JP2018077154A - 基準器、分光干渉式計測装置、塗布装置、分光干渉式計測装置の計測精度保証方法、及び、塗布膜の製造方法。 - Google Patents

Abstract

【課題】 計測対象物によらず、精度よく、しかも簡単に作製可能な基準器等を提供する。
【解決手段】 溝部を有する非透光性の第１のブロック体と、前記第１のブロック体に積層される透光性の第２のブロック体とを備え、分光干渉式計測装置によって前記第２のブロック体を介して前記第１のブロック体の前記溝部に光が照射され、前記第２のブロック体の前記第１のブロック体側の面からの反射光と、前記溝部の底面からの反射光とによって形成される干渉光が受光されることによって、前記溝部の深さが基準の厚みとして計測されるように構成された、基準器。
【選択図】 図４

Description

本発明は、基準器、分光干渉式計測装置、塗布装置、分光干渉式計測装置の計測精度保証方法、及び、塗布膜の製造方法に関する。

従来、シートに塗布液が塗布されることによって塗布膜が製造されている。例えば、シートとしての基材上に粘着剤等の塗布液を塗布することによって、塗布膜が製造されている。
この種の塗布膜の製造方法としては、シート上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布部と、該塗布膜の厚みを計測する膜厚計測部としての分光干渉式計測装置とを備えた塗布装置を用い、塗布膜の厚みを計測しつつ、シート上に塗布液を塗布して塗布膜を製造する方法が用いられている。

しかし、かかる塗布膜の製造方法においては、分光干渉式計測装置の計測精度が所望の精度から外れると、十分に膜厚を管理することが困難となり、その結果、形成される塗布膜の厚みにバラツキが生じることにつながる。

一方、光学式の計測装置の計測精度を高める方法が提案されている。
例えば、基準反射板を用い、この反射板に光を照射し、反射した光の光量を計測し、この計測結果に基づいて、計測装置を補正する方法が提案されている（特許文献１参照）。

特開２００２−３９９５５号公報

しかし、上記特許文献１に記載された基準反射板を用い、受光する光の量を補正しても、厚みを計測する分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲内の精度を有することを、十分に保証し得るとはいい難い。また、上記基準反射板を用いる場合には、種々の計測対象物に対応した基準反射板を精度良く作製することは難しい。

上記事情に鑑み、本発明は、計測対象物によらず、精度よく、しかも簡単に作製可能な基準器、及び、これを用いた分光干渉式計測装置、塗布装置、分光干渉式計測装置の計測精度保証方法、及び、塗布膜の製造方法を提供することを課題とする。

本発明者らが上記課題について鋭意研究したところ、上記特許文献１の技術では、光量を基準としているのであって、厚み自体を基準としていないことから、分光干渉式計測装置の計測値が精度良く所定範囲内に収まるのを保証することが難しいことを見出した。
一方、分光干渉式計測装置の計測値が精度良く所定範囲内に収まることを保証するためには、リファレンスとして計測の対象物と同程度の厚みが基準とされることが有効である。
ここで、例えば、シート体の厚みが基準値として採用されることも考えられる。
しかし、このようなシート体は、計測対象物によってはリファレンスとなり得る精度で作製することが難しい。
そこで、本発明者らがさらに鋭意研究したところ、基準器として、溝部が形成された非透光性の第１のブロック体と、該溝部を覆うように第１のブロック体に積層された透光性の第２のブロック体とを備えたものを用い、分光干渉式計測装置によって第２のブロック体を介して溝部に光を照射し、第２のブロック体の第１のブロック体側の面からの反射光と、溝部の底面からの反射光とによって形成される干渉光を受光することによって溝部の深さを計測し、この溝部の深さを基準の厚みとして採用することによって、分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証し得ることを見出して、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明に係る基準器は、
対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲内の精度を有することを保証するために用いられる基準器であって、
非透光性の第１のブロック体と、
前記第１のブロック体に積層される透過性の第２のブロック体とを備えており、
前記第１のブロック体は、前記第２のブロック体側の面に溝部を有し、
前記分光干渉式計測装置によって前記第２のブロック体を介して前記第１のブロック体の前記溝部に光が照射され、前記第２のブロック体の前記第１のブロック体側の面からの反射光と、前記溝部の底面からの反射光とによって形成される干渉光が受光されることによって、前記溝部の深さが基準の厚みとして計測されるように構成されている。

かかる構成によれば、分光干渉式計測装置によって、第２のブロック体を介して第１のブロック体の溝部に光が照射されると、第２のブロック体の第１のブロック体側の面による反射光と、溝部の底面による反射光とによって干渉光が形成され、この干渉光が受光されることによって、溝部の深さ（すなわち、溝部内の空気層の厚み）が計測され、この溝部の深さが基準の厚みとして採用され得る。
そして、計測された溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まることを確認することによって、分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲内の精度であることを保証し得る。
また、第１のブロック体に溝部を形成することで基準器を形成することができるので、所望の計測対象物の厚みに応じた基準器を簡単に作製することができる。

上記構成の基準器においては、
前記第１のブロック体は、金属材料から形成されていることが好ましい。

かかる構成によれば、第１のブロック体が金属材料から形成されていることによって、溶剤雰囲気、環境温度、環境湿度等の環境条件による変形が抑制され得る。
従って、上記基準器が、より精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

上記構成の基準器においては、
前記金属材料が、ステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含んでいてもよい。

ここで、第１のブロック体の形成材料が十分に光を反射しない場合には、該第１のブロックの溝部の底面が十分に光を反射しないことになり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体がステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含む金属材料によって形成されていることによって、溝部の底面が光をより反射し易くなるため、より精度良く上記干渉光が計測され得ることになる。

上記構成の基準器においては、
前記第２のブロック体の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることが好ましい。

ここで、第２のブロック体が十分に光を透過しない場合には、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第２のブロック体の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることによって、第２のブロック体がより十分に光を透過させ得るため、より精度良く上記干渉光が計測されることになる。
従って、上記基準器が、より精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

上記構成の基準器においては、
前記第１のブロック体の前記第２のブロック体側の面、及び、前記第２のブロック体の前記第１のブロック体側の面の平面度及び平行度が、いずれも１０μｍ以下であることが好ましい。

ここで、第１のブロック体の第２のブロック体側の面、及び、第２のブロック体の第１のブロック体側の面の各平面度が大きくなる程、または、これらの平行度が大きくなる程、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体の第２のブロック体側の面、及び、第２のブロック体の第１のブロック体側の面の平面度及び平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
従って、上記基準器が、より精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内で保証するのに使用され得るものとなる。

