JP2011119543A - 固体撮像装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る固体撮像装置は、光電変換部を含む画素が複数配された裏面入射型固体撮像装置である。PD形成基板101の表面にホールが収集されるP型半導体領域110が配される。PD形成基板101の裏面には、P型半導体領域110の下部にN型半導体領域119が配される。N型半導体領域119は主たる不純物としてヒ素を含む。光電変換部は、P型半導体領域110とN型半導体領域119を含んで構成される。
【選択図】 図1
Description
102 プロセス基板
103 支持基板
104 配線部
105 絶縁膜
106 保護膜
107 光学機能部
108 画素領域
109 周辺回路領域
110 蓄積領域
111 高濃度N型半導体領域
112 画素ウェル
113 フローティングディフュージョン
114 転送ゲート電極
115 ウェルコンタクト領域
116 周辺回路ウェル
117 層間絶縁膜
118 配線
119 N型半導体領域
120 剥離層
Claims (16)
- 光電変換部を含む複数の画素が配された半導体基板と、
前記半導体基板の第1主面側に配された配線層とを有し、
前記半導体基板の第1主面とは反対側の第2主面から、前記光電変換部へ光が入射する裏面入射型の固体撮像装置において、
前記光電変換部が、第1のN型半導体領域と第1のP型半導体領域とを含み、
前記第1のN型半導体領域は、主たる不純物としてヒ素を含み、
前記第1のN型半導体領域は、前記第1のN型半導体領域よりも前記半導体基板の第2主面に近い位置に配され、
光電変換によって発生したホールが、信号電荷として前記第1のP型半導体領域に収集される
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記半導体基板の第2主面上に絶縁膜が配され、
前記第1のN型半導体領域が、前記絶縁膜と接するように配されたことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - フローティングディフュージョンと、
前記第1のP型半導体領域に収集されたホールを前記フローティングディフュージョンに転送する転送部と、
前記フローティングディフュージョンに転送されたホールの量に応じた信号を読み出す回路と、
を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記第1のP型半導体領域と前記第1のN型半導体領域との間に、第2のP型半導体領域が配され、
前記第2のP型半導体領域が完全空乏化することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2のP型半導体領域が、前記半導体基板の第1主面に平行な平面方向に沿って、前記半導体基板の端部にまで延在して配されたことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記第1のP型半導体領域と前記第1のN型半導体領域との間に、第2のN型半導体領域が配されたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記第2のN型半導体領域が、前記半導体基板の第1主面からの深さが異なる2つのN型半導体領域を含み、
該2つのN型半導体領域のうち、第1主面に近い領域の不純物濃度が、他方の領域の不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記第2のN型半導体領域が、前記半導体基板の第1主面からの深さが異なる複数のN型半導体領域を含み、
該複数のN型半導体領域の中では、最も第1主面に近い領域の不純物濃度が最も高く、
前記第1のN型半導体領域の不純物濃度は前記最も第1主面に近い領域の不純物濃度よりも高いことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記第2のN型半導体領域の不純物濃度が均一であることを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。
- 前記第2のN型半導体領域が、前記半導体基板の第1主面に平行な平面方向に沿って、前記半導体基板の端部にまで延在して配されたことを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記第1のN型半導体領域が、前記半導体基板の第1主面に平行な平面方向に沿って、前記半導体基板の端部にまで延在して配されたことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素のうち、隣接する画素の前記第1のP型半導体領域の間に、画素分離部を有することを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力された撮像信号を処理する信号処理部とを有した撮像システム。 - 固体撮像装置の製造方法であって、
半導体基板の第2主面にヒ素をイオン注入する工程と、
前記半導体基板を前記第2主面とは反対側の第1主面側から薄くする工程と、
前記半導体基板の前記第2主面側にプロセス基板を貼り合わせる工程と、
前記半導体基板の第1主面側に配線層を形成する工程と、
前記プロセス基板を除去する工程と
を含むことを特徴とする裏面入射型の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板の第1主面に配線層を形成する工程と、
前記半導体基板を第1主面とは反対側の第2主面側から薄くする工程と、
前記半導体基板の第2主面にヒ素をイオン注入する工程と、
を含むことを特徴とする裏面入射型の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置の製造方法であって、
SOI層、BOX層、バルク基板からなるSOI基板の、SOI層にヒ素をイオン注入する工程と、
前記SOI層上にエピタキシャル成長によってシリコン膜を形成する工程と、
前記SOI層のBOX層とは反対側に配線層を形成する工程と、
前記バルク基板を除去する工程と、
を含むことを特徴とする裏面入射型の固体撮像装置の製造方法。
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