JP2018157106A - 記憶装置および容量素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】回路領域における占有率を低減できる記憶装置および容量素子を提供する。【解決手段】容量素子は、第1方向に積層された複数の第1電極層と、前記複数の第1電極層を貫いて前記第1方向に延びる第1導電体と、前記第1導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間に位置する第1絶縁層と、を備え、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間に設けられた第1容量を含む。【選択図】図1
Description
実施形態は、記憶装置および容量素子に関する。
複数のメモリセルが配置されたメモリ領域と、容量素子を含みメモリセルを駆動する回路領域と、を有する記憶装置が知られている。
実施形態は、回路領域の占有率を低減可能な記憶装置および容量素子を提供する。
実施形態に係る容量素子は、第1方向に積層された複数の第1電極層と、前記複数の第1電極層を貫いて前記第1方向に延びる第1導電体と、前記第1導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間に位置する第1絶縁層と、を備え、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間にそれぞれ設けられた第1容量を含む。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。図面中の同一部分には、同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
さらに、各図中に示すX軸、Y軸およびZ軸を用いて各部分の配置および構成を説明する。X軸、Y軸、Z軸は、相互に直交し、それぞれX方向、Y方向、Z方向を表す。また、Z方向を上方、その反対方向を下方として説明する場合がある。
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態に係る記憶装置1を示す模式図である。記憶装置1は、例えば、3次元配置されたメモリセルを含むフラシュメモリである。図1(a)は、記憶装置1のチップ面の配置を示す平面図である。図1(b)は、図1(a)中に示すA−A線に沿った断面図である。
図1は、第1実施形態に係る記憶装置1を示す模式図である。記憶装置1は、例えば、3次元配置されたメモリセルを含むフラシュメモリである。図1(a)は、記憶装置1のチップ面の配置を示す平面図である。図1(b)は、図1(a)中に示すA−A線に沿った断面図である。
図1(a)に示すように、記憶装置1は、複数のメモリ領域MRと、その周りの周辺領域PRと、を含む。周辺領域PRには、メモリセルを駆動する回路(図示しない)が設けられる。記憶装置1は、容量素子が設けられた受動領域CRをさらに含む。受動領域CRおよびメモリ領域MRは、例えば、Y方向に並べて配置される。
図1(b)に示すように、メモリ領域MRは、ソース層10の上に積層された複数のワード線20と、ソース側選択ゲート30と、ドレイン側選択ゲート40と、を含む。さらに、メモリ領域MRは、チャネル層23と、メモリ層25と、を含む。チャネル層23は、ソース側選択ゲート30と、複数のワード線20と、ドレイン側選択ゲート40と、を貫いてZ方向に延びる。メモリ層25は、ワード線20とチャネル層23との間に位置し、チャネル層23に沿ってZ方向に延びる。
メモリセルは、チャネル層23がワード線20を貫く部分にそれぞれ設けられる。メモリ層25は、ワード線20とチャネル層23との間に位置する部分において、メモリセルの電荷保持層として機能する。チャネル層23は、その下端においてソース層10に電気的に接続される。また、チャネル層23は、その上端に設けられたキャップ層27およびコンタクトプラグ33を介してビット線35に電気的に接続される。
ワード線20は、スリットSTにより、Y方向において隣り合う別のワード線20から電気的に分離され、X方向に延びる。また、Z方向に積層されたワード線20間、ワード線20の最下層とソース側選択ゲート30との間、および、さらに、ワード線20の最上層とドレイン側選択ゲート40との間は、それぞれ層間絶縁層により電気的に絶縁される。スリットSTの内部には、導電体60が設けられる。導電体60は、ソース層10を図示しないソース線に電気的に接続する。
X方向におけるワード線20の両端には、引き出し部HUPが設けられる(図1(a)参照)。引き出し部HUPでは、Z方向に積層されたワード線20の端部が階段状に設けられ、それぞれのワード線20に電気的に接続されたコンタクトプラグが配置される(図10参照)。
図1(b)に示すように、受動領域CRは、絶縁層15と、複数の電極層50と、柱状導電体43、45と、を含む。絶縁層15は、ソース層10の内部に設けられ、その上面は、例えば、ソース層10の上面と同じレベルに位置する。電極層50は、絶縁層15の上に層間絶縁層を介して積層される。柱状導電体43は、電極層50を貫いてZ方向に延び、配線63に電気的に接続される。柱状導電体45は、電極層50を貫いてZ方向に延び、配線65に電気的に接続される。柱状導電体43と電極層50との間には、絶縁層53が設けられる。絶縁層53は、柱状導電体43の側面を囲み、Z方向に延在する。柱状導電体45と電極層50との間には、絶縁層55が設けられる。絶縁層55は、柱状導電体45の側面を囲み、Z方向に延在する。つまり、柱状導電体43および45はソース層10と電気的に絶縁される。
