JP2018137021A - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018137021A JP2018137021A JP2017030003A JP2017030003A JP2018137021A JP 2018137021 A JP2018137021 A JP 2018137021A JP 2017030003 A JP2017030003 A JP 2017030003A JP 2017030003 A JP2017030003 A JP 2017030003A JP 2018137021 A JP2018137021 A JP 2018137021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic recording
- recording medium
- heat sink
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 96
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 20
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 28
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 12
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 259
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 10
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 5
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005793 GeO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 1-(2H-benzotriazol-5-yl)-3-methyl-8-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carbonyl]-1,3,8-triazaspiro[4.5]decane-2,4-dione Chemical compound CN1C(=O)N(c2ccc3n[nH]nc3c2)C2(CCN(CC2)C(=O)c2cnc(NCc3cccc(OC(F)(F)F)c3)nc2)C1=O YIWGJFPJRAEKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001149 41xx steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019233 CoFeNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 1
- MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N N-[1-oxo-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propan-2-yl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(C(C)NC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N N-[[(5S)-2-oxo-3-(2-oxo-3H-1,3-benzoxazol-6-yl)-1,3-oxazolidin-5-yl]methyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1O[C@H](CN1C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1)CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F VCUFZILGIRCDQQ-KRWDZBQOSA-N 0.000 description 1
- 229910000943 NiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N [3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-ylmethyl)-1-oxa-2,8-diazaspiro[4.5]dec-2-en-8-yl]-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]methanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CC1=NOC2(C1)CCN(CC2)C(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F JAWMENYCRQKKJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005493 condensed matter Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4866—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising an optical waveguide, e.g. for thermally-assisted recording
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/68—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent
- G11B5/70—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer
- G11B5/706—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
- G11B5/737—Physical structure of underlayer, e.g. texture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7375—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer for heat-assisted or thermally-assisted magnetic recording [HAMR, TAMR]
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
- G11B2005/0005—Arrangements, methods or circuits
- G11B2005/0021—Thermally assisted recording using an auxiliary energy source for heating the recording layer locally to assist the magnetization reversal
Landscapes
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
(2)前記第1のバリア層の主成分は、NaCl型構造を有することを特徴とする(1)に記載の磁気記録媒体。
(3)前記NaCl型構造を有する材料が、MgO、TiO、NiO、TiN、TaN、NbN、HfN、ZrN、VN、CrN、TiC、TaC、NbC、HfCまたはZrCであることを特徴とする(2)に記載の磁気記録媒体。
(4)前記第1のバリア層の厚さが、1nm以上10nm以下であることを特徴とする(1)〜(3)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(5)前記第1のバリア層の主成分の熱伝導率が、80W/m・K以下であることを特徴とする(1)〜(4)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(6)前記第2のヒートシンク層が前記第1のヒートシンク層よりも薄いことを特徴とする(1)〜(5)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(7)前記第1のヒートシンク層及び前記第2のヒートシンク層が、Ag、Au、Al、Cu、Rh、MoまたはWを主成分とすることを特徴とする(1)〜(6)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(8)前記第1のヒートシンク層及び前記第2のヒートシンク層の主成分の熱伝導率が、100W/m・K以上であることを特徴とする(1)〜(7)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(9)前記第2のヒートシンク層と前記磁性層との間に第2のバリア層がさらに設けられており、前記第2のバリア層は、NaCl型構造を有する、MgO、TiO、NiO、TiN、TaN、HfN、NbNまたはTiCを主成分とすることを特徴とする(1)〜(8)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(10)(1)〜(9)のいずれか1項に記載の磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部と、前記磁気記録媒体に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して相対移動させるヘッド移動部と、前記磁気ヘッドへの信号入力と前記磁気ヘッドからの出力信号の再生とを行う記録再生信号処理系とを備え、前記磁気ヘッドは、レーザー光を発生させるレーザー光発生部と、前記レーザー光発生部から発生したレーザー光を前記磁気ヘッドの先端部へと導く導波路と、前記磁気ヘッドの先端部に設けられており、前記磁気記録媒体を加熱する近接場光を発生させる近接場光発生素子とを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
