JP2018092880A - セラミックヒータ - Google Patents

セラミックヒータ Download PDF

Info

Publication number
JP2018092880A
JP2018092880A JP2017020886A JP2017020886A JP2018092880A JP 2018092880 A JP2018092880 A JP 2018092880A JP 2017020886 A JP2017020886 A JP 2017020886A JP 2017020886 A JP2017020886 A JP 2017020886A JP 2018092880 A JP2018092880 A JP 2018092880A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
ceramic heater
heater
glaze
coat layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017020886A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6679511B2 (ja
Inventor
直也 中西
Naoya Nakanishi
直也 中西
敦俊 杉山
Atsutoshi Sugiyama
敦俊 杉山
牧野 友亮
Tomosuke Makino
友亮 牧野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to ES17823787T priority Critical patent/ES2914290T3/es
Priority to EP17823787.1A priority patent/EP3484240B1/en
Priority to CN201780035702.5A priority patent/CN109315020B/zh
Priority to US16/314,318 priority patent/US11252790B2/en
Priority to KR1020197003001A priority patent/KR102229299B1/ko
Priority to PCT/JP2017/005656 priority patent/WO2018008178A1/ja
Publication of JP2018092880A publication Critical patent/JP2018092880A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6679511B2 publication Critical patent/JP6679511B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H05B3/141Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/42Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible
    • H05B3/48Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible heating conductor embedded in insulating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/86Glazes; Cold glazes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/18Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor the conductor being embedded in an insulating material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/78Heating arrangements specially adapted for immersion heating
    • H05B3/82Fixedly-mounted immersion heaters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24HFLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H2250/00Electrical heat generating means
    • F24H2250/02Resistances
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24HFLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H9/00Details
    • F24H9/18Arrangement or mounting of grates or heating means
    • F24H9/1809Arrangement or mounting of grates or heating means for water heaters
    • F24H9/1818Arrangement or mounting of electric heating means
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/002Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements
    • H05B2203/003Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements using serpentine layout
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/013Heaters using resistive films or coatings
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/017Manufacturing methods or apparatus for heaters
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/021Heaters specially adapted for heating liquids
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

【課題】流体加熱用のセラミックヒータにおいて、セラミックヒータの表面へのスケールの付着を抑制できるようにする。【解決手段】セラミックヒータは、セラミック体と、コート層と、を備える。セラミック体は、発熱抵抗体を有する。コート層は、ガラスを主体とし、セラミック体の表面を被覆するように構成される。コート層は、セラミック体の表面を平滑化する機能を有する。【選択図】図1

Description

本開示は、例えば温水洗浄便座、電気温水器、24時間風呂、等に用いられるセラミックヒータに関する。
通常、温水洗浄便座には、樹脂製の容器である熱交換器とセラミックヒータとを有する熱交換ユニットが備えられている。セラミックヒータは、熱交換器内に収容された洗浄水を温めるために用いられる。
下記の特許文献1には、この種のセラミックヒータとして、円筒状のセラミック製の支持体にヒータ配線を印刷したセラミックシートを巻き付け、一体焼成することにより構成したものが開示されている。
特許第3038039号公報
ところで、温水洗浄便座用のセラミックヒータは、常時、水等の流体中にあるため、使用の過程でセラミックヒータ表面にカルシア、マグネシア等に由来するスケールが付着するという問題点がある。これはセラミックの表面に結晶粒レベルで凹凸が存在するためにスケールが付着するものと考えられている。
このスケールは軟水よりも硬水の方が多く発生することが知られており、水の加熱によってセラミックヒータの表面に析出する。セラミックヒータの表面へのスケールの付着が進行すると、析出したスケールがセラミックヒータから剥がれ落ちることで水路系での目詰まりを誘発する虞がある。
本開示の一側面は、流体加熱用のセラミックヒータにおいて、セラミックヒータの表面へのスケールの付着を抑制できるようにすることが望ましい。
本開示の一側面のセラミックヒータは、セラミック体と、コート層と、を備える。セラミック体は、発熱抵抗体を有する。コート層は、ガラスを主体とし、セラミック体の表面を被覆するように構成される。
コート層は、セラミック体の表面を平滑化する機能を有する。
具体的には、コート層の表面の算術平均表面粗さ(Ra)は、セラミック体の表面の算術平均表面粗さ(Ra)よりも小さくなるように構成される。
このようなセラミックヒータによれば、セラミック体の表面がガラスを主体とするコート層で被覆されることで、セラミックの表面に結晶粒レベルで存在する凹凸を埋めることでセラミック体の表面を平滑化することができる。ゆえに、セラミックヒータ表面へのスケールの付着を抑制することができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、釉薬の成分を含むように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、釉薬を塗布し焼成することによってコート層を生成できるので、コート層を生成する工程を簡素化することができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、該コート層の屈伏点が当該セラミックヒータ使用時の最高温度以上となるように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層の屈伏点がセラミックヒータ使用時の最高温度以上の温度であるため、セラミックヒータの使用時にコート層が軟化しにくくすることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータは、挿通孔を有し、セラミック体を挿通孔に挿通した状態で接合材にてセラミック体と接合するように構成されたフランジ、をさらに備え、コート層は、該コート層の屈伏点が接合材の屈伏点又は融点以上の温度となるように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層の屈伏点が接合材の屈伏点又は融点以上の温度であるため、フランジをセラミック体に接合する際に、接合材に熱を加えたとしても、コート層が軟化しにくくすることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、セラミック体よりも熱膨張率が小さくなるように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、セラミックヒータの焼成後の冷却過程において、コート層はセラミック体の収縮による圧縮応力が与えられた状態となる。コート層に引張応力が加わりにくくすることができるので、コート層の熱衝撃に対する耐性を向上させることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、セラミック体は、セラミック製の支持体と、支持体の外周に巻き付けられ、発熱抵抗体を埋設して構成されたセラミックシートと、をさらに備えてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、支持体にセラミックシートを巻き付けることでセラミック体を得ることができるので、セラミック体の広範囲をなるべく均一に発熱させる構成とすることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層の厚さは、セラミックシートの厚さよりも薄くなるように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層の厚さは、セラミックシートの厚さよりも薄く構成されているので、発熱抵抗体から発生する熱をより効率的に流体に伝導させることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、セラミックシートのうちの発熱抵抗体が配置された領域の全体を覆うように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層がセラミックシートのうちの発熱抵抗体が配置された領域の全体を覆うので、発熱抵抗体の発熱によりセラミックシートが伸縮し、セラミックシートに剥がれようとする力が作用したとしても、コート層がセラミックシートを覆っているので、セラミックシートの剥離を抑制することができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、セラミックヒータの形状は、筒状または柱状となるように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、セラミックヒータの形状が筒状または柱状であるので、簡素な形状でセラミック体の表面積を大きくすることができる。よって、発熱抵抗体から発生する熱をより効率的に流体に伝導させることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、セラミックヒータの形状は、筒状に構成され、コート層は、少なくともセラミック体の表面のうちの外周面を被覆するように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層が外周面を被覆するので、外周面へのスケールの付着を抑制することができる。発熱抵抗体がセラミック体の外周に沿って配置された場合、より高温となる外周面をコート層で被覆するので、スケールの付着を抑制する効果を得やすくすることができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、セラミック体の表面のうちの外周面および内周面を被覆するように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層が外周面および内周面を被覆するので、セラミック体の内側を通過する流体によってセラミック体の内周面に析出するスケールも抑制することができる。
また、本開示の一側面のセラミックヒータにおいて、コート層は、無鉛物質から構成されてもよい。
このようなセラミックヒータによれば、コート層が無鉛物質からなるので、還元雰囲気中で鉛が存在することによる変色を抑制することができる。
実施形態におけるセラミックヒータの正面図。 図1のII−II断面図。 セラミックシートを展開して示す説明図。 セラミックヒータの製造方法を示す説明図(その1)。 セラミックヒータの製造方法を示す説明図(その2)。 セラミックヒータの製造方法を示す説明図(その3)。 セラミックヒータの製造方法を示す説明図(その4)。 図1のVIII−VIII断面図。 フランジの平面図。 セラミックヒータの先端領域における断面構造を示す部分断面図。
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態を説明する。
[1.実施形態]
[1−1.構成]
本実施形態のセラミックヒータ11は、例えば温水洗浄便座の熱交換ユニットの熱交換器において、洗浄水を温めるために用いられるものである。
図1に示されるように、このセラミックヒータ11は、円筒状をなすセラミック製のヒータ本体13と、ヒータ本体13に外嵌されるフランジ15とを備えている。フランジ15は、例えばアルミナ等のセラミックスによって形成されている。また、ヒータ本体13とフランジ15とは、ガラスロウ材23にて接合されている。
図1、図2に示されるように、ヒータ本体13は、円筒状をなすセラミック製の支持体17と、支持体17の外周に巻き付けられたセラミックシート19とを備えて構成されている。支持体17は、軸先方向にわたり貫通する貫通孔17A(図9,図10参照)を備えた円筒形状に形成されている。本実施形態において、支持体17及びセラミックシート19は、アルミナ(Al)等のセラミックからなる。アルミナの熱膨張係数は、50×10−7/K〜90×10−7/Kの範囲内であり、本実施形態においては、70×10−7/K(30℃〜380℃)となっている。
また、本実施形態では、支持体17の外径が12mm、内径が8mm、長さが65mmに設定され、セラミックシート19の厚さが0.5mm、長さが60mmに設定されている。なお、セラミックシート19は、支持体17の外周を完全には覆っていない。このため、セラミックシート19の巻き合わせ部20には、支持体17の軸線方向に沿って延びるスリット21が形成されている。また、本実施形態において、支持体17及びセラミックシート19の表面のうち少なくとも一部は、釉薬層61によって覆われている。
釉薬層61は、SiをSiO換算にて60〜74重量%、AlをAl換算にて16〜30重量%含有したガラスセラミックとして構成される。すなわち、釉薬層61は、無鉛物質から構成される。なお、無鉛物質とは、鉛を含まない物質を表す。ただし、無鉛物質は、完全に鉛を含まない物質に限らず、還元雰囲気に晒されたときに、鉛を含むことによる変色が目視できない程度であれば、ごく微量の鉛が含まれる物質であってもよい。
また、釉薬層61は、塗布された釉薬を焼成することによって形成される。本実施形態の釉薬層61に用いる釉薬には、転移点830℃、屈伏点900℃以上、融点1128℃のものが用いられる。
なお、転移点とは、熱膨張曲線の傾きが急激に変化する温度を示す。また、屈伏点とは、熱膨張測定においてガラスの軟化によりガラスの伸びが検出できなくなり、熱膨張曲線の屈曲点として現れる温度を示す。
また、釉薬層61の熱膨張係数は、60×10−7/K(30〜700℃)のものを用いている。すなわち、釉薬層61は、ヒータ本体13の支持体17よりも熱膨張率が小さくなるように構成されているとよい。
釉薬層61は、自身の屈伏点が当該セラミックヒータ11使用時の最高温度以上となるように材料が選択される。なお、釉薬層61の屈伏点に応じてヒータ配線41の仕様が決定されてもよい。ここで、セラミックヒータ11使用時の最高温度とは、例えば、当該セラミックヒータ11使用時の最大出力でヒータ配線41を発熱させたときのヒータ配線41の温度を意味する。
つまり、釉薬層61がヒータ配線41によって釉薬の屈伏点以上の温度にならないように釉薬やヒータ配線41の出力等が設定される。
図2、図3に示されるように、セラミックシート19には、蛇行したパターン形状のヒータ配線41と、一対の内部端子42とが内蔵されている。本実施形態において、ヒータ配線41及び内部端子42は、タングステン(W)を主成分として含んでいる。なお、各内部端子42は、図示しないビア導体等を介して、図1に示すように、セラミックシート19の外周面に形成された外部端子43に電気的に接続されている。
また、ヒータ配線41は、支持体17の軸線方向に沿って延びる複数の配線部44と、隣接する配線部44同士を接続する接続部45とを備えている。セラミックシート19を厚さ方向から見たときに両端部に位置する一対の配線部44は、図2に示すセラミックシート19の巻き合わせ部20を挟んで互いに反対側に配置されており、第1端が内部端子42に接続されるとともに、第2端が接続部45を介して隣接する配線部44の第2端に接続されている。
なお、第1端とは、図3では上端を示し、第2端とは、図3では下端を示す。また、セラミックシート19を厚さ方向から見たときに上記した一対の配線部44間に位置する配線部44は、第1端が接続部45を介して隣接する配線部44の第1端に接続されるとともに、第2端が接続部45を介して隣接する配線部44の第2端に接続されている。
図2、図3に示されるように、本実施形態の配線部44は、線幅W1が0.60mm、厚さが15μmに設定されている。同様に、本実施形態の接続部45も、線幅W2が0.60mm、厚さが15μmに設定されている。すなわち、配線部44の線幅W1は、接続部45の線幅W2と同一になっている。また、配線部44の厚さも接続部45の厚さと同一であるため、配線部44の断面積は、接続部45の断面積と同一になっている。
なお、図2に示されるように、セラミックシート19において、後にヒータ配線41となる配線部44の表面46からセラミックシート19の外周面47までの厚さtは、0.2mmとなっている。また、巻き合わせ部20において、配線部44の端縁からセラミックシート19の端面48までの距離wは、0.7mmである。ここで、「距離w」とは、円筒状をなす支持体17の周方向に沿った長さをいう。さらに、巻き合わせ部20を挟んで互いに反対側に配置される一対の配線部44間の距離Lは、2.4mmである。ここで、「距離L」とは、一対の配線部44の端縁同士をつなぐ直線の長さをいう。なお、巻き合わせ部20に形成されたスリット21の幅は、L−2wの式から導き出されるものであり、本実施形態では1mmとなっている。
次に、図10に示すように、釉薬層61は、外面被覆層61Aと、内面被覆層61Bと、を備えている。
外面被覆層61Aは、ヒータ本体13(支持体17,セラミックシート19)の筒状外表面のうち少なくともヒータ配線41の形成領域を被覆するように構成されている。内面被覆層61Bは、ヒータ本体13(支持体17,セラミックシート19)の筒状内表面(貫通孔17Aの内表面)のうち少なくともヒータ配線41が配置された領域Hを被覆するように構成されている。
また、外面被覆層61Aは、ヒータ本体13(支持体17,セラミックシート19)のうちヒータ配線41が配置された領域Hよりも先端側に位置する先端側領域Fの少なくとも一部を覆うように構成されている。さらに、外面被覆層61Aは、先端側領域Fにおける自身の厚さ寸法の最大値T2が、領域Hにおける自身の厚さ寸法の最大値T1よりも大きい構成である(T2>T1)。
また、ヒータ本体13は、領域Hよりも先端側の先端側領域Fにおいて、筒状外表面に段差部19Aを備えている。段差部19Aは、セラミックシート19の先端部でもあり、ヒータ本体13の筒状外表面のうち径方向寸法が変化する部位でもある。
そして、外面被覆層61Aは、ヒータ本体13の筒状外表面のうち段差部19Aにおいて、自身の厚さ寸法が最大値T2となる構成である。
[1−2.製造方法]
次に、本実施形態のセラミックヒータ11を製造する方法を説明する。
まず、アルミナを主成分とする粘土状のスラリーを従来周知の押出機(図示略)に投入し、筒状部材を成形する。そして、成形した筒状部材を乾燥させた後、所定の温度(例えば約1000℃)に加熱する仮焼成を行うことにより、図4に示すような支持体17を得る。
また、アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いて、セラミックシート19となる第1,第2のセラミックグリーンシート51,52を形成する。なお、セラミックグリーンシートの形成方法としては、ドクターブレード法などの周知の成形法を用いることができる。
そして、従来周知のペースト印刷装置(図示略)を用いて、第1のセラミックグリーンシート51の表面上に導電性ペーストを印刷する。本実施形態では、導電性ペーストとしてタングステンペーストを採用する。その結果、図5に示すように、第1のセラミックグリーンシート51の表面上に、ヒータ配線41及び内部端子42となる未焼成電極53が形成される。なお、未焼成電極53の位置は、例えば、ヒータ配線41の位置に対して焼成時の収縮分を加えた大きさとなるように調整される。
そして、導電性ペーストの乾燥後、第1のセラミックグリーンシート51の印刷面、すなわち、未焼成電極53の形成面上に、第2のセラミックグリーンシート52を積層し、シート積層方向に押圧力を付与する。その結果、図6に示すように、各セラミックグリーンシート51,52が一体化され、グリーンシート積層体54が形成される。
なお、第2のセラミックグリーンシート52の厚さは、例えば、ヒータ配線41の配線部44のうち最も外側に配置された配線部44からセラミックシート19の外周面47までの厚さtに対して焼成時の収縮分を加えた大きさとなるように調整される。さらに、ペースト印刷装置を用いて、第2のセラミックグリーンシート52の表面上に導電性ペーストを印刷する。その結果、第2のセラミックグリーンシート52の表面上に、外部端子43となる未焼成電極55が形成される。
次に、図7に示すように、グリーンシート積層体54の片側面にアルミナペースト等のセラミックペーストを塗布し、グリーンシート積層体54を支持体17の外周面18に巻き付けて接着する。このとき、グリーンシート積層体54の端部同士が重ならないようにグリーンシート積層体54のサイズを調節する。
次に、未焼成電極55よりも先端側の所定の領域に対して釉薬を塗布し、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、グリーンシート積層体54のアルミナ及びタングステンが焼結しうる所定の温度に加熱する同時焼成を行う。ここでの所定の温度には、例えば、1400℃〜1600℃程度の温度を採用できる。
その結果、セラミックグリーンシート51,52中のアルミナ、及び、導電性ペースト中のタングステンが同時焼結し、グリーンシート積層体54がセラミックシート19となり、未焼成電極53がヒータ配線41及び内部端子42となり、未焼成電極55が外部端子43となる。また、外部端子43よりも先端側の所定の領域において、釉薬層61が形成される。
この際の釉薬の塗布に関しては、例えば、セラミックシート19が焼結された支持体17を支持体17の先端側、すなわち、支持体17において外部端子43から遠い側の端部を鉛直方向の下側に向けて、支持体17の先端側から規定の位置まで釉薬が溜められた槽に浸すことによって、釉薬を塗布する。
ただし、規定の位置とは、図1および図3に示すように、セラミックシート19のうちのヒータ配線41が配置された領域を領域Hとしたときに、この領域Hの全体を覆う位置であって、外部端子43が覆われない位置を示す。図1では、ハッチングされた領域が釉薬層61を形成した領域を示す。なお、領域Hは、ヒータ配線41が折り返して配置される範囲内を示す。
この工程によって、釉薬は、ヒータ本体13の表面のうちの外周面および内周面に塗布され、これを焼成することによって、釉薬層61がヒータ本体13の表面のうちの外周面および内周面を被覆することになる。
