JP2018078273A - 回路板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、基板100と、基板100表面102に設けられた金属層110と、金属層110の表面に設けられ、第1の導電層130および第2の導電層160を含む導電層170と、導電層170、金属層110、および基板100を貫通する複数の貫通孔とを含み、貫通孔の密度が高い領域と、貫通孔の密度が低い領域とがあり、導電層170は、略平坦な上面を有し、且つ前記第1の導電層130および第2の導電層160の隣接部に、界面S1が存在する回路板を提供する。
【選択図】図1E
Description
比較例として、従来技術の回路板の製造方法で回路板を製造し、めっき処理後と平坦化処理後との2回、回路板表面の粗さ分析を行った。図3Aは、従来技術の回路板の製造方法の電気めっき処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示し、図3Bは、従来技術の回路板の製造方法の平坦化処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示している。図3Aに示すように、従来技術で製造した回路板では、電気めっき処理後の導電層に回路板表面からの高さ約−15μmの窪みが形成されている。図3Bに示すように、平坦化処理後の導電層では、窪みの回路板表面からの高さは、約−10μmである。
実施例1として、第1の実施形態の回路板の製造方法で回路板を製造し、めっき処理後と平坦化処理後との2回、回路板表面の粗さ分析を行った。図4Aは、本発明の第1の実施形態の回路板の製造方法の第2の電気めっき処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示し、図4Bは、本発明の第1の実施形態の回路板の製造方法の平坦化処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示している。図4Aに示すように、本発明の第1の実施形態で製造した回路板の第2の電気めっき処理後(図1Dに示された構造と同様)の導電層には、回路板表面からの高さが、約+10μmの凸部が形成されている。図4Bに示すように、平坦化処理後(図1Eに示された構造と同様)には、導電層に形成された凸部が、回路板表面からの高さが約−3μmの窪みとなっている。
実施例2として、第2の実施形態の回路板の製造方法で回路板を製造し、めっき処理後と平坦化処理後との2回、回路板表面の粗さ分析を行った。図5Aは、本発明の第2の実施形態の回路板の製造方法の第2の電気めっき処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示し、図5Bは、本発明の第2の実施形態の回路板の製造方法の平坦化処理後に行った回路板表面の粗さ計分析の結果を示している。図5Aに示すように、本発明の第2の実施形態で製造した回路板を電気めっき処理後(図2Dに示された構造と同様)の導電層には、基板表面からの高さが約+5μmの凸部が形成されている。図5Bに示すように、平坦化処理後(図2Eに示された構造と同様)には、導電層に形成された凸部が、回路板表面からの高さが約−4μmの窪みとなっている。
102、202 表面
110、210 金属層
120、220 貫通孔
122、222 貫通孔の密度が高い領域
124、224 貫通孔の密度が低い領域
130、250 第1の導電層
140、230 遮蔽層
150、240 開口
160、260 第2の導電層
170、270 導電層
172、272 上面
180、280 充填孔
S1、S2 界面
Claims (14)
- 基板と、
前記基板表面に設けられた金属層と、
前記金属層の表面に設けられ、第1の導電層および第2の導電層を含む導電層と、
前記導電層、前記金属層、および前記基板を貫通する複数の貫通孔と
を含み、
前記貫通孔の密度が高い領域と、前記貫通孔の密度が低い領域とがあり、
前記導電層は、略平坦な上面を有し、且つ前記第1の導電層および前記第2の導電層の隣接部に、界面が存在する
回路板。 - 前記第1の導電層および前記第2の導電層は、同じまたは異なる導電材料からなる
請求項1に記載の回路板。 - 前記第2の導電層は、前記第1の導電層の上に設けられる
請求項1に記載の回路板。 - 前記第1の導電層の断面の輪郭は凹形状であり、前記第2の導電層の断面の輪郭は凸形状であり、前記界面が窪んだ面状に存在する
請求項3に記載の回路板。 - 前記第1の導電層および前記第2の導電層は、前記金属層の表面に設けられ、且つ前記第1の導電層は、前記貫通孔の密度が高い領域に設けられ、前記第2の導電層は、前記貫通孔の密度が低い領域に設けられている
請求項1に記載の回路板。 - 前記界面は、前記基板表面に対して垂直に存在する
請求項5に記載の回路板。 - 基板の表面に金属層を形成するステップと、
前記金属層および前記基板を貫通する貫通孔の密度が高い領域と、前記貫通孔の密度が低い領域とを含むように、複数の前記貫通孔を形成するステップと、