図1に、本実施形態の磁気記録媒体の一例として、熱アシスト磁気記録媒体401を示す。
図2に、本実施形態の磁気記録再生装置の一例を示す。
以下に示す方法により、熱アシスト磁気記録媒体(図1参照)を作製した。
第1のバリア層105を構成する材料を表2に示す材料に置き換えた以外は、実施例1−1と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
第1のバリア層105を構成する材料を表2に示す材料に置き換えた以外は、実施例1−1と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
電磁変換特性であるSNRは、レーザースポット加熱機構を搭載した磁気ヘッドを用いて、スピンスタンドテスターにより測定した。このとき、再生信号波形の半値幅と定義した記録トラック幅(MWW)が70nmになるようにレーザーダイオードに投入する電流(レーザーパワー;LDI)を調整し、SNRとLDIを確認した。
まず、外径2.5インチのガラス基板101上に、Cr−50at%Tiからなる厚さ50nmの密着層102を成膜した後、320℃まで加熱した。次に、密着層102上に、Crからなる厚さ20nmの配向制御層103、Wからなる厚さ25nmの第1のヒートシンク層104、ZrNからなる厚さ2.5nmの第1のバリア層105、W−10at%Taからなる厚さ5nmの第2のヒートシンク層106を順次成膜した。さらに、第2のヒートシンク層106上に、NaCl構造を有するMgOからなる厚さ4nmの第2のバリア層107を成膜した後、650℃まで加熱した。次に、第2のバリア層107上に、(Fe−50at%Pt)−35mol%Cからなる厚さ4nmの磁性層と、(Fe−50at%Pt)−12mol%SiO2からなる厚さ4nmの磁性層を順次成膜し、2層からなる磁性層108を成膜した。さらに、磁性層108上に、DLCからなる厚さ4nmの保護層109を成膜した後、パーフルオロポリエーテルからなる厚さ1.5nmの液体状の潤滑剤層110を塗布により形成し、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
第1のヒートシンク層104の厚さを、それぞれ30nm、35nm、40nmとした以外は、実施例2−1と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
第1のバリア層105を設けなかった以外は、それぞれ実施例2−1〜2−3と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
まず、外径2.5インチのガラス基板101上に、Cr−50at%Tiからなる厚さ50nmの密着層102を成膜した後、300℃まで加熱した。次に、密着層102上に、Cr−10at%Tiからなる厚さ30nmの配向制御層103、W−5mol%SiO2(Wの含有量95mol%、SiO2の含有量5mol%)からなる厚さ25nmの第1のヒートシンク層104、NbCからなる厚さ1nmの第1のバリア層105、W−5mol%SiO2からなる厚さ5nmの第2のヒートシンク層106を順次成膜した。さらに、第2のヒートシンク層106上に、NaCl構造を有するMgOからなる厚さ5nmの第2のバリア層107を成膜した後、600℃まで加熱した。次に、第2のバリア層107上に、(Fe−46at%Pt)−15mol%SiO2からなる厚さ8nmの磁性層108を成膜した。さらに、磁性層108上に、DLCからなる厚さ4nmの保護層109を成膜した後、パーフルオロポリエーテルからなる厚さ1.5nmの液体状の潤滑剤層110を塗布により形成し、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
第1のバリア層105の厚さを、それぞれ2.5nm、5nm、10nm、20nmとした以外は、実施例3−1と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
第1のバリア層105を設けなかった以外は、実施例3−1と同様にして、熱アシスト磁気記録媒体を作製した。
102 密着層
103 配向制御層
104 第1のヒートシンク層
105 第1のバリア層
106 第2のヒートシンク層
107 第2のバリア層
108 磁性層
109 保護層
110 潤滑剤層
401 熱アシスト磁気記録媒体
402 媒体駆動部
403 磁気ヘッド
404 ヘッド駆動部
405 記録再生信号処理系
501 主磁極
502 補助磁極
503 コイル
504 レーザーダイオード
505 レーザー光
506 近接場発生素子
507 導波路
508 記録ヘッド
509 シールド
510 再生素子
511 再生ヘッド
Claims (10)
- 基板上に、第1のヒートシンク層、第1のバリア層、第2のヒートシンク層、L10構造を有する合金を主成分とする磁性層をこの順で有し、
前記第1のバリア層は、酸化物、窒化物または炭化物を主成分とすることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記第1のバリア層の主成分は、NaCl型構造を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記NaCl型構造を有する材料が、MgO、TiO、NiO、TiN、TaN、NbN、HfN、ZrN、VN、CrN、TiC、TaC、NbC、HfCまたはZrCであることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録媒体。
- 前記第1のバリア層の厚さが、1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記第1のバリア層の主成分の熱伝導率が、80W/m・K以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記第2のヒートシンク層が前記第1のヒートシンク層よりも薄いことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記第1のヒートシンク層及び前記第2のヒートシンク層が、Ag、Au、Al、Cu、Rh、MoまたはWを主成分とすることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記第1のヒートシンク層及び前記第2のヒートシンク層の主成分の熱伝導率が、100W/m・K以上であることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記第2のヒートシンク層と前記磁性層との間に第2のバリア層がさらに設けられており、
前記第2のバリア層は、NaCl型構造を有する、MgO、TiO、NiO、TiN、TaN、HfN、NbNまたはTiCを主成分とすることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の磁気記録媒体。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部と、
前記磁気記録媒体に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して相対移動させるヘッド移動部と、
前記磁気ヘッドへの信号入力と前記磁気ヘッドからの出力信号の再生とを行う記録再生信号処理系とを備え、
前記磁気ヘッドは、レーザー光を発生させるレーザー光発生部と、前記レーザー光発生部から発生したレーザー光を前記磁気ヘッドの先端部へと導く導波路と、前記磁気ヘッドの先端部に設けられており、前記磁気記録媒体を加熱する近接場光を発生させる近接場光発生素子とを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017030003A JP6832189B2 (ja) | 2017-02-21 | 2017-02-21 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US15/868,239 US10127939B2 (en) | 2017-02-21 | 2018-01-11 | Magnetic storage apparatus including a magnetic recording medium having a barrier layer between two heat sink layers |
