JP2018107258A - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】より生産性の高い、発光装置の製造方法を提供する。【解決手段】発光装置の製造方法は、表面に溝部101gを有する導電基板101を準備する工程(A)と、上面および底面を有し、底面側に正極112および負極114を有する発光体を準備する工程(B)と、溝部を跨いで正極および負極を導電基板に接続する工程(C)と、発光体を覆う樹脂層を導電基板上に形成する工程(D)と、樹脂層とは反対側から、溝部の底が除去されるまで導電基板を薄化して、互いに分離された、正極に接続された第1電極102および負極に接続された第2電極104を形成する工程(E)とを含む。【選択図】図6

Description

本開示は、発光装置の製造方法に関する。
半導体発光素子の底面および側面を樹脂材料で覆い、光の出射側とは反対側の面である底面上に半導体発光素子への給電のための電極対を設けた構造を備えた半導体発光装置が知られている。このような構成によれば、半導体発光素子が有する正極および負極の面積に対して電極の面積を拡大でき、配線基板等へのより容易な実装(例えばフリップチップ接続による実装)が可能になる。
例えば下記の特許文献1は、LED素子の側面と、底面のうちバンプ電極の配置されていない部分とを覆う封止部材の底面に、LED素子のバンプ電極に接続された電極を設けたLED装置、および、その製造方法を開示している。特許文献1に記載されているように、封止部材の底面の電極は、一般に、電解めっき等を利用して封止部材の底面に金属膜を形成し、さらに金属膜をパターニングすることよって形成される。
特開2012−124443号公報
しかしながら、従来知られた手法では、配線基板等への接続のための電極の形成に、レジストの塗布、現像、エッチング等の工程を必要とし、製造工程が複雑である。そのため、配線基板等への接続のための電極をより簡易な方法で形成できると有益である。
本開示の発光装置の製造方法は、表面に第1の溝部を有する導電基板を準備する工程(A)と、上面および底面を有し、前記底面側に正極および負極を有する発光体を準備する工程(B)と、前記第1の溝部を跨いで前記正極および前記負極を前記導電基板に接続する工程(C)と、前記発光体を覆う樹脂層を前記導電基板上に形成する工程(D)と、前記樹脂層とは反対側から、前記第1の溝部の底が除去されるまで前記導電基板を薄化して、互いに分離された、前記正極に接続された第1電極および前記負極に接続された第2電極を形成する工程(E)とを含む。
本開示の実施形態によれば、配線基板等への接続のための電極をより簡易な方法で形成可能であり、生産性が向上し得る。
図1Aは、本開示のある実施形態による発光装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。 図1Bは、本開示の他のある実施形態による発光装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。 図2は、本開示のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置の上面、断面および底面をあわせて示す図である。 図3は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図4は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図5は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図6は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図7は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図8は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図9は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図10は、本開示のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図11は、本開示の他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図12は、本開示の他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図13は、本開示の他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図14は、複数の発光体110Aが結合された構造体の切断ラインCLの他の一例を示す上面図である。 図15は、図14に示す切断ラインCLに沿った分割によって得られる発光装置200Aの模式的な断面図である。 図16は、複数の発光体110Aが結合された構造体の切断ラインCLのさらに他の一例を示す上面図である。 図17は、図16に示す切断ラインCLに沿った分割によって得られる発光装置200Bの模式的な斜視図である。 図18は、本開示のある実施形態による発光装置の製造方法の変形例を説明するための模式的な断面図である。 図19は、めっき層101Pを有する導電基板101Gの模式的な断面図である。 図20は、溝部(第1の溝部)101gおよび溝部101gの延びる方向とは異なる方向に延びる溝部(第2の溝部)101hを有する導電基板101Hの例示的な構成を示す。 図21は、導電基板101Hに発光体110Aを固定した状態を模式的に示す上面図および断面図をあわせて示す図である。 図22は、本開示のさらに他のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置を示す模式的な断面図である。 図23は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図24は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図25は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図26は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図27は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図28は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図29は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図30は、本開示のさらに他のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置を示す模式的な断面図である。 図31は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図32は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。 図33は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な上面図および断面図をあわせて示す図である。 図34は、本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態は、例示であり、本開示による発光装置の構成およびその製造方法は、以下の実施形態に限られない。例えば、以下の実施形態で示される数値、形状、材料、ステップ、そのステップの順序などは、あくまでも一例であり、技術的に矛盾が生じない限りにおいて種々の改変が可能である。
以下の説明では、特定の方向または位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」およびそれらの用語を含む別の用語)を用いる場合がある。しかしながら、それらの用語は、参照した図面における相対的な方向または位置を分かり易さのために用いているに過ぎない。参照した図面における「上」、「下」等の用語による相対的な方向または位置の関係が同一であれば、本開示以外の図面、実際の製品等において、参照した図面と同一の配置でなくてもよい。以下の説明において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、説明を省略することがある。また、図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略することがある。図面が示す構成要素の大きさ、位置関係等は、分かり易さのために誇張されている場合があり、実際の発光装置における大きさ、あるいは、実際の発光装置における構成要素間の大小関係を反映していない場合がある。本開示において「平行」および「垂直」(または「直交」)とは、特に他の言及がない限り、2つの直線、辺あるいは面等がそれぞれ0°から±5°程度および90°から±5°程度の範囲にある場合を含む。
(発光装置の製造方法の概要)
図1Aは、本開示のある実施形態による発光装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。図1Aに示すように、本開示のある実施形態による発光装置の製造方法は、概略的には、表面に溝部を有する導電基板を準備する工程(ステップS1)と、ある面の側に正極および負極を有する発光体を準備する工程(ステップS2a)と、溝部を跨いで正極および負極を導電基板に接続する工程(ステップS3)と、発光体を覆う樹脂層を導電基板上に形成する工程(ステップS4a)と、樹脂層とは反対側から、溝部の底が除去されるまで導電基板を薄化して、互いに分離された第1電極および第2電極を形成する工程(ステップS5)とを含む。図1Bは、本開示の他のある実施形態による発光装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。図1Bに例示する製造方法は、図1Aに示すステップS2aに代えて、ある面の側に正極および負極を有する発光素子を準備する工程(ステップS2b)を含んでいる。また、ステップS4aに代えて、発光素子を覆う樹脂層を導電基板上に形成する工程(ステップS4b)を含んでいる。後述するように、発光体は、発光素子を含む構造体である。以下の説明から明らかとなるように、本開示の実施形態によれば、例えばフォトリソグラフィを必要とすることなく、発光素子への給電のための電極を発光装置の底面に形成可能である。
(発光装置の構造およびその製造方法の第1の例)
図2は、本開示のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置の構成を示す。図2の中段は、図2の上段の上面図におけるA−A’線断面図である。図2の下段は、これらの上面図および断面図に対応する底面図である。
図2に示す発光装置100Aは、発光体110Aと、第1電極102と、第2電極104と、接合部材103、105と、光反射性樹脂部106Re、106Rfとを有する。発光体110Aは、上面(第1面)111aおよび底面(第2面)111b、ならびに、上面111aと底面111bとの間に位置する側面111sを有する発光素子111をその一部に含んでいる。発光素子111の上面111aおよび底面111bは、それぞれ、発光体110Aの上面110a側および底面110b側に位置し、ここでは、発光素子111の底面111bは、発光体110Aの底面110bを構成している。図2に模式的に示すように、発光素子111は、素子本体111mと、底面111b側に設けられた正極112および負極114とを有する。したがって、発光体110Aがその底面110b側に正極112および負極114を有するといってもよい。図2に例示する構成において、発光体110Aは、発光素子111の上面111a側に配置された保護層118と、発光素子111および保護層118に挟まれた波長変換層116Aとをさらに含む。
発光素子111の素子本体111mは、例えば透光性の基板と、基板上の半導体積層構造とを含む。半導体積層構造は、活性層と、活性層を挟むn型半導体層およびp型半導体層とを含む。発光素子111としては、半導体レーザ、LED等の公知の半導体発光素子のチップを利用することができる。以下では、発光素子111としてLEDチップを例示する。
発光素子111の上面111aとは反対側の底面111b側に設けられた正極112および負極114は、例えば、Ag、Al、Au、Cu、Ti、Ni、Pt、Pd、W等の金属または合金の単層膜または積層膜である。正極112および負極114は、例えば電解めっきによって形成することができる。正極112は、接合部材103によって第1電極102に接続され、負極114は、接合部材105によって第2電極104に接続される。
発光体110Aの保護層118は、発光素子111の上面111aの上方に位置する。保護層118は、透光性部材であり、例えば透明樹脂層である。保護層118は、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、トリメチルペンテン樹脂もしくはポリノルボルネン樹脂、または、これらの樹脂の2種以上を含む樹脂の層であり得る。保護層118は、ガラスから形成された層であってもよい。
波長変換層116Aは、保護層118と発光素子111との間に配置されている。波長変換層116Aは、例えば樹脂中に蛍光体の粒子が分散された層である。波長変換層116Aは、発光素子111から出射する光の少なくとも一部を吸収し、発光素子111からの出射光の波長とは異なる波長の光を発する。波長変換層116Aは、波長変換物質である蛍光体の粒子が樹脂材料に分散された樹脂組成物を用いて形成することができる。蛍光体の粒子を分散させる樹脂材料としては、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂もしくはフッ素樹脂、または、これらの樹脂の2種以上を含む樹脂を用いることができる。蛍光体には、公知の材料を適用することができる。蛍光体の例は、YAG系蛍光体、KSF系蛍光体等のフッ化物系蛍光体およびCASN等の窒化物系蛍光体、βサイアロン蛍光体等である。YAG系蛍光体は、青色光を黄色光に変換する波長変換部材の例であり、KSF系蛍光体およびCASNは、青色光を赤色光に変換する波長変換部材の例であり、βサイアロン蛍光体は、青色光を緑色光に変換する波長変換部材の例である。蛍光体は、量子ドット蛍光体であってもよい。
この例では、発光素子111の上面111a側から見たときの発光体110Aの外形は、矩形状である。図2の上段に示すように、光反射性樹脂部106Reは、発光体110Aを取り囲むようにして発光体110Aの4つの側面を覆っている。後述するように、光反射性樹脂部106Reは、例えば光反射性のフィラーが分散された樹脂材料から形成され、発光素子111から出射された光を反射させる。発光装置100Aは、その上面100aのうち、保護層118が露出された部分から、発光素子111からの光を外部に向けて出射する。
光反射性樹脂部106Rfは、図2の中段および下段に示すように、発光装置100Aの第1電極102および第2電極104の間に位置する。光反射性樹脂部106Reと同様に、光反射性樹脂部106Rfも例えば光反射性のフィラーが分散された樹脂材料から形成される。発光装置100Aの第1電極102および第2電極104の間の空間を光反射性樹脂部106Rfが占めることにより、発光装置100Aの底面100b側からの光の出射が抑制され、光の利用効率向上の効果が得られる。
図2の中段を参照すれば分かるように、第1電極102および第2電極104の表面と、光反射性樹脂部106Rfの表面とは、整合しており、したがって、発光装置100Aの底面100bは、ここでは平坦面である。
以下、図3〜図10を参照しながら、図2に示す構造を有する発光装置の例示的な製造方法を詳細に説明する。
まず、図3に示すように、表面に溝部(第1の溝部)101gを有する導電基板101を準備する(図1AのステップS1)。導電基板101は、例えば、Cu、Al等の金属板を準備し、金属板の一方の主面に溝部101gを形成することによって形成できる。溝部101gは、エッチング、スクライブ、ダイシング(ハーフカット)等を適用して金属板の一部を除去することによって形成すればよい。導電基板101の上面視における形状は、任意である。導電基板101の形状としては、後続する工程における取り扱い、加工等に適した形状を採用し得る。
図3は、その上段および下段に、導電基板101の一例の模式的な上面図および断面図をあわせて示す。図3に例示する構成において、導電基板101は、3本の溝部101gが形成された表面101sを有する。ここでは、溝部101gの各々は、上面図において紙面の上下方向に沿って直線状に延びている。溝部101gの数、形状および配置は、図3に示す例に限定されず、例えば溝部101gの形状は、曲線状であってもよいし、屈曲および/または分岐を含んでいてもよい。
ここで、図3中の3本の溝部101gのうち中央の1つに注目する。その溝部が設けられることにより、その溝部の左右に第1領域R1および第2領域R2が形成されている。導電基板101のうち、第1領域R1および第2領域R2は、それぞれ、溝部101gの底101bに対して凸形状の第1部分11および第2部分12を含む。なお、溝部101gの幅Wは、正極112および負極114の間隔に厳密に一致している必要はない。幅Wは、正極112および負極114の間隔程度であればよい。
次に、底面側に正極および負極を有する発光体を準備する(図1AのステップS2a)。なお、ここでは、図2を参照して説明した発光体110Aを用いる。
導電基板101および発光体110Aの準備後、発光体110Aを導電基板101に固定する。このとき、図4に示すように、発光体110Aの底面110bに位置する正極112および負極114を導電基板101の表面101sに対向させて発光体110Aを導電基板101に固定する。
図5は、導電基板101への発光体110Aの固定後の状態を示す。図5の上段は、発光体110Aが固定された導電基板101の上面図であり、図5の下段は、図5の上段に示す上面図のB−B’線断面図である。本開示の以降の他の断面図においても、特に断りの無い限り、図5の上段に示すB−B’線と同様の位置での垂直断面を示す。
図5に模式的に示すように、導電基板101への発光体110Aの固定の工程においては、発光体110Aが導電基板101の溝部101gを跨ぐようにして、発光体110Aを導電基板101に固定する。図5の下段に示されるように、このとき、溝部101gを跨いで正極112および負極114を導電基板101に接続する(図1AのステップS3)。例えば、導電基板101の第1領域R1上に接合部材103を付与し、接合部材103によって正極112と導電基板101(例えば第1部分11)とを互いに接続および固定する。同様に、導電基板101の第2領域R2上に接合部材105を付与し、接合部材105によって負極114と導電基板101(例えば第2部分12)とを互いに接続および固定する。
接合部材103、105は、発光体110Aと導電基板101とを互いに電気的に接続する機能を有する。接合部材103、105として、例えばはんだを用いることができる。接合部材103、105の材料の例は、Au含有合金、Ag含有合金、Pd含有合金、In含有合金、Pb−Pd含有合金、Au−Ga含有合金、Au−Sn含有合金、Sn含有合金、Sn−Cu含有合金、Sn−Cu−Ag含有合金、Au−Ge含有合金、Au−Si含有合金、Al含有合金、Cu−In含有合金、または、金属およびフラックスの混合物等である。接合部材103、105の材料としては、液状、ペースト状または固体状(シート状、ブロック状、粉末状、ワイヤ状)の部材を用いることができ、発光体の組成、基板の形状等に応じて適切な部材を適宜選択すればよい。接合部材103、105は、単一の部材で構成されていてもよいし、数種の部材を組み合わせて接合部材103、105として用いてもよい。
図5の上段に示すように、1つの導電基板101上に複数の発光体110Aを固定してもよい。この例では、第1の方向(ここでは紙面の上下方向)、および、第1の方向とは異なる第2の方向(ここでは紙面の左右方向)に複数の発光体110Aを配置することによって、導電基板101上にマトリクス状に発光体110Aを固定している。もちろん、導電基板101上における複数の発光体110Aの配置は、任意に設定し得る。ただし、導電基板101上のいずれの発光体110Aについても、溝部101gを跨いで正極112および負極114を導電基板101に接続する。
後述する工程から明らかになるように、導電基板101上に複数の発光体を配置しておくことにより、複数の発光装置を効率的に製造できる。また、複数の発光部を有する発光装置を比較的容易に製造することが可能になる。後述するように、本開示の実施形態では、導電基板101への発光体(または発光素子)の接続後に、発光体(または発光素子)を覆う樹脂層を形成する。導電基板101上に複数の発光体を配置する場合、発光体間のピッチは、樹脂層を形成するための材料の粘度、発光体および導電基板101の溝部101gの形状等に応じて適宜設定され得る。
次に、発光体110Aを覆う樹脂層を導電基板101上に形成する(図1AのステップS4a)。ここでは、発光体110Aを覆う光反射性樹脂層106Rを導電基板101上に形成する。図6に模式的に示すように、光反射性樹脂層106Rは、発光体110Aのうち、接合部材103または105に接する部分以外の全体を覆うように形成される。
光反射性樹脂層106Rは、例えば光反射性のフィラーが分散された樹脂層である。光反射性のフィラーとしては、金属の粒子、または、光反射性のフィラーを分散させる樹脂材料よりも高い屈折率を有する無機材料もしくは有機材料の粒子を用いることができる。光反射性のフィラーの例は、二酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ムライト、酸化ニオブ、硫酸バリウム、酸化ケイ素、各種希土類酸化物(例えば、酸化イットリウム、酸化ガドリニウム)等の粒子である。光反射性のフィラーを分散させる樹脂材料としては、例えば、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂もしくはフッ素樹脂、または、これらの樹脂の2種以上を含む樹脂を用いることができる。光反射性樹脂層106Rは、発光素子111からの光に対する反射率が例えば60%以上の層である。発光素子111からの光に対する反射率は、70%以上、80%または90%以上であってもよく、適宜に設定され得る。
光反射性樹脂層106Rの形成には、例えばトランスファー成形等の圧縮成形法を適用可能である。熱および圧力を加えながら、例えば未硬化の樹脂に光反射性のフィラーが分散された材料を型の内部で流動させることによって、図6の下段に模式的に示すように、発光体110Aの底面(この例では発光素子111の底面111bと共通)と、溝部101gの底101bとに挟まれた部分にも光反射性樹脂層106Rの材料を配置し得る。溝部101gの底101bに、予め貫通孔を形成しておいてもよい。溝部101gの底101bに貫通孔を設けておくことにより、発光体110Aの底面と、溝部101gの底101bとに挟まれた部分に光反射性樹脂層106Rの材料をより確実に流し得る。なお、ここでは、接合部材103および105によって発光体110Aが導電基板101に固定されているので(発光素子111が導電基板101に固定されているといってもよい。)、圧縮成形時に導電基板101から発光体110A(または発光素子111)が分離してしまうことを抑制し得る。また、導電基板101の熱膨張による発光体110Aのずれも抑制される。圧縮成形法を適用する場合、光反射性樹脂層106Rを形成するための樹脂組成物として、エポキシ系またはシリコーン系の粉状のモールドコンパウンド等を用いてもよい。
次に、光反射性樹脂層106Rとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで導電基板101を薄化する(図1AのステップS5)。例えば、平面研削機を用いて、導電基板101の表面101sとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで研削することにより、図7に模式的に示すように、溝部101gの位置で研削面Gsbから光反射性樹脂層106Rの一部を露出させることができる。溝部101gの底101bが除去されることにより、導電基板101が溝部101gの位置で複数の導電片101pに分離される。例えば、導電基板101のうち、第1部分11(図6参照)の一部および第2部分12(図6参照)は、導電基板101の薄化後、互いに分離された状態で導電片101pとして光反射性樹脂層106R上に残る。複数の導電片101pの各々は、自身とは異なる他の導電片101pから空間的にも電気的にも分離された状態にある。
次に、光反射性樹脂層106Rの一部を除去することにより、図8に模式的に示すように、発光素子111の上面111a側に位置する保護層118を光反射性樹脂層106Rから露出させる。光反射性樹脂層106Rの一部の除去には、例えばラップ加工、平面研削機を利用した研削加工等を用いることができる。このとき、保護層118の一部が光反射性樹脂層106Rの一部とともに除去されてもかまわない。図8の上段に示すように、この例では、研削面Gsaに保護層118が矩形状に現れる。このときの、表面101sから光反射性樹脂層106Rの上面に相当する研削面Gsaまでの垂直方向の距離(高さ)は、例えば200〜250μm程度である。なお、光反射性樹脂層106Rの一部の除去後に導電基板101の薄化を実行してもかまわない。
次に、例えば切削砥石(ブレード)を用いたダイシングによって、図9中に太い破線CLで示すように、発光体110Aの間の位置で導電片101pおよび光反射性樹脂層106Rを切断する。切断により、導電片101pおよび光反射性樹脂層106Rによって複数の発光体110Aが結合された構造体が、例えばそれぞれが発光体110Aを有する複数の構造体に分割される。このとき、図10に示すように、複数の発光体110Aの間で共有されていた導電片101pが発光体110Aの正極112および負極114毎に分割される。導電片101pの各々を、各発光体110Aの正極112または負極114に接続された部分に分割することにより、1つの発光体110Aを含む構造体毎に、接合部材103によって正極112に接続された第1電極102と、接合部材105によって負極114に接続された第2電極104とを形成することができる。
図10から分かるように、第1電極102と第2電極104との間には光反射性樹脂部106Rfが介在しており、最終的に得られる構造において、第1電極102および第2電極104は、空間的にも電気的にも互いに分離されている。また、図9を参照して説明した工程から明らかなように、発光装置100Aの側面100sを構成する、第1電極102および第2電極104の表面は、発光装置100Aの側面100sを構成する、光反射性樹脂部106Reの表面に整合している。なお、第1電極102および第2電極104の厚さは、例えば5μm以上150μm以下程度の範囲であり得る。
以上の工程により、図2を参照して説明した構造を有する発光装置100Aが得られる。上述の例示的な製造方法によれば、フォトリソグラフィを必要とすることなく、発光装置の底面側に、発光素子の正極および負極にそれぞれ接続され、正極および負極よりも面積が拡大された電極を比較的容易に形成できる。このように、本開示の実施形態によれば、製造工程の複雑化を回避しながら、正極および負極よりも面積が拡大された給電用の電極を底面に有する発光装置を提供することが可能である。給電用の電極として、発光体(または発光素子)の正極および負極と比較して大きな面積を有する電極が形成されるので、配線基板等に対する位置合わせが容易になる。すなわち、配線基板等に対する実装が容易な発光装置が提供される。また、比較的大きな面積を有する電極に発光装置中の発光体(または発光素子)の正極および負極が電気的に接続されるので、放熱性向上の効果も得られる。
導電基板101に固定された発光体110Aを覆う樹脂層として光反射性樹脂層106Rを形成することにより、発光素子111、波長変換層116Aおよび保護層118の側面を覆う光反射性樹脂部106Reを形成することができる。発光素子111、波長変換層116Aおよび保護層118を取り囲む光反射性樹脂部106Reを形成することにより、発光素子111の例えば側面から出射された光を光反射性樹脂部106Reによって反射させて、発光素子111からの光を発光装置100Aの上面100aに向けて反射させることができる。すなわち、光の利用効率が向上する。
また、発光体110Aを覆う樹脂層として光反射性樹脂層106Rを形成することにより、発光素子111の底面111bの、正極112および負極114の間に位置する部分を覆う光反射性樹脂部106Rfを形成することが可能である。光反射性樹脂部106Rfを設けることにより、発光素子111の底面111b側からの光の出射が抑制され、光の利用効率がより向上し得る。
(変形例)
なお、発光体110Aに代えて、発光素子111を準備し、発光素子111を導電基板101に固定してから、発光素子111の上面111a上に波長変換層116Aおよび保護層118を配置または形成してもよい。すなわち、図3〜図10を参照して説明した例と同様に、導電基板101を準備する(図1BのステップS1)。発光素子111を準備し(図1BのステップS2b)、図11に示すように、発光素子111が導電基板101の溝部101gを跨ぐようにして、波長変換層116Aおよび保護層118を有しない状態の発光素子111を導電基板101に固定する。このとき、溝部101gを跨いで正極112および負極114を導電基板101に接続する(図1BのステップS3)。
図12は、導電基板101への発光素子111の固定後の状態を示す。図示するように、導電基板101と正極112との間、および、導電基板101と負極114との間には、それぞれ、接合部材103および105が形成されている。
次に、発光素子111の上面111a側に保護層118を形成する。ここでは、発光素子111の上面111a上に波長変換層116Aおよび保護層118を形成する。
例えば、図13に模式的に示すように波長変換層116Aおよび保護層118の積層体LBを発光素子111の上面111a上に配置することによって、上面111a上に波長変換層116Aおよび保護層118を形成することが可能である。積層体LBは、蛍光体の粒子が分散された樹脂材料中の樹脂をBステージの状態とした蛍光体シートと、透明シート(例えば透明樹脂のシート)とを準備し、これらを貼り合わせることによって準備することができる。積層体LBは、蛍光体、シリコーン樹脂等の樹脂材料、無機フィラー粒子および溶媒を含有するスラリーを、スプレー法、キャスト法、ポッティング法等の塗布法によって保護層118の一方の主面上に付与し、付与された材料を硬化させることによっても形成することができる。積層体LBは、発光素子111毎に配置されてもよいし、複数の発光素子111を覆う大きさの積層体LBを複数の発光素子111上に配置してもよい。あるいは、発光素子111の上面111a上に波長変換層116Aの材料を付与した後、透明シートを重ねてから波長変換層116Aの材料を硬化させることによって、発光素子111の上面111a上に波長変換層116Aおよび保護層118を形成してもよい。発光素子111の上面111a上に波長変換層116Aおよび保護層118を形成した後の状態は、図5に示す状態と同様である。
保護層118の形成後、発光素子111を覆う樹脂層を導電基板101上に形成する(図1BのステップS4b)。例えば、保護層118の外側から発光素子111を覆うように光反射性樹脂層106Rを形成する。光反射性樹脂層106Rの形成後の状態は、図6と同様であり得るので図示を省略する。本明細書において、「覆う」には、被覆される部材と被覆する部材とが接している態様だけでなく、これらが直接に接していない部分を含むような態様も包含するように解釈される。
その後、上述の図7〜図10に示す工程と同様の工程を実行する。すなわち、光反射性樹脂層106Rとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで導電基板101を薄化する(図1BのステップS5、図7参照)。次に、光反射性樹脂層106Rの一部を除去することにより、発光素子111の上面111a側に位置する保護層118を光反射性樹脂層106Rから露出させる(図8参照)。さらに、発光素子111の間の位置で導電片101pおよび光反射性樹脂層106Rを切断する(図9参照)。切断により、1つの発光素子111を含む構造体毎に、接合部材103によって正極112に接続された第1電極102と、接合部材105によって負極114に接続された第2電極104とが形成される。
以上のような工程によっても、図2を参照して説明した構造を有する発光装置100Aを得ることが可能である。この例のように、導電基板101への発光素子111の固定後に波長変換層116Aおよび/または保護層118を形成することにより、波長変換層116Aおよび/または保護層118を有する構造体(例えば発光体110A)を導電基板101に固定する場合と比較して、導電基板101との接合の際の加熱に起因する、上面111a上の層へのダメージを低減し得る。
なお、図9および図10を参照して説明した例では、複数の発光体110Aが結合された構造体を、それぞれが発光体110Aを有する複数の単位に切断している。しかしながら、構造体の分割の単位は、この例に限定されない。それぞれが複数の発光体110Aを含む単位に構造体を分割してもよい。
図14は、複数の発光体110Aが結合された構造体の切断ラインCLの他の一例を示す。図14に示す例では、導電片101pの位置していない部分(溝部101gのあった部分)の延びる第1の方向(ここでは紙面の上下方向)に関しては、発光体110A毎に切断ラインCLを設定している。他方、第2の方向(ここでは紙面の左右方向)に関しては、2個の発光体110A毎に切断ラインCLを設定している。このような切断ラインCLの設定によれば、図15に示すように、それぞれが、直列に接続された2個の発光体110Aを含む複数の発光装置200Aを効率的に提供し得る。
図15に示す発光装置200Aは、2個の発光体110Aを含むことに対応して、その上面200aに2つの発光部LEを有する。図15に例示する構成において、左側の発光体110Aの負極114および右側の発光体110Aの正極112は、それぞれ、接合部材105および103を介して、共通の電極101qに接続されている。発光装置200Aを例えば配線基板に実装する場合、左側の発光体110Aの正極112に接続された第1電極102と、右側の発光体110Aの負極114に接続された第2電極104との間に所定の電流が供給されるように、発光装置200Aを配線基板上の配線パターンに接続する。
図16は、複数の発光体110Aが結合された構造体の切断ラインCLのさらに他の一例を示す。図16に示す例では、第1の方向(ここでは紙面の上下方向)に関して、2個の発光体110A毎に切断ラインCLを設定し、第2の方向(ここでは紙面の左右方向)に関しては、発光体110A毎に切断ラインCLを設定している。このような切断ラインCLの設定によれば、図17に示すように、それぞれが、並列に接続された2個の発光体110Aを含む複数の発光装置200Bが得られる。発光装置200Bの第1電極102および第2電極104は、2個の発光体110Aの間で共有される。つまり、この例では、2個の発光体110Aの正極112同士が接合部材103を介して単一の第1電極102に接続され、負極114同士が接合部材105を介して単一の第2電極104に接続されている。