上記構成の基準器においては、
前記第２のブロック体を前記第１のブロック体に押圧する押圧部を、さらに備えることが好ましい。

かかる構成によれば、基準器が上記押圧部を備えることによって、第２のブロック体が第１のブロック体に固定されるため、第２のブロック体が第１のブロック体に固定されない場合よりも、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
従って、上記基準器が、より精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証するために使用され得るものとなる。
また、かかる押圧部を備える基準器では、第１のブロック体の第２のブロック体側の面、及び、第２のブロック体の第１のブロック体側の面の平面度及び平行度がいずれも１０μｍよりも大きい（粗い）と、押圧部で押圧されたときに第２ブロック体が破損し易くなり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、上記押圧部を備える基準器において、第１のブロック体の第２のブロック体側の面、及び、第２のブロック体の第１のブロック体側の面の平面度及び平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、このような破損による計測精度の低下を抑制し得る。

上記構成の基準器は、
前記溝部の深さが、１〜３００μｍであってもよい。

かかる構成によれば、膜厚１〜３００μｍといった薄い膜厚を有する対象物を計測する分光干渉式計測装置に好適なものとなる。
ここで、前述の通り、分光干渉式計測装置の計測値を精度良く所定範囲内の精度で保証するためには、リファレンスとして計測の対象物と同程度の厚みが基準とされることが有効である。
このとき、前述したように、シート体の厚みが基準の厚みとして採用される場合には、対象物の膜厚が１〜３００μｍであると、それに応じた比較的薄いシート体が作製される必要がある。
しかし、ガラス板や樹脂板といったシート体が精度良く比較的薄く作製されることは困難であり、また、このように薄く作製されることによって、シート体が破損され易くなる。
これに対し、ガラス板や樹脂板といったシート体の厚みが所望の厚みに形成される場合よりも、上記溝部の深さが所望の深さに形成される方が、簡単に精度良く形成され易い。特に、基準器が金属材料によって形成される場合には、シート体の厚みが所望の厚みに形成される場合よりも、該金属材料が加工されて上記溝部の深さが所望の深さに形成される方が、より簡単に精度良く形成されやすい。
よって、膜厚１〜３００μｍといった薄い膜厚を有する対象物を計測する際の基準器として、一層、精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証することが可能となる。

本発明に係る分光干渉式計測装置は、
対象物に光を照射し、該対象物からの干渉光を受光して該対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置であって、
前記基準器と、
前記対象物に光を照射し、該対象物の厚みを計測するように、且つ、前記基準器の溝部に光を照射し、該溝部の深さを計測するように構成された分光干渉式計測部と、
前記分光干渉式計測部によって計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるか否かを判定する判定部とを備えている。

かかる構成によれば、分光干渉式計測部によって基準器の溝部の深さが基準の厚みとして計測され、計測された溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるか否かが判定される。これによって、分光干渉式計測部による計測値が所定範囲内に収まるか否かを確認することができ、よって、計測値が所定範囲内の精度であることが保証される。そして、保証された精度を有する分光干渉式計測部によって対象物の厚みが計測され得る。
従って、上記分光干渉式計測装置は、精度良く対象物の厚みを計測することが可能となる。

本発明に係る塗布装置は、
相対的に移動するシート上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布部と、
前記塗布部によって前記シート上に形成された前記塗布膜の厚みを計測する膜厚計測部と、
前記膜厚計測部による前記塗布膜の厚みの計測、及び、前記塗布部による前記塗布液の塗布を制御する制御部とを備え、
前記膜厚計測部は、前記分光干渉式計測装置であり、
前記制御部は、前記膜厚計測部によって計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるとき、前記膜厚計測部に前記塗布膜の厚みを計測させつつ前記塗布部に前記塗布液を塗布させるように構成されている。

かかる構成によれば、上記基準器を用いて膜厚計測部の計測値が所定範囲内の精度で保証された状態で、膜厚計測部によって塗布膜の厚みが計測されつつ、シート上に塗布液が塗布されて塗布膜が形成され得る。
従って、十分に厚みの管理を行いつつ、塗布膜を形成することが可能となり、これにより、厚みのバラツキが抑制された塗布膜が製造され得る。

本発明に係る分光干渉式計測装置の計測精度保証方法は、
対象物に光を照射し、該対象物からの干渉光を受光して該対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲の精度を有することを保証する分光干渉式計測装置の計測精度保証方法であって、
前記基準器を用い、前記分光干渉式計測装置によって前記基準器の溝部の深さを計測し、計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるか否かを判定することによって、前記分光干渉式計測装置の計測値が前記所定範囲内の精度を有することを保証する方法である。

かかる構成によれば、上記基準器を用いて分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲の精度を有することを保証することが可能となる。

本発明に係る塗布膜の製造方法は、
相対的に移動するシート上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布膜の製造方法であって、
前記分光干渉式計測装置を用いて前記基準器の溝部の深さを計測し、計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるとき、前記分光干渉式計測装置を用いて前記塗布膜の厚みを計測しながら、前記シート上に前記塗布液を塗布する方法である。

かかる構成によれば、分光干渉式計測装置を用いて精度良く塗布膜の厚みを計測しながら、該塗布膜を形成し得るため、厚みのバラツキが抑制された塗布膜を製造することが、可能となる。

以上の通り、本発明によれば、計測対象物によらず、精度よく、しかも簡単に作製可能な基準器、及び、これを用いた分光干渉式計測装置、塗布装置、計測精度保証方法、及び、塗布膜の製造方法が提供される。

本発明の一実施形態に係る基準器を有する分光干渉式計測装置を備えた塗布装置を示す概略側面図 図１のＩＩ−ＩＩ矢視断面図 図２の分光干渉式計測装置の分光干渉式計測部の測定子部が移動する状態を示す概略側面図 本実施形態の基準器を示す概略側面図 図４の基準器の溝部周辺を示す部分拡大側面図 本実施形態の基準器を示す概略上面図 図４の基準器が組み立てられる状態を示す概略側面図 本実施形態の塗布装置の制御手順を示すフローチャート

以下、本発明の実施形態に係る基準器、及び、これを用いた分光干渉式計測装置、塗布装置、分光干渉式計測装置の計測精度保証方法、及び、塗布膜の製造方法について、図面を参照しつつ説明する。

