CN108169515A - 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 - Google Patents
物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108169515A CN108169515A CN201711258636.6A CN201711258636A CN108169515A CN 108169515 A CN108169515 A CN 108169515A CN 201711258636 A CN201711258636 A CN 201711258636A CN 108169515 A CN108169515 A CN 108169515A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- movable
- physical quantity
- electrode
- stem portion
- stem
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 10
- 239000002585 base Substances 0.000 description 114
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 37
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 35
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 25
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 229920003266 Leaf® Polymers 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910000967 As alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G17/00—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load
- B60G17/015—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load the regulating means comprising electric or electronic elements
- B60G17/019—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load the regulating means comprising electric or electronic elements characterised by the type of sensor or the arrangement thereof
- B60G17/01941—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load the regulating means comprising electric or electronic elements characterised by the type of sensor or the arrangement thereof characterised by the use of piezoelectric elements, e.g. sensors or actuators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G2400/00—Indexing codes relating to detected, measured or calculated conditions or factors
- B60G2400/10—Acceleration; Deceleration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。
Description
技术领域
本发明涉及物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。
背景技术
例如，作为能够检测加速度(物理量)的加速度传感器，已知专利文献1和专利文献2中记载的结构。
专利文献1中公开的加速度传感器包括：基板；可相对于基板在X轴方向(沿检测轴的第一方向)位移的可动部；设置于可动部且排列配置在Y轴方向(与第一方向正交的第二方向)上的第一可动电极部和第二可动电极部；以及固定于基板且排列配置在Y轴方向上的第一固定电极部和第二固定电极部。并且，第一固定电极部具有在Y轴方向的负侧延伸的第一固定电极指，第二固定电极部具有在Y轴方向的正侧延伸的第二固定电极指。并且，第一可动电极部具有第一可动电极指，其从可动部向Y轴方向的正侧延伸，与第一固定电极指在X轴方向上相对，第二可动电极部具有第二可动电极指，其从可动部向Y轴方向的负侧延伸，与第二固定电极指在X轴方向上相对。
专利文献2中公开的加速度传感器包括：基板；可相对于基板在沿检测轴的第一方向位移的可动部；设置于可动部且排列配置在第一方向上的第一可动电极部和第二可动电极部；以及固定于基板且排列配置在第一方向上的第一固定电极部和第二固定电极部。并且，第一固定电极部具有向垂直于第一方向的第二方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部具有向第二方向两侧延伸的多个第二固定电极指。并且，第一可动电极部具有第一可动电极指，其从可动部向第二方向两侧延伸，与第一固定电极指在第一方向上相对，第二可动电极部具有第二可动电极指，其从可动部向第二方向两侧延伸，与第二固定电极指在第一方向上相对。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-139505号公报
专利文献2：日本特开2010-238921号公报
然而，在专利文献1和专利文献2所记载的加速度传感器中，存在下述问题，即：第一固定电极指、第二固定电极指以及第一可动电极指、第二可动电极指各自变长，由于冲击等原因，这些电极指容易破损(容易断裂)。
发明内容
本发明的目的在于提供电极指难破损，且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。
本发明用于解决上述课题中的至少一部分而提出，可以通过如下发明来实现。
本发明的物理量传感器，其特征在于，具有：基部；以及元件部，设置于所述基部，用于检测物理量，所述元件部具有：固定电极部，固定于所述基部；可动部，可相对于所述基部在作为所述物理量的检测轴方向的第一方向上位移；以及可动电极部，设于所述可动部，所述固定电极部具有在作为与所述检测轴交叉的方向的第二方向上排列配置的第一固定电极部和第二固定电极部，所述第一固定电极部具有：第一主干部；以及多个第一固定电极指，从所述第一主干部向所述第二方向两侧延伸，所述第二固定电极部具有：第二主干部；以及多个第二固定电极指，从所述第二主干部向所述第二方向两侧延伸，所述可动电极部具有沿着所述第二方向排列配置的第一可动电极部和第二可动电极部，所述第一可动电极部的至少一部分具有多个第一可动电极指，其位于所述第一主干部的所述第二方向两侧，与所述第一固定电极指在所述第一方向上相对，所述第二可动电极部的至少一部分具有多个第二可动电极指，其位于所述第二主干部的所述第二方向两侧，与所述第二固定电极指在所述第一方向上相对。
由此，能够分别缩短第一固定电极指、第二固定电极指以及第一可动电极指、第二可动电极指。因此，可得到电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器。
在本发明的物理量传感器中，优选所述第一主干部和所述第二主干部分别在相对于所述第一方向和所述第二方向倾斜的方向上延伸。
由此，能够形成更短的电极指。
在本发明的物理量传感器中，优选所述第一主干部和所述第二主干部相对于所述第一方向向彼此的相反侧倾斜。
由此，能够将可动部与基部接合的接合部、第一固定电极部与基部接合的接合部以及第二固定电极部与基部接合的接合部设置得更接近。因此，难以受到基部挠曲的影响，从而能够更精确地检测物理量。
优选在本发明的物理量传感器中，所述第一固定电极指在所述第一方向上排列配置多个，相对于所述第一主干部位于所述第二方向的一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第一固定电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小，相对于所述第一主干部位于所述第二方向的另一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第一固定电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，所述第二固定电极指在所述第一方向上排列配置多个，相对于所述第二主干部位于所述第二方向的一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第二固定电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，相对于所述第二主干部位于所述第二方向的另一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第二固定电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小。
由此，在多个第一固定电极指、第二固定电极指中，能够有效地降低由于冲击等所导致的破损。
优选在本发明的物理量传感器中，所述第一可动电极指在所述第一方向上排列配置多个，相对于所述第一主干部位于所述第二方向的一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第一可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小，相对于所述第一主干部位于所述第二方向的另一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第一可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，所述第二可动电极指在所述第一方向上排列配置多个，相对于所述第二主干部位于所述第二方向的一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，相对于所述第二主干部位于所述第二方向的另一侧且在所述第一方向上排列设置的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小。
由此，在多个第一可动电极指、第二可动电极指中，能够有效地降低由于冲击等所导致的破损。
优选在本发明的物理量传感器中，各所述第一可动电极指相对于成对的所述第一固定电极指而位于所述第一方向的一侧，各所述第二可动电极指相对于成对的所述第二固定电极指而位于所述第一方向的另一侧。
由此，对从第一固定电极指和第一可动电极指之间获得的第一检测信号、以及从第二固定电极指和第二可动电极指之间获得的第二检测信号进行差动运算。因此，能够消除噪声，更精确地检测物理量。
在本发明的物理量传感器中，优选具有：可动部支撑部，支撑所述可动部并固定于所述基部；第一主干部支撑部，支撑所述第一主干部并固定于所述基部；以及第二主干部支撑部，支撑所述第二主干部并固定于所述基部，所述可动部支撑部与所述基部接合的接合部、所述第一主干部与所述基部接合的接合部以及所述第二主干部支撑部与所述基部接合的接合部沿着所述第二方向排列配置。
由此，能够将可动部支撑部与基部接合的接合部，第一主干部支撑部与基部接合的接合部以及第二主干部支撑部与基部接合的接合部设置得更接近。因此，难以受到基部挠曲的影响，从而能够更精确地检测物理量。
在本发明的物理量传感器中，优选所述可动部支撑部位于所述第一固定电极部及所述第二固定电极部之间。
由此，能够更稳定地支撑可动部。
在本发明的物理量传感器中，优选具有：连结所述第一主干部和所述第一主干部支撑部的第一连结部；以及连结所述第二主干部和所述第二主干部支撑部的第二连结部，所述第一连结部相对于所述第一主干部支撑部位于与所述可动部支撑部相反的一侧，所述第二连结部相对于所述第二主干部支撑部位于与所述可动部支撑部相反的一侧。
由此，能够将可动部支撑部与基部接合的接合部、第一主干部支撑部与基部接合的接合部以及第二主干部支撑部与基部接合的接合部设置得更接近。因此，难以受到基部的挠曲的影响，从而能够更精确地检测物理量。
在本发明的物理量传感器中，优选所述可动部形成包围所述固定电极部的框状。
由此，能够使可动部的质量变得更大。因此，能够更精确地检测物理量。
本发明的物理量传感器装置，其特征在于具有本发明的物理量传感器。
由此，能够获得上述物理量传感器的效果，并得到可靠性高的物理量传感器装置。
本发明的电子设备，其特征在于具有本发明的物理量传感器。
由此，能够获得上述物理量传感器的效果，并得到可靠性高的电子设备。
本发明的移动体，其特征在于具有本发明的物理量传感器。
由此，能够获得上述物理量传感器的效果，并得到可靠性高的移动体。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式的物理量传感器的俯视图。
图2是图1中的A-A线剖视图。
图3是示出本发明的第二实施方式的物理量传感器的俯视图。
图4是示出本发明的第三实施方式的物理量传感器的俯视图。
图5是示出本发明的第四实施方式的物理量传感器的俯视图。
图6是示出图5所示的物理量传感器的变形例的俯视图。
图7是示出本发明的第五实施方式的物理量传感器的俯视图。
图8是示出本发明的第六实施方式的物理量传感器的俯视图。
图9是示出本发明的第七实施方式的物理量传感器的俯视图。
图10是图9中的B-B线剖视图。
图11是示出本发明的第八实施方式的物理量传感器的俯视图。
图12是示出本发明的第九实施方式的物理量传感器的俯视图。
图13是示出本发明的第十实施方式的物理量传感器的俯视图。
图14是示出本发明的第十一实施方式的物理量传感器的俯视图。
图15是示出本发明的第十二实施方式的物理量传感器的俯视图。
图16是示出本发明的第十三实施方式的物理量传感器的俯视图。
图17是示出本发明的第十四实施方式的物理量传感器装置的剖视图。
图18是示出本发明的第十五实施方式的电子设备的立体图。
图19是示出本发明的第十六实施方式的电子设备的立体图。
图20是示出本发明的第十七实施方式的电子设备的立体图。
