JP2018170152A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017066366A JP2018170152A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | Ｏｌｅｄ表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法 |
| CN201810158926.1A CN108695361B (zh) | 2017-03-29 | 2018-02-26 | Oled显示装置的制造方法、掩模及掩模的设计方法 |
| US15/937,899 US10263185B2 (en) | 2017-03-29 | 2018-03-28 | Method of manufacturing OLED display device, mask, and method of designing mask |
| JP2021176444A JP7232882B2 (ja) | 2017-03-29 | 2021-10-28 | Ｏｌｅｄ表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017066366A JP2018170152A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | Ｏｌｅｄ表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021176444A Division JP7232882B2 (ja) | 2017-03-29 | 2021-10-28 | Ｏｌｅｄ表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018170152A JP2018170152A (ja) | 2018-11-01 |
| JP2018170152A5 true JP2018170152A5 (https=) | 2020-04-16 |
Family
ID=63670768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017066366A Pending JP2018170152A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | Ｏｌｅｄ表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10263185B2 (https=) |
| JP (1) | JP2018170152A (https=) |
| CN (1) | CN108695361B (https=) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10270033B2 (en) | 2015-10-26 | 2019-04-23 | Oti Lumionics Inc. | Method for patterning a coating on a surface and device including a patterned coating |
| CN110301053B (zh) | 2016-12-02 | 2024-05-10 | Oti照明公司 | 包括设置在发射区域上面的导电涂层的器件及其方法 |
| CN108735915B (zh) * | 2017-04-14 | 2021-02-09 | 上海视涯技术有限公司 | 用于oled蒸镀的荫罩及其制作方法、oled面板的制作方法 |
| CN116583131A (zh) | 2017-04-26 | 2023-08-11 | Oti照明公司 | 用于图案化表面上覆层的方法和包括图案化覆层的装置 |
| JP7264488B2 (ja) | 2017-05-17 | 2023-04-25 | オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド | パターン化コーティングにわたって伝導性コーティングを選択的に堆積させるための方法および伝導性コーティングを含むデバイス |
| US11751415B2 (en) | 2018-02-02 | 2023-09-05 | Oti Lumionics Inc. | Materials for forming a nucleation-inhibiting coating and devices incorporating same |
| WO2019180846A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | シャープ株式会社 | 成膜用マスクおよびそれを用いた表示装置の製造方法 |
| JP7320851B2 (ja) | 2018-05-07 | 2023-08-04 | オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド | 補助電極を提供するための方法および補助電極を含むデバイス |
| WO2019218606A1 (zh) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 昆山国显光电有限公司 | 掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端 |
| US11613801B2 (en) | 2018-05-14 | 2023-03-28 | Kunshan Go-Visionox Opto-Electronics Co., Ltd. | Masks and display devices |
| JP2022508040A (ja) | 2018-11-23 | 2022-01-19 | オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド | 光透過領域を含むオプトエレクトロニクスデバイス |
| US11773477B2 (en) * | 2018-12-25 | 2023-10-03 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask |
| JP6900961B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2021-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | 画像表示装置および虚像表示装置 |
| JP7390739B2 (ja) | 2019-03-07 | 2023-12-04 | オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド | 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス |
| KR102831863B1 (ko) | 2019-04-18 | 2025-07-10 | 오티아이 루미오닉스 인크. | 핵 생성 억제 코팅 형성용 물질 및 이를 포함하는 디바이스 |
| JP7576337B2 (ja) | 2019-05-08 | 2024-11-01 | オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド | 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス |
| CN110137238A (zh) | 2019-06-21 | 2019-08-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled显示基板及其制作方法、显示装置 |
| US11832473B2 (en) | 2019-06-26 | 2023-11-28 | Oti Lumionics Inc. | Optoelectronic device including light transmissive regions, with light diffraction characteristics |
| CN114097102B (zh) | 2019-06-26 | 2023-11-03 | Oti照明公司 | 包括具有光衍射特征的光透射区域的光电设备 |
| CN114342068A (zh) | 2019-08-09 | 2022-04-12 | Oti照明公司 | 包含辅助电极和分区的光电子装置 |
| CN110943109A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-03-31 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及显示面板的制备方法 |
| CN110931639A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 可提高像素分辨率的像素排列显示设备与蒸镀方法 |
| KR20260036028A (ko) | 2019-12-24 | 2026-03-13 | 오티아이 루미오닉스 인크. | 캡핑 층을 포함하는 발광 장치 및 그 제조방법 |
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| JP7749925B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2025-10-07 | 大日本印刷株式会社 | 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法 |
| CN115298722B (zh) * | 2020-04-02 | 2023-08-29 | 夏普株式会社 | 蒸镀掩模、显示面板及显示面板的制造方法 |
| US20220336676A1 (en) * | 2020-09-18 | 2022-10-20 | Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co.,Ltd. | Display substrate, display panel and display device |
| WO2022123431A1 (en) | 2020-12-07 | 2022-06-16 | Oti Lumionics Inc. | Patterning a conductive deposited layer using a nucleation inhibiting coating and an underlying metallic coating |
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| TWI777604B (zh) * | 2021-06-08 | 2022-09-11 | 友達光電股份有限公司 | 畫素陣列及其製作方法,金屬光罩及其製作方法 |
| TWI826181B (zh) * | 2022-12-13 | 2023-12-11 | 達運精密工業股份有限公司 | 金屬遮罩結構 |
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| TWI878962B (zh) * | 2023-07-07 | 2025-04-01 | 達運精密工業股份有限公司 | 金屬遮罩 |
| WO2025029122A1 (ko) * | 2023-08-02 | 2025-02-06 | 주식회사 야스 | 증착 장비 및 증착 시스템 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4173722B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2008-10-29 | 三星エスディアイ株式会社 | 蒸着マスク、これを利用した有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子 |
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| JP3765314B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2006-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | マスク、マスクの製造方法、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| KR101434084B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2014-09-22 | 샤프 가부시키가이샤 | 증착 마스크 및 이것을 사용한 유기ｅｌ 소자의 제조 방법과 제조 장치 |
| KR101146996B1 (ko) * | 2010-07-12 | 2012-05-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
| JP5384751B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-01-08 | シャープ株式会社 | 蒸着膜の形成方法及び表示装置の製造方法 |
| KR101941077B1 (ko) * | 2012-01-19 | 2019-01-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 설비 |
| KR101942471B1 (ko) * | 2012-06-15 | 2019-01-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 |
| KR102103247B1 (ko) * | 2012-12-21 | 2020-04-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 |
| JP5856584B2 (ja) * | 2013-06-11 | 2016-02-10 | シャープ株式会社 | 制限板ユニットおよび蒸着ユニット並びに蒸着装置 |
| US9142779B2 (en) * | 2013-08-06 | 2015-09-22 | University Of Rochester | Patterning of OLED materials |
| JP6241903B2 (ja) * | 2014-03-11 | 2017-12-06 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 蒸着装置及び蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法 |
| KR102322012B1 (ko) * | 2014-10-20 | 2021-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
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| KR102391346B1 (ko) * | 2015-08-04 | 2022-04-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치, 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조방법 |
| KR102399569B1 (ko) * | 2015-10-28 | 2022-05-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
| CN105655382B (zh) * | 2016-04-08 | 2019-10-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板制作方法、显示基板和显示装置 |
| TWI721170B (zh) * | 2016-05-24 | 2021-03-11 | 美商伊麥傑公司 | 蔽蔭遮罩沉積系統及其方法 |
-
2017
- 2017-03-29 JP JP2017066366A patent/JP2018170152A/ja active Pending
-
2018
- 2018-02-26 CN CN201810158926.1A patent/CN108695361B/zh active Active
- 2018-03-28 US US15/937,899 patent/US10263185B2/en active Active
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