なお、釉薬層61の厚さは、釉薬の粘度を調整することで任意に設定することができる。また、釉薬を塗布する手法は、刷毛で塗る手法や吹付け等、任意の手法を採用することができる。これらの手法を用いることで、釉薬層61の厚さ寸法に関して、先端側領域Fにおける外面被覆層61Aの厚さ寸法の最大値T2が、領域Hにおける外面被覆層61Aの厚さ寸法の最大値T1よりも大きい構成となるように(T2>T1)、釉薬の塗布状態を調整する。本実施形態では、ヒータ本体13の筒状外表面のうち段差部19Aにおいて、外面被覆層61Aの厚さ寸法が最大値T2となるように、釉薬の塗布状態を調整する。また、本実施形態では、ヒータ本体13のうち支持体17の先端面17Bには釉薬層61が形成されないように、先端面17Bに塗布された釉薬を焼成前に除去する工程を実施する。なお、釉薬層61の厚さ(詳細には、外面被覆層61Aおよび内面被覆層61Bのそれぞれの最大厚さ寸法)は、グリーンシート積層体54の厚さよりも薄くなるように塗布時に調整される。
その後、外部端子43にニッケルめっきを施し、ヒータ本体13とする。なお、釉薬層61は焼結後のヒータ本体13に対し、釉薬を塗布しこれを焼き付けることで形成してもよい。
次に、アルミナ性のフランジ15を、ヒータ本体13の所定の取付位置に外嵌する。すなわち、フランジ15は、図1および図8に示すように、中央に挿通孔15Aを有する円筒状に形成されており、図1および図9に示すように、挿通孔15Aにヒータ本体13を挿通した状態で保持される。
この際、図1に示すように、ガラスロウ材23を介してヒータ本体13とフランジ15とを溶着固定し、セラミックヒータ11を完成させる。ここで、ガラスロウ材23には、例えば、日本電気硝子製のBH−W等の材料を用いることができる。この材料を用いる場合、ガラスロウ材23は、転移点470℃、屈伏点550℃となる。
すなわち、釉薬およびガラスロウ材23は、釉薬層61の屈伏点がガラスロウ材23の屈伏点以上の温度となるように設定される。
[1−3.実験例]
以下、本実施形態のセラミックヒータ11の性能を評価するために行った実験例について説明する。
まず、測定用サンプルを次のように準備した。ヒータ配線の表面からセラミックシートの外周面までの厚さtが0.18mm、ヒータ配線の端縁からセラミックシートの端面までの距離wが0.6mm、巻き合わせ部を挟んで互いに反対側に配置される一対の配線部間の距離Lが1.4mm、巻き合わせ部に形成されたスリットの幅(=L−2w)が0.2mmとなるセラミックヒータを準備し、これに釉薬層を形成しサンプルAとした。なお、厚さt、距離w、距離Lについては図2にて示す定義に従う。
また、比較例として、釉薬層61を備えないセラミックヒータを準備し、これをサンプルBとした。なお、サンプルA,Bの違いは、釉薬層の有無のみであり、その他の構成は同一である。
また、サンプルA,Bの断面SEM画像を撮像し、得られた断面SEM画像から釉薬層、及び、セラミックシート表面の算術平均粗さ(Ra)、及び、積層方向の厚さを同定した。このとき、サンプルAの表面の算術平均表面粗さ(Ra)は、サンプルBの表面の算術平均表面粗さ(Ra)よりも小さかった。これより、釉薬層の算術平均表面粗さ(Ra)は、セラミックシート表面の算術平均表面粗さ(Ra)よりも小さいということが云える。また、釉薬層61の厚さは、セラミックシートの厚さよりも薄かった。
サンプルA,Bを同条件にて水道水中にて水道水を流動させつつヒータを作動させたところ、サンプルBに付着するスケールの量に対して、サンプルAに付着するスケールの量が減少するという結果が得られた。
[1−4.効果]
以上詳述した実施形態によれば、以下の効果を奏する。
(1a)セラミックヒータ11は、ヒータ本体13と、釉薬層61と、を備える。ヒータ本体13は、ヒータ配線41を有する。釉薬層61は、ガラスを主体とし、ヒータ本体13の表面を被覆するように構成される。釉薬層61は、ヒータ本体13の表面を平滑化する機能を有する。具体的には、釉薬層61の表面の算術平均表面粗さ(Ra)は、ヒータ本体13の表面の算術平均表面粗さ(Ra)よりも小さくなるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、ヒータ本体13の表面がガラスを主体とする釉薬層61で被覆されることで、セラミックの表面に結晶粒レベルで存在する凹凸を埋めることでヒータ本体13の表面を平滑化することができる。ゆえに、セラミックヒータ11表面へのスケールの付着を抑制することができる。
(1b)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、釉薬の成分を含むように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬を塗布し焼成することによって釉薬層61を生成できるので、釉薬層61を生成する工程を簡素化することができる。
(1c)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、該釉薬層61の屈伏点が当該セラミックヒータ11使用時の最高温度以上となるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61の屈伏点がセラミックヒータ11使用時の最高温度以上の温度であるため、セラミックヒータ11の使用時に釉薬層61が軟化しにくくすることができる。
(1d)セラミックヒータ11は、挿通孔15Aを有し、ヒータ本体13を挿通孔15Aに挿通した状態でガラスロウ材23にてヒータ本体13と接合するように構成されたフランジ15、をさらに備え、釉薬層61は、該釉薬層61の屈伏点がガラスロウ材23の屈伏点以上の温度となるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61の屈伏点がガラスロウ材23の屈伏点以上の温度であるため、フランジ15をヒータ本体13に接合する際に、ガラスロウ材23に熱を加えたとしても、釉薬層61が軟化しにくくすることができる。
(1e)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、ヒータ本体13よりも熱膨張率が小さくなるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、セラミックヒータ11の焼成後の冷却過程において、釉薬層61はヒータ本体13の収縮による圧縮応力が与えられた状態となる。釉薬層61に引張応力が加わりにくくすることができるので、釉薬層61の熱衝撃に対する耐性を向上させることができる。
(1f)セラミックヒータ11において、ヒータ本体13は、セラミック製の支持体17と、支持体17の外周に巻き付けられ、ヒータ配線41を埋設して構成されたセラミックシート19と、をさらに備える。
このようなセラミックヒータ11によれば、支持体17にセラミックシート19を巻き付けることでヒータ本体13を得ることができるので、ヒータ本体13の広範囲をなるべく均一に発熱させる構成とすることができる。
(1g)セラミックヒータ11において、釉薬層61の厚さは、セラミックシート19の厚さよりも薄くなるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61の厚さは、セラミックシート19の厚さよりも薄く構成されているので、ヒータ配線41から発生する熱をより効率的に流体に伝導させることができる。
(1h)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、セラミックシート19のうちのヒータ配線41が配置された領域の全体を覆うように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61がセラミックシート19のうちのヒータ配線41が配置された領域の全体を覆うので、ヒータ配線41の発熱によりセラミックシート19が伸縮し、セラミックシート19に剥がれようとする力が作用したとしても、釉薬層61がセラミックシート19を覆っているので、セラミックシート19の剥離を抑制することができる。
(1i)セラミックヒータ11において、セラミックヒータ11の形状は、筒状または柱状となるように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、セラミックヒータ11の形状が筒状または柱状であるので、簡素な形状でヒータ本体13の表面積を大きくすることができる。よって、ヒータ配線41から発生する熱をより効率的に流体に伝導させることができる。
(1j)セラミックヒータ11において、セラミックヒータ11の形状は、筒状に構成され、釉薬層61は、少なくともヒータ本体13の表面のうちの外周面を被覆するように構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61が外周面を被覆するので、外周面へのスケールの付着を抑制することができる。ヒータ配線41がヒータ本体13の外周に沿って配置された場合、より高温となる外周面を釉薬層61で被覆するので、スケールの付着を抑制する効果を得やすくすることができる。
(1k)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、ヒータ本体13の表面のうちの外周面および内周面を被覆するように構成されてもよい。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61が外周面および内周面を被覆するので、ヒータ本体13の内側を通過する流体によってヒータ本体13の内周面に析出するスケールも抑制することができる。
(1l)セラミックヒータ11において、釉薬層61は、無鉛物質から構成される。
このようなセラミックヒータ11によれば、釉薬層61が無鉛物質からなるので、還元雰囲気中で鉛が存在することによる変色を抑制することができる。
[2.他の実施形態]
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。
(2a)上記実施形態では、セラミックヒータ11の支持体17が筒状をなしていたが、これに限定されるものではない。例えば、支持体17は、棒状や板状をなしていてもよい。すなわち、セラミックヒータ11は、例えば、電気温水器、24時間風呂、等、温水洗浄便座とは別のものに用いられてもよい。
(2b)上記実施形態では、セラミックヒータ11は、一対の内部端子42間に印加される電圧の種別については規定していないが、交流電圧が印可されてもよいし、直流電圧が印可されてもよい。
(2c)上記実施形態では、セラミックヒータ11は、釉薬層61を形成したが、これに限定されるものではない。例えば、ガラスを主体とし、鉄等の金属を微量混合したコート層であってもよい。
(2d)上記実施形態では、セラミックヒータ11使用時の最高温度について、当該セラミックヒータ11使用時にヒータ配線41を発熱させたときのヒータ配線41の最高温度と規定したが、ヒータ配線41の最高温度は釉薬層61の屈伏点の温度を超えたとしても、コート層61の温度が釉薬層61の屈伏点以下になればよい。つまり、セラミックヒータ11使用時の最高温度とは、釉薬層61の最高温度であってもよい。
(2e)上記実施形態では、釉薬層61の屈伏点がガラスロウ材23の屈伏点やセラミックヒータ11使用時の最高温度以上の温度となるよう設定したが、これに限定されるものではない。例えば、ヒータ本体13の外周面にメタライズ層を形成し、当該メタライズ層上に金属ロウ材を用いて金属製フランジを接合する態様においては、釉薬層61の屈伏点が金属ロウ材の融点以上となるように設定してもよい。この態様においては、金属ロウ材が酸化しないように還元雰囲気で実施されるため、鉛を含有する釉薬では変色が生じ得るが、本実施例で用いた釉薬層61は無鉛物質からなるので、還元雰囲気中で鉛が存在することによる変色を抑制することができる。また、釉薬層61の転移点がガラスロウ材23の転移点やセラミックヒータ11使用時の最高温度以上の温度としてもよいし、釉薬層61の軟化点がガラスロウ材23の軟化点やセラミックヒータ11使用時の最高温度以上の温度としてもよい。
(2f)上記実施形態における1つの構成要素が有する複数の機能を、複数の構成要素によって実現したり、1つの構成要素が有する1つの機能を、複数の構成要素によって実現したりしてもよい。また、複数の構成要素が有する複数の機能を、1つの構成要素によって実現したり、複数の構成要素によって実現される1つの機能を、1つの構成要素によって実現したりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加または置換してもよい。なお、特許請求の範囲に記載した文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
(2g)上述したセラミックヒータ11の他、当該セラミックヒータ11を構成要素とするシステムなど、種々の形態で本開示を実現することもできる。
[3.文言の対応関係]
ヒータ配線41は発熱抵抗体の一例に相当し、ヒータ本体13はセラミック体の一例に相当する。また、釉薬層61はコート層の一例に相当し、ガラスロウ材23は接合材の一例に相当する。
11…セラミックヒータ、13…ヒータ本体、15…フランジ、15A…挿通孔、17…支持体、17A…貫通孔、17B…先端面、18…外周面、19…セラミックシート、19A…段差部、20…巻き合わせ部、21…スリット、23…ガラスロウ材、41…ヒータ配線、61…釉薬層、61A…外面被覆層、61B…内面被覆層。

Claims (13)

  1. 流体加熱用のセラミックヒータであって、
    発熱抵抗体を有するセラミック体と、
    ガラスを主体とし、前記セラミック体の表面を被覆するように構成されたコート層と、を備え、
    前記コート層は、前記セラミック体の表面を平滑化する機能を有するセラミックヒータ。
  2. 請求項1に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層の表面の算術平均表面粗さ(Ra)は、前記セラミック体の表面の算術平均表面粗さ(Ra)よりも小さくなるように構成されたセラミックヒータ。
  3. 請求項1または請求項2に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層は、釉薬の成分を含むように構成されたセラミックヒータ。
  4. 請求項3に記載のセラミックヒータであって、
    前記釉薬は、該釉薬の屈伏点が当該セラミックヒータ使用時の最高温度以上となるように構成されたセラミックヒータ。
  5. 請求項3または請求項4に記載のセラミックヒータであって、
    挿通孔を有し、前記セラミック体を前記挿通孔に挿通した状態で接合材にて前記セラミック体と接合するように構成されたフランジをさらに備え、
    前記釉薬は、該釉薬の屈伏点が前記接合材の屈伏点又は融点以上の温度となるように構成されたセラミックヒータ。
  6. 請求項1〜5の何れか1項に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層は、前記セラミック体よりも熱膨張率が小さくなるように構成されたセラミックヒータ。
  7. 請求項1〜6の何れか1項に記載のセラミックヒータであって、
    前記セラミック体は、
    セラミック製の支持体と、
    前記支持体の外周に巻き付けられ、前記発熱抵抗体を埋設して構成されたセラミックシートと、をさらに備えたセラミックヒータ。
  8. 請求項7に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層の厚さは、前記セラミックシートの厚さよりも薄くなるように構成されたセラミックヒータ。
  9. 請求項7または請求項8に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層は、前記セラミックシートのうちの前記発熱抵抗体が配置された領域の全体を覆うように構成されたセラミックヒータ。
  10. 請求項1〜9の何れか1項に記載のセラミックヒータであって、
    前記セラミックヒータの形状は、筒状または柱状となるように構成されたセラミックヒータ。
  11. 請求項1〜10の何れか1項に記載のセラミックヒータであって、
    前記セラミックヒータの形状は、筒状に構成され、
    前記コート層は、少なくとも前記セラミック体の表面のうちの外周面を被覆するように構成されたセラミックヒータ。
  12. 請求項11に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層は、前記セラミック体の表面のうちの外周面および内周面を被覆するように構成されたセラミックヒータ。
  13. 請求項1〜12の何れか1項に記載のセラミックヒータであって、
    前記コート層は、無鉛物質からなるように構成されたセラミックヒータ。
JP2017020886A 2016-07-05 2017-02-08 セラミックヒータ Active JP6679511B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ES17823787T ES2914290T3 (es) 2016-07-05 2017-02-16 Calentador de cerámica
EP17823787.1A EP3484240B1 (en) 2016-07-05 2017-02-16 Ceramic heater
CN201780035702.5A CN109315020B (zh) 2016-07-05 2017-02-16 陶瓷加热器
US16/314,318 US11252790B2 (en) 2016-07-05 2017-02-16 Ceramic heater
KR1020197003001A KR102229299B1 (ko) 2016-07-05 2017-02-16 세라믹 히터
PCT/JP2017/005656 WO2018008178A1 (ja) 2016-07-05 2017-02-16 セラミックヒータ

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016132935 2016-07-05
JP2016132935 2016-07-05
JP2016231905 2016-11-30
JP2016231905 2016-11-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018092880A true JP2018092880A (ja) 2018-06-14
JP6679511B2 JP6679511B2 (ja) 2020-04-15

Family

ID=62565668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017020886A Active JP6679511B2 (ja) 2016-07-05 2017-02-08 セラミックヒータ

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6679511B2 (ja)
KR (1) KR102229299B1 (ja)
CN (1) CN109315020B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200101011A (ko) * 2019-02-19 2020-08-27 에스케이씨 주식회사 면상 발열체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 히터

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110677932B (zh) * 2019-09-10 2021-06-25 博宇(天津)半导体材料有限公司 一种陶瓷加热器支撑基体及陶瓷加热器

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5756348A (en) * 1980-09-19 1982-04-03 Takara Standard Kk Manufacture of enameled heating element for radiating far infrared ray
JPS62262385A (ja) * 1986-05-07 1987-11-14 日本碍子株式会社 発熱抵抗体
JPH09213461A (ja) * 1996-01-31 1997-08-15 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックスヒーター
JPH1174063A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Kyocera Corp セラミックヒータ
JP3069747U (ja) * 1999-12-17 2000-06-30 上道電気工業株式会社 浸漬ヒ―タ―
WO2004024987A1 (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Toto Ltd. 鉛含有銅合金の鉛溶出低減処理方法及び鉛含有銅合金製水道用器具
JP2004281369A (ja) * 2003-02-26 2004-10-07 Kyocera Corp セラミックヒータおよびそれを用いた流体加熱装置
JP2005325413A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Kitz Corp 無鉛白色銅合金とこの合金を用いた鋳塊・製品
JP2006236617A (ja) * 2005-02-22 2006-09-07 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックヒータ、熱交換ユニット、温水洗浄便座、及びセラミックヒータの製造方法
JP2007269524A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Kyocera Corp 絶縁セラミックとそれを用いたセラミックヒータおよびヒータ一体型素子。

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3069747B2 (ja) * 1991-05-20 2000-07-24 芝浦メカトロニクス株式会社 うず巻ポンプ
JP3038039U (ja) 1996-11-20 1997-06-06 丸忠産業株式会社 フッ素樹脂コート容器
US7982166B2 (en) * 2003-12-24 2011-07-19 Kyocera Corporation Ceramic heater and method for manufacturing the same
CN101588655B (zh) * 2004-07-28 2012-01-11 京瓷株式会社 陶瓷加热器及采用它的加热用烙铁
JP4751392B2 (ja) * 2005-07-26 2011-08-17 京セラ株式会社 ロウ付け構造体、セラミックヒータおよびグロープラグ

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5756348A (en) * 1980-09-19 1982-04-03 Takara Standard Kk Manufacture of enameled heating element for radiating far infrared ray
JPS62262385A (ja) * 1986-05-07 1987-11-14 日本碍子株式会社 発熱抵抗体
JPH09213461A (ja) * 1996-01-31 1997-08-15 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックスヒーター
JPH1174063A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Kyocera Corp セラミックヒータ
JP3069747U (ja) * 1999-12-17 2000-06-30 上道電気工業株式会社 浸漬ヒ―タ―
WO2004024987A1 (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Toto Ltd. 鉛含有銅合金の鉛溶出低減処理方法及び鉛含有銅合金製水道用器具
JP2004281369A (ja) * 2003-02-26 2004-10-07 Kyocera Corp セラミックヒータおよびそれを用いた流体加熱装置
JP2005325413A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Kitz Corp 無鉛白色銅合金とこの合金を用いた鋳塊・製品
JP2006236617A (ja) * 2005-02-22 2006-09-07 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミックヒータ、熱交換ユニット、温水洗浄便座、及びセラミックヒータの製造方法
JP2007269524A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Kyocera Corp 絶縁セラミックとそれを用いたセラミックヒータおよびヒータ一体型素子。

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200101011A (ko) * 2019-02-19 2020-08-27 에스케이씨 주식회사 면상 발열체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 히터
KR102280244B1 (ko) * 2019-02-19 2021-07-21 에스케이씨 주식회사 면상 발열체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 히터

Also Published As

Publication number Publication date
JP6679511B2 (ja) 2020-04-15
KR20190025670A (ko) 2019-03-11
CN109315020B (zh) 2021-09-21
KR102229299B1 (ko) 2021-03-17
CN109315020A (zh) 2019-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102382283B1 (ko) 유체 가열용의 세라믹 히터
JP2002151236A (ja) 流体加熱用ヒータ
WO2008062602A1 (fr) Composant électronique stratifié, et procédé pour sa fabrication
WO2018008178A1 (ja) セラミックヒータ
JP2018092880A (ja) セラミックヒータ
JP6604884B2 (ja) セラミックヒータ
JP2018092728A (ja) セラミックヒータ
JP3588233B2 (ja) セラミックヒータ
JP2018092727A (ja) セラミックヒータ
JP2022179695A (ja) ヒータ
JP6811177B2 (ja) セラミックヒータ
JP6298342B2 (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP2017062908A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP2004281369A (ja) セラミックヒータおよびそれを用いた流体加熱装置
JP2015197949A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP2015197953A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP6568433B2 (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP6798812B2 (ja) ヒータ
JP2015197950A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP3199575B2 (ja) ヒーター
JP2001102156A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JP2006279060A (ja) 半導体製造装置用セラミックスヒーター
JP2015197951A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JPH09161955A (ja) セラミックヒーターの製造方法
JPH06223956A (ja) セラミックヒーター

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20171130

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20171204

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190703

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190719

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190911

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191106

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20191120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200214

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20200221

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200306

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200318

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6679511

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250