後でも一部でショットキー性が残留していると考えられる。従って、前述した金属−半導体界面に形成されるエネルギー障壁の高さは、オーミックコンタクト抵抗を増大させる原因となっている。
例えばキャリア濃度が1×1019/cm3程度のキャリア濃度低下層が生成した場合、ゲート電圧−ドレイン電流特性にGaNプラグの深さ依存性が発現することが判る。具体的には、GaNプラグの深さが40nmから10nmになった場合、最大ドレイン電流が10%程度低下する。この最大ドレイン電流のGaNプラグ構造依存性は、デバイス電気特性の均一性に影響を与える。
ここで、第1の実施形態の変形例について説明する。本例では、GaNプラグに生成される高濃度ドーパント層が若干異なる点で第1の実施形態と相違する。
図10は、本実施形態の変形例によるInAlGaN HEMTの構成を示す概略断面図である。
その他の諸工程は、本実施形態と同様である。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に、化合物半導体装置として窒化物半導体のInAlGaN HEMTを開示するが、GaNプラグが若干異なる点で第1の実施形態と相違する。
図11〜図12は、第2の実施形態によるInAlGaN HEMTの製造方法の主要工程を示す概略断面図である。
詳細には、先ず、化合物半導体領域2の全面に絶縁膜として、例えばSiNを形成する。SiNの堆積は、例えばプラズマCVD法を用い、SiH4及びNH3ガスを原料ガスとして、Siリッチの成膜条件で例えば100nm程度の厚みとする。成膜された絶縁膜、ここではSiNは、SiH結合又はN−H結合を2×1022/cm3程度以上の密度に含有した、比較的緻密性の低い状態に形成される。当該SiNは、波長633nmの光に対する屈折率が例えば2.05程度以上のものである。絶縁膜としては、SiNの代わりにSiO2やSiONを形成しても良い。
詳細には、全面にレジストを塗布する。レジストをリソグラフィーにより加工し、レジストに、ソース電極及びドレイン電極の形成予定位置を露出する開口を形成する。以上により、選択成長用マスク12の開口12a,12bよりも0.1μm程度だけ幅狭に、開口18a,18bを有するレジストマスク18が形成される。レジストマスク18は、選択成長用マスク12と、選択成長用マスク12の両端部から露出する電子供給層2eの一部(幅0.1μm程度の部位)とを覆っている。
詳細には、MBE法等により、n型ドーパントとして例えばSi原子ビームを照射してn+−GaN21を成長(再成長)する。n+−GaN13のSiのドーピング濃度は、例えば2×1019/cm3程度とする。n+−GaN13は、連通するリセス2A,2B及び開口12a,12bを埋め込む厚み、例えば70nm程度の厚みに形成される。ここで、n+−GaN21は、連通するリセス2A,2B及び開口12a,12b内で選択成長用マスク12と接触して形成される。選択成長用マスク12は、上記のように、SiH結合又はN−H結合を2×1022/cm3程度以上の密度に含有した、比較的緻密性の低い状態に形成されている。そのため、n+−GaN21の成長時における熱処理により、選択成長用マスク12からn+−GaN21内にSiが更に供給される。n+−GaN21の選択成長用マスク12と近接する部位には、Si濃度がn+−GaN21の他の部分より高い高n+−GaN21aが形成される。
詳細には、フッ化水素酸の水溶液を用いたウェット処理により、選択成長用マスク12と、N+−GaN21及び高n+−GaN21aのうち選択成長用マスク12上の部分とを選択除去する。以上により、リセス2A,2Bを埋め込みリセス2A,2Bから上方に若干突出するGaNプラグ22,23が形成される。GaNプラグ22,23は、GaNプラグ22,23の他の部分(n+−GaN21からなる部分)よりも高濃度のドーパントを含有する(高n+−GaN21aからなる)高濃度ドーパント層22a,23aを有する。
詳細には、先ず、ソース電極及びドレイン電極を形成するためのレジストマスクを形成する。ここでは、蒸着法及びリフトオフ法に適した例えば庇構造2層レジストを用いる。このレジストを化合物半導体領域2上に塗布し、GaNプラグ22,23の上面を露出させる開口を形成する。以上により、当該開口を有するレジストマスクが形成される。
しかる後、必要に応じて層間絶縁膜や、ソース電極6、ドレイン電極7、及びゲート電極9と電気的に接続される配線等の形成工程を経て、本実施形態によるInAlGaN HEMTが形成される。
ここで、第2の実施形態の変形例について説明する。本例では、GaNプラグに生成される高濃度ドーパント層が若干異なる点で第1の実施形態と相違する。
図16は、本実施形態の変形例によるInAlGaN HEMTの構成を示す概略断面図である。
その他の諸工程は、本実施形態と同様である。
本実施形態では、第1及び第2の実施形態並びにこれらの変形例から選ばれた1種のInAlGaN HEMTを適用した電源装置を開示する。
図17は、第3の実施形態による電源装置の概略構成を示す結線図である。
一次側回路31は、交流電源34と、いわゆるブリッジ整流回路35と、複数(ここでは4つ)のスイッチング素子36a,36b,36c,36dとを備えて構成される。また、ブリッジ整流回路35は、スイッチング素子36eを有している。
二次側回路32は、複数(ここでは3つ)のスイッチング素子37a,37b,37cを備えて構成される。
本実施形態では、第1及び第2の実施形態並びにこれらの変形例から選ばれた1種のInAlGaN HEMTを適用した高周波増幅器を開示する。
図18は、第4の実施形態による高周波増幅器の概略構成を示す結線図である。
ディジタル・プレディストーション回路41は、入力信号の非線形歪みを補償するものである。ミキサー42aは、非線形歪みが補償された入力信号と交流信号をミキシングするものである。パワーアンプ43は、交流信号とミキシングされた入力信号を増幅するものであり、第1及び第2の実施形態並びにこれらの変形例から選ばれた1種のInAlGaN HEMTを有している。なお図18では、例えばスイッチの切り替えにより、出力側の信号をミキサー42bで交流信号とミキシングしてディジタル・プレディストーション回路41に送出できる構成とされている。
前記化合物半導体プラグ上に設けられているオーミック電極と
を備えており、
前記化合物半導体プラグは、前記化合物半導体領域との界面となる側面部分に、他の部分よりも高濃度のドーパントを含有する高濃度ドーパント層を有することを特徴とする化合物半導体装置。
