JP2018158312A - エッチング廃液処理システムおよびエッチング廃液処理方法 - Google Patents
エッチング廃液処理システムおよびエッチング廃液処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】エッチング廃液処理システム10は、ガラス基板のエッチング処理を行うエッチング装置で発生するエッチング廃液を処理するように構成される。このエッチング廃液処理システム10は、反応槽15および無害化手段としての酸性スクラバ30を少なくとも備える。反応槽15において、エッチング廃液の酸性度を緩和しつつ送液可能な程度に増粘し、さらに増粘エッチング廃液の中性汚泥化が行われる。
【選択図】図1
Description
(式) H2SiF6 + 3CaO → 3CaF2 + SiO2 + H2O
蒸発反応:CaO + H2O → Ca(OH)2
中和反応:H2SiF6 + 3Ca(OH)2 → 3CaF2 + SiO2 + 4H2O
(式) H2SiF6 + 3CaO → 3CaF2 + SiO2 + H2O
蒸発反応:CaO + H2O → Ca(OH)2
中和反応:H2SiF6 + 3Ca(OH)2 → 3CaF2 + SiO2 + 4H2O
12−廃液収容槽
14,18−送液ポンプ
15−反応槽
16−第1の反応槽
20−第2の反応槽
22−汚泥収容槽
30−酸スクラバ
32−中性スクラバ
40−固化剤収容部(サイロ)
100−エッチング装置
122,162,152,202−攪拌機
Claims (4)
- フッ化水素酸を用いたエッチング処理で発生するエッチング廃液を処理するように構成されたエッチング廃液処理システムであって、
前記エッチング廃液に対してアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤を添加して反応させることによって、前記エッチング廃液を中性汚泥化するように構成された反応槽と、
前記反応槽から発生する気体を無害化するように構成された無害化手段と、
を備えたエッチング廃液処理システム。 - フッ化水素酸を用いたエッチング処理で発生するエッチング廃液を処理するように構成されたエッチング廃液処理システムであって、
前記エッチング廃液に対してアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤を添加して反応させることによって、前記エッチング廃液の酸性度を緩和しつつ送液可能な程度に増粘するように構成された第1の反応槽と、
第1の反応槽から送られた増粘エッチング廃液に対して、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤をさらに添加して反応させることによって、増粘エッチング廃液を中性汚泥化するように構成された第2の反応槽と、
少なくとも前記第1の反応槽から発生する気体を無害化するように構成された無害化手段と、
を備えたエッチング廃液処理システム。 - フッ化水素酸を用いたエッチング処理で発生するエッチング廃液を処理するためのエッチング廃液処理方法であって、
前記エッチング廃液に対して、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤を添加して反応させることによって、前記エッチング廃液を中性汚泥化する固化ステップを少なくとも含むエッチング廃液処理方法。 - フッ化水素酸を用いたエッチング処理で発生するエッチング廃液を処理するためのエッチング廃液処理方法であって、
前記エッチング廃液に対してアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤を添加して反応させることによって、前記エッチング廃液の酸性度を緩和しつつ送液可能な程度に増粘させる第1の固化ステップと、
第1の固化ステップによって得られた増粘エッチング廃液に対して、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、または炭酸塩を含むアルカリ性固化剤をさらに添加して反応させることによって、増粘エッチング廃液を中性汚泥化する第2の固化ステップと、
を少なくとも含むエッチング廃液処理方法。
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