JP2018036440A5 - - Google Patents

Description

本発明の一つの側面は、対象物にレーザ光を照射して前記対象物を加工するための光学装置であって、第１反射面と第２反射面とを含む回転可能な反射部材と、複数の反射面を含み、前記第１反射面で反射された光を前記複数の反射面で順次反射して前記第２反射面に入射させる光学系と、前記反射部材の回転角度を変更する駆動部と、前記第１反射面で反射された光の位置を検出又は表示するための光入射部と、を有することを特徴とする。

Claims (15)

1. 対象物にレーザ光を照射して前記対象物を加工するための光学装置であって、
   第１反射面と第２反射面とを含む回転可能な反射部材と、
   複数の反射面を含み、前記第１反射面で反射された光を前記複数の反射面で順次反射して前記第２反射面に入射させる光学系と、
   前記反射部材の回転角度を変更する駆動部と、
   前記第１反射面で反射された光の位置を検出又は表示するための光入射部と、
   を有することを特徴とする光学装置。
2. 前記駆動部を制御する制御部を有し、
   前記制御部は、前記第１反射面で反射された光を前記光入射部に導くように前記駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
3. 前記第１反射面で反射された光を前記光入射部へ反射する反射光学素子を有し、
   前記制御部は、前記第１反射面で反射された光を前記反射光学素子に入射させるように前記駆動部を制御することを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
4. 前記光入射部には、前記複数の反射面のうちの１つを透過した光が入射することを特徴とする請求項１または２に記載の光学装置。
5. 前記光入射部は、前記第１反射面で反射された光の位置を検出する検出素子、又は、前記第１反射面で反射された光の位置を表示するためのスクリーンを含むことを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項に記載の光学装置。
6. 前記光入射部は、前記第１反射面で反射された光の位置を表示するスクリーンと、前記スクリーンを撮像する撮像部とを含むことを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項に記載の光学装置。
7. 前記スクリーンは、前記位置を示す指標を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の光学装置。
8. 前記第１反射面で反射された光を通過させる窓を有し、前記窓を通過した光を前記光入射部へ入射させることを特徴とする請求項１ないし７のうちいずれか１項に記載の光学装置。
9. 前記第１反射面で反射された光のうち前記光入射部に入射する光を、前記光学系を介さずに前記光入射部に入射させることを特徴とする請求項１ないし３、５ないし８のうちいずれか１項に記載の光学装置。
10. 前記複数の反射面のうち少なくとも１つは、回転角度が調整可能であることを特徴とする請求項１ないし９のうちいずれか１項に記載の光学装置。
11. 前記第２反射面で反射された光が入射する第３反射面と、第４反射面とを含む回転可能な第２反射部材と、
    第２の複数の反射面を含み、前記第３反射面で反射された光を前記第２の複数の反射面で順次反射して前記第４反射面に入射させる第２光学系と、
    前記第２反射部材の角度を変更する第２駆動部と、
    前記第３反射面で反射された光の位置を検出又は表示するための第２光入射部と、
    をさらに有することを特徴とする請求項１ないし１０のうちいずれか１項に記載の光学装置。
12. 前記光入射部は、前記第１反射面から第１光路長だけ隔てた位置にある第１光入射部と、前記第１反射面から前記第１光路長とは長さが異なる第２光路長だけ隔てた位置にある第２光入射部とを含むことを特徴とする請求項１ないし１０のうちいずれか１項に記載の光学装置。
13. 前記光入射部は、前記第１光入射部により得られた入射光の位置と、前記第２光入射部により得られた入射光の位置と、に基づいて、前記第１反射面で反射された光の角度を求めることを特徴とする請求項１２に記載の光学装置。
14. 前記光入射部により得られた入射光の位置に基づいて、前記レーザ光の光路を調整する調整部を有することを特徴とする請求項１ないし１３のうちいずれか１項に記載の加工装置。
15. 請求項１ないし１４に記載の光学装置を用いて物体の加工を行う工程と、
    前記工程で前記加工を行われた前記物体の処理を行う工程と、
    を含み、処理された物体から物品を得ることを特徴とする物品製造方法。