JPH0518815A - レーザビーム位置補正装置 - Google Patents
レーザビーム位置補正装置Info
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- JPH0518815A JPH0518815A JP19596491A JP19596491A JPH0518815A JP H0518815 A JPH0518815 A JP H0518815A JP 19596491 A JP19596491 A JP 19596491A JP 19596491 A JP19596491 A JP 19596491A JP H0518815 A JPH0518815 A JP H0518815A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度なビーム位置の補正を可能とする。
【構成】 一部反射型反射鏡４は全反射鏡３ａから入射
されたレーザ光100の一部を反射してスクリーン７に出
射し、このスクリーン７上での照射位置、つまりレーザ
光100 の位置変位がビーム位置検出器１１で検出され
る。一部透過型反射鏡５ａは一部反射型反射鏡４を透過
した大部分のレーザ光100 を反射し、一部透過型反射鏡
６を介してスクリーン８に出射し、このスクリーン８上
での照射位置、つまりレーザ光100 の位置変位がビーム
位置検出器１２で検出される。角度誤差演算回路１５は
ビーム位置検出器１１，１２で検出されたレーザ光100
の位置変位から角度補正量を算出する。ジンバル駆動回
路１６，１７は角度誤差演算回路１５で算出された角度
補正量に基づいて自動ミラージンバル３ｂ，５ｂを駆動
し、全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回動さ
せる。
されたレーザ光100の一部を反射してスクリーン７に出
射し、このスクリーン７上での照射位置、つまりレーザ
光100 の位置変位がビーム位置検出器１１で検出され
る。一部透過型反射鏡５ａは一部反射型反射鏡４を透過
した大部分のレーザ光100 を反射し、一部透過型反射鏡
６を介してスクリーン８に出射し、このスクリーン８上
での照射位置、つまりレーザ光100 の位置変位がビーム
位置検出器１２で検出される。角度誤差演算回路１５は
ビーム位置検出器１１，１２で検出されたレーザ光100
の位置変位から角度補正量を算出する。ジンバル駆動回
路１６，１７は角度誤差演算回路１５で算出された角度
補正量に基づいて自動ミラージンバル３ｂ，５ｂを駆動
し、全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回動さ
せる。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明はレーザビーム位置補正装置に関
し、特にレーザ光源と光学装置とが夫々異なる架台上に
配置されている場合にレーザ光の光軸を補正するレーザ
ビーム位置補正装置に関する。
し、特にレーザ光源と光学装置とが夫々異なる架台上に
配置されている場合にレーザ光の光軸を補正するレーザ
ビーム位置補正装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、この種のレーザビーム位置補正装置
においては、図３に示すように、レーザ光源１と光学装
置１４とが夫々異なる架台２０，２１上に配置されてい
る。レーザ光源１またはアライメントレーザ光源１８か
ら出射されたレーザ光100 は全反射鏡２，１９を介して
ビーム方向変更部３の全反射鏡３ａに入射され、全反射
鏡３ａで反射されてからビーム方向変更部５の一部透過
型反射鏡５ａに入射される。
においては、図３に示すように、レーザ光源１と光学装
置１４とが夫々異なる架台２０，２１上に配置されてい
る。レーザ光源１またはアライメントレーザ光源１８か
ら出射されたレーザ光100 は全反射鏡２，１９を介して
ビーム方向変更部３の全反射鏡３ａに入射され、全反射
鏡３ａで反射されてからビーム方向変更部５の一部透過
型反射鏡５ａに入射される。
【０００３】一部透過型反射鏡５ａではレーザ光100 の
一部が透過され、レンズ２２を介してレーザ光計測装置
２３に入射される。レーザ光計測装置２３では入射した
レーザ光100 の出力パワーや波長などを計測するととも
に、ビーム方向変更部３によるレーザ光100 の位置変位
を検出する。ここで、レーザ光計測装置２３によるレー
ザ光100 の出力パワーや波長などの計測は光学装置１４
の使用目的に応じて行われ、夫々レーザ光計測装置２３
に一体的に組み込まれたパワー計測器や波長計測器、お
よびビームパターン計測器などによって行われる。
一部が透過され、レンズ２２を介してレーザ光計測装置
２３に入射される。レーザ光計測装置２３では入射した
レーザ光100 の出力パワーや波長などを計測するととも
に、ビーム方向変更部３によるレーザ光100 の位置変位
を検出する。ここで、レーザ光計測装置２３によるレー
ザ光100 の出力パワーや波長などの計測は光学装置１４
の使用目的に応じて行われ、夫々レーザ光計測装置２３
に一体的に組み込まれたパワー計測器や波長計測器、お
よびビームパターン計測器などによって行われる。
【０００４】また、一部透過型反射鏡５ａではレーザ光
100 の大部分が反射され、そのレーザ光100 の一部が一
部透過型反射鏡６を透過してスクリーン８上に照射され
る。このスクリーン８上でのレーザ光100 の照射位置が
レンズ１０を介してビーム位置検出器１２によって検出
され、ビーム方向変更部５によるレーザ光100 の位置変
位が検出される。尚、一部透過型反射鏡６では一部透過
型反射鏡５ａで反射されたレーザ光100 の大部分を反射
し、光学装置１４に出射する。よって。レーザ光源１か
ら出射されたレーザ光100 の大部分が光学装置１４に入
射される。
100 の大部分が反射され、そのレーザ光100 の一部が一
部透過型反射鏡６を透過してスクリーン８上に照射され
る。このスクリーン８上でのレーザ光100 の照射位置が
レンズ１０を介してビーム位置検出器１２によって検出
され、ビーム方向変更部５によるレーザ光100 の位置変
位が検出される。尚、一部透過型反射鏡６では一部透過
型反射鏡５ａで反射されたレーザ光100 の大部分を反射
し、光学装置１４に出射する。よって。レーザ光源１か
ら出射されたレーザ光100 の大部分が光学装置１４に入
射される。
【０００５】ビーム位置検出器１２およびレーザ光計測
装置２３で検出されたレーザ光100の位置変位は角度誤
差演算回路１５に通知され、これらの位置変位から角度
誤差演算回路１５で角度補正量が算出される。角度誤差
演算回路１５は算出した角度補正量を夫々ジンバル駆動
回路１６，１７に送出し、ジンバル駆動回路１６，１７
によって２軸の自動ミラージンバル３ｂ，５ｂを駆動し
て全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回動させ
る。よって、レーザ光100 は全反射鏡３ａおよび一部透
過型反射鏡５ａの回動で、レーザ光100の光軸が基準位
置となるように自動的に補正される。
装置２３で検出されたレーザ光100の位置変位は角度誤
差演算回路１５に通知され、これらの位置変位から角度
誤差演算回路１５で角度補正量が算出される。角度誤差
演算回路１５は算出した角度補正量を夫々ジンバル駆動
回路１６，１７に送出し、ジンバル駆動回路１６，１７
によって２軸の自動ミラージンバル３ｂ，５ｂを駆動し
て全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回動させ
る。よって、レーザ光100 は全反射鏡３ａおよび一部透
過型反射鏡５ａの回動で、レーザ光100の光軸が基準位
置となるように自動的に補正される。
【０００６】このような従来のレーザビーム位置補正装
置では、ビーム方向変更部３，５によるレーザ光100 の
位置変位をビーム位置検出器１２およびレーザ光計測装
置２３で検出しており、レーザ光計測装置２３において
位置変位を検出するためのビーム位置検出器がパワー計
測器や波長計測器、およびビームパターン計測器などと
ともに一体化されている。よって、レーザ光100 のビー
ム径が大きくなると、レンズ２２として大口径長焦点レ
ンズが必要となり、装置全体が大型になるという欠点が
ある。
置では、ビーム方向変更部３，５によるレーザ光100 の
位置変位をビーム位置検出器１２およびレーザ光計測装
置２３で検出しており、レーザ光計測装置２３において
位置変位を検出するためのビーム位置検出器がパワー計
測器や波長計測器、およびビームパターン計測器などと
ともに一体化されている。よって、レーザ光100 のビー
ム径が大きくなると、レンズ２２として大口径長焦点レ