まず、本実施形態の基準器を有する分光干渉式計測装置を膜厚計測部として備えた塗布装置について、説明する。

図１及び図２に示すように、本実施形態の塗布装置１は、塗布液３を、長手方向に沿って下流側（実線矢印参照）に相対的に移動する帯状のシート１１に順次塗布して塗布膜４０を形成する塗布部１３と、該塗布によってシート１１上に形成された塗布膜４０の厚みを計測する膜厚計測部２１と、膜厚計測部２１による塗布膜４０の厚みの計測、及び、塗布部１３による塗布液３の塗布を制御する制御部２８とを備えている。また、塗布装置１は、シート１１上に塗布された塗布液３を固化させる固化部１５を備えている。
塗布装置１は、塗布液３を収容する収容部５と、収容部５から塗布部１３に塗布液３を送るための配管９と、該配管９に配されて塗布液３を収容部５から塗布部１３に送液する送液機構７とを、さらに備える。

前記塗布液３は、シート１１に塗布されて、該シート１１上で固化されるものである。このような塗布液３としては、例えば、熱硬化性材料、紫外線硬化性材料、電子線硬化性材料といった固化成分を含有するポリマー溶液が挙げられる。かかる塗布液３は、固化部１５によって固化され得る。

収容部５は、塗布液３を収容するものであり、収容部５としては、例えば、金属製の容器が挙げられる。
送液機構７は、収容部５から塗布部１３に塗布液３を送液する送液部７ａと、該送液部７ａを駆動させる送液用駆動部７ｂとを有している。送液部７ａとしては、例えば、ポンプ等が挙げられる。送液用駆動部７ｂとしては、例えば、モータ等が挙げられる。送液用駆動部７ｂは、制御部２８と電気的に接続され、制御部２８によって駆動、及び、駆動停止が制御されるように構成されている。
配管９は、塗布液３が移動する経路を構成するものである。配管９としては、例えば、金属製のチューブ等が挙げられる。

前記シート１１としては、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。図１では、シート１１が可撓性を有する長尺状のものである態様を示すが、その他、単板状である態様や、非可撓性を有する態様を採用することもできる。

前記塗布部１３は、塗布液３を、例えばローラ等の支持部１９で支持されつつ該塗布部１３に対して相対的に下流側へと移動する帯状のシート１１に、順次塗布するものである。かかる塗布部１３としては、例えばダイコーター等が挙げられる。

前記固化部１５は、シート１１上に塗布された塗布液３を固化するものである。固化部１５としては、例えば、塗布液３の種類に応じて、乾燥装置、加熱装置、紫外線照射装置、電子線照射装置等が挙げられる。なお、塗布液３の種類によっては、塗布装置１が固化部１５を備えない態様も採用され得る。

前記支持部１９は、長手方向に移動するシート１１を、塗布部１３とは反対の側から支持するものである。かかる支持部１９としては、ローラ等が挙げられる。

前記膜厚計測部２１としては、分光干渉式計測装置２１が採用される。
図２及び図３に示すように、該分光干渉式計測装置２１は、対象物としてのシート１１に形成された塗布膜４０に光を照射し、該塗布膜４０からの干渉光を受光して該塗布膜４０の厚みを計測する分光干渉式計測装置２１であって、
塗布膜４０の対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置２１の計測値が所定範囲内の精度を有することを保証するために用いられる、溝部３３を有する基準器３０と、
塗布膜４０に光を照射して該塗布膜４０の厚みを計測するように、且つ、基準器３０の溝部３３に光を照射して該溝部３３の深さを計測するように構成された分光干渉式計測部２３と、
分光干渉式計測部２３によって計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否かを判定する判定部２７と、
判定部２７の判定結果を表示する表示部２９とを備えている。
なお、図２及び図３において、破線矢印は、分光干渉式計測部２３から照射される光Ｌを示す。

図３〜図５に示すように、基準器３０は、分光干渉式計測装置２１としての膜厚計測部２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証するために用いられる基準器３０であって、
非透光性の第１のブロック体３１と、
前記第１のブロック体３１に積層される透光性の第２のブロック体３５とを備えており、
前記第１のブロック体３１は、前記第２のブロック体３５の側の面３１ａに溝部３３を有し、
前記分光干渉式計測装置２１によって前記第２のブロック体３５を介して前記第１のブロック体３１の前記溝部３３に光が照射され、前記第２のブロック体３５の前記第１のブロック体３１の側の面３５ａからの反射光と、前記溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって形成される干渉光が受光されることによって、前記溝部３３の深さが基準の厚みとして計測されるように構成されている。
また、基準器３０は、前記第２のブロック体３５を前記第１のブロック体３１に押圧する押圧部３７を、さらに備える。

第１のブロック体３１は、非透光性を有していればよく、その形成材料特に限定されるものではない。
例えば、第１のブロック体３１は、金属材料によって形成されていることが好ましい。
第１のブロック体３１が金属材料から形成されていることによって、溶剤雰囲気、環境温度、環境湿度等の環境条件による変形が抑制され得る。
従って、上記基準器が、より精度良く分光干渉式計測装置の計測値を所定範囲内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

第１のブロック体３１を形成する金属材料としては、ステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上が挙げられる。
ここで、第１のブロック体３１の形成材料が十分に光を反射しない場合には、該第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａが十分に光を反射しないことになり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体３１がステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含む金属材料によって形成されていることによって、溝部３３の底面３３ａで光をより反射し易くなるため、より精度良く上記干渉光が計測され得ることになる。
従って、上記基準器３０が、より精度良く構成に使用され得るものとなる。
これら金属材料のうち、強度、及び、加工し易さという点から、上記金属材料がステンレスであることが好ましい。

第１のブロック体３１の大きさは、特に限定されるものではなく、溝部３３の大きさ（幅、長さ及び深さ）に応じて適宜設定され得る。
第１のブロック体３１の形状も特に限定されるものではない。例えば、図６に示す態様では、矩形板状に形成されている。

溝部３３は、その底面３３ａの中央部が第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａと平行になるように形成されている。これにより、溝部３３の底面３３ａで反射された反射光が、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａで反射された反射光と干渉し、これによって、精度良く溝部３３の深さが計測され得る（計測値Ｄ）。

