JP2018148048A5 - - Google Patents
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Description
図１０乃至図１７は、テープカートリッジ６０の他の例を示す図である。この例では、研磨ヘッド５０内には研磨テープ６１を送るための送りモータＭ２は設けられていない。テープ繰り出しリール６４およびテープ巻き取りリール６５は、それぞれリール軸７５Ａ，７５Ｂに取り付けられている。リール軸７５Ａ，７５Ｂは、軸受７６Ａ，７６Ｂによりそれぞれ回転自在に支持されている。これらの軸受７６Ａ，７６Ｂはリールハウジング７７に固定されている。リールハウジング７７はボールスプラインナット７８に固定されており、リールハウジング７７とボールスプラインナット７８はスプラインシャフト７９に対して上下方向に相対移動可能となっている。
入力装置２３０は、キーボード、マウスを備えており、さらに、記録媒体からデータを読み込むための記録媒体読み込み装置２３２と、記録媒体が接続される記録媒体ポート２３４を備えている。記録媒体は、非一時的な有形物であるコンピュータ読み取り可能な記録媒体であり、例えば、光ディスク（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ）や、半導体メモリー（例えば、ＵＳＢフラッシュドライブ、メモリーカード）である。記録媒体読み込み装置２３２の例としては、ＣＤドライブ、ＤＶＤドライブなどの光学ドライブや、カードリーダーが挙げられる。記録媒体ポート２３４の例としては、ＵＳＢ端子が挙げられる。記録媒体に記録されているプログラムおよび／またはデータは、入力装置２３０を介して動作制御部１３３に導入され、記憶装置２１０の補助記憶装置２１２に格納される。出力装置２４０は、ディスプレイ装置２４１、印刷装置２４２を備えている。印刷装置２４２は省略してもよい。
動作制御部１３３は、記憶装置２１０に電気的に格納されたプログラムに従って動作する。すなわち、動作制御部１３３は、基板回転機構１０に指令を与えて、基板の裏側面を保持し、該基板を回転させるステップと、研磨ヘッド５０に連結されたヘッドモータＭ１に指令を与えて、研磨ヘッド５０に取り付けられた研磨具（研磨テープ６１または研磨パッド９０）を回転させるステップと、研磨ヘッド５０に連結されたアクチュエータ５７に指令を与えて、研磨具が、配線パターンが形成される基板の表側面に押し付けられるように研磨ヘッド５０に下向きの荷重を付与するステップを実行する。これらステップを動作制御部１３３に実行させるためのプログラムは、非一時的な有形物であるコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録され、記録媒体を介して動作制御部１３３に提供される。または、プログラムは、インターネットなどの通信ネットワークを介して動作制御部１３３に提供されてもよい。
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