JP2011044548A - 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011044548A JP2011044548A JP2009191133A JP2009191133A JP2011044548A JP 2011044548 A JP2011044548 A JP 2011044548A JP 2009191133 A JP2009191133 A JP 2009191133A JP 2009191133 A JP2009191133 A JP 2009191133A JP 2011044548 A JP2011044548 A JP 2011044548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- gate electrode
- insulating film
- imaging device
- state imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 168
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 239000007787 solid Substances 0.000 title 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 171
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 208
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 107
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 36
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 31
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 25
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 12
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 54
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 103
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 29
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 19
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 19
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14641—Electronic components shared by two or more pixel-elements, e.g. one amplifier shared by two pixel elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14692—Thin film technologies, e.g. amorphous, poly, micro- or nanocrystalline silicon
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】転送ゲート電極をチャネル形成領域の上方からフォトダイオードの上層における埋込酸化膜の上方に渡るように形成する。
【選択図】図5
Description
1.実施形態1(BOX層上に転送ゲート電極が形成されている場合)
2.実施形態2(基板(P+)上に転送ゲート電極が形成されている場合)
3.実施形態3(トップシリコン上に転送ゲート電極が形成されている場合)
4.実施形態4(酸化膜上に転送ゲート電極が形成されている場合)
[A]装置構成
図1は、本発明の一実施形態に係るカメラの構成を示す構成図である。
固体撮像装置1の全体構成について説明する。
撮像領域PAについて説明する。
周辺領域SAについて説明する。
本実施形態にかかる固体撮像装置1の詳細内容について説明する。
半導体基板101の内部には、図5に示すように、フォトダイオード21が形成されている。フォトダイオード21は、半導体基板101の裏面側から光を受光し、受光した光を光電変換することにより信号電荷を生成する。
このフォトダイオード21は、図5に示すように、n型半導体層10およびp型半導体層20を含み、p型半導体層20は、n型半導体層10より浅い部分に形成されている。そして、フォトダイオード21において、図5に示すように、n型半導体層10とp型半導体層20が接して、PN接合部を形成している。
シリコン膜40は、表面がたとえば熱酸化法により酸化されており、表面にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜42が形成されている。そして、ゲート絶縁膜42上に増幅トランジスタ23、選択トランジスタ24およびリセットトランジスタ25である画素トランジスタTrのゲート電極Trgが設けられている。そして、図示していないが、ゲート電極Trgと隣接してシリコン膜40中にソース・ドレイン領域が設けられ、ゲート電極Trg、ゲート絶縁膜42と共に画素トランジスタTrを構成する。
転送トランジスタ22は、図5に示すように、半導体基板101の表面に設けられている。転送トランジスタ22は、フォトダイオード21が生成した信号電荷を読み出す。
また、転送ゲート電極22gの下層であって、フローティングディフュージョンFDとフォトダイオード21との間の領域が、チャネルが形成されるチャネル形成領域CHである。
そして、転送トランジスタ22は、チャネルを通って、フローティングディフュージョンFDへフォトダイオード21のn型半導体層10に蓄積された信号電荷を読み出す。つまり、転送トランジスタ22においては、フローティングディフュージョンFDとフォトダイオード21のn型半導体層10とが、一対のソース・ドレイン領域として構成される。
画素トランジスタTrは、図3に示す増幅トランジスタ23、選択トランジスタ24およびリセットトランジスタ25である。
トレンチREは、半導体基板101において、フォトダイオード21と隣接するように設けられている。たとえば、トレンチREは、半導体基板101において、埋込酸化膜30およびp型半導体層20にエッチング処理を施して、底面にn型半導体層10が露出するように形成されている。好ましくは、トレンチREの深さは、n型半導体層10の表面が露出する深さである。このトレンチREにおいては、内面の半導体基板101が、たとえば熱酸化法により酸化されており、トレンチREにおける半導体基板101の表面上にシリコン酸化膜からなる転送トランジスタ22のゲート絶縁膜54が形成されている。