CN201810145330.8A CN108461094B (zh) | 2017-02-21 | 2018-02-12 | 磁记录介质及磁记录再现装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017030003A JP6832189B2 (ja) | 2017-02-21 | 2017-02-21 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018137021A true JP2018137021A (ja) | 2018-08-30 |
JP6832189B2 JP6832189B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=63166611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017030003A Active JP6832189B2 (ja) | 2017-02-21 | 2017-02-21 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10127939B2 (ja) |
JP (1) | JP6832189B2 (ja) |
CN (1) | CN108461094B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021072142A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | 昭和電工株式会社 | アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2021106067A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6887810B2 (ja) * | 2017-01-13 | 2021-06-16 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US10276202B1 (en) * | 2018-04-23 | 2019-04-30 | Western Digital Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium with rhodium or rhodium-based alloy heat-sink layer |
US11521648B2 (en) | 2020-11-04 | 2022-12-06 | Western Digital Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium with multilayered underlayer for the recording layer |
US11900978B1 (en) | 2022-08-11 | 2024-02-13 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic recording medium with underlayer configured to reduce diffusion of titanium into a magnetic recording layer |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014110064A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 |
JP2014116039A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
JP2015015061A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
JP2015530691A (ja) * | 2012-09-27 | 2015-10-15 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | TiN−X中間層を含む磁気スタック |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2002344583A1 (en) * | 2002-10-25 | 2004-05-13 | Fujitsu Limited | Magneto-optical recording medium |
JP4074181B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2008-04-09 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体 |
JP2005317178A (ja) | 2004-03-29 | 2005-11-10 | Sharp Corp | 記録再生装置、記録媒体、記録再生装置の駆動方法、半導体レーザの寿命予測方法、プログラム、プログラム記録媒体、半導体レーザ |
US7521137B2 (en) | 2005-01-12 | 2009-04-21 | Seagate Technology Llc | Patterned thin films and use of such films as thermal control layers in heat assisted magnetic recording media |
US7862914B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-01-04 | Seagate Technology Llc | Heatsink films for magnetic recording media |
JP4675758B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-04-27 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体 |
JP5256053B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-08-07 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
JP5616893B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2014-10-29 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP5412216B2 (ja) | 2009-09-07 | 2014-02-12 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP5561766B2 (ja) * | 2010-02-04 | 2014-07-30 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
CN102163433B (zh) * | 2010-02-23 | 2013-12-25 | 昭和电工株式会社 | 热辅助磁记录介质和磁存储装置 |
US8941950B2 (en) * | 2012-05-23 | 2015-01-27 | WD Media, LLC | Underlayers for heat assisted magnetic recording (HAMR) media |
US8576672B1 (en) * | 2012-05-25 | 2013-11-05 | Seagate Technology Llc | Heat sink layer |
SG11201502574PA (en) * | 2012-10-15 | 2015-05-28 | Fuji Electric Co Ltd | Magentic recording medium for heat assisted recording and method for fabricating same |
JP6199618B2 (ja) | 2013-04-12 | 2017-09-20 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
JP6145332B2 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-06-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
JP6317896B2 (ja) | 2013-07-26 | 2018-04-25 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP6145350B2 (ja) * | 2013-07-31 | 2017-06-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