溝部３３の大きさ（幅及び長さ）や形状は、特に限定されるものではない。
溝部３３の深さも、特に限定されるものではない。
例えば、溝部３３の深さは、１〜３００μｍであってもよい。
溝部３３の深さが１〜３００μｍであることによって、シート１１上の塗布膜４０が１〜３００μｍ程度の場合に、基準器３０は膜厚計測部２１にとって好適なものとなる。

第２のブロック体３５は、透光性を有し、第１のブロック体３１の溝部３３を覆いつつ、該第１のブロック体３１に積層されるものである。
第２のブロック体３５は、透光性を有していればよく、その形成材料は特に限定されるものではない。
例えば、第２のブロック体３５の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることが好ましい。
かかる透過率は、常温で分光透過率測定によって測定される値である。

ここで、第２のブロック体３５が十分に光を透過しない場合には、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第２のブロック体３５の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることによって、第２のブロック体３５が十分に光を透過させ得るため、より精度良く上記干渉光が計測されることになる。
従って、上記基準器３０が、より精度良く膜厚計測部２１の計測値を所定範囲Ｒ内で保証するために使用され得るものとなる。

このような第２のブロック体３５の形成材料としては、例えば、ガラス材料、樹脂材料等が挙げられる。

第２のブロック体３５の大きさは、特に限定されるものではなく、第１のブロック体３１の大きさに応じて適宜設定され得る。
第２のブロック体３５の形状も特に限定されるものではない。例えば、図６に示す態様では、第２のブロック体３５は、円盤状に形成されている。

第２のブロック体３５は、第１のブロック体３１に直接積層されても、他の部材を介して積層されてもよい。
なお、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に他の部材を介して積層される場合において、該他の部材の溝部３３に対応する位置に貫通孔が形成されているような場合には、溝部３３の深さは、該溝部３３自体の深さと、該他の部材の厚みとの和に相当する。

本実施形態の基準器３０においては、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５の側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１の側の面３５ａの平面度及び平行度が、いずれも１０μｍ以下であることが好ましい。なお、かかる平面度は、面３１ａ及び面３５ａの各平面度である。面３１ａの平行度とは、面３１ａと第１ブロック体３１における面３１ａとは反対の側の面３１ｂとの平行度であり、面３５ａの平行度とは、面３５ａと第２ブロック体３５における面３５ａとは反対の側の面３５ｂとの平行度である。
かかる平行度及び平面度は、常温で三次元測定機によって測定される値である。

第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａの平面度及び平行度は、いずれも３μｍ以下であることがより好ましい。このような面３１ａを有する第１のブロック体３１は、例えば、その形成材料によって形成されたブロック体の表面及び裏面を研磨することによって得られる。

第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度及び平行度は、いずれも３μｍ以下であることがより好ましい。このような面３５ａを有する第２のブロック体３５としては、例えば、ミツトヨ社製の商品名オプチカルパラレル（平面度：０．１μｍ、平行度：０．２μｍ）が挙げられる。

また、本実施形態の基準器３０においては、上記に加えて、さらに、第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの平面度及び平行度が、いずれも１０μｍ以下であることが好ましい。なお、底面３３ａの平行度とは、底面３３ａと第１ブロック体３１における面３１ａとは反対の側の面３１ｂとの平行度である。
かかる平行度及び平面度は、上記と同様にして測定される値である。

第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの平面度及び平行度は、いずれも３μｍ以下であることがより好ましい。このような底面３３ａを有する溝部３３は、例えば、当該底面を研磨することによって得られる。

ここで、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５の側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１の側の面３５ａの各平面度が大きい場合、または、これらの平行度が大きい場合には、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５の側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１の側の面３５ａの平面度及び平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
また、第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの平面度が大きい場合、または、平行度が大きい場合には、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、底面３３ａの平面度及び平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。

前記押圧部３７は、第２のブロック体３５を第１のブロック体３１に向けて押圧するものである。
基準器３０が上記押圧部３７を備えることによって、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に固定されるため、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に固定されない場合よりも、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
従って、上記基準器３０が、より精度良く膜厚計測部２１の計測値を所定範囲内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

また、かかる押圧部３７を備える基準器３０では、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度と平行度がいずれも１０μｍよりも大きい（粗い）と、押圧部３７で押圧されたときに第２ブロック体３５が破損する場合があり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。

しかし、上記押圧部３７を備える基準器３０において、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度と平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、このような破損による計測精度の低下を抑制し得る。

かかる押圧部３７としては、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１とは反対の側の面（外面）３５ｂの周縁部に引っ掛けられ、第２のブロック体３５を第１のブロック体３１に押圧しつつ該第１のブロック体３１に固定される引っ掛け部３７ａと、該引っ掛け部３７ａを第１のブロック体３１に締結して固定する固定部３７ｂと、分光干渉式計測装置２１から照射される光を第２のブロック体３５及び第１のブロック体３１に通過させる開口部３７ｃとを有している。
また、固定部３７ｂとして、ビスが採用されている。

具体的には、固定部３７ｂが引っ掛け部３７ａの貫通孔３７ａａを貫通し、第１のブロック体３１の被固定部（ここでは、ビス孔）３１ｃに締結されることによって、引っ掛け部３７ａが第２のブロック体３５を第１のブロック体３１に押圧しつつ、第１のブロック体３１に固定されるようになっている。
また、押圧部３７は、パッキン等の介在部材３９を介して第２のブロック体３５に接触するように構成されている。

すなわち、図４に示すように、第１のブロック体３１に第２のブロック体３５が積層され、第２のブロック体３５に介在部材３９を介して押圧部３７が接触されつつ、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１と反対の側の面３５ｂの周縁部に、押圧部３７の引っ掛け部３７ａが引っ掛けられ、この状態で、引っ掛け部３７ａと第１のブロック体３１とが固定部３７ｂによって締結されて固定されることによって、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に押圧されつつ固定されるようになっている。
介在部材３９の形状は、特に限定されないが、例えば、第２のブロック体３５の形状及び開口部３７ｃの形状に応じて適宜設定され得る。図６に示す態様では、介在部材３９は、環状に形成されている。

本実施形態では、基準器３０は、シート１１の幅方向において、シート１１の外側にこれと離間して配されている。

分光干渉式計測部２３は、塗布膜４０に光を照射して塗布膜４０の厚みを計測するように、且つ、基準器３０の溝部３３に光を照射して溝部３３の深さを計測するように構成されている。
すなわち、分光干渉式計測部２３は、塗布膜４０が形成されたシート１１に光を照射し、塗布膜４０の外面からの反射光とシート１１の塗布膜４０側の面からの反射光とによって形成される干渉光を受光して該塗布膜４０の厚みを計測するように構成されている。加えて、分光干渉式計測部２３は、基準器３０の溝部３３に光を照射し、基準器３０の第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａからの反射光と、溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって形成される干渉光を受光して該溝部３３の深さを計測するように構成されている（計測値Ｄ）。

図２及び図３に示すように、分光干渉式計測部２３は、光を照射し、受光するように構成された測定子部２３ａと、測定子部２３ａから照射する光を発生させる光源部２３ｂと、測定子部２３ａで受光した光を分光し、干渉光の波形として取り込む分光部２３ｃと、測定子部２３ａと光源部２３ｂ及び分光部２３ｃとを光学的に接続する接続ケーブル２３ｄと、分光部２３ｃと電気的に接続されており、分光部２３ｃで取得した干渉光の波形から溝部３３の深さを算出する演算部２３ｅと、測定子部２３ａを移動させる移動機構２５とを有している。

測定子部２３ａは、シート１１の幅方向に沿って、塗布膜４０の厚みを計測可能な第１の位置Ａと、基準器３０の溝部３３の深さを計測可能な第２の位置Ｂとに、移動機構２５によって移動可能に構成されている。
図３の態様では、第１の位置Ａは、塗布膜４０の幅方向一端部及び他端部の厚みを計測可能な位置Ａ１及び位置Ａ２を含む。第２の位置Ｂは、シート１１の幅方向外側に該シート１１から離間した位置であって、測定子部２３ａが、基準器３０の第２のブロック体３５を介して第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの中央部に光を照射し得る位置とされ得る。
測定子部２３ａ、光源部２３ｂ、分光部２３ｃ、接続ケーブル２３ｄは、特に限定されるものではなく、例えば、各市販品が採用され得る。
移動機構２５は、例えば、測定子部２３ａが固定され、シート１１の幅方向に移動可能な可動部２５ａと、該可動部２５ａを駆動させるモータ等の移動用駆動部２５ｂとを有している。

演算部２３ｅは、分光部２３ｃで取り込まれた干渉光の波形から溝部３３の深さの計測値Ｄを算出するように構成されている。
演算部２３ｅとしては、パーソナルコンピュータ等が挙げられる。

判定部２７は、分光干渉式計測部２３によって計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内であるか否かを判定するように構成されている。
具体的には、判定部２７は、分光干渉式計測部２３の演算部２３ｅから送信された溝部３３の深さの計測値Ｄを受信して、該計測値Ｄが所定範囲Ｒ内であるか否かを判定するようになっている。

判定部２７には、厚みの基準値Ｓと、この基準値Ｓに対して許容される誤差ΔＳを含む所定範囲（Ｓ±ΔＳの範囲、すなわち、（Ｓ−ΔＳ）以上（Ｓ＋ΔＳ）以下の範囲）Ｒが格納されている。
基準値Ｓは、キャリブレーションされた、分光干渉式計測部２３よりも精度の高い別途の計測装置によって、溝部３３の深さＤが計測されることによって、予め得られる。
判定部２７は、分光干渉式計測部２３で計測された溝部３３の深さの計測値Ｄを受信すると、Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否か、すなわち、（Ｓ−ΔＳ）≦Ｄ≦（Ｓ＋ΔＳ）の範囲内に収まるか否かを判定するように構成されている。
許容される誤差ΔＳは、例えば、基準値Ｓの１〜１０％が好ましく、３〜７％がより好ましい。
また、例えば、基準値Ｓが１〜３００μｍ（すなわち、溝部３３の深さが１〜３００μｍ）である場合には、許容される誤差ΔＳは、０．５〜１５μｍ程度に設定され得る。

このような判定部２７としては、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）等が挙げられる。本実施形態では、判定部２７は、制御部２８内に格納されている。すなわち、判定部２７は、制御部２８の機能の１つとして、溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内であるか否かの判定が実行されるように構成されている。

制御部２８は、膜厚計測部２１の判定部２７から判定結果を受信し、判定部２７で溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まると判定されたとき、移動機構２５に分光干渉式計測部２３の測定子部２３ａを第１の位置Ａに移動させ、分光干渉式計測部２３に塗布膜４０の厚みを計測させると共に、送液機構７に塗布液３を収容部５から塗布部１３に送液させ、塗布部１３に塗布液３をシート１１上に塗布させる（塗布膜４０を形成させる）ように構成されている。
一方、制御部２８は、判定部２７で溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まらないと判定されたとき、膜厚計測部２１に塗布膜４０の厚みを計測させず、塗布部１３に塗布液３をシート１１上に塗布させない（塗布膜４０を形成させない）ように構成されている。
制御部２８は、塗布膜４０の数量が所定数量に達したか否か、すなわち塗布を終了するか否かを判定するように構成されている。
なお、塗布装置１においては、判定部２７の判定結果に基づいて制御部２８が塗布部１３の塗布及び塗布の停止を制御する機能を有していない態様が採用されてもよい。この態様では、塗布装置１が使用される際、作業員によって塗布部１３の塗布及び塗布の停止が制御され得る。

具体的には、図８に示すように、塗布装置１の動作が開始されると、制御部２８は、分光干渉式計測部２３の移動機構２５に測定子部２３ａを第２の位置Ｂに移動させ（ステップＳ１）、分光干渉式計測部２３に第２の位置Ｂにて基準器３０の溝部３３の深さを計測させる（ステップＳ２）。
次いで、制御部２８は、判定部２７に、分光干渉式計測部２３で計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否か、すなわち、（Ｓ−ΔＳ）≦Ｄ≦（Ｓ＋ΔＳ）の範囲内に収まるか否かを判定させる（ステップＳ３）。
溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内であると判定された場合には、制御部２８は、分光干渉式計測部２３の移動機構２５に測定子部２３ａを第１の位置Ａに移動させて分光干渉式計測部２３に塗布膜４０の厚みを計測させつつ、送液機構７に収容部５から塗布部１３に塗布液を送液させ、塗布部１３に塗布液３をシート１１上に塗布させて塗布膜４０を形成させる（ステップＳ４）。
次いで、制御部２８は、塗布を終了させるか否かを判定し（ステップＳ５）、塗布を終了させないと判定した場合には、ステップＳ４に戻って、ステップＳ４を繰り返す。制御部２８は、ステップＳ５にて塗布を終了させると判定した場合には、分光干渉式計測部２３に塗布膜４０の厚みの計測を停止させ、送液機構７に収容部５から塗布部１３への塗布液３の送液を停止させ、塗布部１３に塗布液３の塗布を停止させて、塗布装置１の動作を終了させる。
一方、ステップＳ３にて、判定部２７によって、溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まらないと判定された場合には、制御部２８は、分光干渉式計測部２３に塗布膜４０の厚みを計測させず、塗布部１３に塗布液３を塗布させない（ステップＳ７）。この場合において、分光干渉式計測部２３による計測及び塗布部１３による塗布が行われている場合には、該計測及び塗布を停止させる。さらに、制御部２８は、表示部２９に「異常停止」を表示させ（ステップＳ８）、塗布装置１の動作を終了させる。なお、ステップＳ８において、表示部２９に「異常停止」を表示させる代わりに、または、これと共にアラーム等の警告音を発生させても良い。

