KR20150085427A - 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술 - Google Patents

폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술 Download PDF

Info

Publication number
KR20150085427A
KR20150085427A KR1020140005286A KR20140005286A KR20150085427A KR 20150085427 A KR20150085427 A KR 20150085427A KR 1020140005286 A KR1020140005286 A KR 1020140005286A KR 20140005286 A KR20140005286 A KR 20140005286A KR 20150085427 A KR20150085427 A KR 20150085427A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wastewater
fluorine
containing compound
aluminum
recycling
Prior art date
Application number
KR1020140005286A
Other languages
English (en)
Inventor
최윤진
Original Assignee
최윤진
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 최윤진 filed Critical 최윤진
Priority to KR1020140005286A priority Critical patent/KR20150085427A/ko
Publication of KR20150085427A publication Critical patent/KR20150085427A/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/58—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/30—Wastewater or sewage treatment systems using renewable energies
    • Y02W10/37—Wastewater or sewage treatment systems using renewable energies using solar energy

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)

Abstract

본 발명은 유리 식각 공정에서 발생하는 불소화합물을 포함하는 폐수를 재활용하는 기술로서, 고온으로 가열된 폐수 중의 불소화합물을 중화제와 알루미늄 성분과 적정한 pH에서 반응시킴으로써 입자 크기가 커서 여과성이 대폭 향상된 침전물 및 불소 이온 함량이 크게 저하된 여과액으로 분리하여 재활용하는 기술을 개시한다. 본 발명의 방법에 따르면, 침전물의 여과 속도가 크게 향상되어 상기 폐수를 효율적으로 처리할 수 있으며, 이에 의하여 얻어진 침전물은 시멘트 첨가제 및 도자기 유약 등과 같은 유용한 산업 기초 원료로 활용될 수 있으며, 여과액은 불소 이온 함량이 크게 저감되어 그대로 배출될 수 있을 뿐만 아니라 본 발명의 방법에서 사용되는 중화제로서 재순환될 수 있으므로 폐기물 발생도 크게 절감될 수 있다.

Description

폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술{Method of making waste fluorine-containing compounds harmless and stabilized for recycling industrial raw material}
본 발명은 유리 식각 공정으로부터 배출된 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법에 관한 것이다. 더 상세하게는, 본 발명은 반도체 제조 공정 및 액정 표시 소자 제조 공정 등에서 실시되는 유리 식각 공정으로부터 배출된 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법에 관한 것이다. 더더욱 상세하게는, 본 발명은 반도체 제조 공정, 액정 표시 소자 제조 공정 등에서 실시되는 유리 식각 공정으로부터 배출된 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 단시간내에 불소 함유 화합물을 재처리하고 얻어진 부산물을 유용한 산업 기초 원료로서 재활용하는 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정, 액정 표시 소자 제조 공정, 태양 전지 제조공정, 및 실리콘 에칭 공정 등에서는 유리 기판 또는 유리층을 불산 등을 이용하여 식각하여 원하는 미세 회로 패턴을 형성하는 유리 식각 공정이 실시된다. 이 공정에서 불소 함유 화합물을 다량으로 함유하는 폐수가 발생한다. 예를 들면, 이 공정에서 대표적으로 유리는 불산과 반응하여 아래 반응식으로 표시한 바와 같이 규불화수소산을 발생시킨다.
[반응식 1]
SiO2 + 6HF = H2SiF6 (규불화수소산) + 2H2O.
종래 기술에 있어서 유리 식각 공정으로부터 배출된 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수는 일반적으로 수산화나트륨, 소석회 즉 수산화칼슘(Ca(OH)2), 염화칼슘(CaCl2), 수산화칼륨 등을 이에 투입하여 불소를 흡착제거하여 처리된다. 이를 반응식으로 나타내면 다음과 같다.
[반응식 2]
H2SiF6 + 4 Ca(OH)2 → 3CaF2 + CaSiO3↓ + 5H2O.
이러한 반응에 의해 형성된 불화칼슘(CaF2) 및 산화실리콘칼슘(CaSiO3) 등의 침전물은 슬러지 형태이며, 나머지는 액상 형태의 폐기물이다.
