JP2017062438A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 対物レンズと、
   前記対物レンズを介して標本にオートフォーカス光を照射するアクティブ型のオートフォーカス装置であって、前記オートフォーカス光の照明光軸が前記対物レンズの光軸から離れた位置を通るように構成されたオートフォーカス装置と、
   前記照明光軸を前記対物レンズの光軸と直交する方向に動かす調整手段と、を備える
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
2. 請求項１に記載の顕微鏡装置において、
   前記調整手段は、前記オートフォーカス装置を前記対物レンズの光軸に対して所定の方向に動かす
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
3. 請求項１に記載の顕微鏡装置において、
   前記オートフォーカス装置は、前記オートフォーカス光を前記対物レンズに向けて偏向する偏向素子を備え、
   前記調整手段は、前記偏向素子を前記対物レンズの光軸に対して所定の方向に動かす
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
4. 請求項２又は請求項３に記載の顕微鏡装置において、
   前記所定の方向は、前記対物レンズの光軸と直交する方向である
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
5. 請求項１に記載の顕微鏡装置において、
   前記オートフォーカス装置は、前記オートフォーカス光を平行移動するシフタを備え、
   前記調整手段は、前記シフタへの前記オートフォーカス光の入射角度を変更する
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡装置において、
   前記オートフォーカス装置は、前記オートフォーカス光の集光位置を前記対物レンズの光軸方向に動かすオフセットレンズを備え、
   前記調整手段は、前記オフセットレンズの位置に応じて、前記照明光軸を前記対物レンズの光軸に対して所定の方向に動かす
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の顕微鏡装置において、
   前記オートフォーカス装置は、前記オートフォーカス光のビーム径を可変する可変開口絞りを備える
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の顕微鏡装置において、
   前記オートフォーカス装置は、
   前記標本で反射したオートフォーカス光を検出する光検出器と、
   前記標本で反射したオートフォーカス光を前記光検出器に集光させる光学系と、
   前記光学系と前記光検出器の間に配置された、開口が形成された遮光部材と、を備える
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
9. 請求項８に記載の顕微鏡装置において、
   前記遮光部材は、前記開口の径を変更自在な可変開口絞りである
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
10. 請求項８または請求項９に記載の顕微鏡装置において、
    前記遮光部材は、前記光学系の光軸に沿って移動自在に配置される
    ことを特徴とする顕微鏡装置。
11. 顕微鏡装置用のアクティブ型のオートフォーカス装置であって、
    標本に照射するオートフォーカス光の照明光軸を、前記顕微鏡装置が備える対物レンズの光軸と直交する方向に動かす調整手段を備える
    ことを特徴とするオートフォーカス装置。
12. 顕微鏡装置のオートフォーカス方法であって、
    前記顕微鏡装置の対物レンズを介して、前記対物レンズの光軸から離れた位置を通る照明光軸を有するオートフォーカス光を標本に照射し、
    前記対物レンズを介して、前記標本で反射したオートフォーカス光を検出し、
    前記標本で反射したオートフォーカス光の検出結果に基づいて、合焦状態を検出する
    ことを特徴とするオートフォーカス方法。