JP5556346B2 - ウェーハ欠陥検査装置及びウェーハ欠陥検査方法 - Google Patents
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Claims (5)
- 検査対象のウェーハを載置するウェーハ載置手段と、赤外光を前記ウェーハに対して照射する照射手段と、前記赤外光が照射された前記ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像されたウェーハの画像に基づいて前記ウェーハの欠陥を検査する検査手段とを有するウェーハ欠陥検査装置であって、
前記撮像手段により撮像された前記検査対象のウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、
前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にないと判定した場合に、前記照射手段の前記赤外光の光量又は前記撮像手段の受光感度の少なくとも一方を調整してウェーハの画像を再度取得し、前記赤外光の光量及び前記撮像手段の受光感度を調整しても、前記輝度が所定の輝度範囲内にならない場合に、前記ウェーハを撮像する際の露光時間を変更して、前記撮像手段により前記ウェーハの画像を再度取得させる制御手段と
を更に有し、
前記検査手段は、前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハの画像に基づいて欠陥検査を行う
ウェーハ欠陥検査装置。 - 前記照射手段は、前記赤外光をライン状に照射させ、
前記撮像手段は、イメージラインセンサであり、
前記制御手段は、前記照射手段及び前記撮像手段と、前記ウェーハ載置手段とを相対的に移動させることにより、前記ウェーハの全面の画像を取得する
請求項1に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記照射手段と、前記撮像手段とは、前記ウェーハ載置手段に載置されるウェーハを挟んで対向するように配置されている
請求項2に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 前記制御手段は、前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にないと判定した場合に、前記照射手段及び前記撮像手段と、前記ウェーハ載置手段との相対速度を変更するとともに、前記撮像手段による画像取込速度を変更することにより前記露光時間を変更する
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のウェーハ欠陥検査装置。 - 検査対象のウェーハに赤外光を照射し、前記赤外光が照射されたウェーハの画像を撮像し、前記ウェーハの画像に基づいて前記ウェーハの欠陥を検査するウェーハ欠陥検査方法であって、
前記ウェーハに対して赤外光を照射させて、前記ウェーハの画像を撮像するステップと、
撮像された前記検査対象のウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあるか否かを判定する判定ステップと、
前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にないと判定した場合に、前記赤外光の光量又は画像撮像時の受光感度の少なくとも一方を調整してウェーハの画像を再度取得し、前記赤外光の光量及び前記受光感度を調整しても、前記輝度が所定の輝度範囲内にならない場合に、前記ウェーハを撮像する際の露光時間を変更して、前記ウェーハの画像を再度取得するステップと、
前記ウェーハの画像の基準となる輝度が所定の輝度範囲内にあると判定された場合における当該ウェーハの画像に基づいてウェーハの欠陥検査を行うステップと
を有するウェーハ欠陥検査方法。
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