このように、本開示の実施形態によれば、直列または並列に接続された複数の発光体(または発光素子)を含む発光装置の提供も比較的容易である。もちろん、発光装置に含まれる発光体の数は、任意に設定し得る。
表面にめっき層を有する金属板を用いて導電基板を形成してもよい。めっき層を形成することにより、はんだなどの導電材料に対する導電基板の濡れ性を向上させることができ、導電基板への発光体110A(または発光素子111)の配置がより容易になる。
例えば、図18に模式的に示すように、まず、金属板101Mの表面をめっきし、例えばAu膜101fを形成する。その後、図19に模式的に示すように、エッチング等によってAu膜101fおよび金属板101Mの一部を除去し、溝部101gを形成する。これにより、めっき層101Pを有する導電基板101Gが得られる。
このとき、金属板101Mの一部をめっき層101Pごと除去することによって、金属板101Mに複数の第2の溝部をさらに形成してもよい。図20は、溝部(第1の溝部)101gおよび溝部101gの延びる方向とは異なる方向に延びる溝部(第2の溝部)101hをさらに有する導電基板101Hの例示的な構成を示す。図20に例示する構成において、複数の溝部101hは、複数の溝部101gの延びる第1の方向(ここでは紙面の上下方向)に直交する方向に延びている。溝部101gおよび溝部101hが設けられることにより、グリッド状の溝部が導電基板101Hに形成される。また、溝部101gとは異なる方向に延びる溝部101hが形成される結果、溝部101gによって互いに分離された第1の島状部107および第2の島状部109が溝部101gの左右に形成されている。
図21は、導電基板101Hに発光体110Aを固定した状態を示す。図21に模式的に示すように、導電基板101Hへの発光体110Aの固定においては、発光体110Aが溝部101gを跨ぐようにして、正極112および負極114をそれぞれ金属板101Mの第1の島状部107および第2の島状部109に接続する。発光体110Aに代えて発光素子111をまず導電基板101Hに固定する場合には、発光素子111が溝部101gを跨ぐようにして、正極112および負極114をそれぞれ金属板101Mの第1の島状部107および第2の島状部109に接続すればよい。
図21の下段に示すように、この例では、めっき層101Pは、金属板101Mの第1の島状部107および第2の島状部109上に位置しており、溝部101g上の領域、および、図21の下段には現れていない溝部101h上の領域からはめっき(ここではAu膜)は除去されている。導電基板101Hのうち、めっきが形成されている部分は、はんだに対する濡れ性が高く、したがって、より確実に接合部材103および105を配置し得る。他方、金属板101Mとして例えばCu板を用い、溝部101gおよび101hを形成した場合、めっきが除去される結果、溝部101gおよび101hの部分が酸化されやすくなり、溝部101gおよび101hにおけるはんだの濡れ性が低下する。換言すれば、溝部101gおよび101h内に接合部材103および105が配置されにくくなり、正極112または負極114が溝部101gまたは101hの部分で導電基板101Hに接合されてしまうことを防止し得る。
このように、溝部101gおよび101hを設けることにより、第1の島状部107上および第2の島状部109上に選択的にめっきを残すことができる。正極112および負極114の接続されるべき領域に、はんだ等の導電材料に対する濡れ性が選択的に向上された領域を設けておくことにより、発光体(または発光素子)の位置ずれを抑制して、導電基板の所望の領域に、より確実に発光体(または発光素子)を接合し得る。つまり、導電基板に対する発光体(または発光素子)の固定時のアラインメントずれを低減し得る。なお、めっき層101Pの形成、溝部101gの形成、溝部101hの形成の順序は、上述の例に限定されず、任意に変更可能である。例えば、溝部101hの形成後にめっき層101Pを形成してもよい。また、溝部101hの数、形状および配置は、溝部101gと同様に、任意に設定してよい。
(発光装置の構造およびその製造方法の第2の例)
図22は、本開示の他のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置の断面を模式的に示す。図22に示す発光装置100Bは、発光体110Bと、第1電極102と、第2電極104と、接合部材103、105と、透明樹脂部106Ceと、光反射性樹脂部106Rfとを有する。発光体110Bは、図2を参照して説明した発光体110Aと同様に、発光素子111を含む。この例においても、発光体110Bの底面110bは、発光素子111の底面111bに一致している。
発光装置100B中の発光体110Bと、図2を参照して説明した発光体110Aとの間の主要な相違点は、発光体110Bが保護層118を含んでおらず、かつ、平板状の波長変換層116Aに代えて、発光素子111の上面111aおよび側面111sを覆う波長変換層116Bを有している点である。波長変換層116Bは、例えば波長変換層116Aを形成するための材料と同様の材料を用いて波長変換層116Aと同様に形成し得る。
図22に例示する構成において、透明樹脂部106Ceは、発光体110Bのうち、接合部材103および105に接する部分以外の部分を覆っている。透明樹脂部106Ceの一部は、発光素子111の底面111b側であって正極112および負極114の間にも位置している。ただし、図22に示すように、第1電極102および第2電極104の間は、光反射性樹脂部106Rfによって埋められている。発光装置100Bの底面100b側に第1電極102、第2電極104および光反射性樹脂部106Rfが位置することによって、発光装置100Bの底面100b側からの光の出射が抑制される。このような構成によれば、発光装置100Bの上面100aおよび側面100sから光を取り出すことができる。また、透明樹脂部106Ceを波長変換層116Bの保護層として機能させ得る。
以下、図面を参照しながら、発光装置100Bの例示的な製造方法を詳細に説明する。
まず、表面に溝部を有する導電基板を準備する。ここでは、図3〜図10を参照して説明した例と同様の導電基板101を用いる例を説明するが、図18〜図20を参照して説明したような、めっき層101Pを有する導電基板101Hを用いてもかまわない。
ここでは、図23に模式的に示すように、導電基板101の溝部101gの内部を樹脂材料で充填することにより、溝部101gを埋める樹脂部106Rgを形成する。樹脂部106Rgの材料としては、上述の光反射性樹脂部106Rfの材料と同様の材料、例えば、光反射性のフィラーが分散された樹脂材料を用いることができる。樹脂部106Rgの表面は、例えば、導電基板101の表面101sに整合させられる。
次に、発光体110Bを準備し、発光体110Bを導電基板101に固定する。このとき、図24に示すように、溝部101gを跨いで発光体110Bの底面110b側の正極112および負極114を導電基板101に接続する。例えば、導電基板101の第1領域R1上に接合部材103を付与し、接合部材103によって正極112と導電基板101とを互いに接続および固定する。また、導電基板101の第2領域R2上に接合部材105を付与し、接合部材105によって負極114と導電基板101(例えば第2部分12)とを互いに接続および固定する。導電基板101上には、任意の個数の発光体110Bが配置され得る。
次に、発光体110Bを覆う樹脂層を導電基板101上に形成する。ここでは、発光体110Bを覆う透明樹脂層106Cを導電基板101上に形成する。透明樹脂層106Cの材料としては、上述の発光体110Aの保護層118の材料と同様の材料を用い得る。図25に模式的に示すように、透明樹脂層106Cは、発光体110Bのうち、接合部材103または105に接する部分以外の全体を覆うように形成される。透明樹脂層106Cは、上述の光反射性樹脂層106Rと同様に、例えばトランスファー成形等の圧縮成形法を適用することによって形成可能である。透明樹脂層106Cの材料は、発光体110Bの底面と、溝部101gに充填された樹脂部106Rgの表面とに挟まれた部分にも配置され得る。なお、この例では、発光体110Bの底面は、発光素子111の底面111bと共通とされている。
次に、平面研削機等を用い、透明樹脂層106Cとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで導電基板101を薄化する。薄化により、図26に模式的に示すように、溝部101gの位置で研削面Gsbから樹脂部106Rgの一部を露出させることができる。溝部101gの底101bが除去されることにより、導電基板101が溝部101gの位置で複数の導電片101pに分離される。
次に、例えばダイシングにより、図27中に太い破線CLで示すように、発光体110Bの間の位置で導電片101pおよび透明樹脂層106Cを切断する。既に説明したように、切断ラインCLの位置および数は、最終的に得ようとする発光装置の設計に応じて適宜に設定すればよい。切断により、複数の発光体110Bの間で共有されていた導電片101pが各発光体110Bの正極112および負極114毎に分割される。また、切断により、透明樹脂層106Cおよび樹脂部106Rgが複数の部分に分離され、図28に模式的に示すように、透明樹脂部106Ceおよび光反射性樹脂部106Rfが形成される。このように、導電基板101の溝部101gを光反射性樹脂で埋めてから導電基板101に発光体110Bを配置することにより、最終的に得られる発光装置100Bの第1電極102と第2電極104との間に光反射性樹脂部106Rfを形成することができる。第1電極102と第2電極104との間に光反射性樹脂部106Rfを形成することにより、第1電極102と第2電極104との間からの光の出射が抑制される。
以上の工程を経て発光装置100Bが得られる。図22〜図28を参照して説明した第2の例によれば、発光素子111からの光の波長とは異なる波長を有する光を上面100aおよび側面100sから取り出すことができ、かつ、配線基板等への実装がより容易となる発光装置100Bを提供し得る。
図11〜図13を参照して説明した例と同様にして、発光体110Bに代えて発光素子111をまず導電基板101に固定してもよい。例えば、導電基板101および発光素子111を準備する。次に、図23を参照して説明したように、導電基板101の溝部101gの内部を樹脂材料で充填することにより、溝部101gを埋める樹脂部106Rgを形成する。
次に、図29に示すように、発光素子111が導電基板101の溝部101gを跨ぐようにして、発光素子111の正極112および負極114を導電基板101に接続する。その後、発光素子111の上面111aおよび側面111sを覆う波長変換層116Bを形成する。波長変換層116Bを形成後の状態は、図24に示す状態と同様であるので、ここでは図示を省略する。
波長変換層116Bは、例えば蛍光体の粒子が樹脂材料に分散された未硬化の樹脂組成物を発光素子111の上面111aおよび側面111sに付与し、樹脂組成物を硬化させることによって形成可能である。なお、波長変換層116Bの下端は、発光素子111の底面111bよりも低い位置まで延びていてもかまわない。
波長変換層116Bの形成後、発光素子111を覆う樹脂層を導電基板101上に形成する。ここでは、波長変換層116Bの外側から発光素子111を覆うように透明樹脂層106Cを形成する。透明樹脂層106Cの形成後の状態は、図25と同様であり得るので図示を省略する。
その後、上述の図26〜図28に示す工程と同様の工程を実行することにより、図22を参照して説明した構造を有する発光装置100Bが得られる。すなわち、透明樹脂層106Cとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで導電基板101を薄化する(図26参照)。次に、発光素子111の間の位置で導電片101pおよび透明樹脂層106Cを切断する(図27参照)。切断により、1つの発光素子111を含む構造体毎に第1電極102および第2電極104とが形成される(図28参照)。
(発光装置の構造およびその製造方法の第3の例)
図30は、本開示のさらに他のある実施形態による製造方法によって得られる例示的な発光装置の断面を模式的に示す。図30に示す発光装置100Cは、発光素子111と、第1電極102と、第2電極104と、接合部材103、105と、波長変換部106Peと、光反射性樹脂部106Rfとを有する。
図30に例示する構成において、波長変換部106Peは、発光素子111のうち、接合部材103および105に接する部分以外の部分を覆っている。波長変換部106Peの一部は、発光素子111の底面111b側であって正極112および負極114の間にも位置している。発光装置100Cにおいても、上述の発光装置100Bと同様に、第1電極102および第2電極104の間は、光反射性樹脂部106Rfによって埋められる。
波長変換部106Peは、例えば樹脂と、樹脂中に分散された波長変換部材とを含有する材料から形成され、発光素子111から出射する光の一部を吸収し、発光素子111からの出射光の波長とは異なる波長の光を発する。発光装置100Cからは、上述の発光装置100Bと同様に、上面100aおよび側面100sから光を取り出すことができる。
以下、図面を参照しながら、発光装置100Cの例示的な製造方法を詳細に説明する。
まず、表面に溝部を有する導電基板を準備する。ここでは、図22〜図28を参照して説明した例と同様に、導電基板101を準備し、さらに、溝部101gの内部を樹脂材料で充填することにより、溝部101gを埋める樹脂部106Rgを形成する。
次に、発光素子111を準備し、発光素子111を導電基板101に固定する。このとき、溝部101gを跨いで正極112および負極114を導電基板101に接続する。導電基板101上には、任意の個数の発光素子111が配置され得る。導電基板101上に発光素子111を配置後の状態は、図29に示す状態と同様である。