图21是示出本发明的第十八实施方式的移动体的立体图。
附图文字说明
1...物理量传感器；2...基部；21...凹部；22、23、24...固定架部；25、26、27...槽部；3...元件部；4...固定电极部；41...第一固定电极部；411...第一主干部；412、412’、412”...第一固定电极指；413...第一主干部支撑部；413a...接合部；414...第一连结部；42...第二固定电极部；421...第二主干部；422、422’、422”...第二固定电极指；423...第二主干部支撑部；423a...接合部；424...第二连结部；43...主干部支撑部；431...接合部；51...可动部支撑部；511...接合部；512...基部；513、514...突出部；515...基部；516...延伸部；52...可动部；521...框部；522...第一Y轴延伸部；523...第一X轴延伸部；524...第二Y轴延伸部；525...第二X轴延伸部；526...第一突出部；527...第二突出部；528...第一开口部；529...第二开口部；53、54...弹簧部；53x、53y...部分；531、532...弹簧片；6...可动电极部；61...第一可动电极部；611、611’、611”...第一可动电极指；62...第二可动电极部；621、621’、621”...第二可动电极指；71、72、73...布线；8...盖部；81...凹部；82...连通孔；83...密封部件；89...玻璃熔块；1000...物理量传感器装置；1010...基底基板；1011...连接端子；1012...安装端子；1020...电路元件；1030...模塑部；1100...个人计算机；1102...键盘；1104...主体部；1106...显示单元；1108...显示部；1200...便携式电话机；1202...操作按钮；1204...听筒；1206...话筒；1208...显示部；1300...数字静态照相机；1302...壳体；1304...受光单元；1306...快门按钮；1308...存储器；1310...显示部；1500...汽车；1501...车体；1502...车体姿势控制装置；1503...车轮；Ax...加速度；BW1、BW2...焊线；L...中心轴；L411、L421...轴；S...容纳空间。
具体实施方式
以下，基于附图所示的实施方式，对本发明的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体进行详细的说明。
第一实施方式
首先，对本发明的第一实施方式的物理量传感器进行说明。
图1是示出本发明的第一实施方式的物理量传感器的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。另外，以下，为便于说明，将图1中的纸面近前侧及图2中的上侧也称为“上”，将图1中的纸面里侧及图2中的下侧也称为“下”。另外，如各图所示，将彼此正交的三个轴分别作为X轴、Y轴和Z轴，将平行于X轴的方向也称为“X轴方向”，将平行于Y轴的方向也称为“Y轴方向”，将平行于Z轴的方向也称为“Z轴方向”。此外，将各轴的箭头方向前端侧也称为“正侧”，将相反侧也称为“负侧”。
图1所示的物理量传感器1是能够检测X轴方向的加速度Ax的加速度传感器。这样的物理量传感器1具有：基部2；以及设置于基部2且用于检测X轴方向的加速度Ax(物理量)的元件部3。并且，元件部3具有：安装在基部2的固定电极部4；可相对于基部2在X轴方向(物理量的检测轴方向即第一方向)上位移的可动部52；以及设置于可动部52的可动电极部6。并且，固定电极部4具有沿Y轴方向(与检测轴交叉(本实施方式为正交)的方向即第二方向)排列配置的第一固定电极部41和第二固定电极部42。并且，第一固定电极部41具有：第一主干部411；以及多个第一固定电极指412，其设置于第一主干部411的Y轴方向(第二方向)的两侧，长度方向沿着所述第二方向。并且，第二固定电极部42具有：第二主干部421；以及多个第二固定电极指422，其从第二主干部421设置于Y轴方向(第二方向)的两侧，长度方向沿着所述第二方向。并且，可动电极部6具有沿Y轴方向(第二方向)排列配置的第一可动电极部61和第二可动电极部62。并且，第一可动电极部61的至少一部分具有多个第一可动电极指611，其位于第一主干部411的Y轴方向(第二方向)的两侧，长度方向沿着所述第二方向，并与第一固定电极指412在X轴方向(第一方向)相对。并且，第二可动电极部62的至少一部分具有多个第二可动电极指621，其位于第二主干部421的Y轴方向(第二方向)的两侧，长度方向沿着所述第二方向，并与第二固定电极指422在X轴方向(第一方向)相对。通过这样的结构，能够使第一可动电极指611和第一固定电极指412之间的静电电容、第二可动电极指621和第二固定电极指422之间的静电电容保持足够大，同时，分别缩短第一固定电极指412和第二固定电极指422以及第一可动电极指611和第二可移动电极指621。因此，电极指412、422、611和621难以破损，从而获得具有优异抗冲击性的物理量传感器1。以下，对这样的物理量传感器1进行详细说明。
如图1所示，物理量传感器1具有：基部2；设置于基部2上的元件部3；以及与基部2接合以覆盖元件部3的盖部8。
(基部)
如图1所示，基部2形成具有矩形的俯视图形状的板状。另外，基部2具有向上表面侧开放的凹部21。另外，在从Z轴方向的俯视观察下，凹部21形成得比元件部3更大，以将元件部3包围在内侧。该凹部21作为用于防止元件部3与基部2接触的退避部而发挥作用。
另外，如图2所示，基部2具有设置在凹部21的底面的三个突起状的固定架部22、23、24。此外，第一固定电极部41与固定架部22接合，第二固定电极部42与固定架部23接合，可动部支撑部51与固定架部24接合。
另外，如图1所示，基部2具有向上表面侧开放的槽部25、26、27。槽部25、26、27的一端部分别位于盖部8的外侧，另一端部分别与凹部21连接。
作为上述基部2，例如，可以使用由含有碱金属离子(可动离子)的玻璃材料(例如，百丽耐热玻璃(注册商标)等硼硅酸盐玻璃)构成的玻璃基板。因此，例如，根据盖部8的构成材料，能够通过阳极接合来接合基部2和盖部8，并能够牢固地接合。此外，由于可以获得具有光穿透性的基部2，因此能够从物理量传感器1的外部经由基部2目视识别元件部3的状态。
然而，基部2不限于玻璃基板，例如可以使用硅基板或陶瓷基板。另外，在使用硅基板的情况下，从防止短路的观点出发，优选使用高电阻硅基板，或通过热氧化等在表面上形成氧化硅膜(绝缘氧化物)的硅基板。
另外，如图1所示，布线71、72、73设置在槽部25、26、27中。并且，槽部25中的布线71的一端部暴露于盖部8的外侧，作为进行与外部装置电连接的端子而发挥作用。此外，如图2所示，布线71的另一端部经由凹部21被拉绕到固定架部22。并且，布线71在固定架部22上与第一固定电极部41电连接。
另外，如图1所示，槽部26内的布线72的一端部暴露于盖部8的外侧，作为进行与外部装置电连接的端子而发挥作用。此外，如图2所示，布线72的另一端部经由凹部21被拉绕到固定架部23。并且，布线72在固定架部23上与第二固定电极部42电连接。
另外，如图1所示，槽部27内的布线73的一端部暴露于盖部8的外侧，作为进行与外部装置电连接的端子而发挥作用。此外，如图2所示，布线73的另一端部经由凹部21被拉绕到固定架部24。并且，布线73在固定架部24上与可动部支撑部51电连接。
布线71、72、73的构成材料没有特别限定，可以列举例如：金(Au)、银(Ag)、铂(Pt)、钯(Pd)、铱(Ir)、铜(Cu)、铝(Al)、镍(Ni)、Ti(钛)、钨(W)等金属材料；包括这些金属材料的合金；以及ITO(氧化铟锡)、IZO(氧化铟锌)、氧化锌(ZnO)、铟镓锌氧化物(IGZO)等氧化物系的透明导电性材料，可以组合其中的一种或两种以上(例如，作为两层以上的层压体)使用。
(盖部)
如图1所示，盖部8呈具有矩形的俯视图形状的板状。此外，如图2所示，盖部8具有向下表面侧开放的凹部81。并且，盖部8与基部2接合，以将元件部3容纳在凹部81内。并且，通过盖部8和基部2，形成容纳元件部3的容纳空间S。
另外，如图2所示，盖部8具有连通容纳空间S的内部和外部的连通孔82，并能够通过该连通孔82将容纳空间S的气氛替换成期望的气氛。此外，在连通孔82中设置密封部件83，连通孔82被密封部件83密封。
作为密封部件83，只要能够密封连通孔82则不受特别限定，例如可以使用金(Au)/锡(Sn)系合金、金(Au)/锗(Ge)系合金、金(Au)/铝(Al)系合金等各种合金、低熔点玻璃等玻璃材料等。
优选在容纳空间S中封入氮、氦、氩等惰性气体，使用温度(约-40℃至80℃)，大致等同于大气压。通过将容纳空间S设定为大气压，粘性阻力会增大，能够发挥阻尼效果，使可动部52的振动迅速地收敛(停止)。因此，能够提高物理量传感器1的加速度Ax的检测精度。
在本实施方式中，这样的盖部8由硅基板构成。然而，盖部8不限于硅基板，例如可以使用玻璃基板或陶瓷基板。另外，基部2和盖部8的接合方法没有特别限定，可以根据基部2和盖部8的材料适当选择，例如，将通过阳极接合、等离子体照射而被活化的接合面彼此进行接合的活性化接合；利用玻璃熔块等接合材料的接合；以及将成膜在基部2的上表面和盖部8的下表面的金属膜彼此接合的扩散接合等。
如图2所示，在本实施方式中，通过作为接合材料的一例的玻璃熔块89(低熔点玻璃)将基部2和盖部8接合。在基部2和盖部8重叠的状态下，容纳空间S的内部和外部经由槽25、26、27相互连通，然而，通过使用玻璃熔块89，能够在将基部2和盖部8接合的同时密封槽部25、26、27，从而能够更容易密封容纳空间S。另外，在通过阳极接合等(不能密封槽部25、26、27的接合方法)将基部2和盖部8接合时，可以例如利用使用TEOS(四乙氧基硅烷)的CVD法等形成的SiO2膜封堵槽部25、26、27。
(元件部)
如图1所示，元件部3包括固定在基部2的固定电极部4、固定在基部2的可动部支撑部51、可相对于可动部支撑部51在X轴方向位移的可动部52、连结可动部支撑部51和可动部52的弹簧部53、54以及设置于可动部52的可动电极部6。其中，可动部支撑部51、可动部52、弹簧部53、54以及可动电极部6一体形成。这样的元件部3能够例如对掺杂有磷(P)、硼(B)等杂质的硅基板进行图案化来形成。此外，元件部3通过阳极接合而接合到基部2(固定架部22、23、24)。然而，元件部3的材料和将元件部3接合到基部2的方法没有特别限制。
如图1所示，可动部支撑部51具有沿X轴方向延伸的纵长形状。并且，可动部支撑部51具有在X轴方向的负侧的端部与固定架部24接合的接合部511。需要说明的是，在本实施方式中，可动部支撑部51具有沿X轴方向延伸的纵长形状，然而，只要能够发挥其功能，可动部支撑部51的形状没有特别限定。另外，在下面的描述中，在从Z轴方向观察的俯视观察下，将沿Y轴方向平分可动部支撑部51的假想轴设为中心轴L。
这样的可动部支撑部51位于第一固定电极部41和第二固定电极部42之间。因此，能够将可动部支撑部51配置在可动部52的中心部，并能够更稳定地支撑可动部52。
如图1所示，可动部52包括从Z轴方向观察的俯视观察下呈框状的框状部，并将可动部支撑部51、弹簧部53、54以及第一固定电极部41和第二固定电极部42包围。也就是说，可动部52包括包围固定电极部4的呈框状的框状部。由此，能够使可动部52的质量更大。因此，能够进一步提高灵敏度，从而精确地检测物理量。
另外，可动部52包括：在内侧配置有第一固定电极部41的第一开口部528(第一切口部)和在内侧配置有第二固定电极部42的第二开口部529(第二切口部)。另外，第一开口部528、第二开放529沿Y轴方向排列配置。这样的可动部52以中心轴L为对称。
如果更详细地描述可动部52的形状，则可动部52包括：包围可动部支撑部51、弹簧部53、54以及第一固定电极部41和第二固定电极部42的框部521；位于第一开口部528的X轴方向正侧，并从框部521向Y轴方向负侧延伸的第一Y轴延伸部522；从第一Y轴延伸部522的前端部向X轴方向负侧延伸的第一X轴延伸部523；位于第二开口部529的X轴方向正侧，并从框部521向Y轴方向正侧延伸的第二Y轴延伸部524；以及从第二Y轴延伸部524的前端部向X轴方向负侧延伸的第二X轴延伸部525。此外，第一Y轴延伸部522和第二Y轴延伸部524分别设置在弹簧部53附近，并被配置为沿着弹簧部53的Y轴方向(弹簧片531的延伸方向)，第一X轴延伸部分523和第二X轴延伸部525分别设置在可动部支撑部51附近，并沿着可动部支撑部51而配置。
在这种构成中，第一Y轴延伸部522和第一X轴延伸部523作为支撑第一可动电极指611的支撑部而发挥作用，第二Y轴延伸部524和第二X轴延伸部523作为支撑第二可动电极指621的支撑部而发挥作用。
另外，可动部52具有：第一突出部526，从框部521向第一开口部528内突出，以便填充第一开口部528的剩余空间；第二突出部527，从框部521向第二开口部529内突出，以填充第二开口部529的剩余空间。通过这种方式设置第一突出部526和第二突出部527，能够进一步增大可动部52的质量，而不会招致可动部52的大型化。因此，可进一步提高灵敏度，并获得高灵敏度的物理量传感器1。
另外，弹簧部53、54能够弹性变形，通过弹簧部53、54的弹性变形，可动部52可以相对于可动部支撑部51在X轴方向上位移。如图1所示，弹簧部53连结可动部52的X轴方向正侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部，弹簧部54连结可动部支撑部52的X轴方向负侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部。由此，能够在X轴方向的两侧支撑可动部52，因此，可动部52的姿势和动作稳定。因此，可以减少不必要的振动，并以更高的精度检测加速度Ax。
另外，弹簧部53具有排列配置在Y轴方向上的一对弹簧片531、532。一对弹簧片531和532各自在Y轴方向上呈蜿蜒的形状，且相对于中心轴L对称地形成。这样的弹簧部53具有沿Y轴方向较长地延伸的部分53y和在X轴方向上较短地延伸的部分53x。弹簧部54的构成与弹簧部53的构成相同。
由此，通过使弹簧部53、54在与X轴正交的Y轴方向上形成得比在检测轴即X轴上更长，能够减少施加加速度Ax时向可动部52的X轴方向(检测轴方向)之外的位移(特别是围绕Z轴的旋转位移)。因此，能够减少不必要的振动并以更高的精度检测加速度Ax。然而，弹簧部53、54的构成没有特别限定，只要能够发挥其功能即可。
另外，如图1所示，固定电极部4具有位于第一开口部528中的第一固定电极部41和位于第二开口部分529中的第二固定电极部42。这些第一固定电极部41和第二固定电极部42排列配置在Y轴方向上。
另外，第一固定电极部41包括：固定在基部2的第一主干部支撑部413；由第一主干部支撑部413支撑的第一主干部411；和从第一主干部411向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指412。另外，第一主干部支撑部413、第一主干部411和第一固定电极指412一体地形成。
另外，第一主干部支撑部413具有与固定架部22接合的接合部413a。此外，接合部413a偏向第一主干部支撑部413的X轴方向负侧而而配置。
另外，第一主干部411具有棒状的纵长形状，其一端连接于第一主干部支撑部413，由此，被第一主干部支撑部413支撑。另外，第一主干部411的长度方向在从Z轴方向观察的俯视观察下沿相对于X轴和Y轴倾斜的方向延伸。更具体而言，第一主干部411以朝向该前端侧并使得与中心轴L的分离距离变大的方式倾斜。通过这样的设置，能够容易地将第一主干部支撑部413设置在可动部支撑部51附近。
另外，第一主干部411的轴L411相对于X轴的倾斜度没有特别限定，优选为10°以上45°以下，更优选为10°以上30°以下。由此，能够减少第一固定电极部41在Y轴方向上的扩展，并能够实现元件部3的小型化。
另外，第一固定电极指412从第一主干部411向Y轴方向两侧延伸。换句话说，第一固定电极指412包括：位于第一主干部411的Y轴方向正侧的第一固定电极指412’和位于Y轴方向负侧的第一固定电极指412’。另外，第一固定电极指412'和412’分别以沿着X轴方向彼此间隔开的方式设置有多个。
另外，多个第一固定电极指412'的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐减小。此外，多个第一固定电极指412'的前端分别位于沿着X轴方向的同一直线上。另一方面，多个第一固定电极指412″的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐增大。此外，多个第一固定电极指412″的前端分别位于沿着X轴方向的同一直线上。此外，在Y轴方向上排列的第一固定电极指412'和第一固定电极指412″的总长度大致相同。
另外，第二固定电极部42包括：固定在基部2的第二主干部支撑部423；由第二主干部支撑部423支撑的第二主干部421；和从第二主干部421向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指422。另外，第二主干部支撑部423、第二主干部421和第二固定电极指422一体地形成。
另外，第二主干支撑部423具有与固定架部23的上表面接合的接合部423a。此外，接合部423a偏向第二主干部支撑部423的X轴方向负侧而配置。
另外，第二主干部421具有棒状的纵长形状，其一端连接于第二主干支撑部423，由此，被第二主干支撑部423支撑。此外，第二主干部421的长度方向在从Z轴方向观察时的俯视观察下，在分别相对于X轴和Y轴倾斜的方向上延伸。更具体而言，第二主干部421以朝向其前端侧与中心轴L的分离距离变大的方式倾斜。通过这样的设置，第二主干部支撑部423能够容易地设置在可动部支撑部51附近。
另外，第二主干部421的轴L421相对于X轴的倾斜度没有特别限定，优选为10°以上45°以下，更优选为10°以上30°以下。由此，能够减少第二固定电极部42在Y轴方向上的扩展，并能够实现元件部3的小型化。
另外，第二固定电极指422从第二主干部421向Y轴方向两侧延伸。换句话说，第二固定电极指422包括：位于第二主干部421的Y轴方向正侧的第二固定电极指422’和位于Y轴方向负侧的第二固定电极指422″。另外，第二固定电极指422'和422″分别以沿着X轴方向彼此间隔开的方式设置有多个。
另外，多个第二固定电极指422'的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐增大。此外，多个第二固定电极指422'的前端分别位于沿着X轴方向的同一直线上。另一方面，多个第二固定电极指422″的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐减小。并且，多个第二固定电极指422″的前端分别位于沿着X轴方向的同一直线上。此外，在Y轴方向上排列的第二固定电极指422'和第二固定电极指422″的总长度分别大致相同。
以上，对第一固定电极部41和第二固定电极部42进行了说明。这样的第一固定电极部41、第二固定电极部分42的形状和配置相对于中心轴L为线对称(但不包括第一固定电极指412和第二固定电极指422在X轴方向上偏移的情况)。尤其在本实施方式中，第一主干部411和第二主干部421各自在相对于X轴倾斜的方向上延伸，使得与中心轴L的分离距离向前端侧逐渐增大。通过这样的配置，能够将第一主干部支撑部413的接合部413a和第二主干部支撑部423的接合部423a配置成更靠近可动部支撑部51的接合部511。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差，具体而言，能够更有效地减小第一可动电极指611和第一固定电极指412之间的Z轴方向上的偏移差、第二可动电极指621和第二固定电极指422之间的Z轴方向上的偏移差。
尤其是在本实施方式中，第一主干部支撑部413的接合部413a、第二主干部支撑部423的接合部423a和可动部支撑部51的接合部511排列配置在Y轴方向上。由此，接合部413a、423a能够更靠近接合部511而配置，上述效果变得更加突出。
另外，如图1所示，可动电极部6包括位于第一开口部528内的第一可动电极部61和位于第二开口部529内的第二可动电极部62。这些第一可动电极部61、第二可动电极部62排列配置在Y轴方向上。
另外，第一可动电极部61具有位于第一主干部411的Y轴方向两侧并沿Y轴方向延伸的多个第一可动电极指611。也就是说，第一可动电极指611具有：位于第一主干部411的Y轴方向正侧的第一可动电极指611'、和位于Y轴方向负侧的第一可动电极指611″。并且，第一可动电极指611'、第一可动电极指611″分别沿X轴方向彼此分开地设置有多个。此外，第一可动电极指611'从框部521向Y轴方向负侧延伸，第一可动电极指611″从第一X轴延伸部523向Y轴方向正侧延伸。
另外，各第一可动电极指611相对于对应的第一固定电极指412位于X轴方向正侧，并经由间隙与该第一固定电极指412相对。
另外，多个第一可动电极指611'的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐减小。此外，多个第一可动电极指611'的前端分别沿第一主干部411的延伸方向位于同一直线上。另一方面，多个第一可动电极指611″的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐增大。并且，多个第一可动电极指611″的前端分别沿着第一主干部411的延伸方向位于同一直线上。此外，在Y轴方向上排列的第一可动电极指611'和第一可动电极指611″的总长度分别大致相同。
另外，第二可动电极部62具有位于第二主干部421的Y轴方向两侧并沿Y轴方向延伸的多个第二可动电极指621。也就是说，第二可动电极指621具有位于第二主干部421的Y轴方向正侧的第二可动电极指621'和位于Y轴方向负侧的第二可动电极指621″。另外，第二可动电极指621'、621″分别以沿着X轴方向彼此间隔开的方式设置有多个。并且，第二可动电极指621'从第二X轴延伸部525向Y轴方向负侧延伸，第二可动电极指621″从框部521向Y轴方向正侧延伸。
另外，各第二可动电极指621相对于对应的第二固定电极指422位于X轴方向的负侧，并经由间隙与该第二固定电极指422相对。
另外，多个第二可动电极指621'的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐增大。此外，多个第二可动电极指621'的前端分别沿第二主干部421的延伸方向位于同一直线上。另一方面，多个第二可动电极指621″的长度(Y轴方向的长度)朝向X轴方向正侧逐渐减小。并且，多个第二可动电极指621″的前端分别沿着第二主干部421的延伸方向位于同一直线上。此外，在Y轴方向上排列的第二可动电极指621'和第二可动电极指621″的总长度分别大致相同。
以上，对第一可动电极部61和第二可动电极部62进行了说明。这种第一可动电极部61和第二可动电极部62的形状和配置相对于中心轴L为线对称(但除去各第一可动电极指611和第二可动电极指621在X轴方向上偏移的情况)。
以上，对物理量传感器1的构成进行了详细的说明。当加速度Ax被施加到这样的物理量传感器1时，可动部52基于该加速度Ax的大小在X轴方向上位移，同时使弹簧部53、54弹性变形。通过这种位移，第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的间隙以及第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的间隙分别发生变化，根据该位移，第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的静电电容以及第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的静电电容的大小分别发生变化。因此，能够基于上述静电电容的变化来检测加速度Ax。
在此，如上所述，各第一可动电极指611相对于对应的第一固定电极指412位于X轴方向的正侧，相反地，各第二可动电极指621相对于对应的第二固定电极指422位于X轴方向负侧。也就是说，各第一可动电极指611相对于成对的第一固定电极指412位于X轴方向(第一方向)的一侧，各第二可动电极指621相对于成对的第二固定电极指422位于X轴方向(第一方向)的另一侧。因此，当施加加速度Ax时，第一可动电极指611和第一固定电极指412之间的间隙缩小，第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的间隙变宽，或者相反，第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的间隙变宽，第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的间隙缩小。因此，通过对从第一固定电极指412和第一可动电极指611之间获得的第一检测信号和从第二固定电极指422和第二可动电极指621之间获得的第二检测信号进行差动运算，能够消除噪音，更精确地检测加速度Ax。
上述的物理量传感器1如上所述包括：从第一主干部411向Y轴方向(第二方向)两侧延伸的多个第一固定电极指412；从第二主干部421沿Y轴方向(第二方向)两侧延伸的多个第二固定电极指422；位于第一主干部411的Y轴方向(第二方向)两侧，与第一固定电极指412在X轴方向(第一方向)上相对的多个第一可动电极指611；以及位于第二主干部421的Y轴方向(第二方向)两侧，与第二固定电极指422在X轴方向(第一方向)上相对的多个第二可动电极指621。通过这样的构成，能够在第一固定电极指412和第一可动电极指611之间以及第二固定电极指422与第二可动电极指621之间分别形成足够大的静电电容，同时能够缩短各电极指412、422、611、621的长度。因此，可以获得能够发挥优异的检测精度，同时减小电极指412、422、611和621的破损，并能够发挥优异的耐冲击性的物理量传感器1。此外，对应于电极指412、422、611和621的破损减小，电极指412、422、611和621的厚度可以变薄，从而能够实现物理量传感器1的小型化和高灵敏度化。
另外，在物理量传感器1中，第一主干部411和第二主干部421分别在相对于X轴方向(第一方向)和Y轴方向(第二方向)倾斜的方向上延伸。由此，在多个第一固定电极指412中可以包括比其更短的第一固定电极指412，且第一固定电极部41整体变得更难以损坏。同样地，在多个第二固定电极指422中，可以包括比其更短的第二固定电极指422，第二固定电极部42整体变得更难以损坏。同样适用于各第一可动电极指611和第二可动电极指621。因此，能够更有效地减少电极指412、422、611、621的破损，获得能够发挥更优异的耐冲击性的物理量传感器1。
另外，在物理量传感器1中，第一主干部411和第二主干部421相对于X轴方向(第一方向)向彼此的相反侧倾斜。由此，第一主干部支撑部413的接合部413a和第二主干部支撑部423的接合部423a能够配置在更靠近可动部支撑部51的接合部511的位置。因此，由于热量而在基部2发生翘曲或挠曲时，能够更有效地减小可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。其结果，例如，基于环境温度的检测特性的变化变小，从而获得具有优异温度特性的物理量传感器1。
尤其是在本实施方式中，具有：支撑可动部52并固定于基部2的可动部支撑部51；支撑第一主干部411并固定于基部2的第一主干部支撑部413；以及支撑第二主干部421并固定于基部2的第二主干部支撑部423，可动部支撑部51与基部2接合的接合部511、第一主干部支撑部413与基部接合的接合部413a及第二主干部支撑部423与基部2接合的接合部423a排列配置在Y轴方向(第二方向)上。因此，能够将接合部413a和接合部423a配置成更接近接合部511。因此，能够更有效地减小当由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时的可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。其结果，例如，基于环境温度的检测特性的变化会进一步减小，从而获得温度特性更优异的物理量传感器1。
另外，在本实施方式中，在X轴方向(第一方向)上排列设置有多个第一固定电极指412。并且，相对于第一主干部411位于Y轴方向(第二方向)的正侧(一侧)且排列设置在X轴方向的多个第一固定电极指412'的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向的正侧(一侧)逐渐减小，相反地，相对于第一主干部411位于Y轴方向的负侧(另一侧)且排列设置在X轴方向的多个第一固定电极指412″的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向的正侧逐渐增大。由此，能够减小多个第一固定电极指412中的细长的(在Y轴方向上长)的第一固定电极指412的比例，因此，相应地第一固定电极指412整体变得难以受损。因此，能够更有效地减少第一固定电极指412由于冲击等引起的破损。
另一方面，多个第二固定电极指422排列设置在X轴方向上。并且，相对于第二主干部421位于Y轴方向的正侧且排列设置在X轴方向上的多个第二固定电极指422'的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向的正侧逐渐增大，相对于第二主干部421位于Y轴方向的负侧且排列设置在X轴方向上的多个第二固定电极指422″的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向的正侧逐渐减小。能够减小多个第二固定电极指422中的细长的(在Y轴方向上长)的第二固定电极指422的比例，因此相应地第二固定电极指422整体变得难以受损。因此，能够更有效地减少第二固定电极指422由于冲击等引起的破损。
另外，在本实施方式中，第一可动电极指611在X轴方向(第一方向)上排列设置有多个。并且，相对于第一主干部411位于Y轴方向(第二方向)的正侧(一侧)且排列设置在X轴方向上的多个第一可动电极指611'的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向正侧(一侧)逐渐减小，相对于第一主干部411位于Y轴方向上的负侧(另一侧)且排列设置在X轴方向的多个第一可动电极指611″的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向正侧逐渐增大。由此，能够缩小多个第一可动电极指611中的、细长的(在Y轴方向上长)的第一可动电极指611的比例，因此相应地第一可动电极指611整体变得难以受损。因此，能够更有效地减少第一可动电极指611由于冲击等引起的破损。
另一方面，第二可动电极指621在X轴方向上排列设置有多个。并且，相对于第二主干部421位于Y轴方向的正侧(一侧)且排列设置在X轴方向上的多个第二可动电极指621'的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向正侧(一侧)逐渐增大，相对于第二主干部421位于Y轴方向上的负侧且排列设置在X轴方向的多个第二可动电极指621″的沿Y轴方向的长度朝向X轴方向的一侧逐渐减小。由此，能够缩小多个第二可动电极指621中的、细长的(在Y轴方向上长)的第二可动电极指621的比例，因此相应地第二可动电极指621整体变得难以受损。因此，能够更有效地减少第二可动电极指621由于冲击等引起的破损。
第二实施方式
接下来，对本发明的第二实施方式的物理量传感器进行说明。
图3是示出本发明的第二实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图3中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第一实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第二实施例的物理量传感器1与上述第一实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图3中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图3所示，在本实施方式的物理量传感器1中，第一主干部411和第二主干部421分别沿X轴方向延伸。此外，多个第一固定电极指412的长度彼此大致相等，同样地，多个第二固定电极指422的长度彼此大致相等。另外，多个第一可动电极指611的长度彼此大致相等，同样地，多个第二可动电极指621的长度彼此大致相等。
即使根据这样的第二实施例，也能够发挥出与上述第一实施例相同的效果。
第三实施方式
接下来，对本发明的第三实施方式的物理量传感器进行说明。
图4是示出本发明的第三实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图4中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第二实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第三实施方式的物理量传感器1与上述第二实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图4中，对与上述第二实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图4所示，第一固定电极部41还包括连结第一主干部支撑部413和第一主干部411的第一连结部414。并且，第一连结部414相对于第一主干部支撑部413位于与可动部支撑部51相反的一侧。此外，第一连结部414在Y轴方向上延伸，并连接于第一主干部411的X轴方向负侧的端部。
同样地，第二固定电极部42还包括连结第二主干部支撑部423和第二主干部421的第二连结部424。此外，第二连结部424相对于第二主干部支撑部423位于与可动部支撑部51相反的一侧。此外，第二连结部424在Y轴方向上延伸，并连接于第二主干部421的X轴方向负侧的端部。
根据这样的构成，由于具有第一连结部414和第二连结部424，因此，能够将第一主干部支撑部413的接合部413a和第二主干部支撑部423的接合部423a配置成更靠近可动部支撑部51的接合部511。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差，具体而言，能够更有效地减小第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的Z轴方向上的偏移差以及第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的Z轴方向上的偏移差。因此，可以更精确地检测物理量。
即使根据这样的第三实施例，也能够发挥出与上述第一实施例相同的效果。
第四实施方式
接下来，对本发明的第四实施方式的物理量传感器进行说明。
图5是示出本发明的第四实施方式的物理量传感器的俯视图。图6是示出图5所示的物理量传感器的变形例的俯视图。另外，为便于说明，在图5和图6中，分别省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第一实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第四实施方式的物理量传感器1与上述第一实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图5和图6中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图5所示，第一固定电极部41具有分别在相对于X轴和Y轴倾斜的方向上延伸的一对第一主干部411。并且，一对第一主干部411相对于第一主干部支撑部413位于X轴方向的相反侧。也就是说，一个第一主干部411从第一主干部支撑部413沿着向X轴方向正侧相对于X轴倾斜的方向延伸，另一个第一主干部411从第一主干部支撑部413沿着向X轴方向负侧相对于X轴倾斜的方向延伸。此外，一对第一主体部411相对于与Y轴平行的线为线对称。并且，在各第一主干部411设置有多个第一固定电极指412，且在可动部52设置有与各第一固定电极指412相对的多个第一可动电极指611。
同样地，第二固定电极部42具有分别在相对于X轴和Y轴倾斜的方向上延伸的一对第二主干部421。并且，一对第二主干部421相对于第二主干部支撑部423位于X轴方向的相反侧。也就是说，一个第二主干部421从第二主干部支撑部423沿着向X轴方向正侧相对于X轴倾斜的方向延伸，另一个第二主干部421从第二主干部支撑部423沿着向X轴方向负侧相对于X轴倾斜的方向延伸。此外，该对第二主干部421相对于与Y轴平行的线为线对称。并且，在各第二主干部421设置有多个第二固定电极指422，且在可动部52设置有与各第二固定电极指422相对的多个第二可动电极指621。
根据这样的构成，例如，和上述第一实施方式相比，能够增加第一固定电极指412和第二固定电极指422以及第一可动电极指611和第二可动电极指数621的数量。因此，例如，如果电极指的长度和上述第一实施方式相同，则能够增大第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的静电电容、以及第二可动电极指621和第二固定电极指422之间的静电电容。并且，伴随于此，施加加速度Ax时的静电容量的变化量也增大，因此能够提高灵敏度，并能够更精确地检测加速度Ax。从其它角度而言，例如，如果静电电容的大小和上述第一实施方式相同，则能够相应地缩短各电极指412、422、611、621，各电极指412、422、611、621会变得更难损坏。
另外，可动部支撑部51与基部2接合的接合部511位于可动部支撑部51的X轴方向的中央部。另外，接合部511在可动部支撑部51的中央部，以夹着其重心的方式设置于两个部位。通过这样的配置，能够将第一固定电极部41与基部2的接合部413a和第二固定电极部42与基部2的接合部423a配置在接合部511的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。
另外，接合部511的配置没有特别限定，例如图6所示，可以设置在与可动部支撑部51的重心重叠的一个部位。此外，被两个接合部511夹着的部分的可动部支撑部51不一定非要是一体的，也可以分离。也可以在该分离的间隙中连接第一X轴延伸部523和第二X轴延伸部525。
即使根据这样的第四实施例，也能够发挥出与上述第一实施例相同的效果。
第五实施方式
接下来，对本发明的第五实施方式的物理量传感器进行说明。
图7是示出本发明的第五实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图7中，分别省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第三实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第五实施方式的物理量传感器1与上述第三实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图7中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图7所示，第一固定电极部41具有连结第一主干部支撑部413和第一主干部411的第一连结部414。并且，第一连结部414相对于第一主干部支撑部413位于与可动部支撑部51相反的一侧。并且，第一连结部414在Y轴方向上延伸，连接于第一主干部411的X轴方向的中央部。另外，在第一主干部411中，在其一端侧(X轴方向正侧)和另一端侧(X轴方向负侧)分别设置有第一固定电极指412。也就是说，在遍及除了与第一连结部414的连接部分之外的延伸方向的大致整个区域设置有第一固定电极指412。
同样地，第二固定电极部42具有连结第二主干部支撑部423和第二主干部421的第二连结部424。并且，第二连结部424相对于第二主干部支撑部423位于与可动部支撑部51相反的一侧。并且，第二连结部424在Y轴方向上延伸，连接于第二主干部421的X轴方向的中央部。另外，在第二主干部421中，在其一端侧(X轴方向正侧)和另一端侧(X轴方向负侧)上分别设置有第二固定电极指422。也就是说，在遍及除了与第二连结部424的连接部分之外的延伸方向的大致整个区域设置有第二固定电极指422。
根据这样的构成，由于具有第一连结部414和第二连结部424，因此，能够将第一主干部支撑部413的接合部413a和第二主干部支撑部423的接合部423a设置成更靠近可动部支撑部51的接合部511。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差，具体而言，能够更有效地减小第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的Z轴方向上的偏移差以及第二可动电极指621与第二固定电极指422之间的Z轴方向上的偏移差。因此，可以更精确地检测物理量。
另外，例如，和上述第二实施方式相比，能够增加第一固定电极指412和第二固定电极指422以及第一可动电极指611和第二可动电极指数621的数量。因此，例如，如果电极指的长度和上述第一实施方式相同，则能够增大第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的静电电容、以及第二可动电极指621和第二固定电极指422之间的静电电容，从而能够提高灵敏度，并能够更精确地检测加速度Ax。从其它角度而言，例如，如果静电电容的大小和上述第一实施方式相同，则能够相应地缩短各电极指412、422、611、621，各电极指412、422、611、621会变得更难损坏。
另外，可动部支撑部51与基部2接合的接合部511位于可动部支撑部51的X轴方向的中央部。另外，接合部511在可动部支撑部51的中央部，以夹着其重心的方式设置于两个部位(排列在X轴方向的两个部位)。通过这样的配置，能够将第一固定电极部41与基部2的接合部413a和第二固定电极部42与基部2的接合部423a设置在接合部511的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。
另外，被两个接合部511夹着的部分的可动部支撑部51无需一体化，也可以分离。并且，可以在该分离的间隙中连接第一X轴延伸部523和第二X轴延伸部。
即使根据这样的第五实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第六实施方式
接下来，对本发明的第六实施方式的物理量传感器进行说明。
图8是示出本发明的第六实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图8中，分别省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第二实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第六实施方式的物理量传感器1与上述第二实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图8中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图8所示，第一固定电极部41具有沿X轴方向延伸的一对第一主干部411。此外，一对第一主干部411相对于第一主干部支撑部413位于X轴方向的相反侧。也就是说，一个第一主干部411从第一主干部支撑部413向X轴方向正侧延伸，另一个第一主干部411从第一主干部支撑部413向X轴负侧延伸。而且，在各第一主干部411设置有多个第一固定电极指412，且在可动部52设置有与各第一固定电极指412相对的多个第一可动电极指611。
同样地，第二固定电极部42具有在X轴方向上延伸的一对第二主干部421。并且，一对第二主干部421相对于第二主干部支撑部423位于X轴方向的相反侧。也就是说，一个第二主干部421从第二主干部支撑部423向X轴方向正侧延伸，另一个第二主干部421从第二主干部支撑部423向X轴方向负侧延伸。并且，在各第二主干部421设置有多个第二固定电极指422，且在可动部52设置有与各第二固定电极指422相对的多个第二可动电极指621。
根据这样的构成，例如，和上述第二实施方式相比，能够增加第一固定电极指412和第二固定电极指422以及第一可动电极指611和第二可动电极指数621的数量。因此，例如，如果电极指的长度和上述第一实施方式相同，则能够增大第一可动电极指611与第一固定电极指412之间的静电电容以及第二可动电极指621和第二固定电极指422之间的静电电容。并且，伴随于此，由于施加加速度Ax时的静电容量的变化量也增大，从而能够提高灵敏度，并能够更精确地检测加速度Ax。从其它角度而言，例如，如果静电电容的大小和上述第一实施方式相同，则能够相应地缩短各电极指412、422、611、621，各电极指412、422、611、621会变得更难损坏。
另外，可动部支撑部51与基部2接合的接合部511位于可动部支撑部51的X轴方向的中央部。另外，接合部511设置在可动部支撑部51的中央部的两个部位(在Y轴方向上排列的两个部位)，以将其重心夹在两者之间。通过这样的配置，能够将第一固定电极部41与基部2的接合部413a和第二固定电极部42与基部2的接合部423a设置在接合部511的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。
即使根据这样的第六实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第七实施方式
接下来，对本发明的第七实施方式的物理量传感器进行说明。
图9是示出本发明的第七实施方式的物理量传感器的俯视图。图10是图9中的B-B线剖视图。另外，为便于说明，在图9中，分别省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第一实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第七实施方式的物理量传感器1与上述第一实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图9和图10中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图9所示，一对固定电极部4在X轴方向上排列设置。此外，一对固定电极部4相对于与Y轴平行的线为线对称。并且，各固定电极部4具有由第一主干部支撑部413和第二主干部支撑部423一体地形成的主干部支撑部43。此外，在从Z轴方向观察的俯视观察下，各主干支撑部43位于中心轴L上。根据这样的构成，将第一主干部支撑部413和第二主干部支撑部423一体化，因此能够实现物理量传感器1的小型化。
另外，在位于X轴方向正侧的固定电极部4中，第一主干部411和第二主干部421相对于主干支撑部43位于X轴方向的正侧，在位于X轴方向负侧的固定电极部4中，第一主干部411和第二主干部421相对于主干部支撑部43位于X轴方向的负侧。因此，一对主干部支撑部43能够设置成彼此相邻。
另外，如图10所示，一个主干部支撑部43具有与固定架部22的接合部431，并与布线71电连接。另一个主干部支撑部43具有与固定架部23的接合部431，并与布线72电连接。
在此，在位于X轴方向正侧的固定电极部4中，各第一可动电极指611和第二可动电极指621相对于对应的第一固定电极指412和第二固定电极指422而位于X轴方向正侧。相反，在位于X轴方向负侧的固定电极部4中，各第一可动电极指611和第二可动电极指621相对于对应的第一固定电极指412和第二固定电极指422而位于X轴方向负侧。由此，能够对从一个固定电极部4和可动电极部6之间获得的第一检测信号以及从另一个固定电极部4和可动电极部6之间获得的第二检测信号进行差动运算，从而能够消除噪声，更准确地检测加速度Ax。
另外，可动部支撑部51位于两个主干部支撑部43之间，并在Y轴方向上延伸。此外，在可动部支撑部51中，弹簧部53与Y轴方向正侧的端部连接，弹簧部54与Y轴方向负侧的端部连接。通过这样的构成，可以将接合部511设置在两个主干部支撑部43的附近。然而，可动部支撑部51的构成和配置没有特别限制。
即使根据这样的第七实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第八实施方式
接下来，对本发明的第八实施方式的物理量传感器进行说明。
图11是示出本发明的第八实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图11中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第七实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第八实施方式的物理量传感器1与上述第七实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图11中，对与上述第七实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图11所示，可动部支撑部51设置在可动部52的外侧。另外，可动部支撑部51呈框状，并以包围可动部52的方式设置。另外，可动部支撑部51具有呈框状的基部512和从基部512向内侧突出的一对突出部513、514。此外，突出部分513、514相对于中心轴L对称设置，并分别朝向元件部3的中心而突出。而且，在突出部513、514的前端部(中心侧的端部)设置有与固定架部24接合的接合部511。
由此，由于将各接合部511靠近元件部3的中央部而配置，因而能够将各接合部511配置在第一主干支撑部413的接合部413a和第二主干支撑部423的接合部423a的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。因此，能够更精确地检测物理量。尤其是在本实施方式中，由于连接一对接合部511的线段和连接接合部413a、423a的线段相交，因此能够将接合部511、413a、423a配置成彼此进一步靠近，因而上述效果变得更加明显。
另外，弹簧部53、54分别位于可动部52和可动部支撑部51之间。另外，弹簧部53将可动部52的X轴方向正侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部连结，弹簧部54将可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部和可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部连结。由此，能够通过X轴方向的两侧支撑可动部52，因此，可动部52的姿势和动作稳定。因此，能够减少不必要的振动并以更高的精度检测加速度Ax。
即使根据这样的第八实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第九实施方式
接下来，对本发明的第九实施方式的物理量传感器进行说明。
图12是示出本发明的第九实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图12中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第七实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第九实施方式的物理量传感器1与上述第七实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图12中，对与上述第七实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图12所示，一对可动部支撑部51设置在可动部52的内侧。另外，一个可动部支撑部51相对于中心轴L位于Y轴方向正侧，另一个可动部支撑部51相对于中心轴L位于Y轴方向负侧。此外，一对可动部支撑部51相对于中心轴L对称地设置。
这样的可动部支撑部51形成为T字形，具有在X轴方向延伸的基部515、和从基部515的中央部朝向元件部3的中心在Y轴方向延伸的延伸部516。并且，在各延伸部516的前端部(中心侧的端部)设置有与固定架部24接合的接合部511。
由此，由于将各接合部511靠近元件部3的中央部而配置，因而能够将各接合部511设置在第一主干支撑部413的接合部413a和第二主干支撑部423的接合部423a的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。因此，能够更精确地检测物理量。尤其是在本实施方式中，由于连接一对接合部511的线段和连接接合部413a、423a的线段相交，因此能够将接合部511、413a、423a配置成彼此进一步靠近，因而上述效果变得更加明显。
另外，设置有一对弹簧部53。并且，一个弹簧部53将可动部52的X轴方向正侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部(基部515的X轴方向正侧的端部)连结，另一个弹簧部53将可动部52的X轴方向正侧的端部与另一个可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部(基部515的X轴方向正侧的端部)连结。
同样地，设置有一对弹簧部54。并且，一个弹簧部54将可动部52的X轴方向负侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部(基部515的X轴方向负侧的端部)连结，另一个弹簧部54将可动部52的X轴方向负侧的端部与另一个可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部(基部515的X轴方向负侧的端部)连结。
由此，能够通过弹簧部53、54在X轴方向的两侧支撑可动部52，使得可动部52的姿势和动作稳定。因此，能够减少不必要的振动，并以更高的精度检测加速度Ax。
根据这样的第九实施例，也可以实现与上述第一实施例相同的效果。尤其是在本实施方式中，由于可动部52为框状，位于最外侧，因此，和上述第八实施方式相比，例如能够使可动部52的质量变得更大。因此，能够进一步提高灵敏度，从而获得具有高灵敏度的物理量传感器1。
第十实施方式
接下来，对本发明的第十实施方式的物理量传感器进行说明。
图13是示出本发明的第十实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图13中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第一实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第十实施方式的物理量传感器1与上述第一实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图13中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图13所示，一对固定电极部4排列设置在X轴方向上。此外，一对固定电极部4相对于与Y轴平行的线为线对称。并且，各固定电极部4具有由第一主干部支撑部413和第二主干部支撑部423一体地形成的主干部支撑部43。此外，在从Z轴方向观察的俯视观察下，各主干支撑部43位于中心轴L上。根据这样的构成，由于将第一主干部支撑部413和第二主干部支撑部423一体化，因而能够实现物理量传感器1的小型化。
另外，与上述第七实施例一样，一个主干部支撑部43具有与固定架部22接合的接合部431，并电连接于布线71。另一个主干部支撑部43具有与固定架部23接合的接合部431，并电连接于布线72。
另外，各第一固定电极部41具有连结主干支撑部43和第一主干部411的第一连结部414。另外，第一主干部411沿X轴方向延伸。第一连结部414在Y轴方向上延伸，并连接于第一主干部411的一端部。
另外，各第二固定电极部42具有连结主干支撑部43和第二主干部421的第二连结部424。另外，第二主干部421沿X轴方向延伸。第二连结部424在Y轴方向上延伸，并连接于第二主干部421的一端部。
另外，在位于X轴方向正侧的固定电极部4中，第一主干部411和第二主干部412相对于主干部支撑部43位于X轴方向正侧，在位于X轴方向负侧的固定电极部4中，第一主干部411和第二主干部421相对于主干部支撑部43位于X轴方向负侧。因此，能够将一对主干支撑部43设置成彼此靠近。
在此，在位于X轴方向正侧的固定电极部4中，各第一可动电极指611和第二可动电极指621相对于对应的第一固定电极指412和第二固定电极指422而位于X轴方向的正侧。相反，在位于X轴方向负侧的固定电极部4中，各第一可动电极指611和第二可动电极指621相对于对应的第一固定电极指412和第二固定电极指422而位于X轴方向负侧。由此，能够对从一个固定电极部4和可动电极部6之间获得的第一检测信号、以及从另一个固定电极部4和可动电极部6之间获得的第二检测信号进行差动运算，从而能够消除噪声，更准确地检测加速度Ax。
另外，可动部支撑部51位于两个主干部支撑部43之间，并在Y轴方向上延伸。此外，在可动部支撑部51中，弹簧部53与Y轴方向正侧的端部连接，弹簧部54与Y轴方向负侧的端部连接。通过这样的构成，可以将接合部511设置在两个主干部支撑部43的附近。然而，可动部支撑部51的构成和配置没有特别限制。
即使根据这样的第十实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第十一实施方式
接下来，对本发明的第十一实施方式的物理量传感器进行说明。
图14是示出本发明的第十一实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图14中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第十实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第十一实施方式的物理量传感器1与上述第十实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图14中，对与上述第十实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图14所示，可动部支撑部51设置在可动部52的外侧。另外，可动部支撑部51呈框状，并以包围可动部52的方式设置。另外，可动部支撑部51具有呈框状的基部512和从基部512向内侧突出的一对突出部513、514。此外，突出部分513、514相对于中心轴L对称设置，并分别朝向元件部3的中心而突出。而且，在突出部513、514的前端部(中心侧的端部)设置有与固定架部24接合的接合部511。
由此，由于将各接合部511设置在元件部3的中央部，因而能够将各接合部511设置在第一主干支撑部413的接合部413a和第二主干支撑部423的接合部423a的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。因此，能够更精确地检测物理量。尤其是在本实施方式中，由于连接一对接合部511的线段和连接接合部413a、423a的线段相交，因此能够将接合部511、413a、423a设置成彼此靠近，因而上述效果变得更加明显。
另外，弹簧部53、54分别位于可动部52和可动部支撑部51之间。另外，弹簧部53将可动部52的X轴方向正侧的端部与可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部连结，弹簧部54将可动部52的X轴方向负侧的端部和可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部连结。由此，能够通过X轴方向的两侧支撑可动部52，因此，可动部52的姿势和动作稳定。因此，能够减少不必要的振动并以更高的精度检测加速度Ax。
即使根据这样的第十一实施例，也能够发挥出与上述第一实施例同样的效果。
第十二实施方式
接下来，对本发明的第十二实施方式的物理量传感器进行说明。
图15是示出本发明的第十二实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图15中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第十实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第十二实施方式的物理量传感器1与上述第十实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图15中，对与上述第十实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图15所示，一对可动部支撑部51设置在可动部52的内侧。一个可动部支撑部51相对于中心轴L位于Y轴方向正侧，另一个可动部支撑部51相对于中心轴L位于Y轴方向负侧。此外，一对可动部支撑部51相对于中心轴L对称地设置。
这样的可动部支撑部51形成T字形，具有沿X轴方向延伸的基部515、和从基部515的中央部朝向Y轴方向的元件部3的中心延伸的延伸部516。并且，在各延伸部516的前端部(中心侧的端部)设置有与固定架部24接合的接合部511。
由此，由于将各接合部511靠近元件部3的中央部而配置，因而能够将各接合部511配置在第一主干支撑部413的接合部413a和第二主干支撑部423的接合部423a的附近。因此，能够更有效地减小由于热、残余应力等而在基部2发生翘曲或挠曲时可动部52与固定电极部4之间的Z轴方向上的偏移差。因此，能够更精确地检测物理量。尤其是在本实施方式中，由于连接一对接合部511的线段和连接接合部413a、423a的线段相交，因此能够将接合部511、413a、423a设置成彼此靠近，因而上述效果变得更加明显。
另外，设置有一对弹簧部53。并且，一个弹簧部53将可动部52的X轴方向正侧的端部与一个可动部支撑部51的X轴方向正侧的端部(基部515的X轴方向正侧的端部)连结，另一个弹簧部54将可动部52的X轴方向正侧的端部与另一个可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部(基部515的X轴方向负侧的端部)连结。
同样地，设置有一对弹簧部54。并且，一个弹簧部54将可动部52的X轴方向负侧的端部与一个可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部(基部515的X轴方向负侧的端部)连结，另一个弹簧部54将可动部52的X轴方向负侧的端部与另一个可动部支撑部51的X轴方向负侧的端部(基部515的X轴方向负侧的端部)连结。
由此，能够通过弹簧部53、54在X轴方向的两侧支撑可动部52，因此可动部52的姿势和动作稳定。因此，能够减少不必要的振动，并以更高的精度检测加速度Ax。
根据这样的第十二实施例，可以实现与上述第一实施例相同的效果。尤其是在本实施方式中，由于可动部52为框状，位于最外侧，因此，和上述第十一实施方式相比，能够使可动部52的质量变得更大。因此，能够进一步提高灵敏度，从而获得具有高灵敏度的物理量传感器1。
第十三实施方式
接下来，对本发明的第十三实施方式的物理量传感器进行说明。
图16是示出本发明的第十三实施方式的物理量传感器的俯视图。另外，为便于说明，在图16中，省略了基部和盖部的图示，仅示出元件部。
本发明的物理量传感器1主要是元件部3的构成不同，除此外均与上述第十实施方式的物理量传感器1相同。
另外，在以下的说明中，主要说明第十三实施方式的物理量传感器1与上述第一实施方式之间的不同点，对于相同事项，将省略对其的说明。此外，在图16中，对与上述第一实施方式相同的构成，标注相同的附图标记。
如图16所示，第一固定电极部41具有排列设置在Y轴方向上的一对第一主干部411。换句话说，第一主干部411沿着其长度方向具有狭缝，并被分成平行的两个部分(分支成两个)。并且，多个第一固定电极指412(412')从位于Y轴方向正侧的第一主干部411向Y轴方向正侧延伸，多个第一固定电极指412(412″)从位于Y轴方向负侧的第一主干部411向Y轴方向负侧延伸。
同样地，第二固定电极部42具有排列设置在Y轴方向上的一对第二主干部421。换句话说，第二主干部421沿着其长度方向具有狭缝，并被分成平行的两个部分(分支成两个)。并且，多个第二固定电极指422(422')从位于Y轴方向正侧的第二主干部421向Y轴方向正侧延伸，多个第二固定电极指422(422″)从位于Y轴方向负侧的第二主干部421向Y轴方向负侧延伸。
即使使用这样的第十三实施例，也能够发挥与上述第一实施例相同的效果。尤其是，通过设置多个第一主干部411和第二主干部421，存在第一固定电极部41和第二固定电极部42的形状(图案形状)的设计自由度增加这一优点。
第十四实施方式
接下来，对本发明的第十四实施方式的物理量传感器装置进行说明。
图17是示出本发明的第十四实施方式的物理量传感器装置的剖视图。
如图17所示，物理量传感器装置1000包括：基底基板1010、设置在基底基板1010上的物理量传感器1、设置在物理量传感器1上的电路元件1020(IC)、电连接物理量传感器1和电路元件1020的焊线BW1、电连接基底基板1010和电路元件1020的焊线BW2、和用于对型物理量传感器1和电路元件1020进行模塑的模塑部1030。在此，作为物理量传感器1，可以使用上述第一至第十三实施方式中的任一个。
基底基板1010是支撑物理量传感器1的基板，例如，是内插基板。在这样的基底基板1010的上表面配置有多个连接端子1011，在下表面配置有多个安装端子1012。另外，在基底基板1010内配置有未图示的内部布线，各连接端子1011经由该内部布线与对应的安装端子1012电连接。这样的基底基板1010没有特别限定，例如可以使用硅基板、陶瓷基板、树脂基板、玻璃基板、玻璃环氧基板等。
另外，物理量传感器1配置在基底基板1010上，基部2朝向下侧(基底基板1010侧)。并且，物理量传感器1通过接合部件与基底基板1010接合。
另外，电路元件1020配置在物理量传感器1上。并且，电路元件1020通过接合部件与物理量传感器1的盖部8接合。并且，电路元件1020通过焊线BW1与物理量传感器1的布线71、72、73电连接，通过焊线BW2与基底基板1010的连接端子1011电连接。在这种电路元件1020中，根据需要包括驱动物理量传感器1的驱动电路、基于来自物理量传感器1的输出信号来检测加速度的检测电路、以及将来自检测电路的信号转换成预定信号的电路并输出的输出电路等。
另外，模塑部1030对物理量传感器1和电路元件1020进行模塑。由此，能够保护物理量传感器1和电路元件1020免受湿气、灰尘、冲击等的影响。模塑部1030没有特别限定，例如，可以使用热固性环氧树脂，例如，可以通过传递模塑法进行模塑。
如上所述的物理量传感器装置1000具有物理量传感器1。因此，可以获得物理量传感器1的效果，从而获得高可靠性的物理量传感器装置1000。
另外，物理量传感器装置1000不限于上述构成，例如也可以将物理量传感器1设置为容纳在陶瓷封装中。
第十五实施方式
接下来，对本发明的第十五实施方式的电子设备进行说明。
图18是示出本发明的第十五实施方式的电子设备的立体图。
图18所示的移动式(或笔记型)个人计算机1100是应用了具备本发明的物理量传感器的电子设备的设备。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104和具有显示部1108的显示单元1106构成，显示单元1106被构成为通过铰链构造部可转动地支撑于主体部1104。在这样的个人计算机1100中，内置有作为加速度传感器而起作用的物理量传感器1。在此，作为物理量传感器1，可以使用上述第一至第十三实施方式中的任一个。
这样的个人计算机1100(电子设备)具有物理量传感器1。因此，能够获得上述物理量传感器1的效果，并能够发挥高可靠性。
第十六实施方式
接下来，对本发明的第十六实施方式的电子设备进行说明。
图19是示出本发明的第十六实施方式的电子设备的立体图。
图19所示的便携式电话机1200(包括PHS)是应用了具备本发明的物理量传感器的电子设备的设备。在该图中，便携式电话机1200具备天线(未示出)、多个操作按钮1202、听筒1204和话筒1206，在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示单元1208。这样的便携式电话机1200中内置有作为加速度传感器而发挥作用的物理量传感器1。在此，作为物理量传感器1，可以使用上述第一至第十三实施方式中的任一个。
这样的便携式电话机1200(电子设备)具有物理量传感器1。因此，能够获得上述物理量传感器1的效果，并能够发挥高可靠性。
第十七实施方式
接下来，对本发明的第十七实施方式的电子设备进行说明。
图20是示出本发明的第十七实施方式的电子设备的立体图。
图20所示的数字静态照相机1300是应用了具备本发明的物理量传感器的电子设备的设备。在该图中，显示部1310设置在壳体(机身)1302的背面，并被构成为基于CCD的摄像信号进行显示，显示部1310用作将被摄体显示为电子图像的取景器。并且，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)和CCD等的受光单元1304。当摄影者确认显示在显示部1310上的被摄体图像并按下快门按钮1306时，此时的CCD的摄像信号被转发并存储在存储器1308中。在这样的数字静态照相机1300中内置有作为加速度传感器发挥作用的物理量传感器1。作为物理量传感器1，可以使用上述第一至第十三实施方式中的任一个。
这样的数字静态照相机1300(电子设备)具有物理量传感器1。因此，能够获得上述物理量传感器1的效果，并能够发挥高可靠性。
另外，本发明的电子设备除了上述上述方式的个人计算机和便携式电话机、本实施方式的数字静像照相机以外，还适用于智能手机、平板终端、时钟(包括智能手表)、喷墨式吐出装置(例如，喷墨打印机)、手提式个人计算机、电视机、HMD(头戴式显示器)等可穿戴终端、摄像机、视频磁带录像机、汽车导航系统、寻呼机、电子记事本(还包括通信功能)、电子辞典、计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、可视电话、用于防止犯罪的电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量仪器、移动终端基站设备、仪表类(例如，用于车辆、飞机和船舶的仪表类)、飞行模拟器、网络服务器等。
第十八实施方式
接下来，对本发明的第十八实施方式的移动体进行说明。
图21是示出本发明的第十八实施方式的移动体的立体图。
图21所示的汽车1500是应用了具备本发明的物理量传感器的移动体的汽车。在该图中，汽车1500中内置有用作加速度传感器的物理量传感器1，能够通过物理量传感器1检测车体1501的姿势。物理量传感器1的检测信号被供应给车体姿势控制装置1502，车体姿势控制装置1502基于该信号检测车体1501的姿势，并根据检测结果控制悬架的软硬，并控制各车轮1503的制动。其中，作为物理量传感器1，可以使用上述第一至第十三实施方式中的任一个。
这样的汽车1500(移动体)具有物理量传感器1。因此，能够获得上述物理量传感器1的效果，并能够发挥高可靠性。
除此之外，物理量传感器1还可以广泛应用于汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS)、气囊、轮胎压力监视系统(TPMS)、发动机控制、以及混合动力汽车和电动汽车的电池监视器等电子控制单元(ECU)。
另外，移动体不限于汽车1500，例如，也可以应用于飞机、火箭、人造卫星、船舶、AGV(自动导引运输车)、双足步行机器人、无人机等无人驾驶飞机等。
以上，虽然已经基于图示的实施方式说明了本发明的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备和移动体，但本发明不限于此，各部件的构成可以替换成具有相同功能的任意构成。此外，可以在本发明中附加其它任何构成物。此外，可以适当地组合上述实施方式。在上述实施方式中，X轴方向(第一方向)和Y轴方向(第二方向)正交，但本发明不限于此，也可以交叉。
另外，在上述实施方式中，对具有一个元件部的构成进行了说明，但也可以设置多个元件部。这种情况下，通过以检测轴彼此不同的方式设置多个元件部，能够检测多个轴向的加速度。
另外，在上述实施方式中，对用作物理量传感器的检测加速度的加速度传感器进行了说明，但作为由物理量传感器检测的物理量，则不限于加速度。
Claims (17)
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
基部；以及
元件部，用于检测物理量，
所述元件部包括：
固定电极部，安装于所述基部；以及
可动部，能够在作为所述物理量的检测轴方向的第一方向上位移，并设置有可动电极部，
所述固定电极部包括沿着与所述第一方向正交的第二方向排列的第一固定电极部和第二固定电极部，
所述第一固定电极部包括：
第一主干部；以及
多个第一固定电极指，设置于所述第一主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第一固定电极指的长度方向沿着所述第二方向，
所述第二固定电极部包括：
第二主干部；以及
多个第二固定电极指，设置于所述第二主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第二固定电极指的长度方向沿着所述第二方向，
所述可动电极部包括沿着所述第二方向排列的第一可动电极部和第二可动电极部，
所述第一可动电极部包括多个第一可动电极指，所述多个第一可动电极指配置于所述第一主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第一可动电极指的长度方向沿着所述第二方向，并与所述第一固定电极指在所述第一方向上相对，
所述第二可动电极部包括多个第二可动电极指，所述多个第二可动电极指位于所述第二主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第二可动电极指的长度方向沿着所述第二方向，并与所述第二固定电极指在所述第一方向上相对。
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一主干部的长度方向及所述第二主干部的长度方向分别相对于所述第一方向及所述第二方向倾斜。
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一主干部的长度方向及所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向向彼此的相反侧倾斜。
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上45°以下，
所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上45°以下。
5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上30°以下，
所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上30°以下。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一固定电极指沿着所述第一方向设置多个，
相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第一固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小，
相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第一固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，
所述第二固定电极指沿着所述第一方向设置多个，
相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第二固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，
相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第二固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小。
7.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
所述第一可动电极指沿着所述第一方向设置多个，
相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第一可动电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小，
相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第一可动电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，
所述第二可动电极指沿着所述第一方向设置多个，
相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，
相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
各所述第一可动电极指相对于成对的所述第一固定电极指位于所述第一方向的一侧，
各所述第二可动电极指相对于成对的所述第二固定电极指位于所述第一方向的另一侧。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，包括：
可动部支撑部，支撑所述可动部并安装于所述基部；
第一主干部支撑部，支撑所述第一主干部并安装于所述基部；
以及
第二主干部支撑部，支撑所述第二主干部并安装于所述基部，
所述可动部支撑部与所述基部接合的接合部、所述第一主干部支撑部与所述基部接合的接合部以及所述第二主干部支撑部与所述基部接合的接合部沿着所述第二方向排列。
10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，
在俯视观察下，所述可动部支撑部位于所述第一固定电极部和所述第二固定电极部之间。
11.根据权利要求10所述的物理量传感器，其特征在于，包括：
连结所述第一主干部和所述第一主干部支撑部的第一连结部；
以及
连结所述第二主干部和所述第二主干部支撑部的第二连结部，
所述第一连结部在俯视观察下，位于所述第一主干部支撑部的与所述可动部支撑部侧相反的一侧，
所述第二连结部在所述俯视观察下，位于所述第二主干部支撑部的与所述可动部支撑部侧相反的一侧。
12.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
所述可动部在俯视观察下包括包围所述固定电极部的框状部。
13.一种物理量传感器装置，其特征在于，包括：
权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；以及
与所述物理量传感器电连接的电路。
14.根据权利要求13所述的物理量传感器装置，其特征在于，
所述物理量传感器装置包括容纳有所述物理量传感器及所述电路的陶瓷封装。
15.根据权利要求13所述的物理量传感器装置，其特征在于，
所述物理量传感器及所述电路被模塑。
16.一种电子设备，其特征在于，包括：
权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器。
17.一种移动体，其特征在于，包括：
权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器；以及
基于来自所述物理量传感器的检测信号而控制姿势的姿势控制装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210498536.5A CN114895073A (zh) | 2016-12-07 | 2017-12-04 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016237919A JP6866624B2 (ja) | 2016-12-07 | 2016-12-07 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 |
| JP2016-237919 | 2016-12-07 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210498536.5A Division CN114895073A (zh) | 2016-12-07 | 2017-12-04 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108169515A true CN108169515A (zh) | 2018-06-15 |
| CN108169515B CN108169515B (zh) | 2022-05-03 |
Family
ID=60627447
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711258636.6A Active CN108169515B (zh) | 2016-12-07 | 2017-12-04 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 |
| CN202210498536.5A Pending CN114895073A (zh) | 2016-12-07 | 2017-12-04 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210498536.5A Pending CN114895073A (zh) | 2016-12-07 | 2017-12-04 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10416189B2 (zh) |
| EP (1) | EP3333578B1 (zh) |
| JP (1) | JP6866624B2 (zh) |
| CN (2) | CN108169515B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111190027A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-22 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN112444275A (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-05 | 株式会社东芝 | 传感器 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6866624B2 (ja) * | 2016-12-07 | 2021-04-28 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 |
| JP7056099B2 (ja) * | 2017-11-28 | 2022-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
| JP2020016557A (ja) * | 2018-07-26 | 2020-01-30 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器、および移動体 |
Citations (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0514395A1 (de) * | 1990-02-06 | 1992-11-25 | Robert Bosch Gmbh | Kristallorientierter bewegungssensor und verfahren zu dessen herstellung |
| US6133670A (en) * | 1999-06-24 | 2000-10-17 | Sandia Corporation | Compact electrostatic comb actuator |
| JP2002365306A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Denso Corp | 力学量センサ |
| US6868726B2 (en) * | 2000-01-20 | 2005-03-22 | Analog Devices Imi, Inc. | Position sensing with improved linearity |
| US20080192406A1 (en) * | 2005-07-08 | 2008-08-14 | Commissariat A L'energie Atomique | Device with Optimised Capacitive Volume |
| WO2010026843A1 (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-11 | 株式会社日立製作所 | 慣性センサ |
| CN101830426A (zh) * | 2009-03-12 | 2010-09-15 | 精工爱普生株式会社 | 微机电传感器、其制造方法以及电子设备 |
| US20110179870A1 (en) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | Chun-Kai Chan | Dual-axis acceleration detection element |
| CN102193002A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 加速度传感器及其制造方法 |
| CN102482072A (zh) * | 2009-08-26 | 2012-05-30 | 飞思卡尔半导体公司 | 具有应力隔离的mems器件及其制造方法 |
| CN102538830A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-07-04 | 精工爱普生株式会社 | 功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备 |
| JP2014182058A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、電子機器、及び移動体 |
| WO2014156119A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
| CN104280051A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 精工爱普生株式会社 | 电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体 |
| CN104515630A (zh) * | 2013-09-30 | 2015-04-15 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体 |
| CN105372450A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN105372452A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 |
| CN105372451A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5817942A (en) * | 1996-02-28 | 1998-10-06 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Capacitive in-plane accelerometer |
| DE19639946B4 (de) | 1996-09-27 | 2006-09-21 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement |
| DE602004031938D1 (de) | 2004-08-13 | 2011-05-05 | St Microelectronics Srl | Mikroelektromechanische Struktur, insbesondere Beschleunigungssensor, mit verbesserter Unempfindlichkeit gegenüber thermischen und mechanischen Spannungen |
| JP2007139505A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
| DE102007047592B4 (de) | 2007-10-05 | 2022-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor |
| WO2009099125A1 (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-13 | Alps Electric Co., Ltd. | 物理量センサ |
| US8664166B2 (en) * | 2008-02-07 | 2014-03-04 | Shell Oil Company | Method and composition for enhanced hydrocarbons recovery |
| JP2010238921A (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Alps Electric Co Ltd | Ｍｅｍｓセンサ |
| US20150301075A1 (en) | 2012-10-16 | 2015-10-22 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Inertial Sensor |
| JP6653902B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2020-02-26 | 国立大学法人静岡大学 | アクチュエータ |
| JP6160823B2 (ja) * | 2013-09-10 | 2017-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、振動デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6866624B2 (ja) * | 2016-12-07 | 2021-04-28 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 |
-
2016
- 2016-12-07 JP JP2016237919A patent/JP6866624B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-04 CN CN201711258636.6A patent/CN108169515B/zh active Active
- 2017-12-04 CN CN202210498536.5A patent/CN114895073A/zh active Pending
- 2017-12-05 EP EP17205432.2A patent/EP3333578B1/en active Active
- 2017-12-06 US US15/833,272 patent/US10416189B2/en active Active
-
2019
- 2019-08-05 US US16/531,860 patent/US10969403B2/en active Active
Patent Citations (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0514395A1 (de) * | 1990-02-06 | 1992-11-25 | Robert Bosch Gmbh | Kristallorientierter bewegungssensor und verfahren zu dessen herstellung |
| US6133670A (en) * | 1999-06-24 | 2000-10-17 | Sandia Corporation | Compact electrostatic comb actuator |
| US6868726B2 (en) * | 2000-01-20 | 2005-03-22 | Analog Devices Imi, Inc. | Position sensing with improved linearity |
| JP2002365306A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Denso Corp | 力学量センサ |
| US20080192406A1 (en) * | 2005-07-08 | 2008-08-14 | Commissariat A L'energie Atomique | Device with Optimised Capacitive Volume |
| WO2010026843A1 (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-11 | 株式会社日立製作所 | 慣性センサ |
| CN101830426A (zh) * | 2009-03-12 | 2010-09-15 | 精工爱普生株式会社 | 微机电传感器、其制造方法以及电子设备 |
| CN102482072A (zh) * | 2009-08-26 | 2012-05-30 | 飞思卡尔半导体公司 | 具有应力隔离的mems器件及其制造方法 |
| US20110179870A1 (en) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | Chun-Kai Chan | Dual-axis acceleration detection element |
| CN102193002A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 加速度传感器及其制造方法 |
| CN102538830A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-07-04 | 精工爱普生株式会社 | 功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备 |
| JP2014182058A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、電子機器、及び移動体 |
| WO2014156119A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
| CN104280051A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 精工爱普生株式会社 | 电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体 |
| CN104515630A (zh) * | 2013-09-30 | 2015-04-15 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体 |
| CN105372450A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN105372452A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 |
| CN105372451A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 袁飞: ""电容式单质量三轴加速度计的研制"", 《万方》 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111190027A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-22 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN111190027B (zh) * | 2018-10-29 | 2023-12-08 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN112444275A (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-05 | 株式会社东芝 | 传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114895073A (zh) | 2022-08-12 |
| EP3333578B1 (en) | 2019-06-19 |
| US20180156839A1 (en) | 2018-06-07 |
| US10969403B2 (en) | 2021-04-06 |
| US10416189B2 (en) | 2019-09-17 |
| CN108169515B (zh) | 2022-05-03 |
| EP3333578A1 (en) | 2018-06-13 |
| US20190353678A1 (en) | 2019-11-21 |
| JP2018091820A (ja) | 2018-06-14 |
| JP6866624B2 (ja) | 2021-04-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108169515A (zh) | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体 | |
| CN106338619B (zh) | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 | |
| CN104345175B (zh) | 物理量传感器、电子设备、以及移动体 | |
| US9429589B2 (en) | Physical quantity sensor and electronic apparatus | |
| CN107010588A (zh) | 物理量传感器以及物理量传感器的制造方法 | |
| CN106338620B (zh) | 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 | |
| CN104297524B (zh) | 功能元件、电子设备、以及移动体 | |
| CN104166013A (zh) | 传感器元件、电子设备、以及移动体 | |
| CN105004883B (zh) | 电子装置、电子设备以及移动体 | |
| JP2017125753A (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
| JP2017058310A (ja) | 物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器および移動体 | |
| CN104022084A (zh) | 电子设备的模块、电子设备、以及移动体 | |
| JP6866623B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 | |
| US11137415B2 (en) | Vibrating device, vibrating device module, electronic apparatus, and vehicle | |
| JP6822200B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 | |
| JP2018132492A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 | |
| JP2019060675A (ja) | 物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器、および移動体 | |
| JP2019056658A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器、携帯型電子機器および移動体 | |
| JP2016169952A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体 | |
| JP2016169950A (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
| JP2018091819A (ja) | 加速度センサー、加速度センサーデバイス、電子機器および移動体 | |
| JP6398730B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体 | |
| JP2018163137A (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
| JP6451413B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
| JP6330530B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器および移動体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |