TWI556487B - 分散板及具有該分散板的鍍膜裝置 - Google Patents

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Description

分散板及具有該分散板的鍍膜裝置
本發明是關於有機發光二極體顯示面板製造領域，尤其是關於一種分散板及具有該分散板的鍍膜裝置。
近年來，有機發光二極體(OLED)技術越來越受到人們的關注，這是由於其自發光的原理，更易於製作輕薄、易攜帶的顯示或照明裝置。OLED除了具有陽極和陰極外，還具有包含在兩電極間的多層有機化合物。多層有機化合物各自具有不同的功能，有的用來傳輸電子和電洞，有的用來激發光子。
薄膜鍍膜是平面顯示器工藝中非常重要的一道工藝，對於工藝中各項參數的控制是相當嚴格。其中鍍膜的均勻度便是其中之一，而鍍膜裝置內氣體的分佈也會影響鍍膜的均勻度。
現有技術的鍍膜裝置中，分散板是設置於上電極裝置中，如圖1所示，現有技術的上電極裝置是一種三層式的結構，頂端是上電極2，頂端中心具有進氣孔(gas inlet)3，三層式結構中上邊的兩層分別是兩層分散板11、12，最下面的一層為簇射板4。
其中分散板11、12設計為金屬制的平板並帶有上 百或上千個的氣體孔10。為不影響氣體分散至下一層的時間，分散板11、12的厚度通常不超過10mm，並利用金屬或陶瓷材質的固定件將分散板11、12固定於上電極裝置的側壁。此種設計也大量的運用於等離子加強沈積設備的上電極，工藝溫度大概控制在攝氏400度。在如此高溫的狀態下，分散板11、12容易因為分散板本身受熱不夠均勻的情況下產生形變，變形的情況如圖2所示，也極有可能在固定處(分散板與上電極裝置側壁的固定處)產生變形。如此便會造成兩層分散板間的距離發生改變進而影響氣體的分佈，進而造成薄膜的不均勻。
本發明的目的為提供一種用於鍍膜裝置的分散板，以解決現有技術的鍍膜裝置中的分散板存在的容易變形，變形後影響氣體分佈，進而影響薄膜的膜厚均勻度的技術問題。
本發明的另一目的為提供一種具有此分散板的鍍膜裝置。
本發明之一態樣提供了一種分散板，用於鍍膜裝置，分散板上具有有效區以及位於有效區週邊的無效區。有效區均勻設置有多個用於氣體通過的氣體孔。分散板的無效區則是與待鍍膜基板的無效區的位置相對應，用於分散板與外部裝置的連接，無效區具有多條切割線。
於本發明之一或多個實施例中，分散板具有長邊和 短邊，長邊和短邊上分別具有多條切割線。
於本發明之一或多個實施例中，切割線是利用物理性加工在分散板邊緣切除部分的分散板所形成。
於本發明之一或多個實施例中，位於長邊的切割線的長度為3~5mm，寬度為0.5~1 mm，數量為3~5條。
本於本發明之一或多個實施例中，位於短邊的切割線的長度為1~2mm，寬度為0.5~1 mm，數量為2~3條。
於本發明之一或多個實施例中，位於短邊的切割線垂直於位於長邊的切割線，且平行於長邊。
於本發明之一或多個實施例中，各切割線的延長線交於分散板的幾何中心。
於本發明之一或多個實施例中，切割線在長邊上均勻分佈，切割線在短邊上均勻分佈。
於本發明之一或多個實施例中，位於長邊中部的切割線間距小於位於長邊兩側的切割線間距。
本發明之另一態樣為一種具有前述之分散板的鍍膜裝置。
於本發明之一或多個實施例中，鍍膜裝置具有至少2層分散板。
於本發明之一或多個實施例中，分散板的厚度小於10mm。
本發明的分散板及具有該分散板的鍍膜裝置中，切割線的作用在於讓分散板變形時可有方向性，切割線可將變形方向調整為水平而非原先的垂直方向變形，可以減少 分散板變形，改善氣體分佈，增加上電極裝置內的氣體分佈穩定性，進而能夠提高鍍膜裝置的膜厚均勻性。
1‧‧‧分散板
2‧‧‧上電極
3‧‧‧進氣孔
4‧‧‧簇射板
10‧‧‧氣體孔
11、12‧‧‧分散板
15、16‧‧‧切割線
17‧‧‧固定件
圖1為常用的鍍膜裝置的上電極裝置的截面示意圖。
圖2為現有技術的分散板變形及其氣體分佈改變示意圖。
圖3為本發明第一實施例的分散板的示意圖。
圖4為本發明第二實施例的分散板的示意圖。
圖5為本發明實施例的分散板的氣流方向示意圖。
以下將以圖式及詳細說明清楚說明本發明之精神，任何所屬技術領域中具有通常知識者在瞭解本發明之較佳實施例後，當可由本發明所教示之技術，加以改變及修飾，其並不脫離本發明之精神與範圍。
本發明實施例的鍍膜裝置，具有本發明各實施例的分散板。本發明各實施例的分散板，均可應用於本發明實施例的鍍膜裝置。下面具體介紹本發明實施例的鍍膜裝置及本發明兩個實施例的分散板。
本發明實施例的鍍膜裝置，除分散板之外，其他部件可以與現有技術的鍍膜裝置中的相應部件相同。同樣，分散板也是設置於上電極裝置中，如圖1所示，本發明實 施例的鍍膜裝置的上電極裝置可以是一種多層式的結構，其分散板至少2層，例如為2-5層。
如圖1所示，以兩層分散板11、12為例，上電極裝置的頂端是上電極2，其中心具有進氣孔(gas inlet)3，三層式結構中上邊的兩層分別是兩層分散板11、12，最下面的一層為簇射板4。
本發明各實施例的分散板，均設計為金屬制的平板並帶有上百或上千個的氣體孔10。為不影響氣體分散至下一層的時間，分散板的厚度通常不超過10mm，並利用金屬或陶瓷材質的固定件17將分散板固定於上電極裝置的側壁，如圖1和圖3所示。
以下分別介紹本發明分散板的兩個實施例。
本發明第一實施例的分散板：如圖3所示，分散板1具有有效區和無效區，其中有效區上均勻設置有多個用於氣體通過的氣體孔10，無效區位於有效區的週邊，分散板1的無效區與待鍍膜基板的無效區的位置相對應，無效區可用於分散板1與外部裝置(例如上電極裝置的側壁)的連接，在分散板1的無效區具有切割線15、16，具體的說是分散板1周邊的對應於待鍍膜玻璃基板無效區的位置，即距玻璃基板邊緣10mm範圍內具有切割線15、16。可以對分散板1進行物理性加工，在分散板1長短邊各切除部分分散板，而形成切割線15、16。也可以通過其他方法形成切割線15、16，也可以在形成分散板1時一體形成切割線15、16。
圖3中分散板1左右方向的邊為長邊，上下方向的邊為短邊，在長邊上形成有切割線16，在短邊上形成有切割線15。位於分散板1的長邊的切割線16的長度可為3~5mm，寬度可為0.5~1 mm，切割線的數量可為3~5條。位於分散板1的短邊的切割線15的長度可為1~2mm，寬度可為0.5~1 mm，切割線的數量可為2~3條。也就是說，長邊上的切割線16的長度通常大於短邊上的切割線15的長度，而寬度則通常相等。
如圖1所示，分散板1為矩形，本實施例中，長邊上的切割線16均互相平行，且短邊上的切割線15也互相平行。也即，長邊上的切割線16均垂直於長邊並平行於短邊，且短邊上的切割線15均垂直於短邊並平行於長邊。因此，位於短邊的切割線15垂直於位於長邊的切割線16，且平行於所述長邊。但本發明並不以此為限，各分割線也可以不互相平行，因此有以下的第二實施例。
本發明第二實施例的分散板：本實施例中，分散板1的切割線15、16的位置、規格及其形成，均可與第一實施例的分散板1相同，與第一實施例的分散板1不同的是切割線15、16的走向，本實施例中，各切割線，包括長邊上的延長線16和短邊上的延長線15，均相交於分散板1的幾何中心。也就是說本實施例中，切割線15、16是呈放射狀分佈的。
在上述的兩實施例中，切割線15、16，既可以是均勻分佈，也可以是非均勻分佈。如果是非均勻分佈，則 優選的是中間密，兩邊疏的分佈，也即位於所述長(短)邊中部的切割線間距小於位於所述長邊兩側的切割線間距。舉例來說，如果長邊上從左到右依次有A、B、C、D、E、F、G、H八條切割線，長邊的中點在D與E之間，則可以是距離DE<距離EF<距離FG<距離GH，距離DE<距離CD<距離BC<距離AB。並且可以左右對稱分佈。
本發明各實施例的分散板，開設切割線15、16後，並不影響通過固定件17將分散板1固定於上電極裝置的側壁。切割線15、16的作用在於讓分散板1變形時可有方向性，切割線15、16可將分散板1的變形方向調整為水平而非原先的垂直方向變形，如圖5所示，如此便不會造成分散板間距的改變，也不會影響氣體的分佈。可以減少分散板變形，改善氣體分佈，增加上電極裝置內的氣體分佈穩定性，進而能夠提高鍍膜裝置的膜厚均勻性。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧分散板
10‧‧‧氣體孔
15、16‧‧‧切割線
17‧‧‧固定件