これにより、受動領域CRには、容量素子CE1が設けられる。容量素子CE1は、柱状導電体43、45、配線63および65を含む。配線63および65は、例えば、周辺領域PRに設けられた回路に接続され、容量素子CE1は、その間の容量値を有する回路要素として機能する。
次に、図2を参照して、メモリ領域MRの構成を説明する。図2は、記憶装置1のメモリ領域を示す模式平面図である。
図2に示すように、スリットSTは、X方向に延在し、その内部には、導電体60が設けられる。導電体60は、絶縁層61によりワード線20から電気的に絶縁される。導電体60は、例えば、タングステンを含み、絶縁層61は、例えば、酸化シリコン層である。ワード線20は、Y方向において隣合うスリットSTの間に設けられ、X方向に延びる。ワード線20は、例えば、タングステンなどの含む金属、もしくは、低抵抗のポリシリコンを含む。
複数のチャネル層23がZ方向に積層されたワード線20を貫くように設けられる。チャネル層23は、例えば、柱状に設けられ、メモリ層25は、その側面を囲むように設けられる。チャネル層23は、例えば、ポリシリコン層である。メモリ層25は、例えば、複数の絶縁膜をワード線20からチャネル層23に向かう方向に積層した構造を有する。メモリ層25は、例えば、第1酸化シリコン膜、窒化シリコン膜および第2酸化シリコン膜を順に積層した構造を有する。
メモリ領域MRの上方には、複数のビット線35が設けられる。ビット線35は、例えば、タングステンを含む金属配線であり、それぞれY方向に延在する。チャネル層23は、コンタクトプラグ33を介してビット線35の1つに電気的に接続される。コンタクトプラグ33は、例えば、タングステンなどの金属を含む。なお、図2では、キャップ層27(図1(b)参照)を省略している。
次に、図3および図4を参照して、容量素子CE1を説明する。図3は、受動領域CRに設けられた容量素子CE1を示す模式断面図である。図4は、容量素子CE1の配線63、65を例示する模式平面図である。図3は、図4中に記載の3F−3F線に沿った断面図である。
図3に示すように、絶縁層15は、例えば、酸化シリコン層であり、ソース層10中に設けられる。ソース層10は、例えば、図示しないソース線が表層に形成された基板であり、絶縁層15は、所謂STI(Shallow Trench Isolation)である。
電極層50は、スリットST間において絶縁層15の上に積層される。Z方向において隣り合う電極層50は、例えば、酸化シリコン層などの層間絶縁層を介して相互に絶縁される。電極層50は、例えば、タングステンなどを含む金属層である。また、電極層50は、低抵抗のポリシリコン層であっても良い。
柱状導電体43および45は、それぞれ電極層50を貫いてZ方向に延びる。柱状導電体43および45の下端は、例えば、絶縁層15中に位置する。すなわち、柱状導電体43および45は、ソース層10から電気的に絶縁される。また、柱状導電体43および45は、その上端に設けられたキャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して、配線63および65にそれぞれ接続される。
柱状導電体43、45は、例えば、タングステンなどの金属を含む。また、柱状導電体43、45は、例えば、ポリシリコンを含んでも良い。キャップ層47は、例えば、低抵抗のポリシリコン層である。コンタクトプラグ49は、例えば、タングステンなどの金属を含む。配線63、65は、例えば、タングステンなどを含む金属配線であり、端子TC1およびTC2を有する。
柱状導電体43と電極層50との間には、絶縁層53が設けられる。また、柱状導電体45と電極層50との間には、絶縁層54が設けられる。絶縁層53、54は、例えば、酸化シリコン層である。また、絶縁層53、54は、例えば、複数の絶縁膜を積層した構造を有しても良い。
図3に示すように、柱状導電体43と電極層50との間には、容量C1が介在する。また、柱状導電体45と電極層50との間には、容量C2が介在する。そして、配線63と配線65との間において、容量C1は、電極層50を介して容量C2に直列接続される。結果として、容量素子CE1の端子間容量CT1は、次式(1)で表される。
1/CT1=1/ΣC1+1/ΣC2 ・・・(1)
ここで、Σは、各容量の和を表す。以下の容量値についても同様に表される。
1/CT1=1/ΣC1+1/ΣC2 ・・・(1)
ここで、Σは、各容量の和を表す。以下の容量値についても同様に表される。
図4に示すように、配線63は、例えば、第1部分63aと、第2部分63bと、を含む。第1部分63aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分63bは、柱状導電体43の上方において、第1部分63aから−Y方向に延びる。柱状導電体43は、コンタクトプラグ49を介して第2部分63bに接続される。なお、図4では、配線63および65の一部を切り取り、キャップ層47を省略して表している。
配線65は、例えば、第1部分65aと、第2部分65bと、を含む。第1部分65aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分65bは、柱状導電体45の上方において、第1部分65aからY方向に延びる。柱状導電体45は、コンタクトプラグ49を介して第2部分65bに接続される。
容量素子CE1では、例えば、第1部分63a、65aの長さ、および、第2部分63b、65bの数を変えることにより、配線63および65に接続される柱状導電体43および45の数を変更することができる。これにより、端子間容量CT1を変更することが可能である。