次に、発光素子111を覆う樹脂層を導電基板101上に形成する。ここでは、発光素子111を覆う波長変換層106Pを導電基板101上に形成する。波長変換層106Pの材料としては、例えば波長変換層116Aを形成するための材料または波長変換層116Bを形成するための材料と同様の材料を用い得る。換言すれば、例えば、樹脂と、樹脂中に分散された波長変換部材(例えば蛍光体)とを含有する材料等を用いることができる。また、波長変換層106Pは、上述の光反射性樹脂層106Rまたは透明樹脂層106Cと同様に、例えばトランスファー成形等の圧縮成形法によって形成可能である。図31に模式的に示すように、波長変換層106Pは、発光素子111のうち、接合部材103または105に接する部分以外の全体を覆うように形成される。
次に、平面研削機等を用い、波長変換層106Pとは反対側から、溝部101gの底101bが除去されるまで導電基板101を薄化する。薄化により、図32に模式的に示すように、溝部101gの位置で研削面Gsbから樹脂部106Rgの一部を露出させることができる。溝部101gの底101bが除去されることにより、導電基板101が溝部101gの位置で複数の導電片101pに分離される。
次に、例えばダイシングにより、図33中に太い破線CLで示すように、発光素子111の間の位置で導電片101pおよび波長変換層106Pを切断する。切断により、図34に模式的に示すように、複数の発光素子111の間で共有されていた導電片101pが各発光素子111の正極112および負極114毎に分割され、また、波長変換部106Peおよび光反射性樹脂部106Rfが形成される。
以上の工程を経て発光装置100Cが得られる。図30〜図34を参照して説明した第3の例によれば、図22〜図28を参照して説明した第2の例と同様に発光素子111からの光の波長とは異なる波長を有する光を上面100aおよび側面100sから取り出すことが可能な発光装置100Cを提供し得る。
本開示の実施形態は、各種照明用光源、車載用光源、バックライト用光源等の提供に有用である。
100A〜100C 発光装置
101、101G、101H 導電基板
101M 金属板
101P めっき層
101g 溝部(第1の溝部)
101h 溝部(第2の溝部)
102 第1電極
104 第2電極
103、105 接合部材
106C 透明樹脂層
106P 波長変換層
106R 光反射性樹脂層
107 第1の島状部
109 第2の島状部
110A、100B 発光体
111 発光素子
112 正極
114 負極
116A、116B 波長変換層
118 保護層
200A、200B 発光装置

Claims (12)

  1. 表面に第1の溝部を有する導電基板を準備する工程(A)と、
    上面および底面を有し、前記底面側に正極および負極を有する発光体を準備する工程(B)と、
    前記第1の溝部を跨いで前記正極および前記負極を前記導電基板に接続する工程(C)と、
    前記発光体を覆う樹脂層を前記導電基板上に形成する工程(D)と、
    前記樹脂層とは反対側から、前記第1の溝部の底が除去されるまで前記導電基板を薄化して、互いに分離された、前記正極に接続された第1電極および前記負極に接続された第2電極を形成する工程(E)と
    を含む、発光装置の製造方法。
  2. 前記工程(A)と前記工程(C)との間に、光反射性のフィラーが分散された樹脂材料で前記第1の溝部の内部を充填する工程(F)
    をさらに含む、請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記発光体は、前記上面側に位置する第1面および前記底面側に位置する第2面を有する発光素子と、前記発光素子の前記第1面側に位置する保護層とを有し、
    前記樹脂層は、光反射性樹脂層であり、
    前記工程(D)の後に前記光反射性樹脂層の一部を除去することにより、前記保護層を前記光反射性樹脂層から露出させる工程(G)
    をさらに含む、請求項1または2に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記発光体は、前記上面側に位置する第1面、前記底面側に位置する第2面、および、前記第1面と前記第2面との間に位置する側面を有する発光素子と、前記発光素子の前記側面および前記第1面を覆う波長変換層とを有し、
    前記樹脂層は、透明樹脂層である、請求項2に記載の発光装置の製造方法。
  5. 表面に第1の溝部を有する導電基板を準備する工程(A)と、
    第1面および前記第1面とは反対側に位置する第2面を有し、前記第2面側に正極および負極を有する発光素子を準備する工程(B)と、
    前記第1の溝部を跨いで前記正極および前記負極を前記導電基板に接続する工程(C)と、
    前記発光素子を覆う樹脂層を前記導電基板上に形成する工程(D)と、
    前記樹脂層とは反対側から、前記第1の溝部の底が除去されるまで前記導電基板を薄化して、互いに分離された、前記正極に接続された第1電極および前記負極に接続された第2電極を形成する工程(E)と
    を含む、発光装置の製造方法。
  6. 前記工程(A)と前記工程(C)との間に、光反射性のフィラーが分散された樹脂材料で前記第1の溝部の内部を充填する工程(F)
    をさらに含む、請求項5に記載の発光装置の製造方法。
  7. 前記樹脂層は、樹脂中に分散された波長変換部材を含有する、請求項6に記載の発光装置の製造方法。
  8. 前記樹脂層は、光反射性樹脂層であり、
    前記工程(C)と前記工程(D)との間に、前記発光素子の前記第1面側に保護層を形成する工程(G)と、
    前記工程(D)の後に前記光反射性樹脂層の一部を除去することにより、前記保護層を前記光反射性樹脂層から露出させる工程(H)と
    をさらに含む、請求項5または6に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記樹脂層は、透明樹脂層であり、
    前記発光素子は、前記第1面と前記第2面との間に位置する側面を有し、
    前記工程(C)と前記工程(D)との間に、前記発光素子の前記第1面および前記側面を覆う波長変換層を形成する工程(G)をさらに含む、請求項6に記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記工程(A)は、
    金属板を準備する工程(Aa)と、
    前記金属板に前記第1の溝部を形成する工程(Ab)と
    を含む、請求項1から9のいずれかに記載の発光装置の製造方法。
  11. 前記工程(A)は、前記金属板上にめっき層を形成する工程(Ac)を含む、請求項10に記載の発光装置の製造方法。
  12. 前記工程(A)は、前記工程(Ac)の後に前記金属板に複数の第2の溝部を形成することにより、前記第1の溝部によって互いに分離された第1および第2の島状部を前記金属板に形成する工程(Ad)を含み、
    前記工程(Ad)は、前記めっき層の一部を前記第2の溝部に沿って除去する工程(Ad1)を含み、
    前記工程(C)は、前記正極および前記負極を前記第1および第2の島状部にそれぞれ接続する工程(Ca)を含む、請求項11に記載の発光装置の製造方法。
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