第1の電気めっき処理を行って、前記金属層の表面と前記貫通孔の内表面とをカバーし、前記貫通孔の密度が高い領域に対応する位置に窪み領域を有する第1の導電層を形成するステップと、
前記第1の導電層の上に遮蔽層を形成するステップと、
前記遮蔽層の表面に開口を形成し、前記開口から前記第1の導電層の前記窪み領域を露出するステップと、
第2の電気めっき処理を行って、前記開口から露出した前記第1の導電層の上に第2の導電層を形成し、前記第1の導電層をカバーするステップと、
前記遮蔽層を除去するステップと、
前記貫通孔の中に充填物を充填するステップと、
前記第1の導電層の一部と前記第2の導電層の一部とを除去する平坦化処理を行うステップと
を含む回路板の製造方法。 - 前記第1の電気めっき処理を行う前に、前記金属層の表面および前記貫通孔の内表面にシード層をコンフォーマルに形成するステップを更に含む
請求項7に記載の回路板の製造方法。 - 前記遮蔽層は、フォトレジスト層である
請求項7に記載の回路板の製造方法。 - 前記基板表面を基準とした前記窪み領域の高さは、両側から中央に向けて徐々に減少する
請求項7に記載の回路板の製造方法。 - 基板の表面に金属層を形成するステップと、
前記金属層および前記基板を貫通する貫通孔の密度が高い領域と、前記貫通孔の密度が低い領域とを含むように、複数の前記貫通孔を形成するステップと、
前記金属層の上に遮蔽層を形成するステップと、
前記遮蔽層の表面に開口を形成し、前記開口から、前記貫通孔の密度が高い領域の前記金属層を露出させるステップと、
第1の電気めっき処理を行って、前記開口から露出した前記金属層の表面に第1の導電層を形成するステップと、
前記遮蔽層を除去するステップと、
第2の電気めっき処理を行って、前記第1の導電層および前記金属層をカバーし、前記貫通孔内にも設けられる第2の導電層を形成するステップと、
前記貫通孔の中に充填物を充填するステップと、
前記第1の導電層の一部と前記第2の導電層の一部とを除去する平坦化処理を行うステップと
を含む回路板の製造方法。 - 前記金属層の上に前記遮蔽層を形成する前に、前記金属層の表面および前記貫通孔の内表面にシード層をコンフォーマルに形成するステップを更に含む
請求項11に記載の回路板の製造方法。 - 前記遮蔽層は、フォトレジスト層である
請求項11に記載の回路板の製造方法。 - 前記第1の導電層および前記第2の導電層の隣接部に、前記基板表面に対して垂直な界面が形成される
請求項11に記載の回路板の製造方法。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110769617B (zh) * | 2018-07-27 | 2020-12-29 | 北大方正集团有限公司 | Pcb板中的孔径补偿方法及装置 |
CN114980568A (zh) * | 2021-02-20 | 2022-08-30 | 嘉联益电子(昆山)有限公司 | 具导通孔的电路板线路结构的制作方法及所制成的具导通孔的电路板线路结构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05145221A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 印刷配線板の製造方法 |
JP2007180076A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4291729B2 (ja) * | 2004-04-23 | 2009-07-08 | 新光電気工業株式会社 | 基板及び半導体装置 |
TWI334750B (en) * | 2007-06-06 | 2010-12-11 | Unimicron Technology Corp | Circuit board and process thereof |
TWI455954B (zh) * | 2008-05-07 | 2014-10-11 | Taiyo Holdings Co Ltd | 填孔用熱硬化性樹脂組成物及該組成物與抗焊層形成用光硬化性熱硬化性樹脂組成物之組合單元、以及印刷電路板 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05145221A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 印刷配線板の製造方法 |
JP2007180076A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7502170B2 (ja) | 2020-12-14 | 2024-06-18 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
JP7502173B2 (ja) | 2020-12-21 | 2024-06-18 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
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