このように、本実施形態では、柱状導電体43と電極層50との間の容量C1、柱状導電体45と電極層50との間のC2により容量素子CE1を構成することができる。すなわち、3次元分布する容量C1、C2を用いることにより、例えば、X−Y平面内に設けられる2次元容量を用いる場合に比べて、チップ面内に占める容量素子CE1の面積を10分の1から20分の1に縮小するすることができる。また、柱状導電体43、45および電極層50は、例えば、メモリ領域MRのチャネル層23、ワード線20、選択ゲート30および40と同時に形成することができ、製造工程を簡略化することも可能である。
図5は、第1実施形態の第1変形例に係る容量素子CE2を示す模式断面図である。図6は、容量素子CE2の配線63、65、67を示す模式平面図である。図5は、図6中に記載の5F−5F線に沿った断面図である。容量素子CE2は、電極層50、150、柱状導電体73、75、83、85および配線63、65、67を含む。配線63は、端子TC1に接続され、配線65は、端子TC2に接続される。この例においても、ソース層10の表層に絶縁層15(STI)が設けられる。
電極層50は、例えば、タングステンなどを含む金属層である。また、電極層50は、低抵抗のポリシリコン層であっても良い。柱状導電体73、75、83および85は、例えば、タングステンなどの金属を含む。また、柱状導電体73、75、83および85は、例えば、ポリシリコンを含んでも良い。配線67は、例えば、タングステンなどを含む金属配線である。
この例では、ソース層10の上に電極層50および150がそれぞれ積層される。電極層150は、スリットSTにより電極層50から分離されている。電極層50および150は、それぞれスリットSTに沿ってX方向に延在する。
柱状導電体73および75は、それぞれ複数の電極層50を貫いてZ方向に延びる。柱状導電体73と電極層50との間には、絶縁層77が設けられる。絶縁層77は、柱状導電体73の側面を囲み、Z方向に延在する。柱状導電体75と電極層50との間には、絶縁層79が設けられる。絶縁層79は、柱状導電体75の側面を囲み、Z方向に延在する。柱状導電体73および75の下端は、例えば、絶縁層15中に位置し、柱状導電体73および75は、絶縁層15および77、絶縁層15および79によりそれぞれソース層10から電気的に絶縁される。絶縁層77、79は、例えば、酸化シリコン層である。また、絶縁層77、79は、例えば、複数の絶縁膜を積層した構造を有しても良い。
さらに、柱状導電体73は、キャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して配線63に電気的に接続される。柱状導電体75は、同様にキャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して配線67に電気的に接続される。
柱状導電体83および85は、それぞれ複数の電極層150を貫いてZ方向に延びる。柱状導電体83と電極層150との間には、絶縁層87が設けられる。絶縁層87は、柱状導電体83の側面を囲み、Z方向に延在する。柱状導電体85と電極層150との間には、絶縁層89が設けられる。絶縁層89は、柱状導電体85の側面を囲み、Z方向に延在する。柱状導電体83および85の下端は、例えば、絶縁層15中に位置し、柱状導電体83および85は、絶縁層15および87、絶縁層15および89によりそれぞれソース層10から電気的に絶縁される。絶縁層87、89は、例えば、酸化シリコン層である。また、絶縁層87、89は、例えば、複数の絶縁膜を積層した構造を有しても良い。
さらに、柱状導電体83は、キャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して配線67に電気的に接続される。柱状導電体85は、同様にキャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して配線65に電気的に接続される。
図5に示すように、柱状導電体73と電極層50との間には、容量C1が介在する。また、柱状導電体75と電極層50との間には、容量C2が介在する。そして、配線63と配線67との間において、容量C1は、電極層50を介して容量C2に直列接続される。
また、柱状導電体83と電極層150との間には、容量C3が介在する。容量C3は、配線67を介して容量C2に直列接続される。また、柱状導電体85と電極層150との間には、容量C4が介在する。そして、配線67と配線65との間において、容量C3は、電極層150を介して容量C4に直列接続される。
結果として、容量素子CE2の端子間容量CT2は、次式(2)で表される。
1/CT2=1/ΣC1+1/ΣC2+1/ΣC3+1/ΣC4・・・(2)
図6に示すように、配線63は、例えば、第1部分63aと、第2部分63bと、を含む。第1部分63aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分63bは、柱状導電体73の上方において、第1部分63aから−Y方向に延びる。柱状導電体73は、コンタクトプラグ49を介して第2部分63bに接続される。なお、図6では、配線63、65および67の一部を切り取り、キャップ層47を省略して表している。
1/CT2=1/ΣC1+1/ΣC2+1/ΣC3+1/ΣC4・・・(2)
図6に示すように、配線63は、例えば、第1部分63aと、第2部分63bと、を含む。第1部分63aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分63bは、柱状導電体73の上方において、第1部分63aから−Y方向に延びる。柱状導電体73は、コンタクトプラグ49を介して第2部分63bに接続される。なお、図6では、配線63、65および67の一部を切り取り、キャップ層47を省略して表している。
配線65は、例えば、第1部分65aと、第2部分65bと、を含む。第1部分65aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分65bは、柱状導電体85の上方において、第1部分65aからY方向に延びる。柱状導電体85は、コンタクトプラグ49を介して第2部分65bに接続される。
配線67は、例えば、第1部分67aと、第2部分67bと、第3部分67cと、を含む。第1部分67aは、例えば、スリットSTの上方において、X方向に延びる。第2部分67bは、柱状導電体75の上方において、第1部分67aからY方向に延びる。柱状導電体75は、コンタクトプラグ49を介して第2部分67bに接続される。また、第3部分67cは、柱状導電体83の上方において、第1部分67aから−Y方向に延びる。柱状導電体83は、コンタクトプラグ49を介して第3部分67cに接続される。
容量素子CE2では、例えば、第1部分63a、65a、67aの長さ、第2部分63b、65b、67bの数、および、第3部分67cの数を変えることにより、配線63、65および67に接続される柱状導電体73、75、83および85の数を変更することができる。これにより、端子間容量CT2を変更することができる。
この例では、端子TC1と端子TC2との間において、容量C1、C2、C3、C4が直列に接続される。例えば、容量C1、C2、C3およびC4の耐圧が同じであるとすれば、容量素子CE2は、容量素子CE1の2倍の耐圧を有する。すなわち、柱状導電体と電極層との間の容量の直列数を増やすことにより、高耐圧の容量素子を実現できる。
図7は、第1実施形態の第2変形例に係る容量素子CE3を示す模式断面図である。図8は、容量素子CE3の配線を示す模式平面図である。図7は、図8中に記載の7F−7F線に沿った断面図である。容量素子CE3は、電極層50、柱状導電体91および配線95、97を含む。配線95は、端子TC1に接続され、配線97は、コンタクトプラグ101および103を介してソース層10に電気的に接続される。また、電極層50は、その端部において階段状に設けられ、各電極層50は、コンタクトプラグ105および107を介して配線97に電気的に接続される。配線95、97は、例えば、タングステンなどを含む金属配線である。コンタクトプラグ101、103、105および107は、例えば、タングステンなどの金属を含む。
電極層50は、絶縁層15を含むソース層10の上に積層される。柱状導電体91は、絶縁層15が設けられた部分において、複数の電極層50を貫いてZ方向に延びる。柱状導電体91の下端は、例えば、絶縁層15中に位置する。これにより、柱状導電体91は、ソース層10から電気的に絶縁される。また、柱状導電体91は、その上端に設けられたキャップ層47およびコンタクトプラグ49を介して、配線95に電気的に接続される。柱状導電体91は、例えば、タングステンなどの金属を含む。また、柱状導電体91は、例えば、ポリシリコンを含んでも良い。
柱状導電体91と電極層50との間には、絶縁層93が設けられる。絶縁層93は、柱状導電体91の側面を囲み、Z方向に延在する。絶縁層93は、例えば、酸化シリコン層である。また、絶縁層93は、例えば、複数の絶縁膜を積層した構造を有しても良い。柱状導電体91と電極層50との間には、容量C1が介在する。この例では、配線95と配線97との間において、複数の容量C1が並列に配置される。容量素子CE3は、端子TC1と配線97との間において容量ΣC1を有する。
図8に示すように、配線95は、例えば、X方向に延在する電極層50と交差するように設けられ、柱状導電体91の上方においてY方向に延在する。柱状導電体91は、コンタクトプラグ49を介して配線95に接続される。なお、図8では、配線95の一部を切り取り、キャップ層47を省略して表している。
例えば、複数の配線95が設けられ、それぞれ端子TC1に接続される。すなわち、配線95毎に容量素子CE3が設けられる。容量素子CE3は、それに接続される柱状導電体91の数に依存した容量値を有する。また、配線97は、アース電位に接続されても良い。
[第2実施形態]
図9は、第2実施形態に係る容量素子CE4を示す模式断面図である。容量素子CE4は、Z方向に積層された複数の電極層120と、コンタクトプラグCPAおよびCPBと、を備える。
図9は、第2実施形態に係る容量素子CE4を示す模式断面図である。容量素子CE4は、Z方向に積層された複数の電極層120と、コンタクトプラグCPAおよびCPBと、を備える。
電極層120は、例えば、ソース層110の上に層間絶縁層121を介して積層される。ソース層110は、例えば、基板の表層に設けられた導電層である。電極層120は、階段状に形成された2つの端部を有し、それぞれコンタクトプラグCPAおよびCPBに電気的に接続される。電極層120は、コンタクトプラグCPAに接続された電極層120Aと、コンタクトプラグCPBに接続された電極層120Bと、を含む。電極層120Aおよび120Bは、交互に積層される。
電極層120は、例えば、タングステン等を含む金属層である。また、電極層120は、例えば、低抵抗のポリシリコン層であっても良い。層間絶縁層121は、例えば、シリコン酸化層である。そして、電極層120Aおよび電極層120Bとの間には、電極間容量CABが介在する。容量素子CE4は、コンタクトプラグCPAおよびCPBの間において容量ΣCABNを有する。ここで、Nは、正の整数であり、CABNは、ソース層110からN番目に位置する電極間容量である。
図10は、比較例に係る容量素子CE5を示す模式断面図である。容量素子CE5は、Z方向に積層された複数の電極層120と、複数のコンタクトプラグCPA、および複数のコンタクトプラグCPBと、を備える。
電極層120は、例えば、ソース層110の上に層間絶縁層121を介して積層される。電極層120は、階段状に形成された端部を有し、それぞれコンタクトプラグCPAおよびCPBに電気的に接続される。電極層120は、コンタクトプラグCPAに接続された電極層120Aと、コンタクトプラグCPBに接続された電極層120Bと、を含む。電極層120Aおよび120Bは、交互に積層される。コンタクトプラグCPAは、端子TCAに接続され、コンタクトプラグCPBは、端子TCBに接続される。容量素子CE5は、端子TCAおよびTCBの間において容量ΣCABNを有する。
容量素子CE5では、電極層120のそれぞれの端部において、各電極層120と、1つのコンタクトプラグCPAもしくはCPBが接続される。このため、各電極層120の端部において、コンタクトプラグCPAもしくはCPBとの接続マージンを含むステップ幅を要する。このため、電極層120の積層数が増えると、Y方向における階段の幅が広くなり、容量素子CE5のチップ面における占有面積が大きくなる。
これに対し、容量素子CE4では、電極層120Aおよび120Bに接続されるコンタクトプラグCPAおよびCPBは、それぞれ1つである。したがって、接続マージンを小さくすることが可能であり、電極層120の階段幅をより狭くすることができる。これにより、容量素子CE4のチップ面における占有面積を小さくすることが可能となる。
次に、図11〜図18を参照して、容量素子CE4の製造方法を説明する。図11〜図18は、第2実施形態に係る容量素子CE4の製造過程を示す模式断面図である。
図11は、ソース層110の上に形成された積層体130を示す模式断面図である。積層体130は、複数の層間絶縁層121と、複数の導電層220と、絶縁層123と、を含む。層間絶縁層121と導電層220とはZ方向に交互に積層される。層間絶縁層121は、例えば、シリコン酸化層であり、導電層220は、例えば、タングステンを含む金属層である。絶縁層123は、例えば、シリコン窒化層であり、層間絶縁層121の最上層の上に形成される。
図12(a)は、積層体130の上面を示す模式平面図である。図12(b)は、図12(a)中に示すB−B線に沿った積層体130の模式断面図である。積層体130の上面には、マスク125が設けられる。マスク125は、例えば、フォトレジストであり、フォトリソグラフィを用いて所定の形状にパターニングされる。
図12(a)に示すように、マスク125は、第1部分125aと、第2部分125bと、第3部分125cと、を含む。第2部分125bは、第1部分125aから−X方向に延在し、第3部分125cは、第1部分125aからX方向に延在する。第2部分125bおよび125cは、Y方向において交互に配置され、それぞれ−X方向およびX方向に延びるように設けられる。
図12(b)に示すように、マスク125を用いたドライエッチングにより、絶縁層123、層間絶縁層121および導電層220Tを選択的に除去し、第1段差を形成する。導電層220Tは、導電層220の最上層である。このエッチングは、例えば、絶縁層123および121を導電層220Tに対して選択的に除去した後、導電層220Tを層間絶縁層121に対して選択的に除去する条件下で実施される。以下のエッチングも、同様に実施される。
図13(a)は、積層体130の上面を示す模式平面図である。図13(b)は、図13(a)中に示すC−C線に沿った積層体130の模式断面図である。積層体130の上面には、マスク127が設けられる。
図13(a)に示すマスク127は、マスク125の第1部分125aよりも広いX方向の幅を有し、図12(b)に示すエッチングにおいて、導電層220Tの左端に形成された第1段差を覆う。
図13(b)に示すように、マスク127の左側では、導電層220T−1および導電層220T−2が選択的に除去される。一方、マスク127の右側では、導電層220Tおよび導電層220T−1が選択的に除去される。これにより、導電層220Tおよび220T−1の右端に第2段差が形成され、導電層220T−1および220T−2の左端に第3段差が形成される。
図14(a)は、積層体130の上面を示す模式平面図である。図14(b)は、図14(a)中に示すD−D線に沿った積層体130の模式断面図である。積層体130の上面には、マスク129が設けられる。
図14(a)に示すように、マスク129は、マスク127よりも広いX方向の幅を有し、図13(b)に示すエッチング工程において形成された第1段差、第2段差および第3段差を覆う。
図14(b)に示すように、マスク129の右側では、導電層220T−2および導電層220T−3が選択的に除去され、第4段差が形成される。一方、マスク129の左側では、導電層220T−3および導電層220T−4が選択的に除去され、第5段差が形成される。
このように、積層体130の上面におけるマスクの形成と、導電層220の選択エッチングと、を繰り返すことにより、積層体130の右端および左端を階段状に加工する。
図15(a)は、階段状に形成された右端および左端を有する積層体130の上面を示す模式平面図である。図15(b)は、図15(a)中に示すE−E線に沿った積層体130の断面図である。
図15(a)に示すように、積層体130の右端および左端には、例えば、第1段差〜第12段差が形成される。また、図12(a)に示すマスク125を用いたことにより、積層体130の右端および左端において、奇数番目の段差と偶数番目の段差との配置が、Y方向に交互に入れ替わるように形成される。
図15(b)に示すように、第1段差は、1つの導電層220Tの端面を含み、第2段差〜第12段差は、それぞれ2つの導電層220の端面を含むように形成される。
