JP2018091820A - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 - Google Patents

物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 Download PDF

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Abstract

【課題】電極指が破損し難く、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】本発明の物理量センサーは、固定電極部と、Ｘ軸方向に変位可能な可動部と、前記可動部に設けられた可動電極部と、を有する。前記固定電極部は、Ｙ軸方向に並ぶ第１、第２固定電極部を有し、第１固定電極部は、第１幹部からＹ軸方向両側に延出した複数の第１固定電極指を有し、前記第２固定電極部は、第２幹部からＹ軸方向両側に延出した複数の第２固定電極指を有する。前記可動電極部は、Ｙ軸方向に並ぶ第１、第２可動電極部を有し、前記第１可動電極部は、前記第１幹部のＹ軸方向両側に位置し、前記第１固定電極指と対向する複数の第１可動電極指を有し、前記第２可動電極部は、前記第２幹部のＹ軸方向両側に位置し、前記第２固定電極指と対向する複数の第２可動電極指を有している。【選択図】図１

Description

本発明は、物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体に関するものである。
例えば、加速度（物理量）を検出することのできる加速度センサーとして、特許文献１および特許文献２に記載の構成が知られている。
特許文献１の加速度センサーは、基板と、基板に対してＸ軸方向（検出軸に沿う第１方向）に変位可能な可動部と、可動部に設けられ、Ｙ軸方向（第１方向に直交する第２方向）に並んで配置された第１可動電極部および第２可動電極部と、基板に固定され、Ｙ軸方向に並んで配置された第１固定電極部および第２固定電極部と、を有している。また、第１固定電極部は、Ｙ軸方向のマイナス側に延出する第１固定電極指を有し、第２固定電極部は、Ｙ軸方向のプラス側に延出する第２固定電極指を有している。また、第１可動電極部は、可動部からＹ軸方向のプラス側に延出し、第１固定電極指とＸ軸方向に対向する第１可動電極指を有し、第２可動電極部は、可動部からＹ軸方向のマイナス側に延出し、第２固定電極指とＸ軸方向に対向する第２可動電極指を有している。
特許文献２の加速度センサーは、基板と、基板に対して検出軸に沿う第１方向に変位可能な可動部と、可動部に設けられ、第１方向に並んで配置された第１可動電極部および第２可動電極部と、基板に固定され、第１方向に並んで配置された第１固定電極部および第２固定電極部と、を有している。また、第１固定電極部は、第１方向に直交する第２方向両側に延出する複数の第１固定電極指を有し、第２固定電極部は、第２方向両側に延出する複数の第２固定電極指を有している。また、第１可動電極部は、可動部から第２方向両側に延出し、第１固定電極指と第１方向に対向する第１可動電極指を有し、第２可動電極部は、可動部から第２方向両側に延出し、第２固定電極指と第１方向に対向する第２可動電極指を有している。
特開２００７−１３９５０５号公報 特開２０１０−２３８９２１号公報
このような特許文献１および特許文献２の加速度センサーでは、第１、第２固定電極指および第１、第２可動電極指がそれぞれ長くなり、衝撃等によって、これら電極指が破損し易い（折れ易い）。
本発明の目的は、電極指が破損し難く、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供することにある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の発明として実現することが可能である。
本発明の物理量センサーは、基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して前記物理量の検出軸方向である第１方向に変位可能な可動部と、
前記可動部に設けられている可動電極部と、を有し、
前記固定電極部は、
前記検出軸に交差する方向である第２方向に並んで配置されている第１固定電極部および第２固定電極部を有し、
前記第１固定電極部は、
第１幹部と、
前記第１幹部から前記第２方向両側に延出している複数の第１固定電極指と、を有し、
前記第２固定電極部は、
第２幹部と、
前記第２幹部から前記第２方向両側に延出している複数の第２固定電極指と、を有し、
前記可動電極部は、
前記第２方向に並んで配置されている第１可動電極部および第２可動電極部を有し、
前記第１可動電極部の少なくとも一部は、
前記第１幹部の前記第２方向両側に位置し、前記第１固定電極指と前記第１方向に対向する複数の第１可動電極指を有し、
前記第２可動電極部の少なくとも一部は、
前記第２幹部の前記第２方向両側に位置し、前記第２固定電極指と前記第１方向に対向する複数の第２可動電極指を有していることを特徴とする。
これにより、第１、第２固定電極指および第１、第２可動電極指をそれぞれ短くすることができる。そのため、電極指が破損し難く、優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
本発明の物理量センサーでは、前記第１幹部および前記第２幹部は、それぞれ、前記第１方向および前記第２方向に対して傾斜した方向に延在していることが好ましい。
これにより、より短い電極指を形成することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記第１幹部および前記第２幹部は、前記第１方向に対して互いに反対側に傾斜していることが好ましい。
これにより、可動部の基部との接合部、第１固定電極部の基部との接合部および第２固定電極部の基部との接合部をより近くに配置することができる。そのため、基部の撓みの影響を受け難くなり、より精度よく物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記第１固定電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
前記第１幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減し、
前記第１幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
前記第２固定電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
前記第２幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
前記第２幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減していることが好ましい。
これにより、複数の第１、第２固定電極指において、衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記第１可動電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
前記第１幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減し、
前記第１幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
前記第２可動電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
前記第２幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
前記第２幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減していることが好ましい。
これにより、複数の第１、第２可動電極指において、衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
本発明の物理量センサーでは、各前記第１可動電極指は、対をなす前記第１固定電極指に対して前記第１方向の一方側に位置し、
各前記第２可動電極指は、対をなす前記第２固定電極指に対して前記第１方向の他方側に位置していることが好ましい。
これにより、第１固定電極指および第１可動電極指の間から得られる第１検出信号と、第２固定電極指および第２可動電極指の間から得られる第２検出信号と、を差動演算することができる。そのため、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記可動部を支持し、前記基部に固定されている可動部支持部と、
前記第１幹部を支持し、前記基部に固定されている第１幹部支持部と、
前記第２幹部を支持し、前記基部に固定されている第２幹部支持部と、を有し、
前記可動部支持部の前記基部との接合部、前記第１幹部支持部の前記基部との接合部および前記第２幹部支持部の前記基部との接合部は、前記第２方向に並んで配置されていることが好ましい。
これにより、可動部支持部の基部との接合部、第１幹部支持部の基部との接合部および第２幹部支持部の基部との接合部をより近くに配置することができる。そのため、基部の撓みの影響を受け難くなり、より精度よく物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記可動部支持部は、前記第１固定電極部および前記第２固定電極部の間に位置していることが好ましい。
これにより、可動部をより安定して支持することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記第１幹部と前記第１幹部支持部とを連結する第１連結部と、
前記第２幹部と前記第２幹部支持部とを連結する第２連結部と、を有し、
前記第１連結部は、前記第１幹部支持部に対して前記可動部支持部とは反対側に位置し、
前記第２連結部は、前記第２幹部支持部に対して前記可動部支持部とは反対側に位置していることが好ましい。
これにより、可動部支持部の基部との接合部、第１幹部支持部の基部との接合部および第２幹部支持部の基部との接合部をより近くに配置することができる。そのため、基部の撓みの影響を受け難くなり、より精度よく物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサーでは、前記可動部は、前記固定電極部を囲む枠状をなしていることが好ましい。
これにより、可動部の質量をより大きくすることができる。そのため、より精度よく物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサーデバイスは、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、上述した物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイスが得られる。
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、上述した物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い電子機器が得られる。
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、上述した物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い移動体が得られる。
本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第３実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第４実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 図５に示す物理量センサーの変形例を示す平面図である。 本発明の第５実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第６実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第７実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 図９中のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の第８実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第９実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第１０実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第１１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第１２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第１３実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。 本発明の第１４実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。 本発明の第１５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第１６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第１７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。 本発明の第１８実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
以下、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側および図２中の上側を「上」とも言い、図１中の紙面奥側および図２中の下側を「下」とも言う。また、各図に示すように、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印方向先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。
図１に示す物理量センサー１は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出することのできる加速度センサーである。このような物理量センサー１は、基部２と、基部２に設けられ、Ｘ軸方向の加速度Ａｘ（物理量）を検出する素子部３と、を有している。また、素子部３は、基部２に固定されている固定電極部４と、基部２に対してＸ軸方向（物理量の検出軸方向である第１方向）に変位可能な可動部５２と、可動部５２に設けられている可動電極部６と、を有している。また、固定電極部４は、Ｙ軸方向（検出軸に交差（本実施形態では直交）する方向である第２方向）に並んで配置されている第１固定電極部４１および第２固定電極部４２を有している。また、第１固定電極部４１は、第１幹部４１１と、第１幹部４１１からＹ軸方向（第２方向）両側に延出している複数の第１固定電極指４１２と、を有している。また、第２固定電極部４２は、第２幹部４２１と、第２幹部４２１からＹ軸方向（第２方向）両側に延出している複数の第２固定電極指４２２と、を有している。また、可動電極部６は、Ｙ軸方向（第２方向）に並んで配置されている第１可動電極部６１および第２可動電極部６２を有している。また、第１可動電極部６１の少なくとも一部は、第１幹部４１１のＹ軸方向（第２方向）両側に位置し、第１固定電極指４１２とＸ軸方向（第１方向）に対向する複数の第１可動電極指６１１を有している。また、第２可動電極部６２の少なくとも一部は、第２幹部４２１のＹ軸方向（第２方向）両側に位置し、第２固定電極指４２２とＸ軸方向（第１方向）に対向する複数の第２可動電極指６２１を有している。このような構成とすることで、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２間の静電容量、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２間の静電容量を十分に大きく保ちつつ、第１、第２固定電極指４１２、４２２および第１、第２可動電極指６１１、６２１をそれぞれ短くすることができる。そのため、電極指４１２、４２２、６１１、６２１が破損し難く、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。以下、このような物理量センサー１について詳細に説明する。
図１に示すように、物理量センサー１は、基部２と、基部２上に配置された素子部３と、素子部３を覆うように基部２に接合された蓋部８と、を有している。
（基部）
図１に示すように、基部２は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、基部２は、上面側に開放する凹部２１を有している。また、Ｚ軸方向からの平面視で、凹部２１は、素子部３を内側に内包するように、素子部３よりも大きく形成されている。この凹部２１は、素子部３と基部２との接触を防止するための逃げ部として機能する。
また、図２に示すように、基部２は、凹部２１の底面に設けられた３つの突起状のマウント部２２、２３、２４を有している。また、マウント部２２には第１固定電極部４１が接合され、マウント部２３には第２固定電極部４２が接合され、マウント部２４には可動部支持部５１が接合されている。
また、図１に示すように、基部２は、上面側に開放する溝部２５、２６、２７を有している。また、溝部２５、２６、２７の一端部は、それぞれ、蓋部８の外側に位置し、他端部は、それぞれ、凹部２１に接続されている。
以上のような基部２として、例えば、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）で構成されたガラス基板を用いることができる。これにより、例えば、蓋部８の構成材料によっては、基部２と蓋部８とを陽極接合により接合することができ、これらを強固に接合することができる。また、光透過性を有する基部２が得られるため、物理量センサー１の外側から、基部２を介して素子部３の状態を視認することができる。
ただし、基部２としては、ガラス基板に限定されず、例えば、シリコン基板やセラミックス基板を用いてもよい。なお、シリコン基板を用いる場合は、短絡を防止する観点から、高抵抗のシリコン基板を用いるか、表面に熱酸化等によってシリコン酸化膜（絶縁性酸化物）を形成したシリコン基板を用いることが好ましい。
また、図１に示すように、溝部２５、２６、２７には配線７１、７２、７３が設けられている。また、溝部２５内の配線７１の一端部は、蓋部８の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う端子として機能する。また、図２に示すように、配線７１の他端部は、凹部２１を介してマウント部２２まで引き回されている。そして、配線７１は、マウント部２２上で第１固定電極部４１と電気的に接続されている。
また、図１に示すように、溝部２６内の配線７２の一端部は、蓋部８の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う端子として機能する。また、図２に示すように、配線７２の他端部は、凹部２１を介してマウント部２３まで引き回されている。そして、配線７２は、マウント部２３上で第２固定電極部４２と電気的に接続されている。
また、図１に示すように、溝部２７内の配線７３の一端部は、蓋部８の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う端子として機能する。また、図２に示すように、配線７３の他端部は、凹部２１を介してマウント部２４まで引き回されている。そして、配線７３は、マウント部２４上で可動部支持部５１と電気的に接続されている。
配線７１、７２、７３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、Ｔｉ（チタン）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ、ＩＧＺＯ等の酸化物系の透明導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。
（蓋部）
図１に示すように、蓋部８は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、図２に示すように、蓋部８は、下面側に開放する凹部８１を有している。そして、蓋部８は、凹部８１内に素子部３を収納するようにして、基部２に接合されている。そして、蓋部８および基部２によって、素子部３を収納する収納空間Ｓが形成されている。
また、図２に示すように、蓋部８は、収納空間Ｓの内外を連通する連通孔８２を有しており、この連通孔８２を介して収納空間Ｓを所望の雰囲気に置換することができる。また、連通孔８２内には、封止部材８３が配置され、封止部材８３によって、連通孔８２が封止されている。
封止部材８３としては、連通孔８２を封止できれば、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）／錫（Ｓｎ）系合金、金（Ａｕ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系合金、金（Ａｕ）／アルミニウム（Ａｌ）系合金等の各種合金、低融点ガラス等のガラス材料等を用いることができる。
収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（−４０℃〜８０℃程度）で、ほぼ大気圧となっていることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、可動部５２の振動を速やかに収束（停止）させることができる。そのため、物理量センサー１の加速度Ａｘの検出精度が向上する。
このような蓋部８は、本実施形態では、シリコン基板で構成されている。ただし、蓋部８としては、シリコン基板に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基部２と蓋部８との接合方法としては、特に限定されず、基部２や蓋部８の材料によって適宜選択すればよいが、例えば、陽極接合、プラズマ照射によって活性化させた接合面同士を接合させる活性化接合、ガラスフリット等の接合材による接合、基部２の上面および蓋部８の下面に成膜した金属膜同士を接合する拡散接合等が挙げられる。
本実施形態では、図２に示すように、接合材の一例であるガラスフリット８９（低融点ガラス）を介して基部２と蓋部８とが接合されている。基部２と蓋部８とを重ね合わせた状態では、溝部２５、２６、２７を介して収納空間Ｓの内外が連通してしまうが、ガラスフリット８９を用いることで、基部２と蓋部８とを接合すると共に、溝部２５、２６、２７を封止することができ、より容易に、収納空間Ｓを気密封止することができる。なお、基部２と蓋部８とを陽極接合等（溝部２５、２６、２７を封止できない接合方法）で接合した場合には、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成されたＳｉＯ２膜によって溝部２５、２６、２７を塞ぐことができる。
（素子部）
図１に示すように、素子部３は、基部２に固定されている固定電極部４と、基部２に固定されている可動部支持部５１と、可動部支持部５１に対してＸ軸方向に変位可能な可動部５２と、可動部支持部５１と可動部５２とを連結するバネ部５３、５４と、可動部５２に設けられている可動電極部６と、を有している。このうち、可動部支持部５１、可動部５２、バネ部５３、５４および可動電極部６は、一体的に形成されている。このような素子部３は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）等の不純物がドープされたシリコン基板をパターニングすることで形成することができる。また、素子部３は、陽極接合によって基部２（マウント部２２、２３、２４）に接合されている。ただし、素子部３の材料や、素子部３の基部２への接合方法は、特に限定されない。
図１に示すように、可動部支持部５１は、Ｘ軸方向に延在する長手形状をなしている。そして、可動部支持部５１は、Ｘ軸方向のマイナス側の端部にマウント部２４と接合している接合部５１１を有している。なお、本実施形態では、可動部支持部５１は、Ｘ軸方向に延在する長手形状となっているが、可動部支持部５１の形状としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。また、以下では、Ｚ軸方向から見た平面視で、可動部支持部５１をＹ軸方向に二等分する仮想軸を中心軸Ｌとする。
このような可動部支持部５１は、第１固定電極部４１および第２固定電極部４２の間に位置している。これにより、可動部支持部５１を、可動部５２の中心部に配置することができ、可動部５２をより安定して支持することができる。
図１に示すように、可動部５２は、Ｚ軸方向から見た平面視で、枠状をなしており、可動部支持部５１、バネ部５３、５４および第１、第２固定電極部４１、４２を囲んでいる。すなわち、可動部５２は、固定電極部４を囲む枠状をなしている。これにより、可動部５２の質量をより大きくすることができる。そのため、より感度を向上させ、精度よく物理量を検出することができる。
また、可動部５２は、内側に第１固定電極部４１が配置された第１開口部５２８（第１切り欠き部）と、内側に第２固定電極部４２が配置された第２開口部５２９（第２切り欠き部）と、を有している。また、第１、第２開口部５２８、５２９は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。このような可動部５２は、中心軸Ｌに対して対称である。
可動部５２の形状をより具体的に説明すると、可動部５２は、可動部支持部５１、バネ部５３、５４および第１、第２固定電極部４１、４２を囲む枠部５２１と、第１開口部５２８のＸ軸方向プラス側に位置し、枠部５２１からＹ軸方向マイナス側へ延出する第１Ｙ軸延在部５２２と、第１Ｙ軸延在部５２２の先端部からＸ軸方向マイナス側へ延出する第１Ｘ軸延在部５２３と、第２開口部５２９のＸ軸方向プラス側に位置し、枠部５２１からＹ軸方向プラス側へ延出する第２Ｙ軸延在部５２４と、第２Ｙ軸延在部５２４の先端部からＸ軸方向マイナス側へ延出する第２Ｘ軸延在部５２５と、を有している。また、第１、第２Ｙ軸延在部５２２、５２４は、それぞれ、バネ部５３の近くに設けられ、バネ部５３のＹ軸方向（バネ片５３１の延在方向）に沿うように配置されており、第１、第２Ｘ軸延在部５２３、５２５は、それぞれ、可動部支持部５１の近くに設けられ、可動部支持部５１に沿って配置されている。
このような構成において、第１Ｙ軸延在部５２２および第１Ｘ軸延在部５２３は、第１可動電極指６１１を支持する支持部として機能し、第２Ｙ軸延在部５２４および第２Ｘ軸延在部５２５は、第２可動電極指６２１を支持する支持部として機能する。
また、可動部５２は、第１開口部５２８の余ったスペースを埋めるように、枠部５２１から第１開口部５２８内へ突出する第１突出部５２６と、第２開口部５２９の余ったスペースを埋めるように、枠部５２１から第２開口部５２９内へ突出する第２突出部５２７と、を有している。このように、第１、第２突出部５２６、５２７を設けることで、可動部５２の大型化を招くことなく、可動部５２の質量をより大きくすることができる。そのため、より感度を向上させ、感度の高い物理量センサー１となる。
また、バネ部５３、５４は、弾性変形可能であり、バネ部５３、５４が弾性変形することで、可動部５２が可動部支持部５１に対してＸ軸方向に変位することができる。図１に示すように、バネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部とを連結し、バネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部とを連結している。これにより、可動部５２をＸ軸方向の両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
また、バネ部５３は、Ｙ軸方向に並んで配置された一対のバネ片５３１、５３２を有している。また、一対のバネ片５３１、５３２は、それぞれ、Ｙ軸方向に蛇行した形状をなし、中心軸Ｌに対して対称的に形成されている。このようなバネ部５３は、Ｙ軸方向に長く延在した部分５３ｙと、Ｘ軸方向に短く延在した部分５３ｘと、を有している。なお、バネ部５４の構成は、バネ部５３の構成と同様である。
このように、バネ部５３、５４を、検出軸であるＸ軸よりも、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に長い形状とすることで、加速度Ａｘが加わった際の、可動部５２のＸ軸方向（検出軸方向）以外への変位（特に、Ｚ軸まわりの回転変位）を抑制することができる。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で加速度Ａｘを検出することができる。ただし、バネ部５３、５４の構成としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
また、図１に示すように、固定電極部４は、第１開口部５２８内に位置する第１固定電極部４１と、第２開口部５２９に位置する第２固定電極部４２と、を有している。これら第１、第２固定電極部４１、４２は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。
また、第１固定電極部４１は、基部２に固定された第１幹部支持部４１３と、第１幹部支持部４１３に支持された第１幹部４１１と、第１幹部４１１からＹ軸方向両側に延出した複数の第１固定電極指４１２と、を有している。なお、第１幹部支持部４１３、第１幹部４１１および各第１固定電極指４１２は、一体形成されている。
また、第１幹部支持部４１３は、マウント部２２と接合された接合部４１３ａを有している。なお、接合部４１３ａは、第１幹部支持部４１３のＸ軸方向マイナス側に偏って配置されている。
また、第１幹部４１１は、棒状の長手形状をなし、その一端が第１幹部支持部４１３に接続されており、これにより、第１幹部支持部４１３に支持されている。また、第１幹部４１１は、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在している。より具体的には、第１幹部４１１は、その先端側に向けて中心軸Ｌとの離間距離が大きくなるように傾斜している。このような配置とすることで、第１幹部支持部４１３を可動部支持部５１の近くに配置し易くなる。
なお、Ｘ軸に対する第１幹部４１１の軸Ｌ４１１の傾きとしては、特に限定されないが、１０°以上、４５°以下であること好ましく、１０°以上、３０°以下であることがより好ましい。これにより、第１固定電極部４１のＹ軸方向への広がりを抑制することができ、素子部３の小型化を図ることができる。
また、第１固定電極指４１２は、第１幹部４１１からＹ軸方向両側に延出している。すなわち、第１固定電極指４１２は、第１幹部４１１のＹ軸方向プラス側に位置する第１固定電極指４１２’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第１固定電極指４１２”と、を有している。また、第１固定電極指４１２’、４１２”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。
また、複数の第１固定電極指４１２’の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸減している。また、複数の第１固定電極指４１２’の先端は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿う同一直線上に位置している。一方、複数の第１固定電極指４１２”の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸増している。また、複数の第１固定電極指４１２”の先端は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿う同一直線上に位置している。また、Ｙ軸方向に並ぶ第１固定電極指４１２’と第１固定電極指４１２”の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。
また、第２固定電極部４２は、基部２に固定された第２幹部支持部４２３と、第２幹部支持部４２３に支持された第２幹部４２１と、第２幹部４２１からＹ軸方向両側に延出した複数の第２固定電極指４２２と、を有している。なお、第２幹部支持部４２３、第２幹部４２１および各第２固定電極指４２２は、一体形成されている。
また、第２幹部支持部４２３は、マウント部２３の上面と接合された接合部４２３ａを有している。なお、接合部４２３ａは、第２幹部支持部４２３のＸ軸方向マイナス側に偏って配置されている。
また、第２幹部４２１は、棒状の長手形状をなし、その一端が第２幹部支持部４２３に接続されており、これにより、第２幹部支持部４２３に支持されている。また、第２幹部４２１は、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在している。より具体的には、第２幹部４２１は、その先端側に向けて中心軸Ｌとの離間距離が大きくなるように傾斜している。このような配置とすることで、第２幹部支持部４２３を可動部支持部５１の近くに配置し易くなる。
なお、Ｘ軸に対する第２幹部４２１の軸Ｌ４２１の傾きとしては、特に限定されないが、１０°以上、４５°以下であること好ましく、１０°以上、３０°以下であることがより好ましい。これにより、第２固定電極部４２のＹ軸方向への広がりを抑制することができ、素子部３の小型化を図ることができる。
また、第２固定電極指４２２は、第２幹部４２１からＹ軸方向両側に延出している。すなわち、第２固定電極指４２２は、第２幹部４２１のＹ軸方向プラス側に位置する第２固定電極指４２２’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第２固定電極指４２２”と、を有している。また、第２固定電極指４２２’、４２２”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。
また、複数の第２固定電極指４２２’の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸増している。また、複数の第２固定電極指４２２’の先端は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿う同一直線上に位置している。一方、複数の第２固定電極指４２２”の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸減している。また、複数の第２固定電極指４２２”の先端は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿う同一直線上に位置している。また、Ｙ軸方向に並ぶ第２固定電極指４２２’と第２固定電極指４２２”の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。
以上、第１固定電極部４１および第２固定電極部４２について説明した。このような第１、第２固定電極部４１、４２の形状および配置は、中心軸Ｌに対して線対称である（ただし、第１、第２固定電極指４１２、４２２がＸ軸方向にずれていることを除く）。特に、本実施形態では、第１、第２幹部４１１、４２１は、それぞれ、中心軸Ｌとの離間距離が先端側へ向けて漸増するようにＸ軸に対して傾斜した方向に延在している。このような配置とすることで、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａを、可動部支持部５１の接合部５１１のより近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差、具体的には、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのＺ軸方向のずれの差、第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。
特に、本実施形態では、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａ、第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａおよび可動部支持部５１の接合部５１１が、Ｙ軸方向に並んで配置している。これにより、接合部４１３ａ、４２３ａを、接合部５１１のさらに近くに配置することができ、上述した効果がより顕著となる。
また、図１に示すように、可動電極部６は、第１開口部５２８内に位置する第１可動電極部６１と、第２開口部５２９内に位置する第２可動電極部６２と、を有している。これら第１、第２可動電極部６１、６２は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。
また、第１可動電極部６１は、第１幹部４１１のＹ軸方向両側に位置し、Ｙ軸方向に延在する複数の第１可動電極指６１１を有している。すなわち、第１可動電極指６１１は、第１幹部４１１のＹ軸方向プラス側に位置する第１可動電極指６１１’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第１可動電極指６１１”と、を有している。また、第１可動電極指６１１’、６１１”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。また、第１可動電極指６１１’は、枠部５２１からＹ軸方向マイナス側に向けて延出し、第１可動電極指６１１”は、第１Ｘ軸延在部５２３からＹ軸方向プラス側に向けて延出している。
また、各第１可動電極指６１１は、対応する第１固定電極指４１２に対してＸ軸方向プラス側に位置し、この第１固定電極指４１２とギャップを介して対向している。
また、複数の第１可動電極指６１１’の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸減している。また、複数の第１可動電極指６１１’の先端は、それぞれ、第１幹部４１１の延在方向に沿う同一直線上に位置している。一方、複数の第１可動電極指６１１”の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸増している。また、複数の第１可動電極指６１１”の先端は、それぞれ、第１幹部４１１の延在方向に沿う同一直線上に位置している。また、Ｙ軸方向に並ぶ第１可動電極指６１１’と第１可動電極指６１１”の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。
また、第２可動電極部６２は、第２幹部４２１のＹ軸方向両側に位置し、Ｙ軸方向に延在する複数の第２可動電極指６２１を有している。すなわち、第２可動電極指６２１は、第２幹部４２１のＹ軸方向プラス側に位置する第２可動電極指６２１’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第２可動電極指６２１”と、を有している。また、第２可動電極指６２１’、６２１”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。また、第２可動電極指６２１’は、第２Ｘ軸延在部５２５からＹ軸方向マイナス側に向けて延出し、第２可動電極指６２１”は、枠部５２１からＹ軸方向プラス側に向けて延出している。
また、各第２可動電極指６２１は、対応する第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向マイナス側に位置し、この第２固定電極指４２２とギャップを介して対向している。
また、複数の第２可動電極指６２１’の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸増している。また、複数の第２可動電極指６２１’の先端は、それぞれ、第２幹部４２１の延在方向に沿う同一直線上に位置している。一方、複数の第２可動電極指６２１”の長さ（Ｙ軸方向の長さ）は、Ｘ軸方向プラス側に向けて漸減している。また、複数の第２可動電極指６２１”の先端は、それぞれ、第２幹部４２１の延在方向に沿う同一直線上に位置している。また、Ｙ軸方向に並ぶ第２可動電極指６２１’と第２可動電極指６２１”の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。
以上、第１可動電極部６１および第２可動電極部６２について説明した。このような第１、第２可動電極部６１、６２の形状および配置は、中心軸Ｌに対して線対称である（ただし、第１、第２可動電極指６１１、６２１がＸ軸方向にずれていることを除く）。
以上、物理量センサー１の構成について詳細に説明した。このような物理量センサー１に加速度Ａｘが加わると、その加速度Ａｘの大きさに基づいて、可動部５２がバネ部５３、５４を弾性変形させながらＸ軸方向に変位する。このような変位に伴って、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのギャップおよび第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのギャップがそれぞれ変化し、この変位に伴って、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２との間の静電容量および第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そのため、これら静電容量の変化に基づいて加速度Ａｘを検出することができる。
ここで、上述したように、各第１可動電極指６１１は、対応する第１固定電極指４１２に対してＸ軸方向プラス側に位置し、逆に、各第２可動電極指６２１は、対応する第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。すなわち、各第１可動電極指６１１は、対をなす第１固定電極指４１２に対してＸ軸方向（第１方向）の一方側に位置し、各第２可動電極指６２１は、対をなす第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向（第１方向）の他方側に位置している。そのため、加速度Ａｘが加わると、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのギャップが縮まり、第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのギャップが広がるか、逆に、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのギャップが広がり、第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのギャップが縮まる。よって、第１固定電極指４１２および第１可動電極指６１１の間から得られる第１検出信号と、第２固定電極指４２２および第２可動電極指６２１の間から得られる第２検出信号と、を差動演算することで、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。
以上のような物理量センサー１は、前述したように、第１幹部４１１からＹ軸方向（第２方向）両側に延出している複数の第１固定電極指４１２と、第２幹部４２１からＹ軸方向（第２方向）両側に延出している複数の第２固定電極指４２２と、第１幹部４１１のＹ軸方向（第２方向）両側に位置し、第１固定電極指４１２とＸ軸方向（第１方向）に対向する複数の第１可動電極指６１１と、第２幹部４２１のＹ軸方向（第２方向）両側に位置し、第２固定電極指４２２とＸ軸方向（第１方向）に対向する複数の第２可動電極指６２１と、を有している。このような構成とすることで、第１固定電極指４１２と第１可動電極指６１１との間および第２固定電極指４２２と第２可動電極指６２１との間に、それぞれ、十分に大きい静電容量を形成しつつ、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１の長さを短くすることができる。そのため、優れた検出精度を発揮することができると共に、電極指４１２、４２２、６１１、６２１の破損が抑制され、優れた耐衝撃性を発揮することのできる物理量センサー１となる。さらには、電極指４１２、４２２、６１１、６２１の破損が抑制されている分、電極指４１２、４２２、６１１、６２１の厚さを薄くすることができ、物理量センサー１の小型化や高感度化を図ることができる。
また、物理量センサー１では、第１幹部４１１および第２幹部４２１は、それぞれ、Ｘ軸方向（第１方向）およびＹ軸方向（第２方向）に対して傾斜した方向に延在している。これにより、複数の第１固定電極指４１２の中に、より短い第１固定電極指４１２を含ませることができ、第１固定電極部４１全体として、より破損し難くなる。同様に、複数の第２固定電極指４２２の中に、より短い第２固定電極指４２２を含ませることができ、第２固定電極部４２全体として、より破損し難くなる。第１可動電極指６１１および第２可動電極指６２１についても同様である。そのため、電極指４１２、４２２、６１１、６２１の破損がより効果的に抑制され、さらに優れた耐衝撃性を発揮することのできる物理量センサー１となる。
また、物理量センサー１では、第１幹部４１１および第２幹部４２１は、Ｘ軸方向（第１方向）に対して互いに反対側に傾斜している。これにより、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａを、可動部支持部５１の接合部５１１のより近くに配置することができる。そのため、熱に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。その結果、例えば、環境温度による検出特性の変化が小さくなり、温度特性に優れた物理量センサー１となる。
特に、本実施形態では、可動部５２を支持し、基部２に固定されている可動部支持部５１と、第１幹部４１１を支持し、基部２に固定されている第１幹部支持部４１３と、第２幹部４２１を支持し、基部２に固定されている第２幹部支持部４２３と、を有し、可動部支持部５１の基部２との接合部５１１、第１幹部支持部４１３の基部２との接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の基部２との接合部４２３ａは、Ｙ軸方向（第２方向）に並んで配置されている。そのため、接合部４１３ａおよび接合部４２３ａを、接合部５１１のさらに近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をさらに効果的に抑制することができる。その結果、例えば、環境温度による検出特性の変化がさらに小さくなり、さらに温度特性に優れた物理量センサー１となる。
また、本実施形態では、第１固定電極指４１２は、Ｘ軸方向（第１方向）に並んで複数設けられている。そして、第１幹部４１１に対してＹ軸方向（第２方向）のプラス側（一方側）に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第１固定電極指４１２’のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側（一方側）に向けて漸減し、逆に、第１幹部４１１に対してＹ軸方向のマイナス側（他方側）に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第１固定電極指４１２”のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側に向けて漸増している。これにより、複数の第１固定電極指４１２中における、細長い（Ｙ軸方向に長い）第１固定電極指４１２の割合を小さくすることができるため、その分、第１固定電極指４１２が全体的に破損し難くなる。そのため、第１固定電極指４１２の衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
一方、第２固定電極指４２２は、Ｘ軸方向に並んで複数設けられている。そして、第２幹部４２１に対してＹ軸方向のプラス側に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第２固定電極指４２２’のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側に向けて漸増し、第２幹部４２１に対してＹ軸方向のマイナス側に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第２固定電極指４２２”のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側に向けて漸減している。これにより、複数の第２固定電極指４２２中における、細長い（Ｙ軸方向に長い）第２固定電極指４２２の割合を小さくすることができるため、その分、第２固定電極指４２２が全体的に破損し難くなる。そのため、第２固定電極指４２２の衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
また、本実施形態では、第１可動電極指６１１は、Ｘ軸方向（第１方向）に並んで複数設けられている。そして、第１幹部４１１に対してＹ軸方向（第２方向）のプラス側（一方側）に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第１可動電極指６１１’のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側（一方側）に向けて漸減し、第１幹部４１１に対してＹ軸方向のマイナス側（他方側）に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第１可動電極指６１１”のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側に向けて漸増している。これにより、複数の第１可動電極指６１１中における、細長い（Ｙ軸方向に長い）第１可動電極指６１１の割合を小さくすることができるため、その分、第１可動電極指６１１が全体的に破損し難くなる。そのため、第１可動電極指６１１の衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
一方、第２可動電極指６２１は、Ｘ軸方向に並んで複数設けられている。そして、第２幹部４２１に対してＹ軸方向のプラス側に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第２可動電極指６２１’のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向のプラス側に向けて漸増し、第２幹部４２１に対してＹ軸方向のマイナス側に位置し、Ｘ軸方向に並んで設けられた複数の第２可動電極指６２１”のＹ軸方向に沿った長さは、Ｘ軸方向の一方側に向けて漸減している。これにより、複数の第２可動電極指６２１中における、細長い（Ｙ軸方向に長い）第２可動電極指６２１の割合を小さくすることができるため、その分、第２可動電極指６２１が全体的に破損し難くなる。そのため、第２可動電極指６２１の衝撃等による破損をより効果的に抑制することができる。
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図３では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図３に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１幹部４１１および第２幹部４２１が、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在している。また、複数の第１固定電極指４１２の長さが互いにほぼ等しくなっており、同様に、複数の第２固定電極指４２２の長さが互いにほぼ等しくなっている。また、複数の第１可動電極指６１１の長さが互いにほぼ等しくなっており、同様に、複数の第２可動電極指６２１の長さが互いにほぼ等しくなっている。
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図４は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図４では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第２実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第３実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図４では、前述した第２実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図４に示すように、第１固定電極部４１は、さらに、第１幹部支持部４１３と第１幹部４１１とを連結する第１連結部４１４と、を有している。また、第１連結部４１４は、第１幹部支持部４１３に対して可動部支持部５１とは反対側に位置している。また、第１連結部４１４は、Ｙ軸方向に延在しており、第１幹部４１１のＸ軸方向マイナス側の端部に接続されている。
同様に、第２固定電極部４２は、さらに、第２幹部支持部４２３と第２幹部４２１とを連結する第２連結部４２４と、を有している。また、第２連結部４２４は、第２幹部支持部４２３に対して可動部支持部５１とは反対側に位置している。また、第２連結部４２４は、Ｙ軸方向に延在しており、第２幹部４２１のＸ軸方向マイナス側の端部に接続されている。
このような構成によれば、第１連結部４１４および第２連結部４１５を有しているため、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａを、可動部支持部５１の接合部５１１のより近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差、具体的には、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのＺ軸方向のずれの差、第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図５は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図６は、図５に示す物理量センサーの変形例を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図５および図６では、それぞれ、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第４実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図５および図６では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図５に示すように、第１固定電極部４１は、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在する一対の第１幹部４１１を有している。また、一対の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３に対してＸ軸方向の反対側に位置している。すなわち、一方の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３からＸ軸方向プラス側にＸ軸に対して傾斜した方向に沿って延出し、他方の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３からＸ軸方向マイナス側にＸ軸方向に対して傾斜した方向に沿って延出している。また、一対の第１幹部４１１は、Ｙ軸と平行な線に対して線対称となっている。そして、各第１幹部４１１に、複数の第１固定電極指４１２が設けられ、可動部５２に、各第１固定電極指４１２と対向する複数の第１可動電極指６１１が設けられている。
同様に、第２固定電極部４２は、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在する一対の第２幹部４２１を有している。また、一対の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３に対してＸ軸方向の反対側に位置している。すなわち、一方の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３からＸ軸方向プラス側にＸ軸に対して傾斜した方向に沿って延出し、他方の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３からＸ軸方向マイナス側にＸ軸方向に対して傾斜した方向に沿って延出している。また、一対の第２幹部４２１は、Ｙ軸と平行な線に対して線対称となっている。そして、各第２幹部４２１に、複数の第２固定電極指４２２が設けられ、可動部５２に、各第２固定電極指４２２と対向する複数の第２可動電極指６２１が設けられている。
このような構成によれば、例えば、前述した第１実施形態と比較して、第１、第２固定電極指４１２、４２２および第１、第２可動電極指６１１、６２１の数を増やすことができる。そのため、例えば、前述した第１実施形態と電極指の長さが同じであれば、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２の間の静電容量と、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２の間の静電容量とを大きくすることができる。そして、これに伴って、加速度Ａｘが加わった際の静電容量の変化量も大きくなるため、感度が向上し、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。別の観点から言えば、例えば、前述した第１実施形態と静電容量の大きさが同じであれば、その分、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１を短くすることができ、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１がより破損し難くなる。
また、可動部支持部５１の基部２との接合部５１１は、可動部支持部５１のＸ軸方向の中央部に位置している。また、接合部５１１は、可動部支持部５１の中央部において、その重心を挟むように２箇所設けられている。このような配置とすると、第１固定電極部４１の基部２との接合部４１３ａおよび第２固定電極部４２の基部２との接合部４２３ａを、接合部５１１の近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。
なお、接合部５１１の配置としては、特に限定されず、例えば、図６に示すように、可動部支持部５１の重心と重なる１箇所に設けられていてもよい。また、２つの接合部５１１に挟まれている部分の可動部支持部５１は、必ずしも一体化している必要はなく、分離していてもよい。この分離している隙間で、第１Ｘ軸延在部５２３と第２Ｘ軸延在部５２５とを接続させてもよい。
このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図７は、本発明の第５実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図７では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第３実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第５実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第３実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図７に示すように、第１固定電極部４１は、第１幹部支持部４１３と第１幹部４１１とを連結する第１連結部４１４と、を有している。また、第１連結部４１４は、第１幹部支持部４１３に対して可動部支持部５１とは反対側に位置している。また、第１連結部４１４は、Ｙ軸方向に延在しており、第１幹部４１１のＸ軸方向の中央部に接続されている。また、第１幹部４１１には、その一端側（Ｘ軸方向プラス側）および他端側（Ｘ軸方向マイナス側）のそれぞれに第１固定電極指４１２が設けられている。すなわち、第１連結部４１４との接続部を除く延在方向のほぼ全域に亘って、第１固定電極指４１２が設けられている。
同様に、第２固定電極部４２は、第２幹部支持部４２３と第２幹部４２１とを連結する第２連結部４２４と、を有している。また、第２連結部４２４は、第２幹部支持部４２３に対して可動部支持部５１とは反対側に位置している。また、第２連結部４２４は、Ｙ軸方向に延在しており、第２幹部４２１のＸ軸方向の中央部に接続されている。また、第２幹部４２１には、その一端側（Ｘ軸方向プラス側）および他端側（Ｘ軸方向マイナス側）のそれぞれに第２固定電極指４２２が設けられている。すなわち、第２連結部４２４との接続部を除く延在方向のほぼ全域に亘って、第２固定電極指４２２が設けられている。
このような構成によれば、第１連結部４１４および第２連結部４１５を有しているため、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａを、可動部支持部５１の接合部５１１のより近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差、具体的には、第１可動電極指６１１と第１固定電極指４１２とのＺ軸方向のずれの差、第２可動電極指６２１と第２固定電極指４２２とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。
また、例えば、前述した第２実施形態と比較して、第１、第２固定電極指４１２、４２２および第１、第２可動電極指６１１、６２１の数を増やすことができる。そのため、例えば、前述した第１実施形態と電極指の長さが同じであれば、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２の間の静電容量と、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２の間の静電容量とを大きくすることができ、感度が向上し、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。別の観点から言えば、例えば、前述した第１実施形態と静電容量の大きさが同じであれば、その分、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１を短くすることができ、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１がより破損し難くなる。
また、可動部支持部５１の基部２との接合部５１１は、可動部支持部５１のＸ軸方向の中央部に位置している。また、接合部５１１は、可動部支持部５１の中央部において、その重心を挟むように２箇所（Ｘ軸方向に並んで２箇所）設けられている。このような配置とすると、第１固定電極部４１の基部２との接合部４１３ａおよび第２固定電極部４２の基部２との接合部４２３ａを、接合部５１１の近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。
なお、２つの接合部５１１に挟まれている部分の可動部支持部５１は、一体化している必要はなく、分離していてもよい。そして、この分離している隙間で、第１Ｘ軸延在部５２３と第２Ｘ軸延在部とを接続させてもよい。
このような第５実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図８は、本発明の第６実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図８では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第２実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第６実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図８に示すように、第１固定電極部４１は、Ｘ軸方向に沿って延在する一対の第１幹部４１１を有している。また、一対の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３に対してＸ軸方向の反対側に位置している。すなわち、一方の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３からＸ軸方向プラス側に延出し、他方の第１幹部４１１は、第１幹部支持部４１３からＸ軸方向マイナス側に延出している。そして、各第１幹部４１１に、複数の第１固定電極指４１２が設けられ、可動部５２に、各第１固定電極指４１２と対向する複数の第１可動電極指６１１が設けられている。
同様に、第２固定電極部４２は、Ｘ軸方向に沿って延在する一対の第２幹部４２１を有している。また、一対の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３に対してＸ軸方向の反対側に位置している。すなわち、一方の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３からＸ軸方向プラス側に延出し、他方の第２幹部４２１は、第２幹部支持部４２３からＸ軸方向マイナス側に延出している。そして、各第２幹部４２１に、複数の第２固定電極指４２２が設けられ、可動部５２に、各第２固定電極指４２２と対向する複数の第２可動電極指６２１が設けられている。
このような構成によれば、例えば、前述した第２実施形態と比較して、第１、第２固定電極指４１２、４２２および第１、第２可動電極指６１１、６２１の数を増やすことができる。そのため、例えば、前述した第１実施形態と電極指の長さが同じであれば、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２の間の静電容量と、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２の間の静電容量とを大きくすることができる。そして、これに伴って、加速度Ａｘが加わった際の静電容量の変化量も大きくなるため、感度が向上し、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。別の観点から言えば、例えば、前述した第１実施形態と静電容量の大きさが同じであれば、その分、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１を短くすることができ、各電極指４１２、４２２、６１１、６２１がより破損し難くなる。
また、可動部支持部５１の基部２との接合部５１１は、可動部支持部５１のＸ軸方向の中央部に位置している。また、接合部５１１は、可動部支持部５１の中央部において、その重心を挟むように２箇所（Ｙ軸方向に並んで２箇所）設けられている。このような配置とすると、第１固定電極部４１の基部２との接合部４１３ａおよび第２固定電極部４２の基部２との接合部４２３ａを、接合部５１１の近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。
このような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図９は、本発明の第７実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図１０は、図９中のＢ−Ｂ線断面図である。なお、説明の便宜上、図９では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第７実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図９および図１０では、それぞれ、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図９に示すように、固定電極部４は、Ｘ軸方向に並んで一対設けられている。また、一対の固定電極部４は、Ｙ軸と平行な線に対して線対称である。また、各固定電極部４は、第１幹部支持部４１３と第２幹部支持部４２３とが一体化された幹部支持部４３を有している。また、各幹部支持部４３は、Ｚ軸方向から見た平面視で、中心軸Ｌ上に位置している。このような構成によれば、第１幹部支持部４１３および第２幹部支持部４２３を一体化しているため、物理量センサー１の小型化を図ることができる。
また、Ｘ軸方向プラス側に位置する固定電極部４では、第１、第２幹部４１１、４２１が幹部支持部４３に対してＸ軸方向プラス側に位置しており、Ｘ軸方向マイナス側に位置する固定電極部４では、第１、第２幹部４１１、４２１が幹部支持部４３に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。そのため、一対の幹部支持部４３を互いに近傍に配置することができる。
なお、図１０に示すように、一方の幹部支持部４３は、マウント部２２との接合部４３１を有しており、配線７１と電気的に接続されている。また、他方の幹部支持部４３は、マウント部２３との接合部４３１を有し、配線７２と電気的に接続されている。
ここで、Ｘ軸方向プラス側に位置する固定電極部４では、各第１可動電極指６１１および各第２可動電極指６２１は、対応する第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向プラス側に位置している。逆に、Ｘ軸方向マイナス側に位置する固定電極部４では、各第１可動電極指６１１および各第２可動電極指６２１は、対応する第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。これにより、一方の固定電極部４および可動電極部６の間から得られる第１検出信号と、他方の固定電極部４および可動電極部６の間から得られる第２検出信号と、を差動演算することで、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。
また、可動部支持部５１は、２つの幹部支持部４３の間に位置し、Ｙ軸方向に延在している。また、可動部支持部５１は、Ｙ軸方向プラス側の端部にバネ部５３が接続されており、Ｙ軸方向マイナス側の端部にバネ部５４が接続されている。このような配置とすることで、接合部５１１を２つの幹部支持部４３の近くに配置することができる。ただし、可動部支持部５１の構成や配置としては、特に限定されない。
このような第７実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１１は、本発明の第８実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１１では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第７実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第８実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第７実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１では、前述した第７実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１１に示すように、可動部支持部５１は、可動部５２の外側に設けられている。また、可動部支持部５１は、枠状をなし、可動部５２を囲むように設けられている。また、可動部支持部５１は、枠状をなす基部５１２と、基部５１２から内側に突出する一対の突出部５１３、５１４と、を有している。また、突出部５１３、５１４は、中心軸Ｌに対して対称的に配置されており、それぞれ、素子部３の中心に向けて突出している。そして、突出部５１３、５１４の先端部（中心側の端部）に、マウント部２４との接合部５１１が設けられている。
このように、各接合部５１１を素子部３の中央部に寄せて配置しているため、各接合部５１１を、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａの近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。特に、本実施形態では、一対の接合部５１１を結ぶ線分と、接合部４１３ａ、４２３ａを結ぶ線分とが交差しているため、接合部５１１、４１３ａ、４２３ａを互いにより近くに配置することができ、上述した効果がより顕著なものとなる。
また、バネ部５３、５４は、それぞれ、可動部５２と可動部支持部５１との間に位置している。また、バネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部とを連結し、バネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部とを連結している。これにより、可動部５２をＸ軸方向の両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
このような第８実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第９実施形態＞
次に、本発明の第９実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１２は、本発明の第９実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１２では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第７実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第９実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第７実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２では、前述した第７実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１２に示すように、可動部支持部５１は、可動部５２の内側に、一対設けられている。また、一方の可動部支持部５１は、中心軸ＬよりもＹ軸方向プラス側に位置し、他方の可動部支持部５１は、中心軸ＬよりもＹ軸方向マイナス側に位置している。また、一対の可動部支持部５１は、中心軸Ｌに対して対称的に配置されている。
このような可動部支持部５１は、Ｘ軸方向に延在する基部５１５と、基部５１５の中央部から素子部３の中心に向けてＹ軸方向に延出する延出部５１６と、を有しており、Ｔ字状をなしている。そして、各延出部５１６の先端部（中心側の端部）にマウント部２４との接合部５１１が設けられている。
このように、各接合部５１１を素子部３の中央部に寄せて配置しているため、各接合部５１１を、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａの近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。特に、本実施形態では、一対の接合部５１１を結ぶ線分と、接合部４１３ａ、４２３ａを結ぶ線分とが交差しているため、接合部５１１、４１３ａ、４２３ａを互いにより近くに配置することができ、上述した効果がより顕著なものとなる。
また、バネ部５３は、一対設けられている。そして、一方のバネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と一方の可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部（基部５１５のＸ軸方向プラス側の端部）とを連結し、他方のバネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と他方の可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部（基部５１５のＸ軸方向プラス側の端部）とを連結している。
同様に、バネ部５４は、一対設けられている。そして、一方のバネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と一方の可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部（基部５１５のＸ軸方向マイナス側の端部）とを連結し、他方のバネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と他方の可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部（基部５１５のＸ軸方向マイナス側の端部）とを連結している。
これにより、バネ部５３、５４によって、可動部５２をＸ軸方向の両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
このような第９実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。特に、本実施形態では、可動部５２が枠状をなしており、最も外側に位置していることから、例えば、前述した第８実施形態と比較して、可動部５２の質量をより大きくすることができる。そのため、より感度を向上させ、感度の高い物理量センサー１となる。
＜第１０実施形態＞
次に、本発明の第１０実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１３は、本発明の第１０実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１３では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第１０実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１３に示すように、固定電極部４は、Ｘ軸方向に並んで一対設けられている。また、一対の固定電極部４は、Ｙ軸と平行な線に対して線対称である。また、各固定電極部４は、第１幹部支持部４１３と第２幹部支持部４２３とが一体化された幹部支持部４３を有している。また、各幹部支持部４３は、Ｚ軸方向から見た平面視で、中心軸Ｌ上に位置している。このような構成によれば、第１幹部支持部４１３および第２幹部支持部４２３を一体化しているため、物理量センサー１の小型化を図ることができる。
なお、前述した第７実施形態と同様に、一方の幹部支持部４３は、マウント部２２との接合部４３１を有しており、配線７１と電気的に接続されている。また、他方の幹部支持部４３は、マウント部２３との接合部４３１を有し、配線７２と電気的に接続されている。
また、各第１固定電極部４１は、幹部支持部４３と第１幹部４１１とを連結する第１連結部４１４と、を有している。また、第１幹部４１１は、Ｘ軸方向に沿って延在している。また、第１連結部４１４は、Ｙ軸方向に延在しており、第１幹部４１１の一端部に接続されている。
また、各第２固定電極部４２は、幹部支持部４３と第２幹部４２１とを連結する第２連結部４２４と、を有している。また、第２幹部４２１は、Ｘ軸方向に沿って延在している。また、第２連結部４２４は、Ｙ軸方向に延在しており、第２幹部４２１の一端部に接続されている。
また、Ｘ軸方向プラス側に位置する固定電極部４では、第１、第２幹部４１１、４２１が幹部支持部４３に対してＸ軸方向プラス側に位置しており、Ｘ軸方向マイナス側に位置する固定電極部４では、第１、第２幹部４１１、４２１が幹部支持部４３に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。そのため、一対の幹部支持部４３を互いに近くに配置することができる。
ここで、Ｘ軸方向プラス側に位置する固定電極部４では、各第１可動電極指６１１および各第２可動電極指６２１は、対応する第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向プラス側に位置している。逆に、Ｘ軸方向マイナス側に位置する固定電極部４では、各第１可動電極指６１１および各第２可動電極指６２１は、対応する第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。これにより、一方の固定電極部４および可動電極部６の間から得られる第１検出信号と、他方の固定電極部４および可動電極部６の間から得られる第２検出信号と、を差動演算することで、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。
また、可動部支持部５１は、２つの幹部支持部４３の間に位置し、Ｙ軸方向に延在している。また、可動部支持部５１は、Ｙ軸方向プラス側の端部にバネ部５３が接続されており、Ｙ軸方向マイナス側の端部にバネ部５４が接続されている。このような配置とすることで、接合部５１１を２つの幹部支持部４３の近くに配置することができる。ただし、可動部支持部５１の構成や配置としては、特に限定されない。
このような第１０実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第１１実施形態＞
次に、本発明の第１１実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１４は、本発明の第１１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１４では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１０実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第１１実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１０実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１４では、前述した第１０実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１４に示すように、可動部支持部５１は、可動部５２の外側に設けられている。また、可動部支持部５１は、枠状をなし、可動部５２を囲むように設けられている。また、可動部支持部５１は、枠状をなす基部５１２と、基部５１２から内側に突出する一対の突出部５１３、５１４と、を有している。また、突出部５１３、５１４は、中心軸Ｌに対して対称的に配置されており、それぞれ、素子部３の中心に向けて突出している。そして、突出部５１３、５１４の先端部（中心側の端部）に、マウント部２４との接合部５１１が設けられている。
このように、各接合部５１１を素子部３の中央部に寄せて配置しているため、各接合部５１１を、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａの近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。特に、本実施形態では、一対の接合部５１１を結ぶ線分と、接合部４１３ａ、４２３ａを結ぶ線分とが交差しているため、接合部５１１、４１３ａ、４２３ａを互いにより近くに配置することができ、上述した効果がより顕著なものとなる。
また、バネ部５３、５４は、それぞれ、可動部５２と可動部支持部５１との間に位置している。また、バネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部とを連結し、バネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部とを連結している。これにより、可動部５２をＸ軸方向の両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
このような第１１実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
＜第１２実施形態＞
次に、本発明の第１２実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１５は、本発明の第１２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１５では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１０実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第１２実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１０実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１５では、前述した第１０実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１５に示すように、可動部支持部５１は、可動部５２の内側に、一対設けられている。また、一方の可動部支持部５１は、中心軸ＬよりもＹ軸方向プラス側に位置し、他方の可動部支持部５１は、中心軸ＬよりもＹ軸方向マイナス側に位置している。また、一対の可動部支持部５１は、中心軸Ｌに対して対称的に配置されている。
このような可動部支持部５１は、Ｘ軸方向に延在する基部５１５と、基部５１５の中央部から素子部３の中心に向けてＹ軸方向に延出する延出部５１６と、を有しており、Ｔ字状をなしている。そして、各延出部５１６の先端部（中心側の端部）にマウント部２４との接合部５１１が設けられている。
このように、各接合部５１１を素子部３の中央部に寄せて配置しているため、各接合部５１１を、第１幹部支持部４１３の接合部４１３ａおよび第２幹部支持部４２３の接合部４２３ａの近くに配置することができる。そのため、熱や残留応力等に起因して基部２に反りや撓みが生じた際の可動部５２と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。よって、より精度よく物理量を検出することができる。特に、本実施形態では、一対の接合部５１１を結ぶ線分と、接合部４１３ａ、４２３ａを結ぶ線分とが交差しているため、接合部５１１、４１３ａ、４２３ａを互いにより近くに配置することができ、上述した効果がより顕著なものとなる。
また、バネ部５３は、一対設けられている。そして、一方のバネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と一方の可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部（基部５１５のＸ軸方向プラス側の端部）とを連結し、他方のバネ部５３は、可動部５２のＸ軸方向プラス側の端部と他方の可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部（基部５１５のＸ軸方向プラス側の端部）とを連結している。
同様に、バネ部５４は、一対設けられている。そして、一方のバネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と一方の可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部（基部５１５のＸ軸方向マイナス側の端部）とを連結し、他方のバネ部５４は、可動部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と他方の可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部（基部５１５のＸ軸方向マイナス側の端部）とを連結している。
これにより、バネ部５３、５４によって、可動部５２をＸ軸方向の両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
このような第１２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。特に、本実施形態では、可動部５２が枠状をなしており、最も外側に位置していることから、例えば、前述した第１１実施形態と比較して、可動部５２の質量をより大きくすることができる。そのため、より感度を向上させ、感度の高い物理量センサー１となる。
＜第１３実施形態＞
次に、本発明の第１３実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図１６は、本発明の第１３実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１６では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
なお、以下の説明では、第１３実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１６では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図１６に示すように、第１固定電極部４１は、Ｙ軸方向に並設された一対の第１幹部４１１を有している。言い換えると、第１幹部４１１は、その長手方向に沿ってスリットを有し、平行な２本に分割（２つに枝分かれ）されている。そして、Ｙ軸方向プラス側に位置する第１幹部４１１からＹ軸方向プラス側に向けて複数の第１固定電極指４１２（４１２’）が延出しており、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第１幹部４１１からＹ軸方向マイナス側に向けて複数の第１固定電極指４１２（４１２”）が延出している。
同様に、第２固定電極部４２は、Ｙ軸方向に並設された一対の第２幹部４２１を有している。言い換えると、第２幹部４２１は、その長手方向に沿ってスリットを有し、平行な２本に分割（２つに枝分かれ）されている。そして、Ｙ軸方向プラス側に位置する第２幹部４２１からＹ軸方向プラス側に向けて複数の第２固定電極指４２２（４２２’）が延出しており、Ｙ軸方向マイナス側に位置する第２幹部４２１からＹ軸方向マイナス側に向けて複数の第２固定電極指４２２（４２２”）が延出している。
このような第１３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。特に、第１、第２幹部４１１、４２１を複数本とすることで、第１、第２固定電極部４１、４２の形状（パターン形状）の設計の自由度が増すという利点がある。
＜第１４実施形態＞
次に、本発明の第１４実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。
図１７は、本発明の第１４実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。
図１７に示すように、物理量センサーデバイス１０００は、ベース基板１０１０と、ベース基板１０１０上に設けられた物理量センサー１と、物理量センサー１上に設けられた回路素子１０２０（ＩＣ）と、物理量センサー１と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ１と、ベース基板１０１０と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ２と、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドするモールド部１０３０と、を有している。ここで、物理量センサー１としては、前述した第１〜第１３実施形態のいずれのものも用いることができる。
ベース基板１０１０は、物理量センサー１を支持する基板であり、例えば、インターポーザー基板である。このようなベース基板１０１０の上面には複数の接続端子１０１１が配置されており、下面には複数の実装端子１０１２が配置されている。また、ベース基板１０１０内には、図示しない内部配線が配置されており、この内部配線を介して、各接続端子１０１１が、対応する実装端子１０１２と電気的に接続されている。このようなベース基板１０１０としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板、ガラスエポキシ基板等を用いることができる。
また、物理量センサー１は、基部２を下側（ベース基板１０１０側）に向けてベース基板１０１０上に配置されている。そして、物理量センサー１は、接合部材を介してベース基板１０１０に接合されている。
また、回路素子１０２０は、物理量センサー１上に配置されている。そして、回路素子１０２０は、接合部材を介して物理量センサー１の蓋部８に接合されている。また、回路素子１０２０は、ボンディングワイヤーＢＷ１を介して物理量センサー１の配線７１、７２、７３と電気的に接続され、ボンディングワイヤーＢＷ２を介してベース基板１０１０の接続端子１０１１と電気的に接続されている。このような回路素子１０２０には、物理量センサー１を駆動する駆動回路や、物理量センサー１からの出力信号に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が、必要に応じて含まれている。
また、モールド部１０３０は、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドしている。これにより、物理量センサー１や回路素子１０２０を水分、埃、衝撃等から保護することができる。モールド部１０３０としては、特に限定されないが、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いることができ、例えば、トランスファーモールド法によってモールドすることができる。
以上のような物理量センサーデバイス１０００は、物理量センサー１を有している。そのため、物理量センサー１の効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイス１０００が得られる。
なお、物理量センサーデバイス１０００の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、物理量センサー１がセラミックパッケージに収納された構成となっていてもよい。
＜第１５実施形態＞
次に、本発明の第１５実施形態に係る電子機器について説明する。
図１８は、本発明の第１５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１８に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、前述した第１〜第１３実施形態のいずれのものも用いることができる。
このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
＜第１６実施形態＞
次に、本発明の第１６実施形態に係る電子機器について説明する。
図１９は、本発明の第１６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１９に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、前述した第１〜第１３実施形態のいずれのものも用いることができる。
このような携帯電話機１２００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
＜第１７実施形態＞
次に、本発明の第１７実施形態に係る電子機器について説明する。
図２０は、本発明の第１７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図２０に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース（ボディー）１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、前述した第１〜第１３実施形態のいずれのものも用いることができる。
このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
なお、本発明の電子機器は、前述した実施形態のパーソナルコンピューターおよび携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。
＜第１８実施形態＞
次に、本発明の第１８実施形態に係る移動体について説明する。
図２１は、本発明の第１８実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
図２１に示す自動車１５００は、本発明の物理量センサーを備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。ここで、物理量センサー１としては、前述した第１〜第１３実施形態のいずれのものも用いることができる。
このような自動車１５００（移動体）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
なお、物理量センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
以上、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。また、前述した実施形態では、Ｘ軸方向（第１方向）とＹ軸方向（第２方向）とが直交しているが、これに限定されず、交差していればよい。
また、前述した実施形態では、素子部が１つの構成について説明したが、素子部が複数設けられていてもよい。この際に、複数の素子部を検出軸が互いに異なるように配置することで、複数の軸方向の加速度を検出することができる。
また、前述した実施形態では、物理量センサーとして加速度を検出する加速度センサーについて説明したが、物理量センサーが検出する物理量としては、加速度に限定されない。
１…物理量センサー、２…基部、２１…凹部、２２、２３、２４…マウント部、２５、２６、２７…溝部、３…素子部、４…固定電極部、４１…第１固定電極部、４１１…第１幹部、４１２、４１２’、４１２”…第１固定電極指、４１３…第１幹部支持部、４１３ａ…接合部、４１４…第１連結部、４２…第２固定電極部、４２１…第２幹部、４２２、４２２’、４２２”…第２固定電極指、４２３…第２幹部支持部、４２３ａ…接合部、４２４…第２連結部、４３…幹部支持部、４３１…接合部、５１…可動部支持部、５１１…接合部、５１２…基部、５１３、５１４…突出部、５１５…基部、５１６…延出部、５２…可動部、５２１…枠部、５２２…第１Ｙ軸延在部、５２３…第１Ｘ軸延在部、５２４…第２Ｙ軸延在部、５２５…第２Ｘ軸延在部、５２６…第１突出部、５２７…第２突出部、５２８…第１開口部、５２９…第２開口部、５３、５４…バネ部、５３ｘ、５３ｙ…部分、５３１、５３２…バネ片、６…可動電極部、６１…第１可動電極部、６１１、６１１’、６１１”…第１可動電極指、６２…第２可動電極部、６２１、６２１’、６２１”…第２可動電極指、７１、７２、７３…配線、８…蓋部、８１…凹部、８２…連通孔、８３…封止部材、８９…ガラスフリット、１０００…物理量センサーデバイス、１０１０…ベース基板、１０１１…接続端子、１０１２…実装端子、１０２０…回路素子、１０３０…モールド部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、Ａｘ…加速度、ＢＷ１、ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｌ…中心軸、Ｌ４１１、Ｌ４２１…軸、Ｓ…収納空間

Claims (13)

  1. 基部と、
    前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
    前記素子部は、
    前記基部に固定されている固定電極部と、
    前記基部に対して前記物理量の検出軸方向である第１方向に変位可能な可動部と、
    前記可動部に設けられている可動電極部と、を有し、
    前記固定電極部は、
    前記検出軸に交差する方向である第２方向に並んで配置されている第１固定電極部および第２固定電極部を有し、
    前記第１固定電極部は、
    第１幹部と、
    前記第１幹部から前記第２方向両側に延出している複数の第１固定電極指と、を有し、
    前記第２固定電極部は、
    第２幹部と、
    前記第２幹部から前記第２方向両側に延出している複数の第２固定電極指と、を有し、
    前記可動電極部は、
    前記第２方向に並んで配置されている第１可動電極部および第２可動電極部を有し、
    前記第１可動電極部の少なくとも一部は、
    前記第１幹部の前記第２方向両側に位置し、前記第１固定電極指と前記第１方向に対向する複数の第１可動電極指を有し、
    前記第２可動電極部の少なくとも一部は、
    前記第２幹部の前記第２方向両側に位置し、前記第２固定電極指と前記第１方向に対向する複数の第２可動電極指を有していることを特徴とする物理量センサー。
  2. 前記第１幹部および前記第２幹部は、それぞれ、前記第１方向および前記第２方向に対して傾斜した方向に延在している請求項１に記載の物理量センサー。
  3. 前記第１幹部および前記第２幹部は、前記第１方向に対して互いに反対側に傾斜している請求項２に記載の物理量センサー。
  4. 前記第１固定電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
    前記第１幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減し、
    前記第１幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
    前記第２固定電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
    前記第２幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
    前記第２幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２固定電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減している請求項３に記載の物理量センサー。
  5. 前記第１可動電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
    前記第１幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減し、
    前記第１幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第１可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
    前記第２可動電極指は、前記第１方向に並んで複数設けられており、
    前記第２幹部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸増し、
    前記第２幹部に対して前記第２方向の他方側に位置し、前記第１方向に並んで設けられた複数の前記第２可動電極指の前記第２方向に沿った長さは、前記第１方向の一方側に向けて漸減している請求項４に記載の物理量センサー。
  6. 各前記第１可動電極指は、対をなす前記第１固定電極指に対して前記第１方向の一方側に位置し、
    各前記第２可動電極指は、対をなす前記第２固定電極指に対して前記第１方向の他方側に位置している請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
  7. 前記可動部を支持し、前記基部に固定されている可動部支持部と、
    前記第１幹部を支持し、前記基部に固定されている第１幹部支持部と、
    前記第２幹部を支持し、前記基部に固定されている第２幹部支持部と、を有し、
    前記可動部支持部の前記基部との接合部、前記第１幹部支持部の前記基部との接合部および前記第２幹部支持部の前記基部との接合部は、前記第２方向に並んで配置されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
  8. 前記可動部支持部は、前記第１固定電極部および前記第２固定電極部の間に位置している請求項７に記載の物理量センサー。
  9. 前記第１幹部と前記第１幹部支持部とを連結する第１連結部と、
    前記第２幹部と前記第２幹部支持部とを連結する第２連結部と、を有し、
    前記第１連結部は、前記第１幹部支持部に対して前記可動部支持部とは反対側に位置し、
    前記第２連結部は、前記第２幹部支持部に対して前記可動部支持部とは反対側に位置している請求項８に記載の物理量センサー。
  10. 前記可動部は、前記固定電極部を囲む枠状をなしている請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー。
  11. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする物理量センサーデバイス。
  12. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
  13. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。
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