Claims (12)

  1. 一種分散板，用於鍍膜裝置，該分散板包含：一有效區，該有效區均勻設置有多個用於氣體通過的氣體孔；以及位於該有效區週邊的一無效區，與一待鍍膜基板的無效區的位置相對應，用於該分散板與一外部裝置的連接，其中該無效區具有多條切割線，該多條切割綫在該分散板的外部邊緣具有開口，向該分散板的內部延伸；該多條切割綫用以使該分散板變形時具有單一方向性。
  2. 如請求項1所述的分散板，其中該分散板具有一長邊和一短邊，該長邊和該短邊上分別具有該些切割線。
  3. 如請求項2所述的分散板，其中該些切割線是利用物理性加工在該分散板邊緣切除部分之該分散板所形成。
  4. 如請求項2所述的分散板，其中位於該長邊的該些切割線的長度為3~5mm，寬度為0.5~1mm，數量為3~5條。
  5. 如請求項4所述的分散板，其中位於該短邊的該些切割線的長度為1~2mm，寬度為0.5~1mm，數量為2~3條。
  6. 如請求項5所述的分散板，其中位於該短邊的該些切割線垂直於位於該長邊的該些切割線，且平行於該長邊。
  7. 如請求項2所述的分散板，其中每一該些切割線的延長線交於該分散板的幾何中心。
  8. 如請求項2所述的分散板，其中該些切割線在該長邊上均勻分佈，該些切割線在該短邊上均勻分佈。
  9. 如請求項2所述的分散板，其中位於該長邊中部的該些切割線間距小於位於該長邊兩側的該些切割線間距。
  10. 一種鍍膜裝置，其中該鍍膜裝置具有如請求項1-9任一項所述的分散板。
  11. 如請求項10所述的鍍膜裝置，其中該鍍膜裝置具有至少2層的該些分散板。
  12. 如請求項11所述的鍍膜裝置，其中該些分散板的厚度小於10mm。
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