US9672854B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including MgO-Ti(ON) interlayer |
JP2015088197A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US9443545B2 (en) | 2013-12-24 | 2016-09-13 | HGST Netherlands B.V. | Thermally stable Au alloys as a heat diffusion and plasmonic underlayer for heat-assisted magnetic recording (HAMR) media |
CN104882150A (zh) * | 2014-02-28 | 2015-09-02 | 福建省辉锐材料科技有限公司 | 一种具有石墨烯散热层的热辅助磁盘 |
US9406329B1 (en) * | 2015-11-30 | 2016-08-02 | WD Media, LLC | HAMR media structure with intermediate layer underlying a magnetic recording layer having multiple sublayers |
US9754618B1 (en) * | 2016-04-22 | 2017-09-05 | WD Media, LLC | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium including a split heat-sink structure (SHSS) |
JP6887814B2 (ja) * | 2017-01-24 | 2021-06-16 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP6914663B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2021-08-04 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US9824710B1 (en) * | 2017-05-01 | 2017-11-21 | Western Digital Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium with thermal barrier layer in multilayered heat-sink structure |
-
2017
- 2017-02-21 JP JP2017030003A patent/JP6832189B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-11 US US15/868,239 patent/US10127939B2/en active Active
- 2018-02-12 CN CN201810145330.8A patent/CN108461094B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015530691A (ja) * | 2012-09-27 | 2015-10-15 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | TiN−X中間層を含む磁気スタック |
JP2014110064A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 |
JP2014116039A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
JP2015015061A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021072142A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | 昭和電工株式会社 | アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP7336786B2 (ja) | 2019-10-31 | 2023-09-01 | 株式会社レゾナック | アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2021106067A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP7371494B2 (ja) | 2019-12-27 | 2023-10-31 | 株式会社レゾナック | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10127939B2 (en) | 2018-11-13 |
JP6832189B2 (ja) | 2021-02-24 |
US20180240487A1 (en) | 2018-08-23 |
CN108461094A (zh) | 2018-08-28 |
CN108461094B (zh) | 2019-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20180182423A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
JP6832189B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP5961490B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP6145332B2 (ja) | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 | |
JP6014385B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP6317896B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP5567000B2 (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体 | |
US8988828B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
US20150036242A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
JP2015088197A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
US11437064B1 (en) | Heat-assisted magnetic recording (HAMR) medium with optical-coupling multilayer between the recording layer and heat-sink layer | |
JP2018120649A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP5961439B2 (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2018106774A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP2018129106A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP7371494B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP5858634B2 (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
JP5730047B2 (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
JP2018113092A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP5796883B2 (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2013149315A (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2018206457A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
JP2013149316A (ja) | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6832189 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |