JP2016012649A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016012649A5 JP2016012649A5 JP2014133284A JP2014133284A JP2016012649A5 JP 2016012649 A5 JP2016012649 A5 JP 2016012649A5 JP 2014133284 A JP2014133284 A JP 2014133284A JP 2014133284 A JP2014133284 A JP 2014133284A JP 2016012649 A5 JP2016012649 A5 JP 2016012649A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- command data
- section
- track
- constant speed
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 16
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims 1
Description
本発明の指令データの作成方法は、加速区間と等速区間と減速区間を含む第１軌道に沿って可動体を駆動させるための第１指令データを、前記可動体に対する学習制御により取得するステップと、加速区間と等速区間と減速区間を含む第２軌道に沿って前記可動体を駆動させるための第２指令データを、前記第１指令データの等速区間における一部の指令データと、前記第１指令データの前記加速区間の指令データ又は前記減速区間の指令データと、を用いて作成するステップとを有することを特徴とする。
Claims (14)
- 加速区間と等速区間と減速区間を含む第１軌道に沿って可動体を駆動させるための第１指令データを、前記可動体に対する学習制御により取得するステップと、
加速区間と等速区間と減速区間を含む第２軌道に沿って前記可動体を駆動させるための第２指令データを、前記第１指令データの等速区間における一部の指令データと、前記第１指令データの前記加速区間の指令データ又は前記減速区間の指令データと、を用いて作成するステップとを有することを特徴とする指令データの作成方法。 - 前記第１指令データの、駆動における異なる区間に対応するデータに対して、つなぎ合わせ処理を行うことで前記第２指令データを作成することを特徴とする請求項１に記載の作成方法。
- 前記第１指令データの前記加速区間の指令データ及び前記減速区間の指令データと、前記第１指令データの前記等速区間の一部の指令データと、を用いて前記第２指令データを作成することを特徴とする請求項１又は２に記載の指令データの作成方法。
- 前記加速区間の指令データ及び前記減速区間の指令データは、経過時間に対する指令情報を示すデータであることを特徴とする請求項３に記載の指令データの作成方法。
- 前記等速区間の一部の指令データは、位置に対する指令情報を示すデータであることを特徴とする請求項３又は４に記載の指令データの作成方法。
- 前記第２軌道上の、少なくとも前記第２指令データの等速区間に対応する軌道が、前記第１軌道上の前記第１指令データの等速区間に対応する軌道の一部と重複していることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。
- 前記加速区間の指令データ又は前記減速区間の指令データと前記等速区間の一部の指令データとを切り替える切り替え区間において、前記切り替え区間に用いる、前記加速区間の指令データ又は前記減速区間の指令データと、前記等速区間の一部の指令データと、のデータの比率を調整するステップを有することを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。
- 前記第１指令データを記憶するステップを有し、
該記憶するステップにおいて、インデックスと、該インデックスに対応する指令情報と、前記加速区間の指令データと前記減速区間の指令データと前記等速区間の指令データとの各区間に関する情報と、を記憶することを特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。 - 前記第２指令データは、前記第１軌道に沿う前記可動体の駆動における加速条件および減速条件と同じ条件を用いて前記可動体を第２軌道に沿って駆動させるためのデータであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。
- 前記第２軌道における等速区間の長さは前記第１軌道における等速区間の長さとは異なり、
前記第２軌道における前記加速区間と前記等速区間の間の区間における指令データを、前記第１軌道における加速区間の後の第１指令データと前記第１軌道における等速区間の第１指令データとの比率を変更することにより作成することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。 - 前記第２軌道における等速区間の長さは前記第１軌道における等速区間の長さとは異なり、
前記第２軌道における前記等速区間と前記減速区間の間の区間における指令データを、前記第１軌道における等速区間の後の第１指令データと前記第１軌道における減速区間の第１指令データとの比率を変更することにより作成することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の指令データの作成方法。 - 可動体と、
前記可動体に対する学習制御によって取得した、加速区間と等速区間と減速区間を含む第１軌道に沿って可動体を駆動させるための第１指令データを記憶する記憶部と、
前記第１指令のデータの等速区間における一部の指令データを用いて、加速区間と等速区間と減速区間を含む第２軌道に沿って前記可動体を駆動させるための第２指令データを作成する作成部と、
を有することを特徴とする位置決め装置。 - 請求項１乃至１１に記載の作成方法で作成した指令データに基づいて駆動する可動体を有し、
前記可動体上の基板を照射してパターンを形成することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項１３に記載のリソグラフィ装置を用いて、基板を照射する工程と、
前記基板に対してエッチング処理を施す工程とを有し、エッチング処理が施された基板から物品を得ることを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014133284A JP2016012649A (ja) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | 指令データの作成方法、位置決め装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法 |
| US14/749,357 US20150378342A1 (en) | 2014-06-27 | 2015-06-24 | Command data generation method, positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014133284A JP2016012649A (ja) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | 指令データの作成方法、位置決め装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016012649A JP2016012649A (ja) | 2016-01-21 |
| JP2016012649A5 true JP2016012649A5 (ja) | 2017-08-03 |
Family
ID=54930381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014133284A Pending JP2016012649A (ja) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | 指令データの作成方法、位置決め装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20150378342A1 (ja) |
| JP (1) | JP2016012649A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6861508B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2021-04-21 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 |
| CN110147043B (zh) * | 2019-05-31 | 2021-11-16 | 中国工程物理研究院计算机应用研究所 | 一种数据驱动的复杂控制系统扰动解耦容错控制方法 |
| EP4049301A1 (en) * | 2019-10-21 | 2022-08-31 | Applied Materials Israel Ltd. | Method for inspecting a specimen and charged particle beam device |
| JP7508325B2 (ja) | 2020-10-02 | 2024-07-01 | キヤノン株式会社 | フィードバック制御装置、リソグラフィ装置、測定装置、加工装置、平坦化装置、物品の製造方法、コンピュータプログラム、およびフィードバック制御方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6280710A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | San Esu Shoko Co Ltd | デジタルサ−ボ制御法 |
| JP3320276B2 (ja) * | 1995-09-04 | 2002-09-03 | キヤノン株式会社 | 精密制御装置 |
| JPH11114858A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-27 | Toyoda Mach Works Ltd | 軌跡制御方法および軌跡制御装置 |
| US20050231706A1 (en) * | 2004-04-14 | 2005-10-20 | Nikon Corporation | Feedforward control with reduced learning time for lithographic system to improve throughput and accuracy |
| US7774287B2 (en) * | 2006-03-14 | 2010-08-10 | Asml Netherlands B.V. | System and method for moving a component through a setpoint profile, lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US7818073B2 (en) * | 2006-04-20 | 2010-10-19 | Asml Netherlands B.V. | Method for obtaining improved feedforward data, a lithographic apparatus for carrying out the method and a device manufacturing method |
-
2014
- 2014-06-27 JP JP2014133284A patent/JP2016012649A/ja active Pending
-
2015
- 2015-06-24 US US14/749,357 patent/US20150378342A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2016012649A5 (ja) | ||
| PE20190281A1 (es) | Metodos para fabricar placas de yeso con recubrimiento de polimero y placas de yeso fabricadas mediante el metodo | |
| WO2015017355A3 (en) | Apparatus and methods for controlling of robotic devices | |
| WO2015185540A3 (de) | Formwerkzeug, verfahren zu seiner herstellung und verwendung sowie kunststofffolie und kunststoffbauteil | |
| EP2829365A3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bremsen einer Roboterachsanordnung | |
| WO2014206573A3 (de) | Verfahren und bearbeitungsmaschine zum generieren eines dreidimensionalen bauteils durch selektives laserschmelzen | |
| JP2016515397A5 (ja) | ||
| MX2019015812A (es) | Metodo de generacion de velocidad de vehiculo objetivo y dispositivo de generacion de velocidad de vehiculo objetivo para vehiculo de conduccion asistida. | |
| JP2015221491A5 (ja) | ||
| JP2014024162A5 (ja) | ||
| CA2865370A1 (en) | Stereolithography method for producing a three-dimensional object, comprising a movement according to which a supporting surface for said object intermittently approaches the bottom of a container, and stereolithography machine using said method | |
| EP3246663A3 (en) | Sharing safety driving metrics for navigable segments | |
| WO2017063640A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines werkstücks | |
| JP2016507090A5 (ja) | ||
| ES2723378T3 (es) | Procedimiento para montar conjuntos de anclaje en un objeto metálico para anclar un revestimiento de un material de revestimiento curado | |
| WO2017098003A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur prüfung eines eingangsdatensatzes einer generativen schichtbauvorrichtung | |
| JP2017191457A5 (ja) | 医用レポート作成装置、およびその制御方法、医用レポート作成システム、プログラム | |
| JP2016021532A5 (ja) | ||
| EP3296821A3 (en) | Closed-loop model parameter identification techniques for industrial model-based process controllers | |
| JP2019063912A5 (ja) | 情報処理方法、制御プログラム、記録媒体、情報処理装置、ロボットシステム、および物品の製造方法 | |
| BR112017022171A2 (pt) | método para produzir um objeto feito de material polimérico | |
| JP2018086085A5 (ja) | ||
| BRPI0720157A2 (pt) | Dispositivo e método de união de filetes de urdume de camadas de filetes de vários urdumes | |
| DE112016000040A5 (de) | Fahrpedal für die Steuerung einer Antriebsmaschine eines Kraftfahrzeugs mit verstellbarer Nullpunktposition | |
| WO2015150668A3 (fr) | Procede de marquage en surface d'une piece mecanique par une representation graphique predefinie avec effet de type holographique |