JP2018155719A - 磁気センサ、生体細胞検出装置及び診断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(d)は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。 図1(a)は、図1(b)及び図1(c)の矢印AAから見た透視平面図である。図1(b)は、図1(a)のB1−B2線断面図である。図1(c)は、図1(a)のA1−A2線断面図である。図1(d)は、磁気センサの一部の断面図である。
これらの図は、磁気センサ110の特性のシミュレーション結果を例示している。この例では、第1磁性層11の幅(第2長さL2)は10μmであり、第1磁性層11の長さ(第1長さL1)は、250μmである。第1配線21と第1センサ素子51との間の距離d1は、0.5μmである。図2(a)の横軸は、第1配線21に流れる第2電流Ch1である。図2(b)の横軸は、第2電流Ch1により生成される磁界H(Oe)(磁界H2に対応)である。これらの図の縦軸は、第1電気抵抗R1である。
図4は、種々の構成を有する積層体におけるヒステリシスHc及び飽和磁界Hsを示す。試料の第1積層部S1は、第1磁性層11、第1対向磁性層11o及び第1非磁性層11nを含む。第1磁性層11の長さ(第1長さL1)、及び、第1磁性層11の幅(第2長さL2)が変更される。この例では、試料において、第1配線21が設けられていない。外部磁界が試料に加えられ、そのときのR−H特性が測定される。種々の構成において、第1磁性層11の第1磁化M1の向きDM1(図1参照)が変更される。そして、第1配線21の延びる方向D21(図1(a)参照)が変更される。方向D21は、第1配線21を流れる第2電流Ch1の方向に対応する。方向D21と直交し、膜面に沿った方向の外部磁界が第1積層部S1に加わる。図4に示したヒステリシスHc及び飽和磁界Hsの値は、25Oeの交流磁界を加えたR−H特性から求められる。
図5(a)は、信号磁界Hsigが0のときの特性を示す。図5(b)は、信号磁界Hsigが正のときの特性を示す。図5(c)は、信号磁界Hsigが負のときの特性を示す。これらの図は、磁界Hと抵抗R(第1電気抵抗R1に対応)との関係を示す。
図6(a)に示す磁気センサ110A及び磁気センサ装置210Aにおいては、周波数発生器72Gが設けられる。周波数発生器72Gは、交流周波数fac(第1周波数)を有する信号を発生する。この信号が、第2回路72に供給される。第2回路72は、交流周波数fac(第1周波数)を有する第2電流Ch1を第1配線21に供給する。
これらの図は、第1センサ素子51の別の例を示している。
図8(a)は、図8(b)の矢印AAからみた透視平面図である。図8(b)は、図8(a)のA1−A2線断面図である。図8(a)において、基板10sは省略されている。
例えば、第2長さL2が1μmで、ギャップg1が3nmで、長さd61が0.5mmのときに、増幅率Gは、約300となる。すなわち、感度を300倍に向上できる。
第2実施形態においては、複数のセンサ素子が設けられる。
図10(a)は、図10(b)の矢印AAからみた透視平面図である。図10(b)は、図10(a)のA1−A2線断面図である。
図11(a)は、図11(b)及び図11(c)の矢印AAからみた透視平面図である。図11(b)は、図11(a)のE1−E2線断面図である。図11(c)は、図11a)のF1−F2線断面図である。
実施形態に係る磁気センサは、例えば、生体細胞検出装置などに応用できる。
図12は、第3実施形態に係る磁気センサ及び生体細胞検出装置を例示する模式図である。
図12に示すように、本実施形態に係る磁気センサ130は、複数の第1センサ一端配線51eと、複数の第1センサ他端配線51fと、複数の第1センサ素子51、複数の第1配線21が設けられる。これらについては、磁気センサ122と同様なので説明を省略する。
実施形態に係る磁気センサは、例えば、診断装置などに応用できる。
図13は、第4実施形態に係る磁気センサ及び診断装置を示す模式図である。
図13に示すように、診断装置500は、磁気センサ150を含む。磁気センサ150は、第1実施形態及び第2実施形態に関して説明した磁気センサ(及び磁気センサ装置)、及び、それらの変形を含む。
図14は、磁計の一例である。図14に示す例では、平板状の硬質の基体305上にセンサ部301が設けられる。
(構成1)