ンズが必要となり、装置全体が大型になるという欠点が
ある。
【０００７】また、レーザ光計測装置２３に一体的に組
み込まれたビーム位置検出器、パワー計測器、波長計測
器、ビームパターン計測器などの駆動電源による発熱の
影響によって、光学部品やビーム位置検出器の位置が変
動し、ビーム位置の補正を正確に行うことができないと
いう欠点がある。
み込まれたビーム位置検出器、パワー計測器、波長計測
器、ビームパターン計測器などの駆動電源による発熱の
影響によって、光学部品やビーム位置検出器の位置が変
動し、ビーム位置の補正を正確に行うことができないと
いう欠点がある。
【０００８】
【発明の目的】本発明は上記のような従来のものの欠点
を除去すべくなされたもので、ビーム位置の補正を高精
度に行うことができるレーザビーム位置補正装置の提供
を目的とする。
を除去すべくなされたもので、ビーム位置の補正を高精
度に行うことができるレーザビーム位置補正装置の提供
を目的とする。
【０００９】
【発明の構成】本発明によるレーザビーム位置補正装置
は、レーザ光源から出射され、照射方向が第１および第
２のビーム方向変更手段で変更されたレーザ光の光軸が
予め設定された基準位置に一致するよう補正するレーザ
ビーム位置補正装置であって、前記第１および第２のビ
ーム方向変更手段の間に設けられ、前記第１のビーム方
向変更手段からの前記レーザ光を分光する分光手段と、
前記分光手段で分光されたレーザ光を受光する第１のス
クリーンと、前記第１のスクリーンの前記レーザ光の受
光位置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の
位置を検出する第１のビーム位置検出手段と、前記分光
手段で分光され、前記第２のビーム方向変更手段で前記
照射方向が変更されたレーザ光を受光する第２のスクリ
ーンと、前記第２のスクリーンの前記レーザ光の受光位
置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の位置
を検出する第２のビーム位置検出手段と、前記第１およ
び第２のビーム位置検出手段の検出結果に応じて前記第
１および第２のビーム方向変更手段を制御する制御手段
とを有することを特徴とする。
は、レーザ光源から出射され、照射方向が第１および第
２のビーム方向変更手段で変更されたレーザ光の光軸が
予め設定された基準位置に一致するよう補正するレーザ
ビーム位置補正装置であって、前記第１および第２のビ
ーム方向変更手段の間に設けられ、前記第１のビーム方
向変更手段からの前記レーザ光を分光する分光手段と、
前記分光手段で分光されたレーザ光を受光する第１のス
クリーンと、前記第１のスクリーンの前記レーザ光の受
光位置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の
位置を検出する第１のビーム位置検出手段と、前記分光
手段で分光され、前記第２のビーム方向変更手段で前記
照射方向が変更されたレーザ光を受光する第２のスクリ
ーンと、前記第２のスクリーンの前記レーザ光の受光位
置から前記基準位置に対する前記レーザ光の光軸の位置
を検出する第２のビーム位置検出手段と、前記第１およ
び第２のビーム位置検出手段の検出結果に応じて前記第
１および第２のビーム方向変更手段を制御する制御手段
とを有することを特徴とする。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。図において、架台２０上にはレーザ光源
１と、全反射鏡２，１９と、ビーム方向変更部３と、ア
ライメントレーザ光源１８とが設置されている。また、
架台２０とは異なる架台２１上には一部反射型反射鏡４
と、ビーム方向変更部５と、一部透過型反射鏡６と、ス
クリーン７，８と、レンズ９，１０と、ビーム位置検出
器１１，１２と、レーザ光計測装置１３と、光学装置１
４とが設置されている。
ック図である。図において、架台２０上にはレーザ光源
１と、全反射鏡２，１９と、ビーム方向変更部３と、ア
ライメントレーザ光源１８とが設置されている。また、
架台２０とは異なる架台２１上には一部反射型反射鏡４
と、ビーム方向変更部５と、一部透過型反射鏡６と、ス
クリーン７，８と、レンズ９，１０と、ビーム位置検出
器１１，１２と、レーザ光計測装置１３と、光学装置１
４とが設置されている。
【００１２】レーザ光源１またはアライメントレーザ光
源１８から出射されたレーザ光100は全反射鏡２，１９
を介してビーム方向変更部３の全反射鏡３ａに入射さ
れ、全反射鏡３ａで反射されてから一部反射型反射鏡４
に入射される。
源１８から出射されたレーザ光100は全反射鏡２，１９
を介してビーム方向変更部３の全反射鏡３ａに入射さ
れ、全反射鏡３ａで反射されてから一部反射型反射鏡４
に入射される。
【００１３】一部反射型反射鏡４は入射されたレーザ光
100 の大部分を透過させてビーム方向変更部５の一部透
過型反射鏡５ａに出射し、レーザ光100 の一部を反射し
てスクリーン７に出射する。このスクリーン７上でのレ
ーザ光100 の照射位置がレンズ９を介してビーム位置検
出器１１によって検出され、ビーム方向変更部３による
レーザ光100 の位置変位が検出される。
100 の大部分を透過させてビーム方向変更部５の一部透
過型反射鏡５ａに出射し、レーザ光100 の一部を反射し
てスクリーン７に出射する。このスクリーン７上でのレ
ーザ光100 の照射位置がレンズ９を介してビーム位置検
出器１１によって検出され、ビーム方向変更部３による
レーザ光100 の位置変位が検出される。
【００１４】一方、一部反射型反射鏡４を透過して一部
透過型反射鏡５ａに入射したレーザ光100 の一部は一部
透過型反射鏡５ａで透過されてレーザ光計測装置１３に
入射される。また、一部透過型反射鏡５ａではレーザ光
100の大部分を反射し、そのレーザ光１100 の一部が一
部透過型反射鏡６を透過してスクリーン８上に照射され
る。このスクリーン８上でのレーザ光100 の照射位置が
レンズ１０を介してビーム位置検出器１２によって検出
され、ビーム方向変更部５によるレーザ光100の位置変
位が検出される。
透過型反射鏡５ａに入射したレーザ光100 の一部は一部
透過型反射鏡５ａで透過されてレーザ光計測装置１３に
入射される。また、一部透過型反射鏡５ａではレーザ光
100の大部分を反射し、そのレーザ光１100 の一部が一
部透過型反射鏡６を透過してスクリーン８上に照射され
る。このスクリーン８上でのレーザ光100 の照射位置が
レンズ１０を介してビーム位置検出器１２によって検出
され、ビーム方向変更部５によるレーザ光100の位置変
位が検出される。
【００１５】レーザ光計測装置１３では入射したレーザ
光100 の出力パワーや波長などが、一体的に組み込まれ
たパワー計測器や波長計測器、およびビームパターン計
測器などによって計測される。また、一部透過型反射鏡
６ではレーザ光100 の大部分を反射して光学装置１４に
出射する。よって、レーザ光源１から出射されたレーザ
光100 の大部分が光学装置１４に入射される。
光100 の出力パワーや波長などが、一体的に組み込まれ
たパワー計測器や波長計測器、およびビームパターン計
測器などによって計測される。また、一部透過型反射鏡
６ではレーザ光100 の大部分を反射して光学装置１４に
出射する。よって、レーザ光源１から出射されたレーザ
光100 の大部分が光学装置１４に入射される。
【００１６】ビーム位置検出器１１，１２で検出された
レーザ光100 の位置変位は角度誤差演算回路１５に通知
され、これらの位置変位から角度誤差演算回路１５で角
度補正量が算出される。角度誤差演算回路１５は算出し
た角度補正量を夫々ジンバル駆動回路１６，１７に送出
し、ジンバル駆動回路１６，１７によって２軸の自動ミ
ラージンバル３ｂ，５ｂを駆動して全反射鏡３ａおよび
一部透過型反射鏡５ａを回動させる。よって、レーザ光
100 は全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａの回動
で、レーザ光100 の光軸が基準位置となるように自動的
に補正される。
レーザ光100 の位置変位は角度誤差演算回路１５に通知
され、これらの位置変位から角度誤差演算回路１５で角
度補正量が算出される。角度誤差演算回路１５は算出し
た角度補正量を夫々ジンバル駆動回路１６，１７に送出
し、ジンバル駆動回路１６，１７によって２軸の自動ミ
ラージンバル３ｂ，５ｂを駆動して全反射鏡３ａおよび
一部透過型反射鏡５ａを回動させる。よって、レーザ光
100 は全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａの回動
で、レーザ光100 の光軸が基準位置となるように自動的
に補正される。
【００１７】図２は本発明の一実施例の動作を示す図で
ある。これら図１および図２を用いて本発明の一実施例
の動作について説明する。以下、図２に示すように、レ
ーザ光100 がレーザ光101 のように変動したときの補正
について説明する。
ある。これら図１および図２を用いて本発明の一実施例
の動作について説明する。以下、図２に示すように、レ
ーザ光100 がレーザ光101 のように変動したときの補正
について説明する。
【００１８】この場合、レーザ光100 がレーザ光101 の
ような位置変位を生ずると、その位置変位によってレー
ザ光101 のスクリーン７，８上での照射位置は基準位置
からずれることとなる。レーザ光101 はスクリーン７，
８上での照射位置で散乱し、散乱したレーザ光101 の一
部がレンズ９，１０で集光される。ビーム位置検出器１
１，１２はレンズ９，１０で集光されたレーザ光101 か
らスクリーン７，８上での照射位置を検出し、レーザ光
101 の位置変位を夫々検出する。
ような位置変位を生ずると、その位置変位によってレー
ザ光101 のスクリーン７，８上での照射位置は基準位置
からずれることとなる。レーザ光101 はスクリーン７，
８上での照射位置で散乱し、散乱したレーザ光101 の一
部がレンズ９，１０で集光される。ビーム位置検出器１
１，１２はレンズ９，１０で集光されたレーザ光101 か
らスクリーン７，８上での照射位置を検出し、レーザ光
101 の位置変位を夫々検出する。
【００１９】角度誤差演算回路１５はビーム位置検出器
１１，１２の出力信号を演算処理し、レーザ光101 の位
置変位量、すなわち角度補正量を算出する。角度誤差演
算回路１５で算出された角度補正量はジンバル駆動回路
１６，１７に夫々送出される。ジンバル駆動回路１６，
１７では角度補正量に応じて自動ミラージンバル３ｂ，
５ｂを駆動し、全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５
ａを回動させる。
１１，１２の出力信号を演算処理し、レーザ光101 の位
置変位量、すなわち角度補正量を算出する。角度誤差演
算回路１５で算出された角度補正量はジンバル駆動回路
１６，１７に夫々送出される。ジンバル駆動回路１６，
１７では角度補正量に応じて自動ミラージンバル３ｂ，
５ｂを駆動し、全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５
ａを回動させる。
【００２０】すなわち、まずスクリーン７上でのレーザ
光101 の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変
位量に基づいて自動ミラージンバル３ｂによって全反射
鏡３ａを矢印Ａの方向に回動し、スクリーン７上でのレ
ーザ光102 の照射位置がレーザ光100 の照射位置になる
ように補正する。
光101 の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変
位量に基づいて自動ミラージンバル３ｂによって全反射
鏡３ａを矢印Ａの方向に回動し、スクリーン７上でのレ
ーザ光102 の照射位置がレーザ光100 の照射位置になる
ように補正する。
【００２１】続いて、スクリーン８上でのレーザ光101
の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変位量に
基づいて自動ミラージンバル５ｂによって一部透過型反
射鏡５ａを矢印Ｂの方向に回動し、スクリーン８上での
レーザ光102 の照射位置がレーザ光100 の照射位置にな
るように補正する。
の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変位量に
基づいて自動ミラージンバル５ｂによって一部透過型反
射鏡５ａを矢印Ｂの方向に回動し、スクリーン８上での
レーザ光102 の照射位置がレーザ光100 の照射位置にな
るように補正する。
【００２２】これによって、レーザ光100 がレーザ光10
1 に変動しても、スクリーン７，８上でのレーザ光101
の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変位量に
基づいて全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回
動させることで、レーザ光101 を初期位置に戻すことが
