JP2005299874A - 除振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】載置物11が載置されるベース4との間の距離を制御するためのレベリングバルブ7が接続された第1空気ばね1と、第1の空気ばねよりも溶積が大きくて一定量の空気を内包して速度に比例する抵抗とばね剛性を有する第2空気ばね2とを、ベース4に対して並列に配置するか、連結ブロック3で直列に連結することによりベース4に対して直列に配置する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態に係る除振装置の構成を図1、図2に基づいて説明する。図1は除振装置の構成図であり、図2は第1の空気ばねと第2の空気ばねの断面図である。
本発明の第2実施形態に係る除振装置の構成を図3、図4に基づいて説明する。尚、第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付記してその説明を省略する。第2実施形態の構成が第1実施形態と異なる点は、図3のように、第1空気ばね1と第2空気ばね2とが、並列に配置されている点である。図4(a)に第1空気ばね1の構成を、図4(b)に第2空気ばね2の構成を示す。第1空気ばね1及び第2空気ばね2は第1実施形態の直列体とは異なり、相互に連結しておらず、単体として機能する。つまり、第2空気ばね2のコア2cはベース4に当設しており、第2空気ばね2には床からベース4に伝播する振動或いはベース4の変位が直接伝播し、第2空気ばね2はこの振動或いは変位により伸縮する。単体の第1空気ばね1と単体の第2空気ばね2との並列体(以下、並列体という)を1つのユニットとして用いる本実施形態の構成は、第1空気ばね1と第2空気ばね2の配置形態が第1実施形態と異なるだけで、並列体を構成する第1空気ばね1及び第2空気ばね2は、第1実施形態の第1空気ばね及び第2空気ばねと同じ作用・効果を発揮する。その他の点については第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
1a 第1の空気室(空気室)
1c コア
1d 空間
2 第2の空気ばね(第2空気ばね)
2a 第1の空気室(第1空気室)
2b 第2の空気室(第2空気室)
2c コア
2d 空間
3 連結ブロック
4 ベース
5 供給源
6 レギュレータ
7 レベリングバルブ
8 床
9a,9b 給気管
10 除振装置
11 載置物
Claims (6)
- 載置物が載置されるベースとの間の距離を制御するためのレベリングバルブが接続された第1の空気ばねと、
前記第1の空気ばねよりも容積が大きく、一定圧力の空気を内包しており且つ前記ベースに対して前記第1の空気ばねと直列に配置された第2の空気ばねと、
前記第1の空気ばね及び前記第2の空気ばねの両方によって支持されていると共に、前記ベースを支持している連結部材とを備えていることを特徴とする除振装置。 - 前記第1の空気ばねが、前記第2の空気ばねと前記ベースとの間に挟まれていることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記第2の空気ばねが、前記第1の空気ばねよりも下方に配置されて前記第1の空気ばねを支持する第1の空気室と、前記第1の空気室よりも容積が大きい第2の空気室とを有していることを特徴とする請求項2に記載の除振装置。
- 載置物が載置されるベースとの間の距離を制御するためのレベリングバルブが接続された第1の空気ばねと、
前記第1の空気ばねよりも容積が大きく、一定圧力の空気を内包しており且つ前記ベースに対して前記第1の空気ばねと並列に配置された第2の空気ばねとを備えていることを特徴とする除振装置。 - 前記第2の空気ばねが、前記ベースよりも下方に配置されて前記ベースを支持する第1の空気室と、前記第1の空気室よりも容積が大きい第2の空気室とを有していることを特徴とする請求項4に記載の除振装置。
- 空気圧力を調整するためのレギュレータが、前記第2の空気ばねに接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の除振装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2004119999A JP2005299874A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004119999A JP2005299874A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 除振装置 |
Publications (1)
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JP2005299874A true JP2005299874A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35331639
Family Applications (1)
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JP2004119999A Pending JP2005299874A (ja) | 2004-04-15 | 2004-04-15 | 除振装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007321932A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Kurashiki Kako Co Ltd | 気体ばね式除振装置 |
JP2008082389A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Kurashiki Kako Co Ltd | 多段式気体ばね除振装置 |
JP2018067013A (ja) * | 2012-07-18 | 2018-04-26 | 株式会社ニコン | 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
-
2004
- 2004-04-15 JP JP2004119999A patent/JP2005299874A/ja active Pending
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