このような制御部２８としては、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）等が挙げられる。
なお、本実施形態では、塗布装置１が、膜厚計測部２１及び塗布部１３を制御する制御部２８を備える態様を示すが、その他、膜厚計測部２１が別途の制御部をさらに備えていてもよい。

表示部２９は、判定部２７での判定結果を表示するものである。
具体的には、表示部２９は、判定部２７と電気的に接続されており、判定部２７によって溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まらない場合に、分光干渉式計測部２３による計測及び塗布部１３に塗布が停止されることを示すべく「異常停止」を表示するように構成されている。なお、前述の通り、表示部２９が、「異常停止」を表示する代わりに、または、これと共にアラーム等の警告音を発生させるように構成されていてもよい。
また、表示部２９は、制御部２８とも電気的に接続されており、制御部２８による制御状態等を表示するように構成されている。
このような表示部２９としては、例えば、音声出力機能を有する液晶ディスプレイといった電光表示装置等が挙げられる。

次いで、本実施形態の分光干渉式計測装置２１の計測値が所定範囲内の精度を有することを保証する分光干渉式計測装置２１の計測精度保証方法について、説明する。

本実施形態の計測精度保証方法は、対象物としての塗布膜４０が形成されたシート１１に光を照射し、該塗布膜４０を透過したシート１１からの干渉光を受光して該塗布膜４０の厚みを計測する膜厚計測部（分光干渉式計測装置）２１の計測精度保証方法であって、
基準器３０を用い、膜厚計測部２１によって基準器３０の溝部３３の深さを計測し、計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否かを判定することによって、膜厚計測部２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証する方法である。

具体的には、第２の位置Ｂにて、分光干渉式計測部２３によって、第２のブロック体３５を介して第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの中央部に光が照射され、第２のブロック体３５の底面３５ａからの反射光と溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって形成された干渉光が受光される。これにより、分光干渉式計測部２３によって、溝部３３の深さが計測され、この深さの計測値Ｄが基準の厚みとして採用される。
分光干渉式計測部２３によって計測された溝部３３の深さの計測値Ｄは、判定部２７によって、所定範囲Ｒ内であるか否かが判定される。

次いで、本実施形態の塗布膜４０の製造方法について、説明する。

本実施形態の塗布膜４０の製造方法は、
相対的に移動するシート１１上に塗布液３を塗布して塗布膜４０を形成する塗布膜４０の製造方法であって、
膜厚計測部（分光干渉式計測装置）２１を用いて基準器３０の溝部３３の深さを計測し、計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるとき、塗布膜４０の厚みを計測しながら、シート１１上に塗布液３を塗布する方法である。

具体的には、第２の位置Ｂにて、分光干渉式計測部２３によって、第２のブロック体３５を介して第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａの中央部に光が照射され、第２のブロック体３５の底面３５ａからの反射光と溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって形成された干渉光が受光される。これにより、分光干渉式計測部２３によって、溝部３３の深さが、基準の厚みとして計測される。
分光干渉式計測部２３によって計測された溝部３３の深さの計測値Ｄは、判定部２７によって、所定範囲Ｒ内であるか否かが判定される。

判定部２７によって溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まると判定されたとき、制御部２８によって、分光干渉式計測部２３による塗布膜４０の厚みの計測がなされながら、塗布部１３による塗布液３のシート１１上への塗布がなされて塗布膜４０が形成される。
一方、判定部２７によって溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内でないと判定されたときには、分光干渉式計測部２３による塗布膜４０の厚みの計測がなされず、塗布部１３による塗布液３の塗布がなされず、よって塗布膜４０が形成されない。この場合において、分光干渉式計測部２３による計測及び塗布部１３による塗布が行われている場合には、分光干渉式計測部２３による計測及び塗布部１３による塗布が停止される。

上記の通り、本実施形態の基準器３０は、
対象物（ここではシート１１に形成された塗布膜）４０の厚みを計測する分光干渉式計測装置（ここでは、膜厚計測部）２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証するために用いられる基準器３０であって、
非透光性の第１のブロック体３１と、
前記第１のブロック体３１に積層される透光性の第２のブロック体３５とを備えており、
前記第１のブロック体３１は、前記第２のブロック体３５側の面３１ａに溝部３３を有し、
前記分光干渉式計測装置２１によって第２のブロック体３５を介して前記第１のブロック体３１の前記溝部３３に光が照射され、前記第２のブロック体３５の前記第１のブロック体３１側の面３５ａからの反射光と、前記溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって形成される干渉光が受光されることによって、前記溝部３３の深さが基準の厚みとして計測されるように構成されている。

かかる構成によれば、分光干渉式計測装置２１によって、第２のブロック体３５を介して第１のブロック体３１の溝部３３に光が照射されると、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａからの反射光と、溝部３３の底面３３ａからの反射光とによって干渉光が形成され、この干渉光が受光されることによって、溝部３３の深さ（すなわち、溝部３３内の空気層の厚み）が計測され、この溝部３３の深さが基準の厚みとして採用され得る。
そして、計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まることを確認することによって、分光干渉式計測装置２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度であることを保証し得る。
また、第１のブロック体３１に溝部３３を形成することで基準器３０を形成することができるので、所望の計測対象物の厚みに応じた基準器３０を簡単に作製することができる。

本実施形態の基準器３０においては、
前記第１のブロック体３１は、金属材料によって形成されていることが好ましい。
かかる構成によれば、第１のブロック体３１が金属材料から形成されていることによって、溶剤雰囲気、環境温度、環境湿度等の環境条件による変形が抑制され得る。
従って、上記基準器３０が、より精度良く分光干渉式計測装置２１の計測値を所定範囲Ｒ内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

