JP4863074B2 - 耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板 - Google Patents
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Description
シリコン電極板1および冷却板3を真空容器内に設置し固定したのち、架台8の上にウエハ4を載置し、エッチングガス7をシリコン電極板1および冷却板3に設けられた貫通細孔5を通してウエハ4に向って流しながら高周波電圧を印加することによりシリコン電極板1とウエハ4の間にプラズマ11を発生させ、このプラズマ11がウエハ4に当ってウエハ4の表面をエッチングするようになっている。この時、シリコン電極板1の熱は冷却板3を通して放熱される(特許文献1参照)。
(イ)シリコン電極板の周辺部に設けられたボルト穴を囲むようにボルト穴の周囲にボルト穴から離れて細長溝を形成することにより、前記熱膨張係数の差によるシリコン電極板にかかる応力を軽減し、それによってシリコン電極板の割れ発生を防止することができる、
(ロ)シリコン電極板のボルト穴周囲にボルト穴から離れて形成される細長溝は、シリコン電極板の表面から裏面に貫通した貫通細長溝であってもよく、途切れた貫通細長溝であってもよく、さらにシリコン電極板の表面に開口する有底細長溝と裏面に開口する有底細長溝が前記取付け穴の半径方向に向かって交互に設けられている溝であってもよい、などのという知見を得たのである。
(1)シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された貫通細孔と、前記シリコン電極板の周辺部近傍に設けられたボルト穴を有するシリコン電極板において、
前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて細長溝を設けてなる耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、
(2)シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された貫通細孔と、前記シリコン電極板の周辺部近傍に設けられたボルト穴を有するシリコン電極板において、
前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて同心円状に細長溝を設けてなる耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、
(3)前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記取付け穴の半径方向に間隔をおいて設けられている前記(1)または(2)記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、
(4)前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記シリコン電極板の表面から裏面に貫通する貫通細長溝である前記(1)、(2)または(3)記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、
(5)前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、有底細長溝である前記(1)、(2)または(3)記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、
(6)前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記シリコン電極板の表面に開口する有底細長溝と裏面に開口する有底細長溝が前記前記ボルト穴の半径方向に向かって交互に設けられている前記(5)記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、に特徴を有するものである。
(7)前記シリコン電極板は、単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは柱状晶シリコンからなる前記(1)、(2)、(3)、(4)、(5)または(6)記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板、に特徴を有するものである。
図1は、耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板に設けられたボルト穴の周囲に設けられた細長溝の種類を説明するための平面説明図であり、一枚の
シリコン電極板に異なった種類の細長溝を設けたプラズマエッチング用シリコン電極板を示したものではなく、実際のプラズマエッチング用シリコン電極板はボルト穴の周囲に同一形状構造の細長溝が設けられている。
図2は、図1におけるA−A断面図であり、ボルト穴2の周囲に設けられた細長溝の断面図である。この図1のA−A断面図に示される図2の細長溝は、シリコン電極板の表面に開口する有底細長溝91と裏面に開口する有底細長溝92が前記ボルト穴2の半径方向に向かって交互に設けられている。
図3は、図1におけるB−B断面図であり、ボルト穴2の周囲に設けられた細長溝の断面図である。この図1のB−B断面図に示される図3の細長溝は、途切れた貫通細長溝93で構成されている。
図4は、図1のC−C断面図であり、ボルト穴2の周囲に設けられた細長溝の断面図である。この図1のC−C断面図に示される図4の細長溝は、シリコン電極板の表面から裏面に貫通した貫通細長溝9で構成されている。
通常より大きな直径:380mm、厚さ:10mmの寸法を有する単結晶シリコン板を用意し、このシリコン板に直径:0.5mmの貫通細孔を孔間距離:8mmとなるように穿孔し、さらにこのシリコン板の周辺部に直径:10mmのボルト穴を8個等間隔で形成することによりシリコン電極板を作製した。
このシリコン電極板を使用し、図1および図2に示されるように、このシリコン電極板のボルト穴を囲むようにかつ厚さ方向に平行に深さ:7mm、幅:3mmを有する有底細長溝91をシリコン電極板の一方の表面に開口するように形成し、さらにこの有底細長溝91を囲うようにかつシリコン電極板の他方の表面に開口するように深さ:7mm、幅:3mmを有する有底細長溝92を形成することにより本発明シリコン電極板1を作製した。
実施例1で作製したこのシリコン電極板を使用し、図1および図3に示されるように、このシリコン電極板のボルト穴を囲むようにかつ厚さ方向に平行にシリコン電極板を貫通する幅:3mmを有する途切れた貫通細長溝93を形成することにより本発明シリコン電極板2を作製した。
実施例1で作製したこのシリコン電極板を使用し、図1および図4に示されるように、このシリコン電極板のボルト穴を囲むようにかつ厚さ方向に平行にシリコン電極板を貫通する幅:3mmを有する貫通細長溝9を形成することにより本発明シリコン電極板3を作製した。
実施例1で用意したシリコン電極板のボルト穴に接続してボルト穴の周囲に位置決め用溝部を設けることにより従来シリコン電極板を作製した。
2 ボルト穴
3 冷却板
4 ウエハ
5 貫通細孔
6 ボルト
7 エッチングガス
8 架台
9 貫通細長溝
91 有底細長溝
92 有底細長溝
93 途切れた貫通細長溝
10 鍔
11 プラズマ
Claims (7)
- シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された貫通細孔と、前記シリコン電極板の周辺部近傍に設けられたボルト穴を有するシリコン電極板において、
前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて細長溝を設けてなることを特徴とする耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。 - シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された貫通細孔と、前記シリコン電極板の周辺部近傍に設けられたボルト穴を有するシリコン電極板において、
前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて同心円状に細長溝を設けてなることを特徴とする耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。 - 前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記取付け穴の半径方向に間隔をおいて設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記シリコン電極板の表面から裏面に貫通する貫通細長溝であることを特徴とする請求項1、2または3記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、有底細長溝であることを特徴とする請求項1、2または3記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ボルト穴を囲むように前記ボルト穴の周囲に前記ボルト穴から離れて設けられた細長溝は、前記シリコン電極板の表面に開口する有底細長溝と裏面に開口する有底細長溝が前記前記ボルト穴の半径方向に向かって交互に設けられていることを特徴とする請求項5記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記シリコン電極板は、単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは柱状晶シリコンからなることを特徴とする請求項1、2、3、4、5または6記載の耐割れ性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板。
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