第1磁性層と、第1対向磁性層と、前記第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む第1センサ素子であって、前記第1磁性層の第1磁化は第1長さ方向に沿い、前記第1磁性層から前記第1対向磁性層に向かう第1積層方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1センサ素子と、
第1配線であって、前記第1配線の少なくとも一部は前記第1長さ方向に沿って延び、前記第1センサ素子から前記第1配線の前記少なくとも一部に向かう第1配線交差方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1配線と、
を備え、
前記第1配線に流れる電流、及び、前記第1センサ素子に加わる被検出磁界に応じて、前記第1センサ素子の第1電気抵抗が変化する、磁気センサ。
(構成2)
前記第1配線に流れる前記電流が正極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大し、
前記第1配線に流れる前記電流が負極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大する、構成1記載の磁気センサ。
(構成3)
前記第1配線に電流が流れないときの前記第1電気抵抗は、前記第1配線に流れる電流を変えたときに得られる前記第1電気抵抗の最低値の1倍以上1.002倍以下である、構成2記載の磁気センサ。
(構成4)
第1磁性層と、第1対向磁性層と、前記第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む第1センサ素子であって、前記第1磁性層から前記第1対向磁性層に向かう第1積層方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1センサ素子と、
第1配線であって、前記第1配線の少なくとも一部は前記第1長さ方向に沿って延び、前記第1センサ素子から前記第1配線の前記少なくとも一部に向かう第1配線交差方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1配線と、
を備え、
前記第1配線に流れる電流、及び、前記第1センサ素子に加わる被検出磁界に応じて、前記第1センサ素子の第1電気抵抗が変化し、
前記第1配線に流れる前記電流が正極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大し、
前記第1配線に流れる前記電流が負極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前 前記第1配線に電流が流れないときの前記第1電気抵抗は、前記第1配線に流れる電流を変えたときに得られる前記第1電気抵抗の最低値の1倍以上1.002倍以下である、磁気センサ。
(構成5)
第1磁性層と、第1対向磁性層と、前記第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む第1センサ素子であって、前記第1磁性層の第1磁化は第1長さ方向に沿い、前記第1磁性層から前記第1対向磁性層に向かう第1積層方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1センサ素子と、
第1配線であって、前記第1配線の少なくとも一部は前記第1長さ方向に沿って延び、前記第1センサ素子から前記第1配線の前記少なくとも一部に向かう第1配線交差方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1配線と、
を備え、
前記第1配線に流れる電流、及び、前記第1センサ素子に加わる被検出磁界に応じて、前記第1センサ素子の第1電気抵抗が変化し、
前記第1対向磁性層の磁化の向きは、変化可能であり、
前記第1配線に流れる前記電流が正極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大し、
前記第1配線に流れる前記電流が負極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前 前記第1配線に電流が流れないときの前記第1電気抵抗は、前記第1配線に流れる電流を変えたときに得られる前記第1電気抵抗の最低値の1倍以上1.002倍以下である、磁気センサ。
(構成6)
前記第1磁性層の前記第1長さ方向の第1長さは、前記第1磁性層の第1幅方向の第2長さよりも長く、
前記第1幅方向は、前記第1積層方向及び前記第1長さ方向を含む平面と交差した、構成1〜5のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成7)
前記第1配線交差方向は、前記第1積層方向に沿う、構成1〜6のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成8)
前記第1非磁性層は、Cuを含む、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成9)
前記第1センサ素子は、別の第1磁性層と、別の第1非磁性層と、をさらに含み、
前記第1積層方向において、前記第1磁性層と前記別の第1磁性層との間に前記第1対向磁性層が位置し、
前記第1積層方向において、前記別の第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に前記別の第1非磁性層が位置した、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成10)
前記第1センサ素子は、別の第1磁性層をさらに含み、
前記第1対向磁性層は、第1部分領域と第2部分領域とを含み、
前記第1非磁性層の一部は、前記第1磁性層と前記第1部分領域との間に位置し、
前記第1非磁性層の別の一部は、前記別の第1磁性層と前記第2部分領域との間に位置し、
前記第1電気抵抗は、前記第1磁性層、前記第1対向磁性層及び前記別の第1磁性層を流れる電流の電気抵抗を含む、構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成11)
前記第1非磁性層は、MgOを含む、構成9または10に記載の磁気センサ。
(構成12)
前記第1センサ素子と電気的に接続され前記第1磁性層、前記第1非磁性層及び前記第1対向磁性層を含む第1電流経路を流れる第1電流を前記第1センサ素子に供給する第1回路と、
前記第1配線と電気的に接続され交流の第2電流を前記第1配線に供給する第2回路と、
前記第1電気抵抗の前記変化を検出する第3回路と、
をさらに備えた、構成1〜10のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成13)
前記第2電流は第1周波数を有し、
前記第3回路は、前記第1周波数を含む範囲の周波数を有する交流信号を検出する、構成12記載の磁気センサ。
(構成14)
前記第3回路は、ロックインアンプを含む、構成12記載の磁気センサ。
(構成15)
前記第2電流は第1周波数を有し、
前記第3回路は、
前記第1電気抵抗に対応する信号が入力され前記第1周波数の2倍以上の周波数の信号を減衰させるフィルタと、
前記フィルタの出力が入力されるロックインアンプと、
を含む、構成12記載の磁気センサ。
(構成16)
2つの磁性層と、前記2つの磁性層の間に設けられた非磁性層と、を含む積層体をさらに備え、
前記積層体に加わる前記被検出磁界の強度は、前記第1センサ素子に加わる前記被検出磁界の強度よりも小さく、
前記第3回路は、前記積層体から得られる信号と、前記第1センサ素子から得られる信号と、の差に対応する信号を出力する、構成10記載の磁気センサ。
(構成17)
前記第1センサ素子は、第1磁性部と第2磁性部とをさらに含み、
前記第1積層方向と前記第1長さ方向とを含む平面と交差する方向において、前記第1磁性部と前記第2磁性部との間に前記第1対向磁性層が位置し、
前記第1磁性部の前記第1積層方向に沿った厚さは、前記第1対向磁性層の前記第1積層方向に沿った厚さよりも厚く、
前記第2磁性部の前記第1積層方向に沿った厚さは、前記第1対向磁性層の前記第1積層方向に沿った前記厚さよりも厚い、構成1〜16のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成18)
複数の第1センサ一端配線と、
複数の第1センサ他端配線と、
をさらに備え、
前記第1センサ素子は、複数設けられ、
前記第1配線は、複数設けられ、
前記複数の第1配線の1つは、前記第1積層方向において前記複数の第1センサ素子と重なり、
前記複数の第1配線は、前記第1長さ方向及び前記第1積層方向と交差する交差方向に並び、
前記複数の第1センサ一端配線は、前記第1長さ方向に沿って延び、
前記複数の第1センサ一端配線の1つは、前記第1センサ素子の第1端と電気的に接続され、
前記複数の第1センサ他端配線は、前記第1長さ方向及び前記第1積層方向と交差する前記交差方向に沿って延び、
前記複数の第1センサ他端配線の1つは、前記第1センサ素子の第2端と電気的に接続された、構成1〜17のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成19)
第2センサ素子と、
第2配線と、
さらに備え、
前記第2センサ素子は、第2磁性層と、第2対向磁性層と、前記第2磁性層と前記第2対向磁性層との間に設けられた第2非磁性層と、を含み、
前記第2磁性層の第2磁化は第2長さ方向に沿い、前記第2磁性層から前記第2対向磁性層に向かう第2積層方向は、前記第2長さ方向と交差し、
前記第2長さ方向は、前記第1長さ方向と交差し、
前記第2配線の少なくとも一部は前記第2長さ方向に沿って延び、前記第2センサ素子から前記第2配線の前記少なくとも一部に向かう第2配線交差方向は、前記第2長さ方向と交差し、
前記第2配線に流れる電流、及び、前記第2センサ素子に加わる前記被検出磁界に応じて、前記第2センサ素子の第2電気抵抗が変化する、構成1〜17のいずれか1つに記載の磁気センサ。
(構成20)
前記第2磁性層の前記第2長さ方向の第3長さは、前記第2磁性層の第2幅方向の第4長さよりも長く、
前記第2幅方向は、前記第1長さ方向に沿う、構成19記載の磁気センサ。
(構成21)
複数の第1センサ一端線と、
複数の第1センサ他端配線と、
複数の第2センサ一端配線と、
をさらに備え、
前記第1センサ素子は、複数設けられ、
前記第1配線は、複数設けられ、
前記複数の第1配線は、前記第1長さ方向及び前記第1積層方向と交差する交差方向に並び、
前記複数の第1配線の1つは、前記第1積層方向において前記複数の第1センサ素子の1つと重なり、
前記複数の第1センサ一端配線は、前記第1長さ方向に沿って延び、
前記複数の第1センサ一端配線の1つは、前記複数の第1センサ素子の前記1つの第1端と電気的に接続され、
前記複数の第1センサ他端配線は、前記第1長さ方向及び前記第1積層方向と交差する前記交差方向に沿って延び、
前記複数の第1センサ他端配線の1つは、前記複数の第1センサ素子の前記1つの第2端と電気的に接続され、
前記第2センサ素子は、複数設けられ、
前記第2配線は、複数設けられ、
前記複数の第2配線の1つの少なくとも一部は、前記第1配線交差方向において、前記複数の第1センサ他端配線の1つの少なくとも一部と重なり、
前記複数の第2センサ一端配線は、前記第1長さ方向に沿って延び、
前記複数の第2センサ一端配線の1つは、前記複数の第2センサ素子の1つの第3端と電気的に接続され、
前記複数の第1センサ他端配線の1つは、前記複数の第2センサ素子の前記1つの第4端と電気的に接続された、構成19または20に記載の磁気センサ。
(構成22)
構成1〜21のいずれか1つに記載の磁気センサと、
前記磁気センサから出力された信号を受ける受信部と、
を備えた生体細胞検出装置。
(構成23)
構成1〜21のいずれか1つに記載の磁気センサと、
前記磁気センサから得られる信号を処理する処理部と、
を備えた診断装置。
11〜14…第1〜第4磁性層、 11A…別の第1磁性層、 11X…磁性層、 11a〜11d…第1〜第4膜、 11aA〜11dA…別の第1〜別の第4膜、 11ea…第1素子導電層、 11eb…第2素子導電層、 11ebA…別の第2素子導電層、 11n〜14n…第1〜第4非磁性層、 11nA…別の第1非磁性層、 11nX…非磁性層、 11o〜14o…第1〜第4対向磁性層、 11oX…磁性層、 11oa…第1部分領域、 11ob…第2部分領域、 21…第1配線、 21A、21B、21X…配線、 21e…一端、 21f 他端、 22…第2配線、 22A、22B…配線、 51、52…第1、第2センサ素子、 51A〜51D…センサ素子、 51Ae〜54De…一端、 51Af〜54Df…他端、 51X…積層体、 51e…第1センサ一端配線、 51eA、51eB…配線、 51eX…第1積層体一端配線、 51f…第1センサ他端配線、 51fA、51fB…配線、 51fX…第1積層体他端配線、 52…第2センサ素子、 52A〜52D…センサ素子、 52e…第2センサ一端配線、 52eA、52eB…配線、 60…画素、 61〜63…第1〜第3磁性部、 70…回路部、 71〜73…第1〜第3回路、 71X〜73X…別の第1〜第3回路、 71a、71b、72a、72b…配線、 72G…周波数発生器、 73A…検出回路、 73D…差動アンプ、 73a…ロックインアンプ、 73b…ローパスフィルタ、 73c…バンドパスフィルタ、 73d…PSD回路、 73e…アンプ、 75…受信部、 110、110A〜110C、112、113、119a、119b、121〜123、130、150…磁気センサ、 210、210A〜210C…磁気センサ装置、 301…センサ部、 302…基体、 303…入出力コード、 400…生体細胞検出装置、 500…診断装置、 502…制御機構、 504…信号入出力部、 506…センサ駆動部、 508…信号処理部、 510…信号解析部、 512…データ処理部、 516…画像化診断部、 AA…矢印、 Av1 絶対値、 CL1〜CL5…第1〜第5接続層、 CL6〜CL8…接続部材、 Ch1…第2電流、 Cs1…第1電流、 D21…方向、 DC1、DC2…第1、第2配線交差方向、 DL1、DL2…第1、第2長さ方向、 DM1…向き、 DS1、DS2…第1、第2積層方向、 DW1、DW2…第1、第2幅方向、 Dc1…第1配線交差方向、 H、H2…磁界、 Hac…交流磁界、 Hc…ヒステリシス、 Hs…飽和磁界、 Hsig…信号磁界、 L1〜L4…第1〜第4長さ、 M1、M2…第1、第2磁化、 MP1、MP2…第1、第2中間点、 Ma1、Mb1、Mo1…磁化、 R1…第1電気抵抗、 Rmin…最低値、 Ro…低抵抗、 S1〜S4…第1〜第4積層部、 S1A…別の第1積層部、 S1a…一端部、 S1b…他端部、 SB1〜SB4…第1〜第4積層部、 SO1…出力信号、 SP11〜SP15、SP21〜SP24、SP31〜SP34、SP41〜SP44…構成、 SU1、SU2…第1、第2センサ部、 d1、d2…距離、 d61、d62…長さ、 ep1〜ep4…第1〜第4端、 g1…ギャップ、 t11o、t61、t62…厚さ
Claims (10)
- 第1磁性層と、第1対向磁性層と、前記第1磁性層と前記第1対向磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、を含む第1センサ素子であって、前記第1磁性層の第1磁化は第1長さ方向に沿い、前記第1磁性層から前記第1対向磁性層に向かう第1積層方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1センサ素子と、
第1配線であって、前記第1配線の少なくとも一部は前記第1長さ方向に沿って延び、前記第1センサ素子から前記第1配線の前記少なくとも一部に向かう第1配線交差方向は、前記第1長さ方向と交差した、前記第1配線と、
を備え、
前記第1配線に流れる電流、及び、前記第1センサ素子に加わる被検出磁界に応じて、前記第1センサ素子の第1電気抵抗が変化する、磁気センサ。 - 前記第1配線に流れる前記電流が正極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大し、
前記第1配線に流れる前記電流が負極性であるときに前記電流の絶対値が増大すると前記第1電気抵抗は増大する、請求項1記載の磁気センサ。 - 前記第1配線に電流が流れないときの前記第1電気抵抗は、前記第1配線に流れる電流を変えたときに得られる前記第1電気抵抗の最低値の1倍以上1.002倍以下である、請求項2記載の磁気センサ。
- 前記第1磁性層の前記第1長さ方向の第1長さは、前記第1磁性層の第1幅方向の第2長さよりも長く、
前記第1幅方向は、前記第1積層方向及び前記第1長さ方向を含む平面と交差した、請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気センサ。 - 前記第1配線交差方向は、前記第1積層方向に沿う、請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気センサ。
- 前記第1センサ素子と電気的に接続され前記第1磁性層、前記第1非磁性層及び前記第1対向磁性層を含む第1電流経路を流れる第1電流を前記第1センサ素子に供給する第1回路と、
前記第1配線と電気的に接続され交流の第2電流を前記第1配線に供給する第2回路と、
前記第1電気抵抗の前記変化を検出する第3回路と、
をさらに備えた、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気センサ。 - 前記第2電流は第1周波数を有し、
前記第3回路は、前記第1周波数を含む範囲の周波数を有する交流信号を検出する、請求項6記載の磁気センサ。 - 前記第2電流は第1周波数を有し、
前記第3回路は、
前記第1電気抵抗に対応する信号が入力され前記第1周波数の2倍以上の周波数の信号を減衰させるフィルタと、
前記フィルタの出力が入力されるロックインアンプと、
を含む、請求項6記載の磁気センサ。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気センサと、
前記磁気センサから出力された信号を受ける受信部と、
を備えた生体細胞検出装置。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気センサと、
前記磁気センサから得られる信号を処理する処理部と、
を備えた診断装置。
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