JP2015073083A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、所定のストロークで移動可能な第１ステージと、第１ステージ上で、第１ステージのストロークよりも短いストロークで移動可能な第２ステージとを備えるステージ装置であって、第１ステージと第２ステージとの間で推力を発生し、第１ステージと第２ステージとの相対位置に応じて推力定数が異なるアクチュエータを含み、第１ステージに対する第２ステージの相対位置を変化させる第１駆動手段と、第１ステージの位置を変化させる第２駆動手段と、第１ステージの加速度が増加する期間において、第１ステージに対する第２ステージの相対位置が第１ステージの移動方向に変化するように、第１駆動手段または第２駆動手段を制御する制御部を有することを特徴とする。

Claims (14)

1. 所定のストロークで移動可能な第１ステージと、該第１ステージ上で、該第１ステージのストロークよりも短いストロークで移動可能な第２ステージとを備えるステージ装置であって、
   前記第１ステージと前記第２ステージとの間で推力を発生し、前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置に応じて推力定数が異なるアクチュエータを含み、前記第１ステージに対して前記第２ステージの位置を変化させる第１駆動手段と、
   前記第１ステージの位置を変化させる第２駆動手段と、
   前記第１ステージの加速度が増加する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向に変化するように、前記第１駆動手段または前記第２駆動手段を制御する制御部を有することを特徴とするステージ装置。
2. 前記第１駆動手段は、前記アクチュエータとは異なるリニアモータを含み、
   前記制御部は、前記第１ステージの加速度が増加する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向に変化するように、前記リニアモータを制御することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記制御部は、前記第１ステージの加速度が増加する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向に変化するように、前記リニアモータ及び前記第２駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
4. 所定のストロークで移動可能な第１ステージと、該第１ステージ上で、該第１ステージのストロークよりも短いストロークで移動可能な第２ステージとを備えるステージ装置であって、
   前記第１ステージと前記第２ステージとの間で推力を発生し、前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置に応じて推力定数が異なるアクチュエータを含み、前記第１ステージに対して前記第２ステージの位置を変化させる第１駆動手段と、
   前記第１ステージの位置を変化させる第２駆動手段と、
   前記第１ステージが減速中であり、かつ前記第１ステージの加速度が減少する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向と反対方向に変化するように、前記第１駆動手段または前記第２駆動手段を制御する制御部を有することを特徴とするステージ装置。
5. 前記第１駆動手段は、前記アクチュエータとは異なるリニアモータを含み、
   前記制御部は、前記第１ステージが減速中であり、かつ前記第１ステージの加速度が減少する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向と反対方向に変化するように、前記リニアモータを制御することを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
6. 前記制御部は、前記第１ステージが減速中であり、かつ前記第１ステージの加速度が減少する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向と反対方向に変化するように、前記リニアモータ及び前記第２駆動手段を制御することを特徴とする請求項５に記載のステージ装置。
7. 前記制御部は、前記第１駆動手段と前記第２駆動手段との駆動を、それぞれ異なるプロファイルに基づいて制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のステージ装置。
8. 前記アクチュエータは、前記第２ステージの移動方向のそれぞれに対応して設置される複数の電磁石であり、
   前記第１ステージまたは前記第２ステージの一方の側に前記電磁石が設置され、他方の側に前記複数の電磁石のそれぞれに対向する複数の磁性体が設置されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のステージ装置。
9. 前記アクチュエータは、前記第１ステージの加速時に前記第１ステージの移動方向に第１の推力を生じさせる第１の電磁石、及び該第１の電磁石に対向する第１の磁性体と、前記第１ステージの加速時に前記第１ステージの移動方向に前記第１の推力よりも小さい第２の推力を生じさせる第２の電磁石、及び該第２の電磁石に対向する第２の磁性体を含み、
   前記制御部は、前記第１ステージの加速時に、前記第１の電磁石と前記第１の磁性体との間隔が、前記第２の電磁石と前記第２の磁性体との間隔よりも狭くなるように、前記電磁石に電流を供給させることを特徴とする請求項８に記載のステージ装置。
10. 前記アクチュエータは、前記第１ステージの減速時に前記第１ステージの移動方向と反対方向に第３の推力を生じさせる第３の電磁石、及び該第３の電磁石に対向する第３の磁性体と、前記第１ステージの減速時に前記第１ステージの移動方向と反対方向に前記第３の推力よりも小さい第４の推力を生じさせる第４の電磁石、及び該第４の電磁石に対向する第４の磁性体を含み、
    前記制御部は、前記第１ステージの減速時に、前記第３の電磁石と前記第３の磁性体との間隔が、前記第４の電磁石と前記第４の磁性体との間隔よりも狭くなるように、前記電磁石に電流を供給させることを特徴とする請求項８に記載のステージ装置。
11. 前記間隔を計測する計測部を有し、
    前記制御部は、前記計測部が計測した前記間隔の実測値に基づいて、前記アクチュエータが発生させる前記推力を補正することを特徴とする請求項９または１０に記載のステージ装置。
12. 前記制御部は、前記第２ステージの回転姿勢に追従して、前記第１ステージの姿勢を回転させるように、前記第１駆動手段と前記第２駆動手段とを制御することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のステージ装置。
13. 所定のストロークで移動可能な第１ステージと、該第１ステージ上で、該第１ステージの前記ストロークよりも短いストロークで移動可能な第２ステージと、前記第１ステージと前記第２ステージとの間で推力を発生し、前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置に応じて推力定数が異なるアクチュエータを含み、前記第１ステージに対して前記第２ステージの位置を変化させる第１駆動手段と、前記第１ステージの位置を変化させる第２駆動手段と、を備えるステージ装置の駆動方法であって、
    前記第１ステージの加速度が増加する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向に変化するように、前記第１駆動手段または前記第２駆動手段の駆動プロファイルを生成する生成工程と、
    前記生成工程において生成された駆動プロファイルにもとづいて前記第１駆動手段または前記第２駆動手段を制御する制御工程と、
    を含むことを特徴とするステージ装置の駆動方法。
14. 所定のストロークで移動可能な第１ステージと、該第１ステージ上で、該第１ステージの前記ストロークよりも短いストロークで移動可能な第２ステージと、前記第１ステージと前記第２ステージとの間で推力を発生し、前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置に応じて推力定数が異なるアクチュエータを含み、前記第１ステージに対して前記第２ステージの位置を変化させる第１駆動手段と、前記第１ステージの位置を変化させる第２駆動手段と、を備えるステージ装置の駆動方法であって、
    前記第１ステージが減速中であり、かつ前記第１ステージの加速度が減少する期間において、前記第１ステージに対する前記第２ステージの相対位置が前記第１ステージの移動方向に変化するように、前記第１駆動手段または前記第２駆動手段の駆動プロファイルを生成する生成工程と、
    前記生成工程において生成された駆動プロファイルにもとづいて前記第１駆動手段または前記第２駆動手段を制御する制御工程と、
    を含むことを特徴とするステージ装置の駆動方法。