JP2018067013A5 - - Google Patents

Description

本発明の第１の態様によれば、筐体と、前記筐体とともにほぼ気密状態の気体室を形成し、前記気体室内の気体の圧力により物体を支持する部材と、前記気体室内に設けられ、前記部材にアクチュエータが力を作用させるとき、前記アクチュエータによって移動させられるカウンタマスと、を備える支持装置が、提供される。

本発明の第２の態様によれば、ベース部材と、前記ベース部材上を移動可能な移動体と、前記ベース部材を前記物体として支持する第１の態様に係る支持装置と、を備える移動体装置が、提供される。

本発明の第３の態様によれば、所定の物体を保持して移動可能な第２の態様に係る移動体装置と、前記移動体に保持された前記物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置が、提供される。

本発明の第４の態様によれば、第３の態様に係る露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。

Claims (19)

1. 筐体と、
   前記筐体とともにほぼ気密状態の気体室を形成し、前記気体室内の気体の圧力により物体を支持する部材と、
   前記気体室内に設けられ、前記部材にアクチュエータが力を作用させるとき、前記アクチュエータによって移動させられるカウンタマスと、を備える支持装置。
2. 前記気体室内に設けられ、前記カウンタマスを支持する支持部材を備える請求項１に記載の支持装置。
3. 前記支持部材は、弾性部材である請求項２に記載の支持装置。
4. 前記支持部材は、ばね性を有する請求項２又は３に記載の支持装置。
5. 前記支持部材が複数設けられる請求項２〜４のいずれか一項に記載の支持装置。
6. 前記気体室内に設けられ、前記カウンタマスをガイドするガイド装置を備える請求項１〜５のいずれか一項に記載の支持装置。
7. 前記ガイド装置と前記カウンタマスとは、非接触である請求項６に記載の支持装置。
8. 前記気体室内に設けられ、前記カウンタマスを前記筐体に対して移動する駆動部材を更に備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の支持装置。
9. 前記物体と前記部材とは非接触である請求項１〜８のいずれか一項に記載の支持装置。
10. 前記部材は前記物体に対して前記気体を流し、前記気体の静圧により前記物体を支持する請求項９に記載の支持装置。
11. 前記アクチュエータは、前記部材に設けられた第１要素と、前記カウンタマスに設けられた第２要素とを含み、
    前記第１要素と第２要素との間に発生する電磁力により、前記力を発生する
    請求項１〜１０のいずれか一項に記載の支持装置。
12. 前記アクチュエータは、複数設けられる請求項１〜１１のいずれか一項に記載の支持装置。
13. 前記アクチュエータが前記力を前記部材に作用させる際に、前記部材と前記カウンタマスとは、互いに反対方向に移動する請求項１〜１２のいずれか一項に記載の支持装置。
14. ベース部材と、
    前記ベース部材上を移動可能な移動体と、
    前記ベース部材を前記物体として支持する請求項１〜１３のいずれか一項に記載の支持装置と、を備える移動体装置。
15. 前記支持装置と前記ベース部材とが水平方向に相対移動可能である請求項１４に記載の移動体装置。
16. 前記支持装置は、水平面内で同一直線上にない少なくとも３箇所に対応して、少なくとも３つ設けられる請求項１４又は１５に記載の移動体装置。
17. 前記移動体は、前記ベース部材に設けられた固定子と、前記移動体に設けられた可動子とを含む平面モータにより前記ベース部材の上面に沿って移動可能であって、
    前記移動体が前記平面モータにより移動される際、前記複数の支持装置の少なくとも一部は、前記移動体の移動方向に直交する軸回りのモーメントにより前記ベース部材から前記部材に作用する力を、前記アクチュエータによって低減する請求項１６に記載の移動体装置。
18. 所定の物体を保持して移動可能な請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の移動体装置と、
    前記移動体に保持された前記物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。
19. 請求項１８に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。