JP6822200B2 - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記固定電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に接続されている固定電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする。
これにより、接続部への応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
第1方向に延在し、前記固定電極指が接続されている第1延在部と、
前記第1方向と異なる第2方向に延在し、前記第1延在部と前記固定部とを接続する第2延在部と、を有し、
前記第2延在部の前記第1延在部との接続部は、前記第1延在部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることが好ましい。
これにより、第2延在部の第1延在部との接続部への応力集中が緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、固定電極指の支持部との接続部への応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、固定電極指の支持部との接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記可動電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に対して変位可能な可動部と、
前記支持部と前記可動部とを接続する弾性部と、
前記可動部に設けられている可動電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする。
これにより、接続部への応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、可動電極指の可動部との接続部への応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、可動電極指の可動部との接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する物理量センサーデバイスが得られる。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する移動体が得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図1に示すように、基板2は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、基板2は、上面側に開放する凹部21を有している。また、Z軸方向からの平面視で、凹部21は、素子部3を内側に内包するように、素子部3よりも大きく形成されている。このような凹部21は、素子部3と基板2との接触を防止(抑制)するための逃げ部として機能する。
図1に示すように、蓋部8は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、図2に示すように、蓋部8は、下面側(基板2側)に開放する凹部81を有している。このような蓋部8は、凹部81内に素子部3を収納するようにして、基板2の上面に接合されている。そして、蓋部8および基板2によって、その内側に、素子部3を収納する収納空間Sが形成されている。
図1に示すように、素子部3は、基板2に固定されている固定電極部4と、基板2に対して変位可能な可動電極部5と、を有している。また、固定電極部4は、第1固定電極部41と、第2固定電極部42と、を有している。
次に、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第6実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第7実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第8実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第9実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。
図15に示すように、物理量センサーデバイス1000は、ベース基板1010と、ベース基板1010上に設けられた物理量センサー1と、物理量センサー1上に設けられた回路素子1020(IC)と、物理量センサー1と回路素子1020とを電気的に接続するボンディングワイヤーBW1と、ベース基板1010と回路素子1020とを電気的に接続するボンディングワイヤーBW2と、物理量センサー1および回路素子1020をモールドするモールド部1030と、を有している。ここで、物理量センサー1としては、例えば、前述した第1〜第8実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第10実施形態に係る電子機器について説明する。
図16に示すモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューター1100は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、加速度センサーとして機能する物理量センサー1が内蔵されている。ここで、物理量センサー1としては、例えば、前述した第1〜第8実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第11実施形態に係る電子機器について説明する。
図17に示す携帯電話機1200(PHSも含む)は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、加速度センサーとして機能する物理量センサー1が内蔵されている。ここで、物理量センサー1としては、例えば、前述した第1〜第8実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第12実施形態に係る電子機器について説明する。
図18に示すデジタルスチールカメラ1300は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース(ボディー)1302の背面には表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。そして、撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押すと、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ1300には、加速度センサーとして機能する物理量センサー1が内蔵されている。ここで、物理量センサー1としては、例えば、前述した第1〜第8実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第13実施形態に係る移動体について説明する。
図19に示す自動車1500は、本発明の物理量センサーを備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車1500には、加速度センサーとして機能する物理量センサー1が内蔵されており、物理量センサー1によって車体1501の姿勢を検出することができる。物理量センサー1の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。ここで、物理量センサー1としては、例えば、前述した第1〜第8実施形態のいずれかを用いることができる。
Claims (12)
- 基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記固定電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に接続されている固定電極指と、を有し、
前記可動電極部は、可動電極指を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなし、
前記固定電極指の前記支持部との接続部は、対応する前記可動電極指側と、対応する前記可動電極指と反対側とのうち、対応する前記可動電極指と反対側のみが、前記支持部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする物理量センサー。 - 前記支持部の前記固定部との接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項1に記載の物理量センサー。
- 前記支持部は、
第1方向に延在し、前記固定電極指が接続されている第1延在部と、
前記第1方向と異なる第2方向に延在し、前記第1延在部と前記固定部とを接続する第2延在部と、を有し、
前記第2延在部の前記第1延在部との接続部は、前記第1延在部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしている請求項1または2に記載の物理量センサー。 - 前記固定電極指の前記支持部との接続部の前記幅方向の両外縁のうち、対応する前記可動電極指と反対側は、凹状に湾曲している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の物理量センサー。
- 前記固定電極指の前記支持部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さい請求項1ないし4のいずれか1項に記載の物理量センサー。
- 基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記可動電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に対して変位可能な可動部と、
前記支持部と前記可動部とを接続する弾性部と、
前記可動部に設けられている可動電極指と、を有し、
前記固定電極部は、固定電極指を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなし、
前記可動電極指の前記可動部との接続部は、対応する前記固定電極指側と、対応する前記固定電極指と反対側とのうち、対応する前記固定電極指と反対側のみが、前記可動部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする物理量センサー。 - 前記支持部の前記固定部との接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項6に記載の物理量センサー。
- 前記可動電極指の前記可動部との接続部の前記幅方向の両外縁のうち、対応する前記固定電極指と反対側は、凹状に湾曲している請求項6または7に記載の物理量センサー。
- 前記可動電極指の前記可動部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さい請求項6ないし8のいずれか1項に記載の物理量センサー。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする物理量センサーデバイス。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。
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