JP2016103007A5 - 光学装置、加工装置、および、物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光学装置、加工装置、および、物品の製造方法に関する。

本発明の一側面によれば、第１反射面と第２反射面を有し、第１軸について回転可能な第１反射部材と、前記第１反射面で反射された光を順次反射させて前記第２反射面に導く第１の複数の反射面を有する第１光学系と、前記第１反射部材の回転角度を変更して、前記第２反射面で反射されて出射する光の光路を調整する第１調整部と、前記第２反射面で反射された光が入射する第３反射面と、第４反射面を有し、前記第１軸に対して平行ではない第２軸について回転可能な第２反射部材と、前記第３反射面で反射された光を順次反射させて前記第４反射面に導く第２の複数の反射面を有する第２光学系と、前記第２反射部材の回転角度を変更して、前記第４反射面で反射されて出射する光の光路を調整する第２調整部と、を有することを特徴とする光学装置が提供される。

Claims (14)

1. 第１反射面と第２反射面を有し、第１軸について回転可能な第１反射部材と、
   前記第１反射面で反射された光を順次反射させて前記第２反射面に導く第１の複数の反射面を有する第１光学系と、
   前記第１反射部材の回転角度を変更して、前記第２反射面で反射されて出射する光の光路を調整する第１調整部と、
   前記第２反射面で反射された光が入射する第３反射面と、第４反射面を有し、前記第１軸に対して平行ではない第２軸について回転可能な第２反射部材と、
   前記第３反射面で反射された光を順次反射させて前記第４反射面に導く第２の複数の反射面を有する第２光学系と、
   前記第２反射部材の回転角度を変更して、前記第４反射面で反射されて出射する光の光路を調整する第２調整部と、を有することを特徴とする光学装置。
2. 前記第１反射部材の前記第１反射面と前記第２反射面は、互いに反対側の面にあることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
3. 前記第２反射部材の前記第３反射面と前記第４反射面は、互いに反対側の面にあることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
4. 前記第１反射部材における前記第１反射面、前記第２反射面および前記第１光学系における前記第１の複数の反射面は、平面であり、前記第１調整部は、前記第２反射面で反射されて出射する光の光路を並進させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光学装置。
5. 前記第１の複数の反射面又は前記第２の複数の反射面はそれぞれ、４つの反射面を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光学装置。
6. 前記第１の複数の反射面又は前記第２の複数の反射面はそれぞれ、２つの反射面を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光学装置。
7. 前記第１光学系内の光路がなす面と、前記第２光学系内の光路がなす面は、互いに平行ではないことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学装置。
8. 前記第１光学系内の光路により囲まれる第１面と、前記第２光学系内の光路により囲まれる第２面は、互いに交差することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学装置。
9. 前記第１面と前記第２面の交差線は、前記第１反射部材と前記第２反射部材との間にあることを特徴とする請求項８に記載の光学装置。
10. 前記第１の複数の反射面は、前記第１反射部材により反射された光を、前記第１軸に対して平行ではない面の方向に反射させることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光学装置。
11. 前記第１反射面で反射された光を、前記第１光学系の反射面で順次偶数回反射させて、前記第２反射面に入射させ、
    前記第３反射面で反射された光を、前記第２光学系の反射面で順次偶数回反射させて、前記第４反射面に入射させる、ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光学装置。
12. 光源と、
    請求項１乃至請求項１１のうちいずれか１項に記載の光学装置と、を含み、前記光学装置からの光で物体を加工することを特徴とする加工装置。
13. 前記光学装置から射出した光を物体へ導く光学素子を含むことを特徴とする請求項１２に記載の加工装置。
14. 請求項１２又は１３に記載の加工装置を用いて物体を加工する工程と、
    前記加工された物体を処理する工程と、を有し、前記処理された物体から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。