JP2018037672A - 固体撮像装置およびカメラ - Google Patents
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- 第1面および第2面を有する半導体層の中に前記第1面を通してイオンを注入することによって前記半導体層の中に第1導電型の第1分離領域を形成する工程と、
前記半導体層の中に前記第1面を通してイオンを注入することによって前記半導体層の中に第2導電型の複数の電荷蓄積領域を形成する工程と、
前記半導体層の中に前記第2面を通してイオンを注入することによって前記半導体層の中に第1導電型の第2分離領域を形成する工程と、を含み、
前記第1分離領域および前記第2分離領域は、前記複数の電荷蓄積領域における電荷蓄積領域と電荷蓄積領域との間に配置される、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
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