JP2015031792A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 支持部と、
   連結部材を介して、前記支持部に対して揺動可能に支持されると共に、円形形状を呈する可動部と、
   前記可動部の主面上に配置されたミラーと、
   前記可動部の周囲に磁場を形成する磁石と、を備え、
   前記可動部は、前記ミラーの下方で且つ前記主面に対して直交する方向から見て前記ミラーの内側に少なくとも一部が配置された駆動コイルを有し、
   前記駆動コイルは、前記主面に対して直交する方向から見て２ｎ角形形状（ｎは整数で且つ３以上）を呈しており、その２ｎ角形の少なくとも一辺が前記磁場の方向に直交していることを特徴とするミラー駆動装置。
2. 前記磁場は、前記可動部の前記主面の面方向に沿って形成されており、
   前記磁場の方向は、前記主面に対して直交する方向から見て、揺動軸に対して所定の角度を成していることを特徴とする請求項１記載のミラー駆動装置。
3. 前記可動部は、前記駆動コイルが埋め込まれる溝部を有する基材を有し、
   前記駆動コイルは、前記溝部内に配置された金属材料であるＣｕによって構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のミラー駆動装置。