JP2016033676A5 - 顕微鏡システム - Google Patents
顕微鏡システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016033676A5 JP2016033676A5 JP2015215934A JP2015215934A JP2016033676A5 JP 2016033676 A5 JP2016033676 A5 JP 2016033676A5 JP 2015215934 A JP2015215934 A JP 2015215934A JP 2015215934 A JP2015215934 A JP 2015215934A JP 2016033676 A5 JP2016033676 A5 JP 2016033676A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- frequency
- microscope system
- optical system
- intensity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
Description
本発明は、顕微鏡システムに関する。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、AF光の波長が信号光・照明光の波長と重複しても、AF光のみを検出できる顕微鏡システムを提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡システムは、対物レンズを有し、第1の周波数で強度変調された第1の光を標本に照射する第1光学系と、対物レンズを有し、第2の周波数で強度変調された第2の光を標本に照射し、標本で反射された第2の光を検出部に導く第2光学系と、検出部において検出された第2の周波数を有する信号に基づいて、対物レンズと標本との相対距離を調整する制御部と、を備える。
本発明を以上のように構成すると、AF光の波長が信号光・照明光の波長と重複しても、AF光のみを検出できる顕微鏡システムを提供することができる。
Claims (10)
- 対物レンズを有し、第1の周波数で強度変調された第1の光を標本に照射する第1光学系と、
前記対物レンズを有し、第2の周波数で強度変調された第2の光を前記標本に照射し、前記標本で反射された第2の光を検出部に導く第2光学系と、
前記検出部において検出された前記第2の周波数を有する信号に基づいて、前記対物レンズと前記標本との相対距離を調整する制御部と、
を備える顕微鏡システム。 - 前記第2の周波数は、前記第1の周波数よりも低い周波数である
請求項1に記載の顕微鏡システム。 - 前記第1の周波数は、前記第2の周波数の整数倍でない
請求項1又は2に記載の顕微鏡システム。 - 前記検出部は、ロックインアンプを備える
請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記標本は、ガラス部材を含む
請求項1〜4のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記第1光学系は、前記第1の光を前記標本の第1の位置に照射し、
前記第2の光学系は、前記第2の光を前記標本の第2の位置に照射する
請求項1〜5のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記第2光学系は、前記第2の光の照射位置を調整する第3光学系を有する
請求項1〜6のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記第1光学系は、前記第1の光を第1の周波数で強度変調する第1強度変調素子を有する
請求項1〜7のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記第2光学系は、前記第2の光を第2の周波数で強度変調する第2強度変調素子を有する
請求項1〜8のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。 - 前記第2の光はパルス光である
請求項1〜9のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015215934A JP2016033676A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015215934A JP2016033676A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 顕微鏡装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010268140A Division JP5831782B2 (ja) | 2010-12-01 | 2010-12-01 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016033676A JP2016033676A (ja) | 2016-03-10 |
JP2016033676A5 true JP2016033676A5 (ja) | 2016-12-01 |
Family
ID=55452566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015215934A Withdrawn JP2016033676A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016033676A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110702605B (zh) * | 2019-11-07 | 2021-08-17 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 基于共振振镜进行焦点调制的光学显微装置及方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01202708A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | Nikon Corp | オートフォーカス装置 |
JP4453088B2 (ja) * | 2002-06-14 | 2010-04-21 | 株式会社ニコン | オートフォーカス装置及び顕微鏡 |
JP5051699B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2012-10-17 | 株式会社リコー | レーザ顕微鏡 |
-
2015
- 2015-11-02 JP JP2015215934A patent/JP2016033676A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018515787A5 (ja) | ||
WO2015193804A3 (en) | Detector for determining a position of at least one object | |
WO2016132222A3 (en) | Scanning infrared measurement system | |
EP3624174A3 (en) | Multiple angles of incidence semiconductor metrology systems and methods | |
WO2017186850A8 (en) | Detector for optically detecting at least one object | |
WO2019084022A8 (en) | Optical configuration methods for spectral scatter flow cytometry | |
WO2015189172A3 (en) | Apparatus for determining information associated with reflection characteristics of a surface | |
WO2016024158A3 (en) | Confocal imaging apparatus with curved focal surface or target reference element and field compensator | |
ATE554416T1 (de) | Kalibriervorrichtung und laser-scanning-mikroskop mit einer derartigen kalibriervorrichtung | |
WO2014197786A3 (en) | Apparatus and methods for detecting optical signals from implanted sensors | |
RU2015135177A (ru) | Лазерное геодезическое устройство | |
BR112016029490A2 (pt) | sistema de detecção microfluídica, e, cartucho microfluídico para realizar uma pluralidade de ensaios diferentes. | |
WO2009003714A3 (de) | Vorrichtung und verfahren zur durchführung statischer und dynamischer streulichtmessungen in kleinen volumina | |
NZ700281A (en) | Devices for determining photoprotective materials | |
EP3109700A3 (en) | Defect inspecting method, sorting method, and producing method for photomask blank | |
EP2784481A3 (en) | Particle measuring apparatus | |
RU2016117742A (ru) | Устройство для срезания волос | |
JP2016509231A5 (ja) | ||
JP2018072495A5 (ja) | ||
WO2017174795A3 (de) | Mikroskop und verfahren zur abbildung einer probe | |
RU2016121630A (ru) | Строящая карту дальностей камера для внутренней стороны двери | |
EP2787731A3 (en) | Image projection device and input object detection method | |
JP2016145770A5 (ja) | ||
EP4235255A3 (en) | An optical arrangement and method for imaging a sample | |
JP2016033676A5 (ja) | 顕微鏡システム |