本実施形態の基準器３０においては、
前記金属材料が、ステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含んでいてもよい。
ここで、第１のブロック体３１の形成材料が十分に光を反射しない場合には、該第１のブロック体３１の溝部３３の底面３３ａが十分に光を反射しないことになり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体３１がステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含む金属材料によって形成されていることによって、溝部３３の底面３３ａが光をより反射し易くなるため、より精度良く上記干渉光が計測され得ることになる。

本実施形態の基準器３０においては、
前記第２のブロック体３５の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることが好ましい。

ここで、第２のブロック体３５が十分に光を透過しない場合には、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第２のブロック体３５の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上であることによって、第２のブロック体３５がより十分に光を透過させ得るため、より精度良く上記干渉光が計測されることになる。
従って、上記基準器３０が、より精度良く分光干渉式計測装置２１の計測値を所定範囲Ｒ内の精度で保証するために使用され得るものとなる。

本実施形態の基準器３０においては、
前記第１のブロック体３１の前記第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、前記第２のブロック体３５の前記第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度及び平行度が、いずれも１０μｍ以下であることが好ましい。

ここで、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの各平面度が大きくなる程、または、これらの平行度が大きくなる程、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度及び平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
従って、上記基準器３０が、より精度良く分光干渉式計測装置２１の計測値を所定範囲内で保証するのに使用され得るものとなる。

本実施形態の基準器３０においては、
前記第２のブロック体３５を前記第１のブロック体３１に押圧する押圧部３７を、さらに備えることが好ましい。

かかる構成によれば、基準器３０が上記押圧部３７を備えることによって、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に固定されるため、第２のブロック体３５が第１のブロック体３１に固定されない場合よりも、上記干渉光の計測精度の低下が抑制され得る。
従って、上記基準器３０が、より精度良く分光干渉式計測装置２１の計測値を所定範囲Ｒ内の精度で保証するために使用され得るものとなる。
また、かかる押圧部３７を備える基準器３０では、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度及び平行度がいずれも１０μｍよりも大きい（粗い）と、押圧部３７で押圧されたときに第２ブロック体３５が破損し易くなり、その結果、上記干渉光の計測精度が低下するおそれがある。
しかし、上記押圧部３７を備える基準器３０において、第１のブロック体３１の第２のブロック体３５側の面３１ａ、及び、第２のブロック体３５の第１のブロック体３１側の面３５ａの平面度と平行度がいずれも１０μｍ以下であることによって、このような破損による計測精度の低下を抑制し得る。

本実施形態の基準器３０においては、
前記溝部３３の深さが、１〜３００μｍであってもよい。

かかる構成によれば、膜厚１〜３００μｍといった薄い膜厚を有する対象物（ここでは、シート１１に形成された塗布膜４０）を計測する分光干渉式計測装置（ここでは膜厚計測部）２１に好適なものとなる。
ここで、前述の通り、分光干渉式計測装置２１の計測値を精度良く所定範囲Ｒ内の精度で保証するためには、リファレンスとして計測の対象物と同程度の厚みが基準とされることが有効である。
このとき、前述したように、シート体の厚みが基準値として採用される場合には、対象物の膜厚が１〜３００μｍであると、それに応じた比較的薄いシート体が作製される必要がある。
しかし、ガラス板や樹脂板といったシート体が精度良く比較的薄く作製されることは困難であり、また、このように薄く作製されることによって、シート体が破損され易くなる。
これに対し、ガラス板や樹脂板といったシート体の厚みを所望の厚みに形成される場合よりも、上記溝部３３の深さが所望の深さに形成される方が、簡単に精度良く形成され易い。特に、基準器３０が金属材料によって形成される態様が採用される場合には、シート体の厚みが所望の厚みに形成される場合よりも、該金属材料が加工されて上記溝部３３の深さが所望の深さに形成される方が、より簡単に精度良く形成されやすい。
よって、膜厚１〜３００μｍといった薄い膜厚を有する対象物４０を計測する際の基準器３０として、一層、精度良く分光干渉式計測装置２１の計測値を所定範囲Ｒ内の精度で保証することが可能となる。

本実施形態の分光干渉式計測装置２１は、
対象物（ここではシート１１に形成された塗布膜）４０に光を照射し、該対象物４０からの干渉光を受光して該対象物４０の厚みを計測する分光干渉式計測装置（ここでは膜厚計測部）２１であって、
前記基準器３０と、
前記対象物４０に光を照射し、該対象物４０の厚みを計測するように、且つ、前記基準器３０の溝部３３に光を照射し、該溝部３３の深さを計測するように構成された分光干渉式計測部２３と、
前記分光干渉式計測部２３によって計測された前記溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内の精度を有するか否かを判定する判定部２７とを備えている。

かかる構成によれば、分光干渉式計測部２３によって基準器３０の溝部３３の深さが基準の厚みとして計測され、計測された溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否かが判定される。これによって、分光干渉式計測部２３による計測値が所定範囲Ｒ内の精度であることが保証される。そして、保証された精度を有する分光干渉式計測部２３によって対象物４０の厚みが計測され得る。
従って、上記分光干渉式計測装置２１は、精度良く対象物４０の厚みを計測することが可能となる。

本実施形態の塗布装置１は、
相対的に移動するシート１１上に塗布液３を塗布して塗布膜４０を形成する塗布部１３と、
前記塗布部１３によってシート１１上に形成された前記塗布膜４０の厚みを計測する膜厚計測部２１と、
前記膜厚計測部２１による前記塗布膜４０の計測、及び、前記塗布部１３による前記塗布液３の塗布を制御する制御部２８とを備え、
前記膜厚計測部２１は、前記分光干渉式計測装置２１であり、
前記制御部２８は、前記膜厚計測部２１によって計測された前記溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるとき、前記膜厚計測部２１に塗布膜４０の厚みを計測させつつ前記塗布部１３に塗布液３を塗布させるように構成されている。

かかる構成によれば、上記基準器３０を用いて膜厚計測部２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度で保証された状態で、膜厚計測部２１によって塗布膜４０の厚みが計測されつつ、シート１１上に塗布液３が塗布されて塗布膜４０が形成され得る。
従って、十分に厚みの管理を行いつつ、塗布膜４０を形成することが可能となり、これにより、厚みのバラツキが抑制された塗布膜４０が製造され得る。

