JP2018156986A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018156986A5 JP2018156986A5 JP2017050288A JP2017050288A JP2018156986A5 JP 2018156986 A5 JP2018156986 A5 JP 2018156986A5 JP 2017050288 A JP2017050288 A JP 2017050288A JP 2017050288 A JP2017050288 A JP 2017050288A JP 2018156986 A5 JP2018156986 A5 JP 2018156986A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- pattern
- defect
- substrate
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 54
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017050288A JP6971599B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017050288A JP6971599B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018156986A JP2018156986A (ja) | 2018-10-04 |
| JP2018156986A5 true JP2018156986A5 (enExample) | 2020-03-26 |
| JP6971599B2 JP6971599B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=63715662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017050288A Active JP6971599B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6971599B2 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7391806B2 (ja) * | 2020-09-16 | 2023-12-05 | キオクシア株式会社 | インプリント装置、情報処理装置、及びインプリント方法 |
| JP7465307B2 (ja) * | 2021-10-01 | 2024-04-10 | キヤノン株式会社 | シミュレーション装置、シミュレーション装置の制御方法、およびプログラム |
| JP7721736B1 (ja) * | 2024-05-14 | 2025-08-12 | キヤノン株式会社 | 平坦化装置、平坦化方法、および物品の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3620470B2 (ja) * | 2001-06-08 | 2005-02-16 | 三菱住友シリコン株式会社 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP4118703B2 (ja) * | 2002-05-23 | 2008-07-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥分類装置及び欠陥自動分類方法並びに欠陥検査方法及び処理装置 |
| JP5556346B2 (ja) * | 2010-05-11 | 2014-07-23 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法 |
| JP2014109436A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板の欠陥検査方法、基板の欠陥検査装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| JP6403627B2 (ja) * | 2015-04-14 | 2018-10-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
-
2017
- 2017-03-15 JP JP2017050288A patent/JP6971599B2/ja active Active