JP7412925B2 - 光学装置、および、物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る光学装置の一部の構成例を示す図である。本実施形態における光学装置は、出射する光の経路(光路)を制御可能であり、例えば、光線の並進(平行シフト)が可能である。本実施形態の光線平行シフト機構(並進光学系)は、レーザ光源50からの光線51を反射するミラー部材2(反射部材ともいう)を含む。なお、以下の説明では、各反射面が平面とみなせ、光路の並進を行う場合について例示する。ミラー部材2は、例えば、ガラスで構成され、光源50からの光線51を受ける第1反射面2aと、その反対側の第2反射面2bとを有する。第1反射面2a及び第2反射面2bには、それぞれ高反射率を有するコーティングがされている。なお、ミラー部材2は、プリズム状に構成されていてもよいし、第1反射面2aと第2反射面2bとがそれぞれ独立した構成であってもよい。
このように、ミラー部材2は回転可能(角度可変)に構成されている。ここでは、ミラー部材2は、光源50からの光線51に対して略45度に傾斜している。本明細書では、このようなミラー部材をガルバノミラー光学系という。なお、ミラー部材2が、光学装置を出射する光の光路を制御できるように構成されていればよく、この構成に限られるものではない。
以上に説明した実施形態に係る加工装置は、物品製造方法に使用しうる。当該物品製造方法は、当該加工装置を用いて物体(対象物)の加工を行う工程と、当該工程で加工を行われた物体を処理する工程と、を含みうる。当該処理は、例えば、当該加工とは異なる加工、搬送、検査、選別、組立(組付)、および包装のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。上述の実施形態では、制御部60とコンピュータ装置35は別体としたが、制御部60がコンピュータ装置35の機能を実現しても良いし、コンピュータ装置35が制御部60の機能を実現しても良い。
20,21 (ガルバノ)ミラー
23 物体
24 フォトディテクタ
32 ステージ
35 コンピュータ装置
37 演算部
50,71 レーザ光源
60 制御部
100 レーザ加工装置
Claims (9)
- 対象物にレーザ光を照射して前記対象物を加工する光学装置であって、
第1の複数のガルバノミラーを含み、前記第1の複数のガルバノミラーを駆動することにより2つの方向においてレーザ光が対象物に入射する入射角度を調整する第1ガルバノミラー光学系と、
可動レンズを含み、前記可動レンズを駆動することにより焦点方向におけるレーザ光の焦点位置を調整する焦点位置調整機構と、
第2の複数のガルバノミラーを含み、前記第2の複数のガルバノミラーを駆動することによりレーザ光の焦点方向に垂直な2つの方向においてレーザ光が対象物に入射する入射位置を調整する第2ガルバノミラー光学系と、
前記第1ガルバノミラー光学系の第1の複数のガルバノミラーと、前記焦点位置調整機構の可動レンズと、前記第2ガルバノミラー光学系の第2の複数のガルバノミラーの駆動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1の複数のガルバノミラーの駆動量と前記可動レンズの駆動量に基づき、前記第1の複数のガルバノミラーと前記可動レンズの駆動による前記入射位置のずれ、を補正するように、前記第2の複数のガルバノミラーの駆動を制御する、
ことを特徴とする光学装置。 - 前記焦点位置調整機構の可動レンズの駆動量に基づき、前記入射位置のずれを補正するための補正量を前記入射角度に応じて算出し、算出された補正量に用いて前記第2ガルバノミラー光学系の複数のガルバノミラーの駆動を制御することを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記制御部は、前記焦点位置調整機構の可動レンズの駆動量と前記第1ガルバノミラー光学系の複数のガルバノミラーの駆動量に基づいて前記補正量を算出することを特徴とする請求項2に記載の光学装置。
- 前記入射位置のずれ量に対応する前記補正量を記憶した記憶部を有することを特徴とする請求項2または3に記載の光学装置。
- レーザ光が照射された対象物からの反射光を検出する検出部を備え、
前記制御部は、前記検出部によって検出される前記反射光の光量に基づいて、前記焦点位置調整機構の可動レンズの駆動を制御することを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記制御部は、検出される前記反射光の光量が極大となるように、前記焦点位置調整機構の可動レンズを駆動することを特徴とする請求項5に記載の光学装置。
- 前記検出部は、共焦点光学系を用いて光の検出を行うことを特徴とする請求項5または6に記載の光学装置。
- 前記検出部により検出を行う際に用いられる光の光量は、前記対象物を加工する際に用いられる光の光量よりも少ないことを特徴とする請求項5ないし7のうちいずれか1項に記載の光学装置。
- 請求項1ないし8のうちいずれか1項に記載の光学装置を用いて物体の加工を行う工程と、
前記工程で前記加工を行われた前記物体の処理を行う工程と、を含むことを特徴とする物品製造方法。
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