本実施形態の分光干渉式計測装置２１の計測精度保証方法は、
対象物（ここではシート１１に形成された塗布膜）４０に光を照射し、該対象物４０からの干渉光を受光して該対象物４０の厚みを計測する分光干渉式計測装置（ここでは膜厚計測部）２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証する分光干渉式計測装置２１の計測精度保証方法であって、
前記基準器３０を用い、前記分光干渉式計測装置２１によって前記基準器３０の溝部３３の深さを計測し、計測された前記溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるか否かを判定することによって、前記分光干渉式計測装置２１の計測値が前記所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証する方法である。

かかる構成によれば、上記基準器３０を用いて分光干渉式計測装置２１の計測値が所定範囲Ｒ内の精度を有することを保証することが可能となる。

本実施形態の塗布膜４０の製造方法は、
相対的に移動するシート１１上に塗布液３を塗布して塗布膜４０を形成する塗布膜４０の製造方法であって、
前記分光干渉式計測装置２１を用いて前記基準器３０の溝部３３の深さを計測し、計測された前記溝部３３の深さの計測値Ｄが所定範囲Ｒ内に収まるとき、前記分光干渉式計測装置２１を用いて塗布膜４０の厚みを計測しながら、前記シート１１上に前記塗布液３を塗布する方法である。

かかる構成によれば、分光干渉式計測装置２１を用いて精度良く塗布膜４０の厚みを計測しながら、該塗布膜４０を形成し得るため、厚みのバラツキが抑制された塗布膜４０を製造することが、可能となる。

以上の通り、本実施形態によれば、計測対象物によらず、精度よく、しかも簡単に作製可能な基準器３０、及び、これを用いた分光干渉式計測装置２１、塗布装置１、計測精度保証方法、及び、塗布膜４０の製造方法が提供される。

以上のように本発明の実施の形態及び実施例について説明を行なったが、各実施の形態及び実施例の特徴を適宜組み合わせることも当初から予定している。また、今回開示された実施の形態及び実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態及び実施例ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１：塗布装置、３：塗布液、１３：塗布部、２１：膜厚計測部（分光干渉式計測装置）、２３：分光干渉式計測部、２３ａ：測定子部、２３ｂ：光源部、２３ｃ：分光部、２３ｄ：接続ケーブル、２５：移動機構、２７：判定部、２８：制御部、２９：表示部、３０：基準器、３１：第１のブロック体、３１ａ：第１のブロック体の第２のブロック体側の面、３１ｂ：第１のブロック体の第２のブロック体側とは反対の側の面、３３：溝部、３３ａ：底面、３５：第２のブロック体、３５ａ：第２のブロック体の第１のブロック体側の面、３５ｂ：第２のブロック体の第１のブロック体とは反対の側の面、３７：押圧部、Ｄ：溝部の深さの計測値、Ｓ：基準値、４０：塗布膜

Claims (11)

1. 対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置の計測値が所定範囲内の精度を有することを保証するために用いられる基準器であって、
   非透光性の第１のブロック体と、
   前記第１のブロック体に積層される透光性の第２のブロック体とを備えており、
   前記第１のブロック体は、前記第２のブロック体側の面に溝部を有し、
   前記分光干渉式計測装置によって前記第２のブロック体を介して前記第１のブロック体の前記溝部に光が照射され、前記第２のブロック体の前記第１のブロック体側の面からの反射光と、前記溝部の底面からの反射光とによって形成される干渉光が受光されることによって、前記溝部の深さが基準の厚みとして計測されるように構成された、基準器。
2. 前記第１のブロック体は、金属材料によって形成されている、請求項１に記載の基準器。
3. 前記金属材料が、ステンレス、鉄、銅、及びアルミニウムよりなる群から選択される１つ以上を含む、請求項２に記載の基準器。
4. 前記第２のブロック体の波長５５０ｎｍでの光の透過率が、８０％以上である、請求項１〜３のいずれかに記載の基準器。
5. 前記第１のブロック体の前記第２のブロック体側の面、及び、前記第２のブロック体の前記第１のブロック体側の面の平面度及び平行度が、いずれも１０μｍ以下である、請求項１〜４のいずれかに記載の基準器。
6. 前記第２のブロック体を前記第１のブロック体に押圧する押圧部を、さらに備えた、請求項１〜５のいずれかに記載の基準器。
7. 前記溝部の深さが、１〜３００μｍである、請求項１〜６のいずれかに記載の基準器。
8. 対象物に光を照射し、該対象物からの干渉光を受光して該対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置であって、
   請求項１〜７のいずれかに記載の基準器と、
   前記対象物に光を照射し、該対象物の厚みを計測するように、且つ、前記基準器の溝部に光を照射し、該溝部の深さを計測するように構成された分光干渉式計測部と、
   前記分光干渉式計測部によって計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるか否かを判定する判定部とを備えた、分光干渉式計測装置。
9. 相対的に移動するシート上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布部と、
   前記塗布部によって前記シート上に形成された前記塗布膜の厚みを計測する膜厚計測部と、
   前記膜厚計測部による前記塗布膜の厚みの計測、及び、前記塗布部による前記塗布液の塗布を制御する制御部とを備え、
   前記膜厚計測部は、請求項８に記載の分光干渉式計測装置であり、
   前記制御部は、前記膜厚計測部によって計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるとき、前記膜厚計測部に前記塗布膜の厚みを計測させつつ前記塗布部に前記塗布液を塗布させるように構成された、塗布装置。
10. 対象物に光を照射し、該対象物からの干渉光を受光して該対象物の厚みを計測する分光干渉式計測装置の前記計測値が所定範囲の精度を有することを保証する分光干渉式計測装置の計測精度保証方法であって、
    請求項１〜７のいずれかに記載の基準器を用い、前記分光干渉式計測装置によって前記基準器の溝部の深さを計測し、計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるか否かを判定することによって、前記分光干渉式計測装置の計測値が前記所定範囲内の精度を有することを保証する、分光干渉式計測装置の計測精度保証方法。
11. 相対的に移動するシート上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布膜の製造方法であって、
    請求項８に記載の分光干渉式計測装置を用いて前記基準器の溝部の深さを計測し、計測された前記溝部の深さの計測値が所定範囲内に収まるとき、前記分光干渉式計測装置を用いて前記塗布膜の厚みを計測しながら、前記シート上に前記塗布液を塗布する、塗布膜の製造方法。