JP2016033676A5 - 顕微鏡システム - Google Patents

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本発明は、顕微鏡システムに関する。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、AF光の波長が信号光・照明光の波長と重複しても、AF光のみを検出できる顕微鏡システムを提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡システムは、対物レンズを有し、第1の周波数で強度変調された第1の光を標本に照射する第1光学系と、対物レンズを有し、第2の周波数で強度変調された第2の光を標本に照射し、標本で反射された第2の光を検出部に導く第2光学系と、検出部において検出された第2の周波数を有する信号に基づいて、対物レンズと標本との相対距離を調整する制御部と、を備える。
本発明を以上のように構成すると、AF光の波長が信号光・照明光の波長と重複しても、AF光のみを検出できる顕微鏡システムを提供することができる。

Claims (10)

  1. 対物レンズを有し、第1の周波数で強度変調された第1の光を標本に照射する第1光学系と、
    前記対物レンズを有し、第2の周波数で強度変調された第2の光を前記標本に照射し、前記標本で反射された第2の光を検出部に導く第2光学系と、
    前記検出部において検出された前記第2の周波数を有する信号に基づいて、前記対物レンズと前記標本との相対距離を調整する制御部と、
    を備える顕微鏡システム。
  2. 前記第2の周波数は、前記第1の周波数よりも低い周波数である
    請求項1に記載の顕微鏡システム。
  3. 前記第1の周波数は、前記第2の周波数の整数倍でない
    請求項1又は2に記載の顕微鏡システム。
  4. 前記検出部は、ロックインアンプを備える
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  5. 前記標本は、ガラス部材を含む
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  6. 前記第1光学系は、前記第1の光を前記標本の第1の位置に照射し、
    前記第2の光学系は、前記第2の光を前記標本の第2の位置に照射する
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  7. 前記第2光学系は、前記第2の光の照射位置を調整する第3光学系を有する
    請求項1〜6のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  8. 前記第1光学系は、前記第1の光を第1の周波数で強度変調する第1強度変調素子を有する
    請求項1〜7のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  9. 前記第2光学系は、前記第2の光を第2の周波数で強度変調する第2強度変調素子を有する
    請求項1〜8のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
  10. 前記第2の光はパルス光である
    請求項1〜9のいずれか1項に記載の顕微鏡システム。
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