図16は、第1段差〜第12段差が設けられた積層体130を示す模式断面図である。各段差上には、絶縁層131が形成され、さらに、積層体130を覆う絶縁層135が形成される。絶縁層131は、例えば、シリコン窒化層であり、絶縁層135は、例えば、シリコン酸化層である。絶縁層135の上面は、例えば、CMP(Chemical Mechanical Polishing)を用いて平坦化される。
絶縁層131は、例えば、積層体130を覆うシリコン窒化層を形成した後、異方性ドライエッチングにより第1段差〜第12段差の側面に形成された部分を残して、そのシリコン窒化層を選択的に除去することにより形成される。このとき、第2段差〜第12段差において、絶縁層131は、上下に積層された導電層220の上層側の端面が露出するように形成される。
図17は、絶縁層135に覆われた積層体130の上面を示す模式平面図である。図17に示すように、絶縁層135の上面からソース層110に至るスリットSTを形成する。さらに、スリットSTの内部に絶縁層137を形成する。
スリットSTは、第1段差〜第12段差の奇数段と偶数段とがY方向において入れ替わる部分の境界に設けられる(図15(a)参照)。また、スリットSTにより分断された導電層220は、電極層120Aおよび120Bとなる(図9参照)。
図18(a)は、積層体130に電気的に接続されたコンタクトプラグCPAおよびCPBを示す模式平面図である。コンタクトプラグCPAおよびCPBは、積層体130の端部に連通するコンタクトホール内に設けられた金属層である。コンタクトプラグCPAおよびCPBは、例えば、タングステンを含む。図18(a)に示すように、スリットST間において、コンタクトプラグCPAは、積層体130の一方の端部に設けられ、コンタクトプラグCPBは、他方の端部に設けられる。
図18(b)に示すように、コンタクトプラグCPAは、積層体130の階段状の端部に露出した電極層120Aの一部に電気的に接続される。このとき、絶縁層131は、電極層120Bの端部を覆い、コンタクトプラグCPAから電気的に絶縁する。コンタクトプラグCPBは、積層体130の階段状の端部に露出した電極層120Bの一部に電気的に接続される。このとき、絶縁層131は、電極層120Aの端部を覆い、コンタクトプラグCPBから電気的に絶縁する。
次に、図19(a)〜(c)を参照して、第2実施形態の変形例に係る容量素子CE4の製造方法を説明する。図19(a)〜(c)は、第2実施形態の変形例に係る容量素子CE4の製造過程を示す模式断面図である。図19(a)〜(c)は、積層体130の一部を示す模式断面図である。
図19(a)に示すように、積層体130の端部に第1段差〜第12段差を形成する(図15(b)参照)。続いて、図19(b)に示すように、導電層220の各端部をエッチングし、リセス部220Rを形成する。リセス部220Rは、例えば、ウェットエッチングなどの等方性エッチングにより形成される。このエッチングは、層間絶縁層121が十分なエッチング耐性を有する条件下で実施される。
図19(c)に示すように、リセス部220Rを埋め込むように絶縁層131を形成する。例えば、図16に示す例に比べて、絶縁層131は、リセス部220Rに埋め込まれた部分だけ厚く形成される。これにより、コンタクトプラグCPAおよびCPBと電極層120との間の絶縁耐圧を高くすることができる。すなわち、より絶縁耐圧の高い容量素子CE4を実現できる。
容量素子CE4は、上記の例に限定される訳ではなく、例えば、スリットSTは直線的に形成される必要はない。また、容量素子CE4に設計上求められる容量値に応じて、スリットSTは、その数および形状を変化させても良い。
容量素子CE4では、2つの導電層220をペアとして第1段差〜第12段差を形成し、各段差に端面を露出させたペアのうちの下層側に絶縁層131を形成する。これにより、電極層120の偶数層と奇数層に、コンタクトプラグCPAおよびCPBをそれぞれに自己整合的に接続することができる。その結果、各段差にそれぞれコンタクトプラグを接続させる場合に比べて、階段状の端部の面積を大幅に縮小することが可能となる。さらに、本実施形態では、導電層220および絶縁層135のパターンニングだけで、メモリ領域と容量素子CE4とを作り分けることができるため、製造工程の合理化、および、製造コストを削減が可能となる。
[第3実施形態]
図20は、第3実施形態に係る記憶装置2を示す模式断面図である。記憶装置2は、メモリセルを駆動する回路DCが表層に設けられた基板5と、回路DCの上方に設けられたメモリ領域MRと、を有する。メモリ領域MRと、回路DCと、の間には、配線D0〜D2およびソース線140が配置される。
図20は、第3実施形態に係る記憶装置2を示す模式断面図である。記憶装置2は、メモリセルを駆動する回路DCが表層に設けられた基板5と、回路DCの上方に設けられたメモリ領域MRと、を有する。メモリ領域MRと、回路DCと、の間には、配線D0〜D2およびソース線140が配置される。
回路DCは、複数のトランジスタTrを含み、トランジスタTr間は、STIにより電気的に絶縁される。トランジスタTrは、例えば、ソースドレイン領域SD、ゲート電極GEおよびゲート絶縁膜GIを含むMOS型FETであり、ソースドレイン領域SDは、例えば、コンタクトプラグCP0を介して配線D0に電気的に接続される。ゲート電極GEも、図示しない部分において別の配線D0に電気的に接続される。配線D0、D1、D2は、コンタクトプラグCP1およびCP2を介して相互に接続される。また、配線D0、D1、D2およびソース線140は、層間絶縁膜155により電気的に絶縁される。
