JP2014085504A5 - - Google Patents

Description

そこで、本発明は、ステージ装置を大型化および長ストローク化する上で有利な技術を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのステージ装置は、基板を移動させるためのステージ装置であって、第１方向に沿って延びた案内部材を有するステージ定盤と、前記案内部材に沿って移動可能な第１ステージと、前記第１ステージにより非接触に支持され、前記第１ステージの上を前記第１方向に沿って移動可能な第２ステージと、 前記ステージ定盤により支持された固定子と、前記固定子との相互作用により、前記第１ステージを前記第１方向に駆動するように前記第１ステージに固定された第１可動子と、前記固定子との相互作用により、前記第２ステージを前記第１方向に駆動するように前記第２ステージに固定された第２可動子と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、ステージ装置を大型化および長ストローク化する上で有利な技術を提供することを目的とする。

Claims (13)

1. 基板を移動させるためのステージ装置であって、
   第１方向に沿って延びた案内部材を有するステージ定盤と、
   前記案内部材に沿って移動可能な第１ステージと、
   前記第１ステージにより非接触に支持され、前記第１ステージの上を前記第１方向に沿って移動可能な第２ステージと、
   前記ステージ定盤により支持された固定子と、
   前記固定子との相互作用により、前記第１ステージを前記第１方向に駆動するように前記第１ステージに固定された第１可動子と、
   前記固定子との相互作用により、前記第２ステージを前記第１方向に駆動するように前記第２ステージに固定された第２可動子と、
   を含むことを特徴とするステージ装置。
2. 前記固定子における前記第１可動子を移動させるために機能する部分と、前記固定子における前記第２可動子を移動させるために機能する部分とが共通している、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記固定子は、前記第１可動子を移動させるための第１固定子と、前記第２可動子を移動させるための第２固定子とを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
4. 前記第２ステージは、前記第１ステージによりエアベアリングを介して支持されている、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
5. 前記第２ステージの前記第１方向へのストロークの長さは、前記第１ステージの前記第１方向へのストロークの長さより短い、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
6. 前記第１ステージと前記第２ステージとの間に、前記第２ステージのヨーイングを抑制するための抑制部を更に含み、
   前記抑制部は、前記第１ステージおよび前記第２ステージのうちいずれか一方により支持され、前記第１方向に沿って延びた軸部材と、前記第１ステージおよび前記第２ステージのうち他方により支持され、前記軸部材を挟み込むように配置された少なくとも２つのエアベアリングとを含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
7. 前記基板を保持する基板保持部を更に含み、
   前記基板保持部は、前記第２ステージによりエアベアリングを介して非接触に支持され、前記第１方向と異なる第２方向に移動可能である、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
8. 前記基板保持部と前記第２ステージとの間に、前記基板保持部のヨーイングを抑制するための第２抑制部を更に含み、
   前記第２抑制部は、前記基板保持部および前記第２ステージのうちいずれか一方により支持され、前記第２方向に沿って延びた第２軸部材と、前記基板保持部および前記第２ステージのうち他方により支持され、前記第２軸部材を挟み込むように配置された少なくとも２つのエアベアリングとを含む、ことを特徴とする請求項７に記載のステージ装置。
9. 前記固定子と前記第１可動子との相互作用による前記第１ステージの駆動と、前記固定子と前記第２可動子との相互作用による前記第２ステージの駆動とを制御する制御部を更に含み、
   前記制御部は、前記第２ステージを移動させているときは、前記第１ステージを移動させないように前記第１ステージの駆動および前記第２ステージの駆動を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
10. 前記固定子と前記第１可動子、および前記固定子と前記第２可動子は、それぞれリニアモータを構成していることを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
11. 前記第１ステージの前記案内部材に沿った移動を案内する接触式の案内機構を備えることを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
12. 基板を露光する露光装置であって、
    前記露光装置は、請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のステージ装置を含み、
    前記基板は、前記ステージ装置によって保持されることを特徴とする露光装置。
13. 請求項１２に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
    前記ステップで露光された前記基板を現像するステップと、
    を有することを特徴とする物品の製造方法。