JP2018534612A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 光軸（１６）に沿って連続して配置された第１および第２の補正構成要素（１２、１３、１４）であって、光学補正構成（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）のゼロ位置において全体として少なくともおおよそ合計でゼロとなる非球面輪郭（１８、２０）が設けられた、第１および第２の補正構成要素（１２、１３、１４）と、第１のスピードで第１の方向（２２）に前記第１の補正構成要素（１２）を変位させるため、および第２のスピードで第２の方向（２４）に前記第２の補正構成要素（１４）を変位させるためのマニピュレータとを備えた光学補正構成において、前記第１のスピードは前記第２のスピードより大きく、
   前記第１のスピードは、前記第２のスピードより少なくとも１桁大きく、
   前記マニピュレータは、前記第１の補正構成要素（１２）を、前記第１の方向に沿った振動運動に従って変位させるように構成される
   ことを特徴とする光学補正構成。
2. 前記振動運動は周期的振動運動であり、その周期は半導体チップに対する露光持続時間と整合されることを特徴とする請求項１に記載の光学補正構成。
3. 前記振動運動の前記周期は１００ｍｓ未満、好ましくは８０ｍｓ未満、より好ましくは４０ｍｓ未満であることを特徴とする請求項２に記載の光学補正構成。
4. 前記第１の補正構成要素（１２）の前記第１のスピードは、前記振動運動の前記周期内で可変であることを特徴とする請求項２または３に記載の光学補正構成。
5. 前記第１の方向は、前記光軸（１６）に平行であることを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
6. 前記第２の方向は、前記光軸（１６）に直交することを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
7. 前記マニピュレータは、前記第１および前記第２の補正構成要素（１２、１３、１４）を同時に変位させるように構成されることを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
8. 前記マニピュレータは、前記第１および／または前記第２の補正構成要素（１２、１３、１４）の縁部領域（１９、２１）内で少なくとも一部において配置され、前記縁部領域（１９、２１）は前記非球面輪郭（１８、２０）の外側に形成されることを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
9. 前記マニピュレータは、磁気的構成を有することを特徴とする請求項１から８までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
10. 前記磁気的構成は少なくとも１つの第１の磁石（３０ａ、３０ｂ）と、少なくとも１つの第２の磁石（３２ａ、３２ｂ）とを有し、前記少なくとも１つの第１の磁石（３０ａ、３０ｂ）は前記第１の補正構成要素（１２）において配置され、前記少なくとも１つの第２の磁石（３２ａ、３２ｂ）は前記第２の補正構成要素（１４）において配置されることを特徴とする請求項９に記載の光学補正構成。
11. 前記少なくとも１つの第１の磁石（３０ａ、３０ｂ）は永久磁石であり、および／または前記少なくとも１つの第２の磁石（３２ａ、３２ｂ）は電磁石であることを特徴とする請求項１０に記載の光学補正構成。
12. 前記マニピュレータは、前記光軸（１６）に平行におよび／または直交して、前記第１および／または前記第２の補正構成要素（１２、１３、１４）を導くためのガイド手段（２６、２８）と相互作用することを特徴とする請求項１から１１までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
13. 第３の補正構成要素を特徴とする請求項１から１２までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
14. 前記光軸（１６）の方向における前記光学補正構成（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）の中央の補正構成要素は、前記光軸（１６）に対して静止するように構成されることを特徴とする請求項１３に記載の光学補正構成。
15. 前記第１、前記第２、および／または前記第３の補正構成要素（１２、１３、１４）は、ばねデバイスによって保持されることを特徴とする請求項１から１４までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
16. 前記マニピュレータは、少なくとも１つのアクチュエータ（３８ａ、３８ｂ）を有することを特徴とする請求項１から１５までのいずれか１項に記載の光学補正構成。
17. 前記投影対物部（４６）であって、請求項１から１６までのいずれか１項に記載の少なくとも１つの光学補正構成（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ用途のための投影対物部。
18. マイクロリソグラフィ装置、例えば投影露光装置（４０）であって、請求項１７に記載の投影対物部（４６）を有することを特徴とするマイクロリソグラフィ装置。