JP5412216B2 - 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents
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Description
これにより、磁性層からヒートシンク層への熱拡散を抑制し、磁性層の温度を高めることができる。熱バリア層としては、例えばMgOを用いることができる。MgOは酸化物であるため熱伝導率が低い。また、磁性層に用いられるL10構造のFePt合金との格子整合性も良いため、MgO層上に形成されたFePt合金磁性層に良好な(001)配向をとらせることができる。以上の点から、MgOは熱バリア層として極めて適した材料である。
MgO膜厚が増加すると、Crからの圧縮応力の影響が弱まり、MgOの格子定数はMgO固有の値に近づく。このため、L10構造の磁性合金との格子ミスフィットが大きくなり、該磁性合金の規則度が低下する。MgO膜厚の増加に伴ってHcが低下するのはこのためである。
圧縮応力導入層としてCrを用いることができる。Crは上記条件を全て満たしている。上記条件を全て満たす範囲内であれば、CrにTi、Mo、W、V、Ta、Nb、Mn、Ruの少なくとも1種類の元素を添加してもよい。
更に、書き込み特性改善のため、Ruを介して反強磁性結合した軟磁性合金層からなる軟磁性下地層(SUL)を形成してもよい。軟磁性合金には、FeTaC合金、CoTaZr合金、CoNbZr合金、CoFeTaB合金、CoFeTaSi合金、CoFeTaZr合金等を用いることができる。また、軟磁性下地層は上記合金からなる単層膜であってもよい。
その他、配向制御、密着性改善、機械強度向上等を目的とした下地層を、基板とMgO層と圧縮応力導入層からなる積層膜の間に形成してもよい。
図1に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成の一例を示す。
ガラス基板(基板)101上に30nmのNi−40atTa層102を形成し、基板101を350℃まで加熱した。その後、4層の膜厚5nmのCr層(圧縮応力導入層)103a、104a、105a、106aと、4層の膜厚2.5nmのMgO層103b、104b、105b、106bとを交互に積層した積層膜107を形成し、92mol%(Fe−45at%Pt−10at%Ni)−8mol%(SiO2)磁性層108を10nm形成した。このとき、Cr層103aをNiTa層102の直上になるように積層した。磁性層108形成後、CVDによりカーボン保護膜109を形成し、潤滑剤110を塗布した。
また、比較例1、2の磁気記録媒体として、Cr層103a、104a、105a、106aとMgO層103b、104b、105b、106bの積層膜107の代わりに、20nmのCr層上に、2nm、もしくは10nmのMgO層を形成した媒体を作製した。上記以外の層構成は、実施例1の磁気記録媒体と同一である。
図3に上記熱アシスト記録用の磁気ヘッドの構造を模式的に示す。
図3に示すように、磁気ヘッドは、記録ヘッド301と再生ヘッド310とを有している。記録ヘッド301は、上部磁極302、下部磁極303、及び両者の間に挟まれたにPSIM(Planar Solid Immersion Mirror)304から構成される。PSIM304は、例えばJpn.,J.Appl.Phys.,Vol.45,no.2B,pp1314−1320(2006)に記載されているような構造のものを用いることができる。PSIM304のGrating部(導波路)305にレーザー光源306から波長440nmの半導体レーザー307を照射し、PSIM304先端部から発生した近接場光308により磁気記録媒体309を加熱できる。再生ヘッド310は、上部シールド312と下部シールド311で挟まれたTMR素子313で構成されている。
以上の結果より、熱バリア層をMgO層103b、104b、105b、106bとCr層103a、104a、105a、106aを積層構造とすることにより、Hcを低下させることなく、磁性層108の温度を300℃以上まで高められることがわかった。
図5に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成の一例を示す。
ガラス基板(基板)501上に10nmのMgO層502を形成し、Agヒートシンク層503を200nm形成した。次いで、4層の膜厚2nmのMgO層504a、505a、506a、507aと、3層の圧縮応力導入層504b、505b、506bとを交互に積層した積層膜508を形成し、基板501を380℃まで加熱した後、8nmの90mol%(Fe−40at%Pt−8at%Ni)−10mol%(TiO2)磁性層509を形成した。
磁性層509形成後、CVDによりカーボン保護膜510を膜厚3nmで形成し、潤滑剤511を塗布した。
また、比較例3の磁気記録媒体として、圧縮応力導入層504b、505b、506bとMgO層504a、505a、506a、507aの積層膜508の代わりに、2nmのMgO単層膜を形成した媒体を作製した。
以上の結果から、表1に示した圧縮応力導入層504b、505b、506bとMgO層504a、505a、506a、507aの積層膜508を熱バリア層として使用することにより、規則度の高いL10構造のFePt膜を有し、かつ、磁性層509の温度を350℃以上まで加熱できる媒体が得られることがわかった。
本実施例媒体の冷却時間をPump−Probe法で測定した。ここで、冷却時間は媒体表面の温度プロファイルが、加熱後、一定温度となるまでの時間として定義した。冷却時間はいずれも300p秒以下であり、加熱後の冷却速度が極めて速いことがわかった。
上記各実施例で示した磁気記録媒体を、図6に示した磁気記憶装置に組み込んだ。
図6に示すように、例えば、本磁気記憶装置は、磁気記録媒体601と、磁気記録媒体601を回転させるための媒体駆動部602と、磁気ヘッド603と、磁気ヘッド603を移動させるためのヘッド駆動部604と、記録再生信号処理系605と、から構成される。
尚、上記磁気ヘッドは図3に示した磁気ヘッドと同一構造である。
Claims (10)
- 基板上に、BCC構造を有し、かつ、格子定数が2.97Å以下の金属もしくは合金からなる圧縮応力導入層と、複数のMgO層とが交互に積層された積層膜が形成されており、該積層膜上に、L1 0 構造のFePt合金、もしくはCoPt合金を主成分とする磁性層が形成されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録媒体。
- 該基板と該積層膜との間に下地層を有することを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該圧縮応力導入層の熱伝導率が200W/mK以下であることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該圧縮応力導入層の熱伝導率が100W/mK以下であることを特徴とする請求項3に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該圧縮応力導入層が、Crからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該圧縮応力導入層が、Crと、Ti、Mo、W、V、Ta、Nb、Mn、Ruの少なくとも1種類の元素を含有するBCC構造の合金からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該積層膜を構成する該MgO層の膜厚が、該MgO層と接している該圧縮応力導入層の膜厚の1/2以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 該積層膜を構成する該MgO層の合計膜厚が10nm以上であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 1層の該MgO層と1層の該圧縮応力導入層とからなる積層膜の積層周期が2周期以上であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回転させるための媒体駆動部と、該磁気記録媒体を加熱するためのレーザー発生部と、該レーザー発生部から発生したレーザー光をヘッド先端まで導く導波路を備えた磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを移動させるためのヘッド駆動部と、記録再生信号処理系とから構成される磁気記憶装置において、該磁気記録媒体が請求項1乃至9のいずれか1項に記載の熱アシスト媒体であることを特徴とする磁気記憶装置。
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