前記電子供給層は、InAlGaN、InAlN、AlGaN、及びAlNから選ばれた1種を含有することを特徴とする付記1〜8のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
前記化合物半導体プラグ上にオーミック電極を形成する工程と
を備えたことを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。
前記シリコン絶縁膜が前記高濃度ドーパント層と接触するように、前記化合物半導体プラグを形成することを特徴とする付記10に記載の化合物半導体装置の製造方法。
前記電子供給層は、InAlGaN、InAlN、AlGaN、及びAlNから選ばれた1種を含有することを特徴とする付記10〜19のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
前記高圧回路はトランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
化合物半導体プラグが埋め込み形成された化合物半導体領域と、
前記化合物半導体プラグ上に設けられているオーミック電極と
を備えており、
前記化合物半導体プラグは、前記化合物半導体領域との界面となる側面部分に、他の部分よりも高濃度のドーパントを含有する高濃度ドーパント層を有することを特徴とする電源装置。
トランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
化合物半導体プラグが埋め込み形成された化合物半導体領域と、
前記化合物半導体プラグ上に設けられているオーミック電極と
を備えており、
前記化合物半導体プラグは、前記化合物半導体領域との界面となる側面部分に、他の部分よりも高濃度のドーパントを含有する高濃度ドーパント層を有することを特徴とする高周波増幅器。
2 化合物半導体領域
2a核形成層
2b バッファ層
2c 電子走行層
2d 中間層
2e 電子供給層
2A,2B 電極用リセス
3 素子分離構造
4,5,22,23,24,25,26,27 GaNプラグ
4a,5a,22a,23a,24a,25a,26a,27a 高濃度ドーパント層
6 ソース電極
7 ドレイン電極
8 保護膜
8a,11a,11b,12a,12b,14a,15Aa,15Ba,15Ca,17a,17b,18a,18b 開口
9 ゲート電極
11,14,17,18 レジストマスク
12 選択成長用マスク
13,21 N+−GaN
13a,21a 高N+−GaN
15 3層電子線レジスト
15A 下層レジスト
15B 中間層レジスト
15C 上層レジスト
16 電極材料
31 一次側回路
32 二次側回路
33 トランス
34 交流電源
35 ブリッジ整流回路
36a,36b,36c,36d,36e,37a,37b,37c スイッチング素子
41 ディジタル・プレディストーション回路
42a,42b ミキサー
43 パワーアンプ
Claims (19)
- 化合物半導体プラグが埋め込み形成された化合物半導体領域と、
前記化合物半導体プラグ上に設けられているオーミック電極と
を備えており、
前記化合物半導体プラグは、前記化合物半導体領域との界面となる側面部分に、他の部分よりも高濃度のドーパントを含有する高濃度ドーパント層を有することを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記高濃度ドーパント層は、上部が前記側面部分から前記化合物半導体領域の内側に向かって突出していることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記高濃度ドーパント層は、底部が前記側面部分から前記化合物半導体プラグの内部に向かって突出していることを特徴とする請求項1又は2に記載の化合物半導体装置。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1020/cm3以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1021/cm3以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1022/cm3以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記化合物半導体プラグは、前記高濃度ドーパント層が前記他の部分と一体形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記高濃度ドーパント層は、前記他の部分が含有するドーパント以外のドーパントを含有していることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記化合物半導体領域は電子供給層を有しており、
前記電子供給層は、InAlGaN、InAlN、AlGaN、及びAlNから選ばれた1種を含有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。 - 化合物半導体領域に、前記化合物半導体領域との界面となる側面部分に他の部分よりも高濃度のドーパントを含有する高濃度ドーパント層を有する化合物半導体プラグを埋め込み形成する工程と、
前記化合物半導体プラグ上にオーミック電極を形成する工程と
を備えたことを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。 - 前記化合物半導体プラグを形成する前に、前記化合物半導体領域上にシリコン絶縁膜を形成する工程を備えており、
前記シリコン絶縁膜が前記高濃度ドーパント層と接触するように、前記化合物半導体プラグを形成することを特徴とする請求項10に記載の化合物半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン絶縁膜はシリコンリッチであることを特徴とする請求項11に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、上部が前記側面部分から前記化合物半導体領域の内側に向かって突出していることを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、底部が前記側面部分から前記化合物半導体プラグ内部に向かって突出していることを特徴とする請求項10〜13のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1020/cm3以上であることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1021/cm3以上であることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、ドーパントの濃度が1×1022/cm3以上であることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記高濃度ドーパント層は、前記他の部分が含有するドーパント以外のドーパントを含有することを特徴とする請求項10〜17のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記化合物半導体領域は電子供給層を有しており、
前記電子供給層は、InAlGaN、InAlN、AlGaN、及びAlNから選ばれた1種を含有することを特徴とする請求項10〜18のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017244455A JP6905197B2 (ja) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
US16/193,796 US10804358B2 (en) | 2017-12-20 | 2018-11-16 | Compound semiconductor device and method with high concentration dopant layer in regrown compound semiconductor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017244455A JP6905197B2 (ja) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019114581A JP2019114581A (ja) | 2019-07-11 |
JP6905197B2 true JP6905197B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=66814755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017244455A Active JP6905197B2 (ja) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10804358B2 (ja) |
JP (1) | JP6905197B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7100241B2 (ja) * | 2017-12-20 | 2022-07-13 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
US20230078017A1 (en) * | 2021-09-16 | 2023-03-16 | Wolfspeed, Inc. | Semiconductor device incorporating a substrate recess |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001177089A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nec Corp | 電界効果トランジスタ |
JP5052807B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2012-10-17 | 古河電気工業株式会社 | 半導体装置及び電力変換装置 |
JP5453786B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2014-03-26 | 日本電気株式会社 | ヘテロ接合電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP5505698B2 (ja) * | 2010-02-01 | 2014-05-28 | 日本電信電話株式会社 | 半導体装置 |
JPWO2011118098A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
US8772786B2 (en) | 2012-07-13 | 2014-07-08 | Raytheon Company | Gallium nitride devices having low ohmic contact resistance |
WO2016068935A1 (en) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | Intel Corporation | Source/drain regrowth for low contact resistance to 2d electron gas in gallium nitride transistors |
JP6631950B2 (ja) | 2014-12-11 | 2020-01-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 窒化物半導体装置および窒化物半導体装置の製造方法 |
JP6746887B2 (ja) * | 2015-09-16 | 2020-08-26 | 住友電気工業株式会社 | 高電子移動度トランジスタ、及び高電子移動度トランジスタの製造方法 |
-
2017
- 2017-12-20 JP JP2017244455A patent/JP6905197B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-16 US US16/193,796 patent/US10804358B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10804358B2 (en) | 2020-10-13 |
JP2019114581A (ja) | 2019-07-11 |
US20190189746A1 (en) | 2019-06-20 |
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