JP2000321029A - シート材の厚さ測定方法及びその装置 - Google Patents
シート材の厚さ測定方法及びその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定すべきシート材が材質の異なるものに変
更された場合でも、新たな材質のシート材の測定に速や
かに移行することのできるシート材の厚さ測定方法及び
その装置を提供する。 【解決手段】 第１の基準ゲージ３を各光学変位計１の
測定光１ａの照射位置に保持し、各光学変位計１の測定
光１ａを第１の基準ゲージ３に照射して測定基準値を測
定した後、第１の基準ゲージ３に代えて第２の基準ゲー
ジ４を測定光の照射位置に保持し、各光学変位計１の測
定光１ａを第２の基準ゲージ４に照射して、その測定値
と前記測定基準値との差が第１及び第２の基準ゲージ
３，４の厚みの差になるように演算器２を設定する。ま
た、前記シート材Ａの測定終了後、材質の異なった他の
種類のシート材の測定を行う場合は、新たなシート材と
同一の材質または同等の光学的特性を有する材質の基準
ゲージを用い、前述と同様にして演算器２の設定を行
う。
更された場合でも、新たな材質のシート材の測定に速や
かに移行することのできるシート材の厚さ測定方法及び
その装置を提供する。 【解決手段】 第１の基準ゲージ３を各光学変位計１の
測定光１ａの照射位置に保持し、各光学変位計１の測定
光１ａを第１の基準ゲージ３に照射して測定基準値を測
定した後、第１の基準ゲージ３に代えて第２の基準ゲー
ジ４を測定光の照射位置に保持し、各光学変位計１の測
定光１ａを第２の基準ゲージ４に照射して、その測定値
と前記測定基準値との差が第１及び第２の基準ゲージ
３，４の厚みの差になるように演算器２を設定する。ま
た、前記シート材Ａの測定終了後、材質の異なった他の
種類のシート材の測定を行う場合は、新たなシート材と
同一の材質または同等の光学的特性を有する材質の基準
ゲージを用い、前述と同様にして演算器２の設定を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばカレンダー
加工によって成形された各種材質のシート材の厚さを測
定するシート材の厚さ測定方法及びその装置に関するも
のである。
加工によって成形された各種材質のシート材の厚さを測
定するシート材の厚さ測定方法及びその装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の厚さ測定方法としては、
測定対象物であるシート材の表面に光学変位計の測定光
を照射してシート材の厚さ方向の変位量を測定し、その
測定値と予め設定されている測定基準値に基づいてシー
ト材の厚さを演算器により演算する方法が用いられてい
る。
測定対象物であるシート材の表面に光学変位計の測定光
を照射してシート材の厚さ方向の変位量を測定し、その
測定値と予め設定されている測定基準値に基づいてシー
ト材の厚さを演算器により演算する方法が用いられてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、測定対象物
であるシート材が材質の異なるものに変更された場合、
材質の違いによってシート材の光学的特性（反射率，表
面平坦性等）が変わると、光学変位計の変位−出力特性
も変わるため、演算器の設定を再度調整する必要があ
る。この場合、実際に測定するシート材に光学変位計の
測定光を照射して測定基準値及び任意の変位量に応じた
測定値をそれぞれ求め、これらの値から新たなシート材
に対応した設定を演算器に入力しなければならない。こ
のため、シート材の変更に伴う設定作業に多大な手間を
要し、新たな材質のシート材の測定に速やかに移行する
ことができないという問題点があった。
であるシート材が材質の異なるものに変更された場合、
材質の違いによってシート材の光学的特性（反射率，表
面平坦性等）が変わると、光学変位計の変位−出力特性
も変わるため、演算器の設定を再度調整する必要があ
る。この場合、実際に測定するシート材に光学変位計の
測定光を照射して測定基準値及び任意の変位量に応じた
測定値をそれぞれ求め、これらの値から新たなシート材
に対応した設定を演算器に入力しなければならない。こ
のため、シート材の変更に伴う設定作業に多大な手間を
要し、新たな材質のシート材の測定に速やかに移行する
ことができないという問題点があった。
【０００４】本発明は前記問題点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、測定すべきシート材
が材質の異なるものに変更された場合でも、新たな材質
のシート材の測定に速やかに移行することのできるシー
ト材の厚さ測定方法及びその装置を提供することにあ
る。
であり、その目的とするところは、測定すべきシート材
が材質の異なるものに変更された場合でも、新たな材質
のシート材の測定に速やかに移行することのできるシー
ト材の厚さ測定方法及びその装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、請求項１では、シート材の表面に光学変位
計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位量を測
定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート材の厚
さを演算器により演算するシート材の厚さ測定方法にお
いて、前記光学変位計の測定光を受光する面をシート材
と同一の材質または同等の光学的特性を有する材質によ
って形成された互いに厚さの異なる第１及び第２の基準
ゲージを用い、第１の基準ゲージを光学変位計の測定光
の照射位置に保持し、測定光を第１の基準ゲージに照射
して測定基準値を測定した後、第１の基準ゲージに代え
て第２の基準ゲージを測定光の照射位置に保持し、光学
変位計の測定光を第２の基準ゲージに照射して、その測
定値と前記測定基準値との差が第１及び第２の基準ゲー
ジの厚みの差になるように演算器を設定し、測定光の照
射位置から基準ゲージを除いてシート材の測定を行うよ
うにしている。これにより、材質の異なる複数種類のシ
ート材にそれぞれ対応する複数ずつの第１及び第２の基
準ゲージを用い、任意の基準ゲージを測定すべきシート
材に応じて選択することにより、シート材が材質の異な
るものに変更された場合でも、設定器の設定が速やかに
行われる。
するために、請求項１では、シート材の表面に光学変位
計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位量を測
定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート材の厚
さを演算器により演算するシート材の厚さ測定方法にお
いて、前記光学変位計の測定光を受光する面をシート材
と同一の材質または同等の光学的特性を有する材質によ
って形成された互いに厚さの異なる第１及び第２の基準
ゲージを用い、第１の基準ゲージを光学変位計の測定光
の照射位置に保持し、測定光を第１の基準ゲージに照射
して測定基準値を測定した後、第１の基準ゲージに代え
て第２の基準ゲージを測定光の照射位置に保持し、光学
変位計の測定光を第２の基準ゲージに照射して、その測
定値と前記測定基準値との差が第１及び第２の基準ゲー
ジの厚みの差になるように演算器を設定し、測定光の照
射位置から基準ゲージを除いてシート材の測定を行うよ
うにしている。これにより、材質の異なる複数種類のシ
ート材にそれぞれ対応する複数ずつの第１及び第２の基
準ゲージを用い、任意の基準ゲージを測定すべきシート
材に応じて選択することにより、シート材が材質の異な
るものに変更された場合でも、設定器の設定が速やかに
行われる。
【０００６】また、請求項２では、シート材の表面に光
学変位計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位
量を測定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート
材の厚さを演算器により演算するシート材の厚さ測定装
置において、前記光学変位計の測定光を受光する面をシ
ート材と同一の材質または同等の光学的特性を有する材
質によって形成された互いに厚さの異なる第１及び第２
の基準ゲージと、第１または第２の基準ゲージを光学変
位計の測定光の照射位置に保持可能なゲージ保持手段と
を備えている。これにより、請求項１の作用を達成する
装置が構成される。
学変位計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位
量を測定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート
材の厚さを演算器により演算するシート材の厚さ測定装
置において、前記光学変位計の測定光を受光する面をシ
ート材と同一の材質または同等の光学的特性を有する材
質によって形成された互いに厚さの異なる第１及び第２
の基準ゲージと、第１または第２の基準ゲージを光学変
位計の測定光の照射位置に保持可能なゲージ保持手段と
を備えている。これにより、請求項１の作用を達成する
装置が構成される。
【０００７】また、請求項３では、シート材の表面に光
学変位計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位
量を測定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート
材の厚さを演算器により演算するシート材の厚さ測定装
置において、前記光学変位計の測定光を受光する面をシ
ート材と同一の材質または同等の光学的特性を有する材
質によって形成された互いに厚さの異なる第１及び第２
の基準ゲージと、材質の異なる複数種類のシート材にそ
れぞれ対応する複数ずつの第１及び第２の基準ゲージを
具備し、任意の基準ゲージを光学変位計の測定光の照射
位置まで移動して保持するゲージ交換手段とを備えてい
る。これにより、請求項１の作用を達成する装置が構成
されるとともに、基準ゲージの交換作業を自動化するこ
とが可能である。
学変位計の測定光を照射してシート材の厚さ方向の変位
量を測定し、その測定値と測定基準値に基づいてシート
材の厚さを演算器により演算するシート材の厚さ測定装
置において、前記光学変位計の測定光を受光する面をシ
ート材と同一の材質または同等の光学的特性を有する材
質によって形成された互いに厚さの異なる第１及び第２
の基準ゲージと、材質の異なる複数種類のシート材にそ
れぞれ対応する複数ずつの第１及び第２の基準ゲージを
具備し、任意の基準ゲージを光学変位計の測定光の照射
位置まで移動して保持するゲージ交換手段とを備えてい
る。これにより、請求項１の作用を達成する装置が構成
されるとともに、基準ゲージの交換作業を自動化するこ
とが可能である。
【０００８】また、請求項４では、請求項３記載のシー
ト材の厚さ測定装置において、測定すべきシート材の材
質に関する情報に基づいて前記ゲージ交換手段を制御す
る制御手段を備えている。これにより、請求項３の作用
に加え、シート材の材質に応じて基準ゲージの交換作業
を自動化することが可能である。
ト材の厚さ測定装置において、測定すべきシート材の材
質に関する情報に基づいて前記ゲージ交換手段を制御す
る制御手段を備えている。これにより、請求項３の作用
に加え、シート材の材質に応じて基準ゲージの交換作業
を自動化することが可能である。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１乃至図４は本発明の一実施形
態を示すもので、図１は厚さ測定装置の概略構成図、図
２は基準ゲージの斜視図、図２は支持板の正面図、図４
は基準ゲージを用いた測定方法を示す概略図である。
態を示すもので、図１は厚さ測定装置の概略構成図、図
２は基準ゲージの斜視図、図２は支持板の正面図、図４
は基準ゲージを用いた測定方法を示す概略図である。
【００１０】本実施形態の厚さ測定装置は、互いに間隔
をおいて対向する一対の光学変位計１と、各光学変位計
１の測定値に基づいてシート材Ａの厚さを演算する演算
器２と、互いに厚さの異なる第１及び第２の基準ゲージ
３，４と、各光学変位計１を支持する支持板５とから構
成されている。
をおいて対向する一対の光学変位計１と、各光学変位計
１の測定値に基づいてシート材Ａの厚さを演算する演算
器２と、互いに厚さの異なる第１及び第２の基準ゲージ
３，４と、各光学変位計１を支持する支持板５とから構
成されている。
【００１１】各光学変位計１は、例えばレーザー光を測
定対象物に照射してその反射光を検出する周知の機器か
らなり、それぞれ測定対象物の一方の面及び他方の面に
測定光を照射するようになっている。
定対象物に照射してその反射光を検出する周知の機器か
らなり、それぞれ測定対象物の一方の面及び他方の面に
測定光を照射するようになっている。
【００１２】演算器２は各光学変位計１の出力信号に基
づいて変位量を演算する周知の機器からなり、その測定
値を表示部２ａに表示するようになっている。
づいて変位量を演算する周知の機器からなり、その測定
値を表示部２ａに表示するようになっている。
【００１３】第１及び第２の基準ゲージ３，４は平板状
に形成され、それぞれシート材Ａと同等の光学的特性を
有する材質からなる。この場合、第１の基準ゲージ３は
図２(a) に示すように厚さｔ1 に均一に形成され、第２
の基準ゲージ４は図２(b) に示すように厚さｔ1 に形成
された一端部４ａと、厚さｔ2 （＞ｔ1 ）に形成された
他端部４ｂとからなる。
に形成され、それぞれシート材Ａと同等の光学的特性を
有する材質からなる。この場合、第１の基準ゲージ３は
図２(a) に示すように厚さｔ1 に均一に形成され、第２
の基準ゲージ４は図２(b) に示すように厚さｔ1 に形成
された一端部４ａと、厚さｔ2 （＞ｔ1 ）に形成された
他端部４ｂとからなる。
【００１４】支持板５は上下方向中央部に測定中のシー
ト材Ａを通過させる切り欠き部５ａを有し、その上部及
び下部にはそれぞれ各光学変位計１が互いに対向して取
付けられている。また、支持板５の切り欠き部５ａには
基準ゲージ３，４を保持する溝５ｂが設けられている。
即ち、図３(a) に示すように第１の基準ゲージ３を溝５
ｂに挿入することにより、図３(b) に示すように第１の
基準ゲージ３が各光学変位計１の間に保持され、各光学
変位計１の測定光１ａが第１の基準ゲージ３の一方の面
及び他方の面にそれぞれ照射されるようになっている。
この場合、第２の基準ゲージ４は第１の基準ゲージ３と
厚さの等しい一端部４ａ側を溝５ｂに挿入される。
ト材Ａを通過させる切り欠き部５ａを有し、その上部及
び下部にはそれぞれ各光学変位計１が互いに対向して取
付けられている。また、支持板５の切り欠き部５ａには
基準ゲージ３，４を保持する溝５ｂが設けられている。
即ち、図３(a) に示すように第１の基準ゲージ３を溝５
ｂに挿入することにより、図３(b) に示すように第１の
基準ゲージ３が各光学変位計１の間に保持され、各光学
変位計１の測定光１ａが第１の基準ゲージ３の一方の面
及び他方の面にそれぞれ照射されるようになっている。
この場合、第２の基準ゲージ４は第１の基準ゲージ３と
厚さの等しい一端部４ａ側を溝５ｂに挿入される。
【００１５】以上のように構成された厚さ測定装置にお
いては、シート材Ａの測定を行う前に、第１の基準ゲー
ジ３を支持板５の溝５ｂに挿入して各光学変位計１の測
定光１ａの照射位置に保持し、図４に示すように各光学
変位計１の測定光１ａを第１の基準ゲージ３に照射して
測定基準値を測定する。次に、第１の基準ゲージ３に代
えて第２の基準ゲージ４を測定光の照射位置に保持し、
各光学変位計１の測定光１ａを第２の基準ゲージ４に照
射して、その測定値と前記測定基準値との差が第１及び
第２の基準ゲージ３，４の厚みの差（ｔ2 −ｔ1 ）にな
るように演算器２を設定する。この後、測定光の照射位
置から第２の基準ゲージ４を取外し、図１に示すように
シート材Ａを各光学変位計１の間を通過させながら厚さ
の測定を行う。測定されるシート材Ａは、例えばカレン
ダー加工によって形成されたシート状のゴムであり、図
示しない判定器によってその厚さが規定値の範囲内か否
かを判定され、規定値から外れた場合は警報等が発せら
れる。この場合、シート材Ａの厚さは各光学変位計１の
変位量を合算することによって求められる。また、前記
シート材Ａの測定終了後、材質の異なった他の種類のシ
ート材の測定を行う場合は、新たなシート材と同一の材
質または同等の光学的特性を有する材質の基準ゲージを
用い、前述と同様にして演算器２の設定を行う。
いては、シート材Ａの測定を行う前に、第１の基準ゲー
ジ３を支持板５の溝５ｂに挿入して各光学変位計１の測
定光１ａの照射位置に保持し、図４に示すように各光学
変位計１の測定光１ａを第１の基準ゲージ３に照射して
測定基準値を測定する。次に、第１の基準ゲージ３に代
えて第２の基準ゲージ４を測定光の照射位置に保持し、
各光学変位計１の測定光１ａを第２の基準ゲージ４に照
射して、その測定値と前記測定基準値との差が第１及び
第２の基準ゲージ３，４の厚みの差（ｔ2 −ｔ1 ）にな
るように演算器２を設定する。この後、測定光の照射位
置から第２の基準ゲージ４を取外し、図１に示すように
シート材Ａを各光学変位計１の間を通過させながら厚さ
の測定を行う。測定されるシート材Ａは、例えばカレン
ダー加工によって形成されたシート状のゴムであり、図
示しない判定器によってその厚さが規定値の範囲内か否
かを判定され、規定値から外れた場合は警報等が発せら
れる。この場合、シート材Ａの厚さは各光学変位計１の
変位量を合算することによって求められる。また、前記
シート材Ａの測定終了後、材質の異なった他の種類のシ
ート材の測定を行う場合は、新たなシート材と同一の材
質または同等の光学的特性を有する材質の基準ゲージを
用い、前述と同様にして演算器２の設定を行う。
【００１６】このように、本実施形態の厚さ測定装置に
よれば、測定すべきシート材Ａと同等の光学的特性を有
する材質によって形成された第１及び第２の基準ゲージ
３，４をそれぞれ各光学変位計１の測定光の照射位置に
保持し、その測定値に基づいて演算器２の設定を行った
後、シート材Ａの厚さを測定するようにしたので、材質
の異なるシート材ごとの演算器２の設定を極めて容易に
行うことができ、測定すべきシート材が材質の異なるも
のに変更された場合でも、新たな材質のシート材の測定
に速やかに移行することができる。
よれば、測定すべきシート材Ａと同等の光学的特性を有
する材質によって形成された第１及び第２の基準ゲージ
３，４をそれぞれ各光学変位計１の測定光の照射位置に
保持し、その測定値に基づいて演算器２の設定を行った
後、シート材Ａの厚さを測定するようにしたので、材質
の異なるシート材ごとの演算器２の設定を極めて容易に
行うことができ、測定すべきシート材が材質の異なるも
のに変更された場合でも、新たな材質のシート材の測定
に速やかに移行することができる。
【００１７】尚、前記実施形態では第１及び第２の基準
ゲージ３，４をそれぞれ別体に形成したものを示した
が、例えば厚さの異なる基準面（測定光を受光する面）
を一体に有する基準ゲージを用い、各基準面の位置をず
らして測定を行うようにしてもよい。また、前記実施形
態では対向一対の光学変位計１を備えた例を示したが、
一つの光学変位計１によってシート材Ａの片側の面の変
位量を測定する場合にも適用することが可能である。
ゲージ３，４をそれぞれ別体に形成したものを示した
が、例えば厚さの異なる基準面（測定光を受光する面）
を一体に有する基準ゲージを用い、各基準面の位置をず
らして測定を行うようにしてもよい。また、前記実施形
態では対向一対の光学変位計１を備えた例を示したが、
一つの光学変位計１によってシート材Ａの片側の面の変
位量を測定する場合にも適用することが可能である。
【００１８】図５は本発明の他の実施形態を示す厚さ測
定装置の概略構成図であり、前記実施形態と同等の構成
部分には同一の符号を付して示す。即ち、同図に示す厚
さ測定装置は、前記実施形態の構成に加え、ゲージ交換
装置６と、ゲージ交換装置６を制御する制御装置７とを
備えている。
定装置の概略構成図であり、前記実施形態と同等の構成
部分には同一の符号を付して示す。即ち、同図に示す厚
さ測定装置は、前記実施形態の構成に加え、ゲージ交換
装置６と、ゲージ交換装置６を制御する制御装置７とを
備えている。
【００１９】ゲージ交換装置６は、材質の異なる複数種
類のシート材にそれぞれ対応する複数ずつの第１及び第
２の基準ゲージ３，４をゲージストッカ６ａに具備し、
ゲージストッカ６ａの任意の基準ゲージ３，４を駆動ア
ーム６ｂによって各光学変位計１の測定光１ａの照射位
置まで移動して保持するようになっている。
類のシート材にそれぞれ対応する複数ずつの第１及び第
２の基準ゲージ３，４をゲージストッカ６ａに具備し、
ゲージストッカ６ａの任意の基準ゲージ３，４を駆動ア
ーム６ｂによって各光学変位計１の測定光１ａの照射位
置まで移動して保持するようになっている。
【００２０】制御装置７は、例えばパーソナルコンピュ
ータによって構成され、その記憶装置７ａにはシート材
の材質に関する情報が記憶されている。この制御装置７
では、測定すべきシート材の材質を入力すると、記憶装
置７ａのデータに基づいて対応する基準ゲージ３，４を
選択し、その基準ゲージ３，４をゲージ交換装置６によ
って各光学変位計１の測定光１ａの照射位置まで移動し
て前記実施形態と同様の測定を行うようになっている。
ータによって構成され、その記憶装置７ａにはシート材
の材質に関する情報が記憶されている。この制御装置７
では、測定すべきシート材の材質を入力すると、記憶装
置７ａのデータに基づいて対応する基準ゲージ３，４を
選択し、その基準ゲージ３，４をゲージ交換装置６によ
って各光学変位計１の測定光１ａの照射位置まで移動し
て前記実施形態と同様の測定を行うようになっている。
【００２１】即ち、本実施形態によれば、基準ゲージ
３，４の交換作業をゲージ交換装置６によって自動化す
ることができるので、人的労力の軽減を図ることができ
る。また、ゲージ交換装置６の動作を制御装置７及び記
憶装置７ａのデータに基づいて制御するようにしたの
で、例えば測定の予定されているシート材の材質及び測
定順序を制御装置７にプログラムしておくことにより、
シート材の材質に応じて基準ゲージ３，４の交換作業を
自動化することも可能である。
３，４の交換作業をゲージ交換装置６によって自動化す
ることができるので、人的労力の軽減を図ることができ
る。また、ゲージ交換装置６の動作を制御装置７及び記
憶装置７ａのデータに基づいて制御するようにしたの
で、例えば測定の予定されているシート材の材質及び測
定順序を制御装置７にプログラムしておくことにより、
シート材の材質に応じて基準ゲージ３，４の交換作業を
自動化することも可能である。
【００２２】図６及び図７は基準ゲージの変形例を示す
ものである。即ち、同図に示す第１及び第２の基準ゲー
ジ８，９は、所定のシート材と同一の材質からなる被測
定材１０と、被測定材１０を厚さ方向に挟持する一対の
挟持板１１，１２とからなり、各挟持板１１，１２には
それぞれ被測定材１０の一部を露出させる孔１１ａ，１
２ａが設けられている。各挟持板１１，１２は互いに複
数のネジ１３によって連結されるとともに、一方の挟持
板１１の一端部１１ｂは前記支持板５の溝５ｂに挿入可
能な長さを有している。この場合、図７(a) に示すよう
に第１の基準ゲージ８の被測定材１０は厚さｔ1 に形成
され、図７(b) に示すように第２の基準ゲージ９の被測
定材１０は厚さｔ2 （＞ｔ1 ）に形成されている。
ものである。即ち、同図に示す第１及び第２の基準ゲー
ジ８，９は、所定のシート材と同一の材質からなる被測
定材１０と、被測定材１０を厚さ方向に挟持する一対の
挟持板１１，１２とからなり、各挟持板１１，１２には
それぞれ被測定材１０の一部を露出させる孔１１ａ，１
２ａが設けられている。各挟持板１１，１２は互いに複
数のネジ１３によって連結されるとともに、一方の挟持
板１１の一端部１１ｂは前記支持板５の溝５ｂに挿入可
能な長さを有している。この場合、図７(a) に示すよう
に第１の基準ゲージ８の被測定材１０は厚さｔ1 に形成
され、図７(b) に示すように第２の基準ゲージ９の被測
定材１０は厚さｔ2 （＞ｔ1 ）に形成されている。
【００２３】即ち、前記基準ゲージ８，９では光学変位
計１の測定光１ａを受光する被測定材１０が所定のシー
ト材と同一の材質によって形成されているので、演算器
２の設定をより正確に行うことが可能である。
計１の測定光１ａを受光する被測定材１０が所定のシー
ト材と同一の材質によって形成されているので、演算器
２の設定をより正確に行うことが可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の厚さ測
定方法によれば、材質の異なるシート材ごとの演算器の
設定を極めて容易に行うことができるので、測定すべき
シート材が材質の異なるものに変更された場合でも、新
たな材質のシート材の測定に速やかに移行することがで
き、生産性の向上を図ることができる。
定方法によれば、材質の異なるシート材ごとの演算器の
設定を極めて容易に行うことができるので、測定すべき
シート材が材質の異なるものに変更された場合でも、新
たな材質のシート材の測定に速やかに移行することがで
き、生産性の向上を図ることができる。
【００２５】また、請求項２の厚さ測定装置によれば、
請求項１の効果を達成する装置を実現することができる
ので、実用化に際して極めて有利である。
請求項１の効果を達成する装置を実現することができる
ので、実用化に際して極めて有利である。
【００２６】また、請求項３の厚さ測定装置によれば、
請求項１の効果を達成する装置を実現することができる
とともに、基準ゲージの交換作業を自動化することがで
きるので、人的労力の軽減を図ることができる。
請求項１の効果を達成する装置を実現することができる
とともに、基準ゲージの交換作業を自動化することがで
きるので、人的労力の軽減を図ることができる。
【００２７】また、請求項４の厚さ測定装置によれば、
請求項３の効果に加え、シート材の材質に応じて基準ゲ
ージの交換作業を自動化することができるので、生産性
をより向上させることができる。
請求項３の効果に加え、シート材の材質に応じて基準ゲ
ージの交換作業を自動化することができるので、生産性
をより向上させることができる。
【図１】本発明の一実施形態を示す厚さ測定装置の概略
構成図
構成図
【図２】基準ゲージの斜視図
【図３】支持板の正面図
【図４】基準ゲージを用いた測定方法を示す概略図
【図５】本発明の他の実施形態を示す厚さ測定装置の概
略構成図
略構成図
【図６】基準ゲージの変形例を示す平面図
【図７】基準ゲージの変形例を示す側面図
１…光学変位計、２…演算器、３…第１の基準ゲージ、
４…第２の基準ゲージ、５ｂ…溝、６…ゲージ交換装
置、７…制御装置、８…第１の基準ゲージ、９…第２の
基準ゲージ、Ａ…シート材。
４…第２の基準ゲージ、５ｂ…溝、６…ゲージ交換装
置、７…制御装置、８…第１の基準ゲージ、９…第２の
基準ゲージ、Ａ…シート材。
Claims (4)
- 【請求項１】 シート材の表面に光学変位計の測定光を
照射してシート材の厚さ方向の変位量を測定し、その測
定値と測定基準値に基づいてシート材の厚さを演算器に
より演算するシート材の厚さ測定方法において、 前記光学変位計の測定光を受光する面をシート材と同一
の材質または同等の光学的特性を有する材質によって形
成された互いに厚さの異なる第１及び第２の基準ゲージ
を用い、 第１の基準ゲージを光学変位計の測定光の照射位置に保
持し、測定光を第１の基準ゲージに照射して測定基準値
を測定した後、 第１の基準ゲージに代えて第２の基準ゲージを測定光の
照射位置に保持し、光学変位計の測定光を第２の基準ゲ
ージに照射して、その測定値と前記測定基準値との差が
第１及び第２の基準ゲージの厚みの差になるように演算
器を設定し、 測定光の照射位置から基準ゲージを除いてシート材の測
定を行うことを特徴とするシート材の厚さ測定方法。 - 【請求項２】 シート材の表面に光学変位計の測定光を
照射してシート材の厚さ方向の変位量を測定し、その測
定値と測定基準値に基づいてシート材の厚さを演算器に
より演算するシート材の厚さ測定装置において、 前記光学変位計の測定光を受光する面をシート材と同一
の材質または同等の光学的特性を有する材質によって形
成された互いに厚さの異なる第１及び第２の基準ゲージ
と、 第１または第２の基準ゲージを光学変位計の測定光の照
射位置に保持可能なゲージ保持手段とを備えたことを特
徴とするシート材の厚さ測定装置。 - 【請求項３】 シート材の表面に光学変位計の測定光を
照射してシート材の厚さ方向の変位量を測定し、その測
定値と測定基準値に基づいてシート材の厚さを演算器に
より演算するシート材の厚さ測定装置において、 前記光学変位計の測定光を受光する面をシート材と同一
の材質または同等の光学的特性を有する材質によって形
成された互いに厚さの異なる第１及び第２の基準ゲージ
と、 材質の異なる複数種類のシート材にそれぞれ対応する複
数ずつの第１及び第２の基準ゲージを具備し、任意の基
準ゲージを光学変位計の測定光の照射位置まで移動して
保持するゲージ交換手段とを備えたことを特徴とするシ
ート材の厚さ測定装置。 - 【請求項４】 測定すべきシート材の材質に関する情報
に基づいて前記ゲージ交換手段を制御する制御手段を備
えたことを特徴とする請求項３記載のシート材の厚さ測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13232399A JP4209998B2 (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | シート材の厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13232399A JP4209998B2 (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | シート材の厚さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000321029A true JP2000321029A (ja) | 2000-11-24 |