예를 들면, 대한민국 공개 특허공보 2002-0080604는 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 및 폐기물오니의 처리 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비에서 생성된 폐기물 오니중에서 적어도 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수에 수산화칼슘을 투입하여 침전물 CaF2를 형성한 후, 황산 또는 과산화수소 중에서 선택된 어느 1종의 강산과 상기 침전물 CaF2를 1차 반응시켜 CaSO4 또는 CaO 원소를 갖는 부산물을 생성하는 방법을 교시한다.
이와 같이 종래 반도체 제조 공정 및 액정 표시 소자 제조 공정 등에서 배출된 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 불소 함유 화합물을 재활용하는 방법은 이미 알려져 있다. 그러나, 폐수 중에 포함된 규불화수소산 등의 불소 함유 화합물이 중화제로 사용된 수산화나트륨, 탄산칼륨, 수산화칼륨 등과 반응하여 생성된 불화나트륨, 불화칼륨 등의 화합물들은 용해도가 높아 회수가 용이하지 못하고 불소 이온의 재용출 위험이 있어 유독하다. 이처럼 종래의 처리 공정에서 얻어진 슬러지 형태의 침전물은 여과성이 나빠서 여과에 많은 시간이 소요되며, 뿐만 아니라 상기 액상 형태의 폐기물은 불소 이온을 많이 함유하고 있기 때문에 환경에 유해하고 이를 재처리하는데에는 많은 비용이 필요하다.
따라서, 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 짧은 시간내에 불소 함유 화합물을 효과적으로 처리할 수 있으며 이로부터 얻어진 부산물을 유용한 산업기초원료로 재활용할 수 있는 방법에 대한 요구가 관련 업계에 여전히 존재한다.
따라서 본 발명의 목적은 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 불소 함유 화합물을 짧은 시간내에 처리할 수 있으며 이로부터 얻어진 부산물을 유용한 산업기초원료로 재활용할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 구현예는,
(a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
(b) 상기 1차 중화된 폐수를 가열하는 단계;
(c) 상기 가열된 1차 중화된 폐수에 중화제와 알루미늄 성분을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시키는 단계; 및
(d) 상기 폐수로부터 상기 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법을 제공한다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 3 ~ 3.5로 조정되고, 상기 (c) 2차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 5 ~ 11로 조정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계 및 상기 (c) 2차 중화 단계에서 상기 중화제는 20 ~ 60중량%의 알칼리 수용액인 것이 바람직하다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 (b) 가열 단계에서 상기 1차 중화된 폐수는 50℃ ~ 100℃로 가열되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계 및 상기 (c) 2차 중화 단계에서 사용되는 중화제는 생석회, 소석회, 탄산칼슘, 및 염화칼슘으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 (c) 2차 중화 단계에서 사용되는 알루미늄 성분은 황산 알루미늄, 폴리염화알루미늄, 알루미늄 분말, 수산화알루미늄, 질산 알루미늄, 및 황산 알루미늄 암모늄(ammonium aluminium sulfate)으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다.
본 발명의 일 구현예에 있어서, 상기 폐수가 규불화수소산과 같은 상기 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수이고, 상기 알루미늄 성분이 상기 알루미늄 성분의 순도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 함유 분말의 형태 또는 상기 알루미늄 성분의 농도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 수용액의 형태로 첨가되는 경우, 상기 알루미늄 성분 함유 분말 또는 상기 알루미늄 성분 수용액은 상기 폐수 중에 존재하는 상기 용질의 중량을 기준으로 0.1중량% 내지 1중량%의 함량으로 첨가되는 것이 바람직하다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 다른 구현예는,
(a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
(b) 상기 1차 중화된 폐수에 생석회 분말을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 생석회가 소석회로 수화되는 반응의 수화열을 이용하여 상기 폐수의 온도를 증가시키고 이후 상기 폐수 중에 알루미늄 성분을 더 첨가하여 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시키는 단계; 및
(c) 상기 폐수로부터 상기 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 3 ~ 3.5로 조정되고, 상기 (b) 2차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 5 ~ 11로 조정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 중화제는 20 ~ 60중량%의 알칼리 수용액인 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 (b) 단계에서 물을 더 첨가하는 것이 바람직하며, 구체적으로 상기 폐수의 중량을 기준으로 30 중량% 내지 50중량% 정도의 물을 더 첨가하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 사용되는 중화제는 생석회, 소석회, 및 탄산칼슘으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 (b) 2차 중화 단계에서 사용되는 알루미늄 성분은 황산 알루미늄, 폴리염화알루미늄, 알루미늄 분말, 수산화알루미늄, 질산 알루미늄, 및 황산 알루미늄 암모늄(ammonium aluminium sulfate)으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다.
본 발명의 다른 구현예에 있어서, 상기 폐수가 규불화수소산와 같은 상기 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수이고, 상기 알루미늄 성분이 상기 알루미늄 성분의 순도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 함유 분말의 형태 또는 상기 알루미늄 성분의 농도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 수용액의 형태로 첨가되는 경우, 상기 알루미늄 성분 함유 분말 또는 상기 알루미늄 성분 수용액은 상기 폐수 중에 존재하는 상기 용질의 중량을 기준으로 0.1중량% 내지 1중량%의 함량으로 첨가되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 구현예 및 다른 구현예에 있어서, 상기 여과 단계에서 얻어진 여과액을 상기 1차 중화 단계 또는 상기 2차 중화 단계에서의 중화제로서 재순환할 수 있다.
본 발명의 일 구현예 및 다른 구현예에 있어서, 상기 여과 단계에서 얻어진 침전물을 시멘트 첨가제 또는 유약으로서 사용할 수 있다.
본 발명의 재활용 방법에 따르면, 얻어진 침전물의 결정 크기가 크게 증가된 상태이기 때문에 여과성이 대폭 개선되어 불소 함유 화합물을 함유하는 폐수로부터 불소 함유 화합물을 짧은 시간내에 무해하고 안정하게 처리할 수 있으며 이로부터 얻어진 부산물은 유용한 시멘트 첨가제 및 도자기 유약과 같이 산업기초원료로서 유용하게 재활용될 수 있다.
따라서 다양한 산업 분야에서 배출되는 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수로부터 불소 함유 화합물을 신속하고 효과적으로 처리하여 유용한 산업 기초 원료로서 회수할 수 있기 때문에 본 발명은 자원 재활용 및 환경오염의 최소화라는 관점에서 매우 유용하다.
이하, 본 발명의 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수에서 불소 함유 화합물을 처리하여 유용한 산업 기초 원료로서 재활용하는 방법에 대하여 상세히 설명한다.
[제1 구현예: 직접가열법]
본 발명의 제1 구현예에 따른 불소 함유 화합물의 재활용 방법은,
(a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
(b) 상기 1차 중화된 폐수를 가열하는 단계;
(c) 상기 가열된 1차 중화된 폐수에 중화제와 알루미늄 성분을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 침전시키는 단계; 및
(d) 상기 폐수로부터 상기 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제1 구현예에 따른 재활용 방법의 각 단계에 대하여 더 상세히 설명한다.
먼저, 상기 (a) 단계는 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계이다. 상기 혼합시 반응속도 상승 및 반응 효율을 증가시키기 위하여 교반하는 것이 바람직하다. 혼합 방법은 폐수 중에 중화제를 첨가하는 방법, 중화제 수용액 중에 폐수를 첨가하는 방법, 또는 폐수와 중화제 수용액을 동시에 첨가하는 방법 중 어느 방법을 사용하여도 좋다.
상기 폐수는 반도체 제조 공정, 액정 표시 소자 제조 공정, 태양 전지 제조공정, 및 실리콘 에칭 공정 등에서 유리 기판 또는 유리층을 불산 등을 이용하여 식각하는 유리 식각 공정에서 배출되는 폐수가 대표적이지만, 이에 한정되지 않는다. 상기 폐수는 통상적으로 H2SiF6, SiO2, HF 및 이들로부터 해리된 불소 이온 및 규소 이온을 용질로서 포함하고 있으며, 뿐만 아니라 계면활성제 등의 기타 첨가제를 더 포함할 수 있다. 상기 폐수로서는 통상적으로 상기한 바와 같은 규불화수소산과 같은 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수를 이용한다. 상기 중화제는 이에 한정되지 않지만 생석회, 소석회, 및 탄산칼슘으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다. 상기 중화제는 20 ~ 60중량%, 구체적으로는 50 ~ 60중량%의 알칼리 수용액의 형태로 사용할 수 있다. 이 수용액 중에 포함된 물은 폐수를 희석하는 역할을 할 수 있다.
상기 1차 중화 단계에서 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수와 중화제를 혼합하고 교반하여 상기 폐수를 1차 중화함으로써 상기 폐수의 pH를 3 ~ 3.5로 조정한다. pH가 3 미만이면 설비 부식 염려가 크고 pH가 3.5를 초과하면, 폐수의 점도가 상승하여 교반에 과도한 에너지가 소모될 수 있다.
특정한 이론에 구속되고자 하는 의도는 아니지만, 상기 폐수의 pH를 3 ~ 3.5로 조정함으로써 폐수 중의 불소 이온이 안정된 불소화합물로 존재하는 방향으로 평형이 이동하는 것으로 추정된다.
이어서, (b) 단계에서 1차 중화된 폐수를 예를 들면 50℃ ~ 100℃, 구체적으로 60℃ ~ 80℃ 또는 70℃ ~ 80℃, 더 구체적으로는 65℃ ~ 75℃, 더 구체적으로는 68℃ ~ 72℃, 특히 약 70℃로 가열되는 것이 바람직하다. 가열온도를 80℃ 초과로 하는 것은 에너지 비용의 측면에서 바람직하지 않다. 특정한 이론에 구속되려고 하는 것은 아니지만, 이와 같은 고온 상태에서 규불화수소산과 분해되어 불소 화합물로 변화되는 것으로 추정된다. 만일 (a) 단계의 1차 중화 단계 이전에 폐수를 가열하면 불산 가스가 기화되어 반응이 격렬해지고 설비를 부식시킬 수 있으므로 바람직하지 않다.
계속하여, (c) 단계에서 상기 가열된 1차 중화된 폐수에 중화제와 알루미늄 성분을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시킨다.
상기 중화제는 이에 한정되지 않지만 생석회, 소석회, 및 탄산칼슘으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다. 상기 중화제는 20 ~ 60중량%, 구체적으로는 50 ~ 60중량%의 알칼리 수용액의 형태로 사용할 수 있다. 이 수용액 중에 포함된 물은 폐수를 희석하는 역할을 할 수 있다.
이 2차 중화 단계에서 상기 폐수를 2차 중화함으로써 상기 폐수의 pH를 5 ~ 11, 바람직하게는 여과성 향상의 측면에서 pH를 5 ~ 6, 구체적으로 5.5 ~ 6으로 조정한다. 상기 폐수의 pH를 5 ~ 11로 조정함으로써 침전물의 입자 크기를 증가시킴으로써 여과성을 대폭 증가시킬 수 있다. 특별한 이론에 구속되려고 하는 의도는 아니지만, 이는 규불화수소산의 분해를 촉진하여 규산염의 석출량을 높이고 후속 단계에서 불소 이온과 알루미늄 성분과의 반응에 의한 침전 형성을 촉진하기 때문인 것으로 추정된다.
2차 중화 단계에서 중화제와 동시에 첨가되는 알루미늄 성분은 예를 들면 황산 알루미늄, 폴리염화알루미늄, 알루미늄 분말, 수산화알루미늄, 질산 알루미늄, 및 황산 알루미늄 암모늄(ammonium aluminium sulfate)으로부터 선택된 적어도 1종일 수 있다. 이 알루미늄 성분은 이전 단계에서 제거되지 않은 잔류 불소 이온과 반응하여 안정한 침전물을 형성함으로써 침전물의 여과성을 대폭 향상시키는 역할을 한다. 즉 알루미늄 성분이 미반응된 불소 이온과 반응하여 슬러지 형태의 침전물로 전환시킴으로써 침전물의 입자 크기가 증가하여 여과성이 좋아진다.
상기 폐수가 규불화수소산과 같은 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수이고, 상기 알루미늄 성분이 상기 알루미늄 성분의 순도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 함유 분말의 형태 또는 상기 알루미늄 성분의 농도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 수용액의 형태로 첨가되는 경우, 알루미늄 성분 수용액은 폐수 중에 존재하는 상기 용질의 중량을 기준으로 0.1중량% 내지 1중량%의 함량으로 첨가되는 것이 바람직하다.
마지막으로, (d) 단계에서 상기 폐수로부터 침전물을 여과에 의하여 고액 분리되어 회수한다. 본 발명에서는 상기한 바와 같이 단계의 조합에 의하여 침전물의 입자 크기 및 양이 증가하고 미량의 불소 이온까지도 침전으로 석출되므로 미세 입자로 인한 여재 막힘(clogging) 현상을 방지할 수 있어서 침전물의 여과성이 대폭 향상되고 여액 중의 불소 이온 함량이 대폭 저감되는 장점을 갖는다.
여과방법은 특별히 한정되지 않으며 원심 분리, 진공 여과, 가압 여과, 중력 여과 등의 공지 방법을 이용할 수 있다.
[제2 구현예: 생석회 반응열 이용법]
본 발명의 제2 구현예에 따른 불소 함유 화합물의 재활용 방법은,
(a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
(b) 상기 1차 중화된 폐수에 생석회 분말을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 생석회가 소석회로 수화되는 반응의 수화열을 이용하여 상기 폐수의 온도를 증가시키고 이후 상기 폐수 중에 알루미늄 성분을 더 첨가하여 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시키는 단계; 및
(c) 상기 폐수로부터 상기 불소 함유 화합물의 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제2 구현예에 있어서, 상기 (b) 단계에서 물을 더 첨가하는 것이 교반성 및 여과성 향상의 측면에서 바람직하며, 구체적으로 상기 폐수의 중량을 기준으로 30 중량% 내지 50중량% 정도의 물을 더 첨가하는 것이 바람직하다.
위에서 논의한 제1 구현예에 따른 불소 함유 화합물의 재활용 방법과 비교할 때 본 제2 구현예에 따른 불소 함유 화합물의 재활용 방법은 (a) 1차 중화 단계와 (c) 2차 중화 단계의 사이에 독립적인 (b) 폐수 가열 단계를 마련하는 대신, 제1 구현예의 재활용 방법의 (c) 2차 중화 단계에서 분말 상태로 첨가되는 생석회가 소석회로 수화되는 반응의 수화열을 이용하여 폐수를 가열함으로써 pH와 온도를 동시에 조정하는 점에서 차이가 있다. 이외에는 본질적으로 본 제2 구현예에 따른 재활용 방법은 제1 구현예에 따른 재활용 방법과 동일하다. 따라서 제1 구현예의 각 단계에서 논의된 설명이 본 제2 구현에도 그대로 적용될 수 있다.
상기 제1 및 제2 구현예의 여과 단계에서 얻어진 여과액은 1차 중화 단계 또는 상기 2차 중화 단계에서의 중화제로서 재순환될 수 있으며, 이 경우 폐기물 발생량이 대폭 절감될 수 있다.
상기 제1 및 제2 구현예의 여과 단계에서 얻어진 침전물은 불화 칼슘을 많이 포함하고 있으므로 시멘트의 강도를 증가시키기 위한 시멘트 첨가제 또는 도자기 제조시이 유약 등 유용한 산업 기초 원료로서 재활용될 수 있다.
이하, 하기 실시예를 통하여 본 발명을 더 구체적으로 설명한다. 다만, 하기 실시예는 본 발명을 예시하여 보다 구체화하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 발명의 권리범위는 특허청구 범위에 기재된 사항과 이로부터 합리적으로 유추되는 사항에 의해 결정되는 것이기 때문이다.
실시예 1
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g과 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 0.5중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 올리고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
실시예 2
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 30중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 300g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크 내에 생석회 60g을 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 올리고 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 0.5중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
실시예 3
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g과 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 0.1중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 올리고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
실시예 4
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g과 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 1중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 올리고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
비교예 1
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 120g을 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 4로 조정하고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
비교예 2
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 폐액 온도를 약 30℃로 유지하였다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g을 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 조정하고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
비교예 3
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g을 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 조정하고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
비교예 4
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 플라스크를 가열 맨틀로 가열하여 폐액 온도를 약 70℃로 올렸다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 120g과 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 0.5중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 4로 올리고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
비교예 5
기계식 교반기, 온도계 및 환류 냉각기가 장착된 1,000ml 3구 플라스크를 가열 맨틀에 위치시켰다. 상기 플라스크에 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 200g 및 액정 표시 소자 제조공장의 유리 기판 식각 공정으로부터 배출된 불소화합물 함유 폐수(규불화수소산 등의 용질 함량 25 ~ 26%) 200g을 넣고 약 30분 동안 교반하며 폐수의 pH를 약 3으로 낮추었다.
상기 폐액 온도를 약 30℃로 유지하였다. 이 온도를 유지하며 50중량% 농도의 탄산칼슘 수용액 160g과 황산알루미늄 순도 17중량%의 황산알루미늄 분말 0.5중량%(상기 폐수 중에 존재하는 용질의 중량 기준)를 플라스크에 투입하여 폐수의 pH를 약 5로 올리고 약 30분 동안 교반을 계속하였다.
이후, 지름 12cm의 부흐너 깔대기위에 놓인 여과지 위에 상기 반응 혼합물을 붓고 아스피레이터를 이용한 진공 흡입 여과에 의하여 침전물 슬러지 및 여과액을 고액 분리하였다.
실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 5의 여과속도, 침전물 슬러지량, 침전물 슬러지 함수율, 여과액의 불소 이온 함량의 측정 결과를 표 1에 나타내었다.
하기 표 1에서 여과액 중의 불소 함량 및 침전물 슬러지 함수율은 다음과 같이 측정하였다.
여과액 중의 불소 함량
불소 이온 용출특성을 확인하는 여과액 중의 불소 함량은 다음과 같은 절차를 통하여 측정하였다. 상기 실시예 및 비교예에서 얻은 침전물 시료와 용매를 1:10의 비율로 혼합하여 혼합액이 500 mℓ 이상이 되도록 한 후(용매는 증류수에 염산을 가하여 pH 5.8~6.3으로 조절된 것을 사용한다), 진탕 횟수가 분당 약 200회, 진폭이 4~5cm의 진탕기에서 6시간 연속으로 진탕한 후 여과액을 적당량 취하여 시험용액으로 한다. 여과가 곤란한 경우에는 진탕액 시료액을 원심분리기를 사용하여 3,000회전 이상으로 20분 이상 원심분리한 후 상등액을 시험용액으로 한다. 이 시험용액으로부터 흡광광도측정법으로 여과액 중의 불소 함량을 측정한다.
침전물 슬러지 함수율
적외선 수분측정장치(제조사: KETT, 모델명: FD-610)를 사용하여 상기 실시예 및 비교예에서 얻은 침전물에 대하여 수분함량을 측정하였다. 이 방법은 온도 상승에 따라 시료의 수분이 증발되는 무게차이를 이용한 측정법이다.
구분 여과 시간 침전물
슬러지량
(g)		 침전물 슬러지
함수율
(%)		 여과액 중의
불소 함량
(ppm)		 비고
실시예 1 1분 50초 325 45 6 Al 0.5%
실시예 2 1분 30초 310 47 8 Al 0.5%;
생석회 분말
실시예 3 2분 325 45 15 Al 0.1%
실시예 4 2분 340 49 4 Al 1%
비교예 1 2시간 200 42 80 pH4; Al 사용하지 않음
비교예 2 1시간 350 60 30 30℃; Al 사용하지 않음
비교예 3 2분 330 46 20 Al 사용하지 않음
비교예 4 2시간 208 45 30 pH 4, Al
비교예 5 1시간 355 61 25 30℃, Al
표 1을 참조하면, 본 발명의 재활용 방법에 따른 실시예 1 내지 4의 경우, 침전물 슬러지의 입자 크기가 증가하여 여과성이 크게 개선됨으로써 여과 시간이 2분 이하이었으며, 여과액 중의 불소 이온 함량이 15ppm 이하의 무해한 수준으로 저감된 것을 확인할 수 있다. 이에 비하여 본 발명의 재활용 방법에 따르지 않는 비교예 1 내지 5의 경우, 여과 시간이 1시간 내지 2시간으로 여과에 매우 많은 시간이 소요되었으며, 여과액 중의 불소 이온 함량도 20ppm 내지 80ppm로 유해한 수준인 것을 확인할 수 있다.

Claims (16)

  1. (a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
    (b) 상기 1차 중화된 폐수를 가열하는 단계;
    (c) 상기 가열된 1차 중화된 폐수에 중화제와 알루미늄 성분을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시키는 단계; 및
    (d) 상기 폐수로부터 상기 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 3 ~ 3.5로 조정되고, 상기 (c) 2차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 5 ~ 11로 조정되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계 및 상기 (c) 2차 중화 단계에서 상기 중화제는 20 ~ 60중량%의 알칼리 수용액인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 (b) 가열 단계에서 상기 1차 중화된 폐수는 50℃ ~ 100℃로 가열되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계 및 상기 (c) 2차 중화 단계에서 사용되는 중화제는 생석회, 소석회, 및 탄산칼슘으로부터 선택된 적어도 1종인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 (c) 2차 중화 단계에서 사용되는 알루미늄 성분은 황산 알루미늄, 폴리염화알루미늄, 알루미늄 분말, 수산화알루미늄, 질산 알루미늄, 및 황산 알루미늄 암모늄(ammonium aluminium sulfate)으로부터 선택된 적어도 1종인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 폐수가 상기 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수이고, 상기 알루미늄 성분이 상기 알루미늄 성분의 순도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 함유 분말의 형태 또는 상기 알루미늄 성분의 농도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 수용액의 형태로 첨가되는 경우, 상기 알루미늄 성분 함유 분말 또는 상기 알루미늄 성분 수용액은 상기 폐수 중에 존재하는 상기 용질의 중량을 기준으로 0.1중량% 내지 1중량%의 함량으로 첨가되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  8. (a) 불소 함유 화합물을 포함하는 폐수 및 중화제를 혼합하여 상기 폐수를 1차 중화하는 단계;
    (b) 상기 1차 중화된 폐수에 생석회 분말을 첨가하여 상기 폐수를 2차 중화하고 상기 생석회가 소석회로 수화되는 반응의 수화열을 이용하여 상기 폐수의 온도를 증가시키고 이후 상기 폐수 중에 알루미늄 성분을 더 첨가하여 상기 폐수중의 불소 함유 화합물을 상기 알루미늄 성분과 반응시켜 침전시키는 단계; 및
    (c) 상기 폐수로부터 상기 침전물을 여과하여 회수하는 단계를 포함하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 3 ~ 3.5로 조정되고, 상기 (b) 2차 중화 단계에서 상기 폐수의 pH는 5 ~ 11로 조정되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 상기 중화제는 20 ~ 60중량%의 알칼리 수용액인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  11. 제8항에 있어서, 상기 (b) 단계에서 물을 더 첨가하는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  12. 제8항에 있어서, 상기 (a) 1차 중화 단계에서 사용되는 중화제는 생석회, 소석회, 및 탄산칼슘으로부터 선택된 적어도 1종인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  13. 제8항에 있어서, 상기 (b) 2차 중화 단계에서 사용되는 알루미늄 성분은 황산 알루미늄, 폴리염화알루미늄, 알루미늄 분말, 수산화알루미늄, 질산 알루미늄, 및 황산 알루미늄 암모늄(ammonium aluminium sulfate)으로부터 선택된 적어도 1종인 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 폐수가 상기 불소 함유 화합물을 포함하는 용질 20중량% 내지 30중량%를 포함하는 폐수이고, 상기 알루미늄 성분이 상기 알루미늄 성분의 순도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 함유 분말의 형태 또는 상기 알루미늄 성분의 농도 10 중량% 내지 30중량%의 알루미늄 성분 수용액의 형태로 첨가되는 경우, 상기 알루미늄 성분 함유 분말 또는 상기 알루미늄 성분 수용액은 상기 폐수 중에 존재하는 상기 용질의 중량을 기준으로 0.1중량% 내지 1중량%의 함량으로 첨가되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  15. 제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 여과 단계에서 얻어진 여과액을 상기 1차 중화 단계 또는 상기 2차 중화 단계에서의 중화제로서 재순환하는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
  16. 제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 여과 단계에서 얻어진 침전물을 시멘트 첨가제 또는 유약으로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 폐수로부터 불소 함유 화합물의 재활용 방법.
KR1020140005286A 2014-01-15 2014-01-15 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술 KR20150085427A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140005286A KR20150085427A (ko) 2014-01-15 2014-01-15 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140005286A KR20150085427A (ko) 2014-01-15 2014-01-15 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150085427A true KR20150085427A (ko) 2015-07-23

Family

ID=53875447

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140005286A KR20150085427A (ko) 2014-01-15 2014-01-15 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150085427A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190067507A (ko) * 2017-12-07 2019-06-17 최윤진 친환경성 및 고액 분리 성능이 개선된 암모늄계 불소화합물 함유 폐액의 처리방법
KR20200096247A (ko) * 2017-12-27 2020-08-11 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 폐수의 처리 방법
KR20200098539A (ko) * 2017-12-27 2020-08-20 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 폐수의 처리 방법
CN113247931A (zh) * 2021-07-14 2021-08-13 赛恩斯环保股份有限公司 一种稀土行业高氨高盐废液资源化治理方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190067507A (ko) * 2017-12-07 2019-06-17 최윤진 친환경성 및 고액 분리 성능이 개선된 암모늄계 불소화합물 함유 폐액의 처리방법
KR20200096247A (ko) * 2017-12-27 2020-08-11 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 폐수의 처리 방법
KR20200098539A (ko) * 2017-12-27 2020-08-20 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 폐수의 처리 방법
CN113247931A (zh) * 2021-07-14 2021-08-13 赛恩斯环保股份有限公司 一种稀土行业高氨高盐废液资源化治理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101656825B1 (ko) 폐수로부터 불소 성분을 제거하는 조성물 및 이를 이용하여 폐수로부터 불소 성분을 제거하는 방법
KR101751691B1 (ko) 알칼리 세라믹 혼화제를 이용한 불산폐수나 폐산 처리방법
CN108368564B (zh) 砷的固定方法及含砷玻璃固化体
KR20150085427A (ko) 폐불소화합물을 무해하게 안정화시켜 산업 기초 원료로 제조하여 재활용하는 기술
KR102156734B1 (ko) 보크사이트잔사물에 생석회를 혼합하여 활성 산화칼슘을 다량 함유한 고형분의 알칼리 폐산중화제를 제조하고 황산폐산을 중화한 중화물은 시멘트 응결지연제등 산업용 소재로 활용하는 방법
US9764963B2 (en) Method for the production of free flowing synthetic calcium fluoride and use thereof
KR102027999B1 (ko) 친환경성 및 고액 분리 성능이 개선된 암모늄계 불소화합물 함유 폐액의 처리방법
KR101674129B1 (ko) 불소 함유 폐슬러리로부터 불화나트륨의 제조 방법
EP2118000B1 (en) Preparation of hydrogen fluoride from calcium fluoride and sulfuric acid
KR101559852B1 (ko) 식각공정에서 발생하는 붕불산 폐수의 처리방법
JP2006231245A (ja) シリコンスラッジの処理方法
KR20180110723A (ko) 바이패스 더스트를 이용한 염화칼륨의 제조방법
JP2004305833A (ja) 廃棄物の安定化処理方法
JP6467651B2 (ja) アルミニウム化合物溶液の製造方法
KR101095879B1 (ko) 고농도 액상 소석회 제조방법
JP4605754B2 (ja) 珪素含有廃水の処理方法、並びにその生成物を用いた難燃性断熱材および難燃性積層物
KR102233832B1 (ko) 알칼리세라믹 혼화제를 이용한 폐산성물의 중화 후 발생하는 부산물을 함유하는 중금속 흡착용 조성물
KR20180109380A (ko) 반도체 업체의 혼합 폐액을 이용한 질산암모늄과 질산칼슘 혼합염의 제조방법
KR20150034999A (ko) 순환골재 처리수 및 레미콘 회수수의 중성화 방법 및 중성화 장치
KR102356642B1 (ko) 암모늄계 불소화합물 함유 폐액으로부터 고품질 불화나트륨의 회수 방법
KR101902745B1 (ko) 폴리실리콘 슬러지의 처리방법
JP2003062582A (ja) フッ素を含有する排水の処理方法
KR102631442B1 (ko) Boe 폐액의 재활용 방법
KR20020071342A (ko) 삼불화질소 제조공정 반응폐액으로 부터 불화수소암모늄을제조하는 방법
KR101871580B1 (ko) 폴리실리콘 슬러지의 처리방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application