JPH0285703A

JPH0285703A - 移動量の測定用プレート

Info

Publication number: JPH0285703A
Application number: JP23762388A
Authority: JP
Inventors: Sadao Ito; 貞夫伊藤
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-09-22
Filing date: 1988-09-22
Publication date: 1990-03-27
Anticipated expiration: 2012-06-18
Also published as: JP2621416B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は移動量の測定用プレートに係り、例えば、電子
部品の実装装置や工作機械等のＸＹ方向移動装置などの
移動物のＸＹＸ方向移動量を簡単かつ正確に測定できる
ようにしたものである。

（従来の技術）従来、上記のようなｘｙ方向移動装置等では、アクチュ
エータとして一般にパルスモータが用いられている。し
かしながら、加工誤差や組み付は誤差に基づく機械誤差
、アクチュエータにかかる荷重による作動の渋滞などで
、移動指令値と実際の移動量とが必ずしも一致せず、そ
の為、ＸＹ方向移動装置等を実際に使用する際には、−
台ごとに固有の誤差を測定して、この誤差を制御装置に
入力しておき、移動指令値に修正を加える必要がある。

第５図は従来のかかる誤差の測定手段を示すものであっ
て、１００はＸＹ子テーブル０１゜１０２より成るＸＹ
方向移動装置であり、その上にミラー１０３が配設され
、またその側方にレーザ光源装置１０４が配設されてお
り、次にその動作を説明する。

このミラー１０３にレーザ光源装置１０４からレーザ光
を照射し、ミラー１０３からの反射光を受光しながら、
ＸＹ子テーブル０１，１０２を移動指令値に基づいて、
先づＸ方向に移動させ、この移動量をレーザ光源装置１
０４とミラー１　’０３間の距離の変化として測定して
Ｘ方向の移動指令値と実際の移動量との差異を検出する
０次いで、ミラー１０３を立設し直すなどして、上記と
同様の作業を繰り返すことにより、Ｙ方向の差異を検出
していた。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、従来手段はＸ方向とＹ方向の移動量の検
出を同時に検出することはできないものであり、途中で
ミラー１０３を立設し直すなどしてＸＹ力方向測定を別
個に行わねばならないため、２度手間を要し、作業能率
があがらない問題があった。またレーザ光源装置を使用
するため、装置が極めて高価化する難点があった。

したがって本発明は、上記の課題を解決し、２次元方向
（ＸＹ力方向の実際の移動量を簡単かつ正確に測定でき
る手段を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）このために本発明は、平板の主面に、周囲と光学的特性
が異なる基準点を、ＸＹ力方向ピッチをおいて並設して
移動量の測定用プレートを構成したものである。更に望
ましくは、この平板をガラス板にて形成し、また基準点
を、フォトエツチング法により形成したものである。

（作用）上記構成の移動量の測定用プレートを、例えば、ＸＹ方
向移動装置の移動物に配設して、カメラにより、ＸＹ力
方向並設した基準点を観察しながら、ｘｙ方向移動装置
に移動指令値を与えて移動させ、その実際の移動量を測
定することにより、この測定値と上記移動指令値との差
異から、このＸＹ方向移動装置固有の誤差を検知するこ
とができる。

特にこのものは、基準点がＸＹ力方向並設されているの
で、移動量の測定用プレートを配設するだけで、Ｘ７両
方向の実際の移動量の測定を同時に行うことができる。

（実施例）以下、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。

第１図、第２図において、■は移動量の測定用プレート
であり、透明ガラス板から成る矩形の平板２の表面もし
くは裏面に、基準点３をＸＹ力方向所定ピッチｔをおい
て多数並設して形成されている。４は基準点３の形成面
に装着されたバックアップシートである。平板２は透明
ガラス板であるから、平面度が良好で歪みが少なく、熱
及び経年変化に対する安定性がよく、光の屈折率が各部
均一で、表面硬度が高いので傷が入りに＜＜、平板２の
主面に形成した基準点３を明瞭に透視することができる
。また基準点３は、フォトエツチング法によりクローム
被膜として形成されている。フォトエツチング法によれ
ば、基準点３の形状及び位置を極めて高い精度で形成で
きる。基準点３の形成面に装着されたバックアップシー
ト４は、基準点３のクローム被膜が後述の工業用テレビ
カメラでは黒く観察されることから、その位置及び形状
を明瞭に識別することができるように、例えば白色など
の基準点３と光学的特性が異なる素材にて形成されてい
る。なお、基準点３は、その周囲と光学的特性が明瞭に
異なるものであればよく、したがって輝度２色調等のい
ずれかが明瞭に異なっていてコントラストが強いものほ
ど識別し易い。また基準点３を形成した平板２の主面に
バックアップシート４を装着することにより、基準点３
のクローム被膜を保護している。また、基準点３の形状
は任意であるが、本実施例のように矩形に形成すれば、
基準点３の一辺を工業用テレビカメラの走査線の方向と
一致もしくは直交させることで、工業用テレビカメラの
視野内での基準点３の輪郭を鮮明に観察し、基準点３の
位置検出の精度を高めている。

第３図は上記移動量の測定用プレート１の使用状態を示
す斜視図であって、５はｘｙ方向移動装置であり、Ｘテ
ーブル６とＹテーブル７から成っている。８，９は駆動
用パルスモータである。このＸＹ方向移動装置５は、例
えば電子部品を基板に自動実装する電子部品実装装置に
おいて、基板をＸＹ力方向移動させるための手段となる
ものである。１は上記測定用プレートであって、Ｘテー
ブル上に位置決め手段１２により位置決めされている。

１０はその上方に配設された工業用テレビカメラである
。１１はコンピュータ等からなる制御装置であって、駆
動用パルスモータ８，９．及び工業用テレビカメラ１０
と接続されており、以下動作を説明する。

制御装置１１からＸＹ方向移動装置５の駆動用パルスモ
ータ８，９に、ＸＹ子テーブル、７を移動させようとす
る量に比例した数のパルスを移動指令値として出力する
と、このパルス数に比例した量だけＸ、Ｙテーブル６．
７は移動する。ところで、ＸＹ方向移動装置５の加工誤
差や組み付は誤差に基づく機械誤差、駆動用パルスモー
タ８，９にかかる荷重のバラツキ等により、移動指令値
と実際の移動量とが必ずしも一致せず、これが個々のＸ
Ｙ方向移動装置５の個有の誤差として存在している。

かかるＸＹ移動装置５のＸテーブル６上に、上記の移動
量の測定用プレート１を載置して位置決め固定し、基準
点３の位置をカメラ１０で観察しながら、制御装置１１
からＸ、Ｙテーブル６．７に移動指令値を出力して移動
させ、移動指令値のパルス数から求めた基準点３の計算
上の移動量と、実際の移動量との差異を測定する。

第４図は、上記の差異を測定するプログラムのフローチ
ャートであうで、このプログラムをスタートさせると、
第１測定ポイントに移動させる移動指令値を出力してｘ
ｙ方向移動装置５を移動させ、工業用テレビカメラ１０
が観察した実際に移動した基準点３の位置と、移動指令
値から算出した計算上の基準点３の位置との差異を検出
して補正のためのデータをとり、しかるのちスタートポ
イントに戻る。かかるプロセスを所定回数（本実施例で
は７回）繰返して、上記補正データの平均値を算出し測
定の精度を高める０次いでＸＹ子テーブル第１測定ポイ
ントからＸ及びＹ方向に移動した位置、例えばＸＹ力方
向それぞれ５鶴移動した位置と第１測定ポイントとの間
で、上記補正データの測定を繰返し行い平均値を算出す
る。このように異方向から測定を繰り返せば、それだけ
データ精度を高めることができる。次いで、スタートポ
イントを任意の位置に移動させ、第２測定ポイントとの
間で、第１ｉｊ１定ポイントにおけるときと同様にして
補正データの平均値を算出する。以下、第３．第４・・
・の測定ポイントについても、同様の作業を行う。

かかるデータ測定を、Ｘ、Ｙテーブル６．７について繰
返し行うことで、Ｘ、Ｙテーブル６゜７０作動範囲の全
域にわたって移動指令値と実際の移動量との差異、即ち
このＸＹ方向移動装置５個有の誤差を測定して、補正デ
ータを得ることができる。したがって、このＸＹ方向移
動装置５の使用に先だって、上記のようにして測定した
ＸＹ方向移動装置５個有の誤差にもとづく補正データで
、移動指令値を修正すれば個有誤差が消去された正確な
Ｘ、Ｙテーブル６．７の移動を行わせることができる。

（発明の効果）以上のように本発明は、平板の主面に、周囲と光学的特
性が異なる基準点を、ＸＹ力方向ピッチをおいて並設し
て移動量の測定用プレートを構成したことで、この測定
用プレートをＸＹ方向移動装置等の移動物に取付けるこ
とにより、工業用テレビカメラ等で移動物に与えられた
移動指令値と、実際の移動量との差異を簡単かつ正確に
測定することができる。特に、基準点がＸＹ力方向並設
されているので、移動量の測定用プレートを移動物に１
度配設して測定するだけで、ＸＹ両方向の実際の移動量
の測定を行うことができ、更には高価なレーザー光源装
置を不要にできる。また平板を、平面度や経年変化に対
する安定性等が良好なガラス板にて形成し、また基準点
をフォトエツチング法により形成すれば、きわめて高精
度の測定用プレートを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は移動
量の測定用プレートの全体平面図、第２図は断面図、第
３図は測定用プレートの使用状態を示す斜視図、第４図
は移動量測定プログラムのフローチャート図、第５図は
従来例を示す斜視図である。１・・・移動量の測定用プレート２・・・平板３・・・基準点ｔ・・・ピッチ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）平板の主面に、周囲と光学的特性が異なる基準点
を、ＸＹ方向にピッチをおいて並設して成ることを特徴
とする移動量の測定用プレート。
（２）ガラス板から成る平板の主面に、周囲と光学的特
性が異る基準点を、フォトエッチング法により、ＸＹ方
向にピッチをおいて形成したことを特徴とする移動量の
測定用プレート。