| JP4209998B2 JP4209998B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=15078640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13232399A Expired - Fee Related JP4209998B2 (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | シート材の厚さ測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4209998B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7429116B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-09-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective and method for its manufacture |
| JP2012229955A (ja) * | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 |
| JP2013003117A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | シート状材料の厚さ測定方法およびシート状材料の搬送装置 |
| US8542346B2 (en) | 2006-12-01 | 2013-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| US8605253B2 (en) | 2006-07-03 | 2013-12-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| CN113720282A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-11-30 | 广东奥普特科技股份有限公司 | 极耳的平面度测量方法及测量装置 |
-
1999
- 1999-05-13 JP JP13232399A patent/JP4209998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7429116B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-09-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective and method for its manufacture |
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| US8605253B2 (en) | 2006-07-03 | 2013-12-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US9494868B2 (en) | 2006-07-03 | 2016-11-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US10042265B2 (en) | 2006-07-03 | 2018-08-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US8542346B2 (en) | 2006-12-01 | 2013-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| US8659745B2 (en) | 2006-12-01 | 2014-02-25 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| JP2012229955A (ja) * | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 |
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| CN113720282A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-11-30 | 广东奥普特科技股份有限公司 | 极耳的平面度测量方法及测量装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4209998B2 (ja) | 2009-01-14 |
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