p型半導体領域50は、トレンチREの下層であって半導体基板101中に、フローティングディフュージョンFDに対して間を隔てて対面しており、たとえば、p型半導体層20より深い部分に形成されている。p型半導体領域50は、たとえば、図5の断面において、トレンチREの幅、すなわちチャネル形成領域CHとフローティングディフュージョンFDとを合わせた長さと同一の長さとなるように形成されている。
p型半導体領域50は、上述とは異なりトレンチREの幅より長く、後述するフォトダイオード分離層60と接触していてもよい。
半導体基板101において、図5に示すように、n型半導体層10を分離するフォトダイオード分離層60が形成されている。たとえば、フォトダイオード分離層60は、p型不純物をイオン注入することにより形成されている。
以下より、上記の固体撮像装置1を製造する製造方法について説明する。
まず、図6(a)に示すように、p型半導体層20を形成する。
ここでは、半導体基板101へp型不純物をイオン注入することにより、p型半導体層20を半導体基板101に形成する。このp型半導体層20は、少なくともフォトダイオード21とチャネル形成領域CHとフローティングディフュージョンFDとを形成する部分に形成する。
注入エネルギー :約50keV
不純物濃度 :約1×1013/cm2
注入エネルギー :約100keV〜約3MeV
不純物濃度 :約2×1012/cm2
注入エネルギー :約400keV
不純物濃度 :約4×1012/cm2
次に、図5に示すように、転送トランジスタ22および画素トランジスタTrを形成する。
そして、図7(d)に示すように、上記のマスク(図示なし)を用いてシリコン膜40にエッチング処理を施すことにより、画素トランジスタTrを配置する部分以外のシリコン膜40を除去する。その後、マスク(図示なし)を除去する。
たとえば、レジストパターン80は、半導体基板101上に成膜されたフォトレジスト膜(図示なし)へ露光装置を用いてパターン像を露光する露光処理を実施し、その後現像処理を実施することにより形成する。
たとえば、以下に示す条件で、半導体基板101へp型不純物をイオン注入する。
注入エネルギー :約70keV
不純物濃度 :約4×1012atom/cm2
使用ガス :CF4
使用ガス :CF4+O2
これにより、トレンチREに対しp型半導体領域50が自己整合的に形成される。
注入エネルギー :約10keV
注入量 :約2×1015atom/cm2
以上のように、本実施例においては、転送ゲート電極22gとp型半導体層20がゲート絶縁膜54を介して隣接しており、合わせずれの影響を受けない。フォトダイオード21の光電子蓄積部は、p型半導体層20の下のn型半導体層10の部分であるが、転送ゲート電極22gと光電子蓄積部の位置関係も合わせずれの影響を受けない。チャネル領域は、p型半導体層20の端とp型半導体領域50の端がどちらもトレンチREで規定されていることから、これも合わせずれの影響を受けない。
したがって、本実施形態における製造方法によれば、フォトダイオード21からフローティングディフュージョンへの信号電荷の転送特性に優れた固体撮像装置1を製造することができる。
その結果、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい固体撮像装置1を製造することができる。また、この固体撮像装置1を用いることにより、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい電子機器を製造することができる。
[A]装置構成
図10は、本発明の実施形態2に係る固体撮像装置の断面を示す図である。
以下より、上記の固体撮像装置1bを製造する方法について説明する。
以上のように、本実施形態においては、転送ゲート電極22gbを除いて実施形態1と同様に各部が形成されている。
その結果、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい固体撮像装置1bを製造することができる。また、この固体撮像装置1bを用いることにより、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい電子機器を製造することができる。
[A]装置構成
図12は、本発明の実施形態3に係る固体撮像装置の断面を示す図である。
以下より、上記の固体撮像装置1cを製造する方法について説明する。
以上のように、本実施形態においては、転送ゲート電極22gcを除いて実施形態1と同様に各部が形成されている。
その結果、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい固体撮像装置1cを製造することができる。また、この固体撮像装置1cを用いることにより、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい電子機器を製造することができる。
[A]装置構成
固体撮像装置1において、フォトダイオード21dは、図2に示すように、複数が撮像面(xy面)に配置されている。複数のフォトダイオード21dは、複数の画素Pの配列に対応するように、水平方向xと、この水平方向xに対して直交する垂直方向yとのそれぞれに等間隔で並んでいる。
転送トランジスタ22dは、図15に示すように、複数の画素Pに対応するように、複数が形成されている。ここでは、各転送トランジスタ22dは、撮像面(xy面)において水平方向xと垂直方向yとに対して傾斜する傾斜方向に並ぶ複数の画素Pの間に設けられたフローティングディフュージョンFDdを、2つの転送トランジスタ22dが挟むように形成されている。
画素トランジスタTrdにおいて、増幅トランジスタ23d、選択トランジスタ24dおよびリセットトランジスタ25dは、図15に示すように、垂直方向yに並ぶ複数のフォトダイオード21dの間に設けられている。
以下より、上記の固体撮像装置1dを製造する方法について説明する。
以上のように、フォトダイオード21d、転送ゲート電極22gdおよび画素トランジスタTrdの配置数を除いて実施形態1と同様に各部が形成されている。
その結果、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい固体撮像装置1dを製造することができる。また、この固体撮像装置1dを用いることにより、飽和信号が多く、感度が高く、ランダムノイズが小さい電子機器を製造することができる。
Claims (13)
- 第1および第2の領域がpn接合された光電変換部と、チャネル領域を介在して前記光電変換部から信号電荷を読出しドレインへ転送する転送トランジスタとを、半導体基板の撮像面に形成することによって、固体撮像装置を製造する工程
を具備し、
前記固体撮像装置を製造する工程は、
前記撮像面にて前記光電変換部と前記チャネル領域と読出しドレインとを形成する部分に、第1導電型不純物をイオン注入して、前記半導体基板に前記第1領域を形成する工程と、
前記撮像面にて前記光電変換部と前記チャネル領域と読出しドレインとを形成する部分であって、前記第1領域よりも深い部分に、第2導電型不純物を注入することによって、前記半導体基板に前記第2領域を形成する工程と、
前記撮像面の上方において、前記チャネル領域と前記読出しドレインとを形成する部分が開口するように、レジストパターンを形成する工程と、
前記撮像面において、前記チャネル領域と前記読出しドレインとを形成する部分であって、前記第1領域よりも深い部分に、前記レジストパターンをマスクとして用いて、第1導電型不純物を注入することによって、前記半導体基板に第3領域を形成する工程と、
前記第1領域のうち、前記第3領域の上方の部分をエッチング処理で除去する工程と、
前記半導体基板の撮像面において、前記第1領域が除去された面に、前記転送トランジスタのゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記転送トランジスタの転送ゲート電極が前記ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域の上方から、前記第1領域の上方に渡るように、前記転送ゲート電極を形成する工程と、
前記半導体基板の撮像面において、前記第1領域が除去された面に、前記転送ゲート電極をマスクとして用いて、第2導電型の不純物をイオン注入することによって、前記読出しドレインを形成する工程と
を有する、
固体撮像装置の製造方法。 - 前記第3領域の形成工程では、前記第2領域よりも深い部分に位置するように、前記第3領域を形成する、
請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第1領域の形成工程では、前記半導体基板の撮像面に形成された絶縁膜を介して、第1導電型不純物をイオン注入して、前記第1領域を形成し、
第2領域の形成工程では、前記絶縁膜を介して、第2導電型不純物を注入することによって、前記第2領域を形成し、
前記レジストパターンの形成工程では、前記絶縁膜の上方に前記レジストパターンを形成し、
前記第1領域の除去工程の実施前に、前記レジストパターンをマスクとして用いて、前記絶縁膜のうち、前記半導体基板の撮像面にて前記チャネル領域と読出しドレインとを形成する部分に設けられた絶縁膜をエッチング処理で除去する、
請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第1領域の形成工程では、前記半導体基板の撮像面において前記絶縁膜と前記絶縁膜の上方に形成された半導体層とを介して、第1導電型の不純物をイオン注入して、前記第1領域を形成し、
前記第2領域の形成工程では、前記絶縁膜および前記半導体層とを介して、第2導電型の不純物を注入することによって、前記第2領域を形成する、
請求項3に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記固体撮像装置を製造する工程は、
前記読出しドレインへ転送された信号電荷によるデータ信号を信号線へ出力するトランジスタを、前記半導体層を用いて前記撮像面に形成する工程
をさらに有し、
当該トランジスタの形成工程においては、前記第2領域の形成工程の実施後に、前記半導体層を前記トランジスタに対応するようにパターン加工し、
前記転送トランジスタのゲート絶縁膜を形成する工程において、前記半導体層に当該トランジスタのゲート絶縁膜を、さらに形成し、
前記転送ゲート電極を形成する工程において、前記撮像面において前記転送ゲート電極と前記トランジスタのゲート電極とを形成する部分を被覆するように導電膜を形成後、当該導電膜についてパターン加工することによって、前記転送ゲート電極と前記トランジスタのゲート電極とを形成する、
請求項4に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記転送ゲート電極を形成する工程においては、前記チャネル領域の上方から、前記トランジスタのゲート絶縁膜を介して前記絶縁膜の上方に渡るように、前記転送ゲート電極を形成する、
請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 半導体基板の撮像面において、第1導電型の第1領域、および、第2導電型の第2領域が前記半導体基板内でpn接合されており、前記第2領域が、前記第1領域よりも深い部分に設けられている光電変換部と、
前記撮像面に設けられており、前記光電変換部に蓄積された信号電荷を、前記第1領域表面よりも下方で横方向に隣接するチャネル領域を介在して読出しドレインへ転送する転送トランジスタと
を具備し、
前記転送トランジスタの転送ゲート電極は、ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域の上方から、段差を乗り越えて前記第1領域の上方に渡るように、形成されている、
固体撮像装置。 - 前記撮像面に設けられており、前記読出しドレインの下方に形成されている、第1導電型の第3領域が形成されている、
請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部の上方に形成された絶縁膜
を有し、
前記転送ゲート電極は、前記第1領域の上方において、前記絶縁膜が介在するように形成されている、
請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記読出しドレインへ転送された信号電荷によるデータ信号を信号線へ出力するトランジスタ
を具備し、
前記トランジスタは、前記絶縁膜の上方に設けられている、
請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記転送ゲート電極は、前記第1領域の上方において、前記半導体層が介在するように形成されている、
請求項10に記載の固体撮像装置。 - 半導体層と、その下部の絶縁膜と、その下部の半導領域を含む半導体基板の撮像面において、第1導電型の第1領域、および、第2導電型の第2領域が前記半導体領域内でpn接合されており、前記第2領域が、前記第1領域よりも深い部分に設けられている光電変換部と、
前記撮像面に設けられており、前記光電変換部に蓄積された信号電荷を、チャネル領域を介在して読出しドレインへ転送する転送トランジスタと
を具備し、
前記転送トランジスタの転送ゲート電極は、前記読出しドレイン側の前記絶縁膜を除去した部分と、前記光電変換部側の前記絶縁膜を除去しない部分の段差に渡るように形成されている、
固体撮像装置。 - 半導体基板の撮像面において、第1導電型の第1領域、および、第2導電型の第2領域が前記半導体基板内でpn接合されており、前記第2領域が、前記第1領域よりも深い部分に設けられている光電変換部と、
前記撮像面に設けられており、前記光電変換部に蓄積された信号電荷を、前記第1領域表面よりも下方で横方向に隣接するチャネル領域を介在して読出しドレインへ転送する転送トランジスタと
を具備し、
前記転送トランジスタの転送ゲート電極は、ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域の上方から、段差を乗り越えて前記第1領域の上方に渡るように、形成されている、
電子機器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191133A JP5487798B2 (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 |
TW099124978A TWI455295B (zh) | 2009-08-20 | 2010-07-28 | 固態成像裝置、電子設備及製造固態成像裝置之方法 |
KR1020100074658A KR20110019702A (ko) | 2009-08-20 | 2010-08-02 | 고체 촬상 장치, 전자기기 및 고체 촬상 장치의 제조 방법 |
US12/854,597 US8399914B2 (en) | 2009-08-20 | 2010-08-11 | Method for making solid-state imaging device |
CN201010250753.XA CN101997015B (zh) | 2009-08-20 | 2010-08-11 | 固体摄像器件及其制造方法和电子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009191133A JP5487798B2 (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011044548A true JP2011044548A (ja) | 2011-03-03 |
JP5487798B2 JP5487798B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=43604618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009191133A Expired - Fee Related JP5487798B2 (ja) | 2009-08-20 | 2009-08-20 | 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8399914B2 (ja) |
JP (1) | JP5487798B2 (ja) |
KR (1) | KR20110019702A (ja) |
CN (1) | CN101997015B (ja) |
TW (1) | TWI455295B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9337224B2 (en) | 2013-01-17 | 2016-05-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | CMOS image sensor and method of manufacturing the same |
WO2023190406A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置、固体撮像装置 |
WO2023190407A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置、固体撮像装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6327779B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2018-05-23 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、焦点検出装置および撮像システム |
JP2014022561A (ja) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Sony Corp | 固体撮像装置、及び、電子機器 |
JP2014199898A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-10-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および製造方法、並びに、電子機器 |
KR20150061074A (ko) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
EP3358827A4 (en) | 2015-09-30 | 2019-11-27 | Nikon Corporation | PICTURE ELEMENT AND ELECTRONIC CAMERA |
JP6883217B2 (ja) | 2016-02-09 | 2021-06-09 | ソニーグループ株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法、並びに、固体撮像素子及び電子機器 |
JPWO2017183383A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2019-01-17 | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
CN110970453A (zh) * | 2018-10-01 | 2020-04-07 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005311496A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2006173351A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Sony Corp | 裏面入射型固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2009140983A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5466612A (en) * | 1992-03-11 | 1995-11-14 | Matsushita Electronics Corp. | Method of manufacturing a solid-state image pickup device |
US6023081A (en) * | 1997-11-14 | 2000-02-08 | Motorola, Inc. | Semiconductor image sensor |
JP2004014911A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3840214B2 (ja) * | 2003-01-06 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光電変換装置の製造方法及び同光電変換装置を用いたカメラ |
JP4439888B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2010-03-24 | イノテック株式会社 | Mos型固体撮像装置及びその駆動方法 |
US20050274994A1 (en) * | 2004-06-14 | 2005-12-15 | Rhodes Howard E | High dielectric constant spacer for imagers |
KR100630704B1 (ko) * | 2004-10-20 | 2006-10-02 | 삼성전자주식회사 | 비평면 구조의 트랜지스터를 구비한 cmos 이미지 센서및 그 제조 방법 |
JP2007096271A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-04-12 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US7344910B2 (en) * | 2005-09-27 | 2008-03-18 | Omnivision Technologies, Inc. | Self-aligned photodiode for CMOS image sensor and method of making |
JP4321568B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2009-08-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および撮像装置 |
-
2009
- 2009-08-20 JP JP2009191133A patent/JP5487798B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-07-28 TW TW099124978A patent/TWI455295B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-08-02 KR KR1020100074658A patent/KR20110019702A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-08-11 CN CN201010250753.XA patent/CN101997015B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-08-11 US US12/854,597 patent/US8399914B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005311496A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2006173351A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Sony Corp | 裏面入射型固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2009140983A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9337224B2 (en) | 2013-01-17 | 2016-05-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | CMOS image sensor and method of manufacturing the same |
WO2023190406A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置、固体撮像装置 |
WO2023190407A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置、固体撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101997015A (zh) | 2011-03-30 |
US8399914B2 (en) | 2013-03-19 |
US20110042723A1 (en) | 2011-02-24 |
TWI455295B (zh) | 2014-10-01 |
JP5487798B2 (ja) | 2014-05-07 |
CN101997015B (zh) | 2012-11-28 |
TW201117364A (en) | 2011-05-16 |
KR20110019702A (ko) | 2011-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5487798B2 (ja) | 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 | |
JP5366396B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法、半導体装置の製造方法、光電変換装置、及び撮像システム | |
JP3584196B2 (ja) | 受光素子及びそれを有する光電変換装置 | |
JP5442100B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP5531580B2 (ja) | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 | |
JP6406585B2 (ja) | 撮像装置 | |
TW201630173A (zh) | 固體攝像裝置及固體攝像裝置之製造方法 | |
JP2014045219A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2006261411A (ja) | フォトダイオード領域を埋め込んだイメージセンサ及びその製造方法 | |
TWI505454B (zh) | 固態攝像裝置及其驅動方法、固態攝像裝置之製造方法、以及電子資訊機器 | |
JP2007110133A (ja) | Cmosイメージセンサ及びその製造方法 | |
TW202245243A (zh) | 圖像感測器及其製造方法 | |
JP2011159758A (ja) | 固体撮像装置とその製造方法、並びに電子機器 | |
US20130126952A1 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same, and imaging apparatus | |
JP2005347740A (ja) | 光電変換装置及び撮像システム | |
JP2018067615A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに、電子機器 | |
JP4115446B2 (ja) | Cmosイメージセンサの製造方法 | |
JP2010098192A (ja) | 光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法 | |
JP4779781B2 (ja) | 固体撮像装置とその製造方法 | |
JP2007184586A (ja) | Cmosイメージセンサの製造方法 | |
JP2007180538A (ja) | Cmosイメージセンサ及びその製造方法 | |
JP4815769B2 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
JP2018046089A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに、電子機器 | |
JP2007180536A (ja) | Cmosイメージセンサ及びその製造方法 | |
JP2009140983A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131024 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140210 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |