JP2011249555A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するため、本発明は、ステージ装置であって、防振手段を介して、設置面の上に設置されたステージ定盤と、ステージ定盤に支持された第１方向に移動可能な第１移動体と、第１移動体に支持された、第１方向に交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、設置面に支持された第１方向に移動可能な補助ステージと、設置面に設けられた固定子および第１移動体に設けられた可動子を有し、第１移動体を第１方向に駆動する第１駆動手段と、補助ステージに設けられた固定子および第２移動体に設けられた可動子を有し、第２移動体を前記第２方向に駆動する第２駆動手段と、設置面に設けられた固定子および補助ステージに設けられた可動子を有し、第１移動体と離間した状態で補助ステージを第１方向に駆動する第３駆動手段と、を備え、設置面は、第１移動体の移動によって生じる反力に起因して振動するとともに、第２移動体の移動によって生じる反力が補助ステージから伝達されて振動し、防振手段は、設置面からステージ定盤へ伝達される振動を減衰させることを特徴とする。

Claims (9)

1. ステージ装置であって、
   防振手段を介して、設置面の上に設置されたステージ定盤と、
   前記ステージ定盤に支持された第１方向に移動可能な第１移動体と、
   前記第１移動体に支持された、前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
   前記設置面に支持された前記第１方向に移動可能な補助ステージと、
   前記設置面に設けられた固定子および前記第１移動体に設けられた可動子を有し、前記第１移動体を前記第１方向に駆動する第１駆動手段と、
   前記補助ステージに設けられた固定子および前記第２移動体に設けられた可動子を有し、前記第２移動体を前記第２方向に駆動する第２駆動手段と、
   前記設置面に設けられた固定子および前記補助ステージに設けられた可動子を有し、前記第１移動体と離間した状態で前記補助ステージを前記第１方向に駆動する第３駆動手段と、を備え、
   前記設置面は、前記第１移動体の移動によって生じる反力に起因して振動するとともに、前記第２移動体の移動によって生じる反力が前記補助ステージから伝達されて振動し、
   前記防振手段は、前記設置面から前記ステージ定盤へ伝達される振動を減衰させることを特徴とするステージ装置。
2. 前記第１駆動手段の固定子および可動子は１対の電磁式リニアモータを構成し、前記１対の電磁式リニアモータは前記第１方向に平行で前記ステージ定盤を挟むように配置され、
   前記第２駆動手段の固定子および可動子は１対の電磁式リニアモータを構成し、前記１対の電磁式リニアモータは、前記第２方向に平行で前記第１移動体を挟むように配置され、
   前記第３駆動手段の固定子および可動子は、１対の電磁式リニアモータを構成し、前記１対の電磁式リニアモータは前記第１方向に平行で前記ステージ定盤を挟むように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. ステージ装置であって、
   防振手段を介して、設置面の上に設置されたステージ定盤と、
   前記ステージ定盤に支持された第１方向に移動可能な第１移動体と、
   前記第１移動体に支持された、前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
   前記設置面に支持された前記第１方向に移動可能な補助ステージと、
   前記設置面に設けられた固定子、前記第１移動体に設けられた可動子および前記補助ステージに設けられた可動子を有し、前記第１移動体と前記補助ステージを離間させた状態で前記第１方向に駆動する第１駆動手段と、
   前記補助ステージに設けられた固定子および前記第２移動体に設けられた可動子を有し、前記第２移動体を前記第２方向に駆動する第２駆動手段と、を備え、
   前記設置面は、前記第１移動体の移動によって生じる反力に起因して振動するとともに、前記第２移動体の移動によって生じる反力が前記補助ステージから伝達されて振動し、
   前記防振手段は、前記設置面から前記ステージ定盤へ伝達される振動を減衰させることを特徴とするステージ装置。
4. 前記第１駆動手段の固定子および２つの可動子は、１対の電磁式リニアモータを構成し、前記１対の電磁式リニアモータは前記第１方向に平行で前記ステージ定盤を挟むように配置され、
   前記第２駆動手段の固定子および可動子は１対の電磁式リニアモータを構成し、前記１対の電磁式リニアモータは前記第２方向に平行で前記第１移動体を挟むように配置されていることを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
5. 前記補助ステージは、前記第１移動体と離間して前記第１移動体を挟むように配置された１対の板部材、および、前記１対の板部材を連結する連結部材を有し、
   前記１対の板部材には、前記第２駆動手段の１対の電磁式リニアモータがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２または４に記載のステージ装置。
6. 前記第１移動体と前記補助ステージとの間の距離を測定する測定手段と、
   前記測定手段によって測定された距離に基づいて、前記第１移動体と前記補助ステージとの間の距離を所定の距離に維持するように、前記補助ステージの位置をフィードバック制御する制御手段と、を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のステージ装置。
7. 前記補助ステージの移動を案内する案内手段と、
   前記案内手段を介して、前記補助ステージを支持する支持手段と、をさらに備え、
   前記支持手段は、前記防振手段とは別の防振手段を介して、前記設置面の上に設置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のステージ装置。
8. 露光装置であって、
   基板を位置決めする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置と、
   位置決めされた前記基板を露光する露光手段と、を備えることを特徴とする露光装置。
9. 請求項８に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光された前記基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。