ソース線140は、配線D2と選択ゲート30との間に位置し、例えば、X方向、Y方向に広がるプレート状に設けられる。ワード線20、選択ゲート30および40は、ソース線140の上に層間絶縁膜を介して積層される。
記憶装置2は、メモリ領域MRに並んで配置された容量素子CE1をさらに含む。容量素子CE1は、絶縁層145の上に配置された柱状導電体43および45を含む。柱状導電体43および45は、配線63および65にそれぞれ接続される。絶縁層145は、例えば、ソース線140に設けられた開口の内部を埋め込むように配置される。
容量素子CE1の電極層50は、絶縁層145の上方に積層される。電極層50は、例えば、ワード線20、選択ゲート30および40と同時に形成され、電極層50は、それぞれワード線20、選択ゲート30および40のいずれか1つと略同一のレベルに位置する(例えば、ソース線140からのZ方向の高さが略同一となるレベルに位置する)。
図20に示すように、記憶装置2では、例えば、導電体60が設けられず、スリットSTの内部は絶縁層147により埋め込まれる。絶縁層147は、Y方向において隣り合う、ワード線20間および選択ゲート間を電気的に絶縁する。また、絶縁層147は、容量素子CE1とメモリ領域MRとの間を電気的に絶縁する。
このように、回路DCをメモリ領域MRおよび容量素子CE1の下に配置することにより、記憶装置2の大容量化もしくはチップサイズの縮小が可能となる。なお、実施形態は、上記の例に限定される訳ではなく、例えば、容量素子CE1に代えて容量素子CE4を配置しても良い。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1、2…記憶装置、 10、110…ソース層、 15、53、54、55、61、77、79、87、89、93、123、131、135、137、145、147、155…絶縁層、 20…ワード線、 23…チャネル層、 25…メモリ層、 27…キャップ層、 30、40…選択ゲート、 33、37、49、101、105…コンタクトプラグ、 35…ビット線、 43、45、73、75、83、85、91…柱状導電体、 47…キャップ層、 50、120、150…電極層、 60…導電体、 63、65、67、95、97…配線、 63a、65a、67a、125a…第1部分、 63b、65b、67b、125b…第2部分、 67c、125c…第3部分、 121、…層間絶縁層、 125、127、129…マスク、 130…積層体、 140…ソース線、 220…導電層、 220R…リセス部、 CE1、CE2、CE4、CE5…容量素子、 CP0、CP1、CP2、CPA、CPB…コンタクトプラグ、
CR…受動領域、 D0、D1、D2…配線、 GE…ゲート電極、 GI…ゲート絶縁膜、 SD…ソースドレイン領域、 HUP…引き出し部、 MR…メモリ領域、 PR…周辺領域、 ST…スリット、 TC1、TC2、TCA、TCB…端子、 Tr…トランジスタ
CR…受動領域、 D0、D1、D2…配線、 GE…ゲート電極、 GI…ゲート絶縁膜、 SD…ソースドレイン領域、 HUP…引き出し部、 MR…メモリ領域、 PR…周辺領域、 ST…スリット、 TC1、TC2、TCA、TCB…端子、 Tr…トランジスタ
Claims (8)
- 第1方向に積層された複数の第1電極層と、
前記複数の第1電極層を貫いて前記第1方向に延びる第1導電体と、
前記第1導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間に位置する第1絶縁層と、
を備え、
前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間にそれぞれ設けられた第1容量を含む容量素子。 - 前記複数の第1電極層を前記第1方向に貫く第2導電体と、
前記第2導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第2導電体と前記複数の第1電極層との間に位置する第2絶縁層と、
をさらに備え、
前記第1容量に接続された前記第2導電体と前記複数の第1電極層との間の第2容量を含む請求項1記載の容量素子。 - 前記第1方向に積層された複数の第2電極層と、
前記複数の第2電極層を前記第1方向に貫く第3導電体と、
前記第3導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第3導電体と前記複数の第2電極層との間に位置する第3絶縁層と、
前記複数の第2電極層を前記第1方向に貫く第4導電体と、
前記第4導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第4導電体と前記複数の第2電極層との間に位置する第4絶縁層と、
をさらに備え、
前記第2容量に接続された前記第3導電体と前記複数の第2電極層との間の第3容量と、
前記第3容量に接続された前記第4導電体と前記複数の第2電極層との間の第4容量と、を含む請求項2記載の容量素子。 - 前記複数の第1電極層に電気的に接続され、前記複数の第1電極層に共有された配線をさらに備えた請求項1記載の容量素子。
- 第1電極層と、
前記第1電極層上に第1絶縁層を介して積層された第2電極層と、
前記第2電極層上に第2絶縁層を介して積層された第3電極層と、
前記第3電極層上に第3絶縁層を介して積層された第4電極層と、
前記第1電極層および前記第3電極層に電気的に接続され、前記第1電極層および前記第3電極層に共有される第1コンタクトプラグと、
前記第2電極層および前記第4電極層に電気的に接続され、前記第2電極層および前記第4電極層に共有される第2コンタクトプラグと、
を備えた容量素子。 - 下地層上に並んで配置されたメモリ領域と容量素子領域とを備え、
前記メモリ領域は、
前記下地層上に第1方向に積層された複数の第1電極層と、
前記複数の第1電極層を貫いて前記第1方向に延び、前記下地層と電気的に接続された第1導電体と、
前記第1導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第1導電体と前記複数の第1電極層との間に位置する第1絶縁層と、
を含み、
前記容量素子領域は、
前記下地層上に前記第1方向に積層された複数の第2電極層と、
前記複数の第2電極層を貫いて前記第1方向に延び、前記下地層と電気的に絶縁された第2導電体と、
前記第2導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第2導電体と前記複数の第2電極層との間に位置する第2絶縁層と、
を含む記憶装置。 - 前記複数の第1電極層のうちの1つは、前記複数の第2電極層のうちの1つと、前記第1方向において略同一のレベルに位置する請求項6に記載の記憶装置。
- 前記容量素子領域は、前記複数の第2電極層を貫いて前記第1方向に延び、前記下地層と電気的に絶縁された第3導電体と、前記第3導電体に沿って前記第1方向に延在し、前記第3導電体と前記複数の第2電極層との間に位置する第3絶縁層とをさらに含み、
前記第2導電体は第1配線に接続され、前記第3導電体は前記第1配線とは異なる第2配線に接続されることを特徴とする請求項6または7に記載の記憶装置。
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JP2022143282A (ja) * | 2021-03-17 | 2022-10-03 | キオクシア株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
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DE19640271C1 (de) * | 1996-09-30 | 1998-03-05 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer integrierten Halbleiterspeicheranordnung |
JP2000124331A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置 |
JP4936756B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2012-05-23 | 京セラ株式会社 | 多層配線基板内蔵用セラミックコンデンサ素子の製造方法 |
WO2008010312A1 (fr) | 2006-07-19 | 2008-01-24 | Nippon Carbon Co., Ltd. | Matériau actif pour électrode négative et électrode négative pour batterie rechargeable au lithium ionique |
US7910973B2 (en) * | 2008-03-17 | 2011-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device |
CN102237364B (zh) * | 2010-04-21 | 2013-02-06 | 中国科学院微电子研究所 | 存储器件的制造方法 |
US9082555B2 (en) * | 2011-08-22 | 2015-07-14 | Micron Technology, Inc. | Structure comprising multiple capacitors and methods for forming the structure |
US8643142B2 (en) | 2011-11-21 | 2014-02-04 | Sandisk Technologies Inc. | Passive devices for 3D non-volatile memory |
KR20130070153A (ko) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치의 캐패시터, 레지스터, 메모리 시스템 및 이들의 제조 방법 |
US9190490B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-11-17 | Intel Corporation | Local buried channel dielectric for vertical NAND performance enhancement and vertical scaling |
JP2014187324A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2015060874A (ja) | 2013-09-17 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
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JP2016062950A (ja) | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP6466148B2 (ja) | 2014-11-19 | 2019-02-06 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
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