できる。このとき、一部反射型反射鏡４からスクリーン
７までの距離を一部反射型反射鏡４から一部透過型反射
鏡５ａまでの距離と等しくすることによって、一部透過
型反射鏡５ａでのレーザ光101 の位置変位を検出するこ
とができる。これら一部透過型反射鏡５ａとスクリーン
７とが一部反射型反射鏡４を介して上記のような関係に
なる位置を共役な位置という。
1 に変動しても、スクリーン７，８上でのレーザ光101
の位置変位から算出されたレーザ光101 の位置変位量に
基づいて全反射鏡３ａおよび一部透過型反射鏡５ａを回
動させることで、レーザ光101 を初期位置に戻すことが
できる。このとき、一部反射型反射鏡４からスクリーン
７までの距離を一部反射型反射鏡４から一部透過型反射
鏡５ａまでの距離と等しくすることによって、一部透過
型反射鏡５ａでのレーザ光101 の位置変位を検出するこ
とができる。これら一部透過型反射鏡５ａとスクリーン
７とが一部反射型反射鏡４を介して上記のような関係に
なる位置を共役な位置という。
【００２３】ここで、レーザ光100 〜102 はスクリーン
７，８に到達したときにその照射位置で散乱するため、
スクリーン７，８での位置変位を検出するにはその散乱
光の一部を集光するだけでよい。したがって、レーザ光
100 〜102 のビーム径が大きくなってもレンズ９，１０
を大きくする必要がなくなるため、装置全体が大型にな
ることはない。
７，８に到達したときにその照射位置で散乱するため、
スクリーン７，８での位置変位を検出するにはその散乱
光の一部を集光するだけでよい。したがって、レーザ光
100 〜102 のビーム径が大きくなってもレンズ９，１０
を大きくする必要がなくなるため、装置全体が大型にな
ることはない。
【００２４】また、レーザ光計測装置１３にビーム位置
検出器を一体化する必要がなくなるので、レーザ光計測
装置１３による発熱で光学部品やビーム位置検出器の位
置が変動することがなくなり、ビーム位置の補正を正確
に行うことができる。
検出器を一体化する必要がなくなるので、レーザ光計測
装置１３による発熱で光学部品やビーム位置検出器の位
置が変動することがなくなり、ビーム位置の補正を正確
に行うことができる。
【００２５】尚、レーザ光源１がパルス繰返し周波数の
低いレーザの場合には、予め光軸がレーザ光源１のレー
ザ光軸と同一となるように調整されたアライメントレー
ザ光源１８を使用してビーム変動を自動補正しておく。
低いレーザの場合には、予め光軸がレーザ光源１のレー
ザ光軸と同一となるように調整されたアライメントレー
ザ光源１８を使用してビーム変動を自動補正しておく。
【００２６】このように、ビーム方向変更部３，５の間
に一部反射型反射鏡４を設置し、一部反射型反射鏡４で
反射したレーザ光100 をスクリーン７に照射させ、その
照射位置をビーム位置検出器１１によって検出するよう
にすることによって、レーザ光100 の変動をビーム位置
検出器１１，１２によって検出して自動補正することが
できる。よって、レーザ光計測装置１３にビーム位置検
出器を一体化する必要がなくなるので、ビーム位置の補
正を高精度に行うことができる。
に一部反射型反射鏡４を設置し、一部反射型反射鏡４で
反射したレーザ光100 をスクリーン７に照射させ、その
照射位置をビーム位置検出器１１によって検出するよう
にすることによって、レーザ光100 の変動をビーム位置
検出器１１，１２によって検出して自動補正することが
できる。よって、レーザ光計測装置１３にビーム位置検
出器を一体化する必要がなくなるので、ビーム位置の補
正を高精度に行うことができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ーザ光の照射方向を変更する第１および第２のビーム方
向変更手段の間に、第１のビーム方向変更手段からのレ
ーザ光を分光する分光手段を設け、この分光手段で分光
されたレーザ光および第２のビーム方向変更手段で照射
方向が変更されたレーザ光を夫々スクリーンに照射し、
スクリーンの受光位置から検出された基準位置に対する
レーザ光の光軸の位置に応じて第１および第２のビーム
方向変更手段を制御するようにすることによって、ビー
ム位置の補正を高精度に行うことができるという効果が
ある。
ーザ光の照射方向を変更する第１および第２のビーム方
向変更手段の間に、第１のビーム方向変更手段からのレ
ーザ光を分光する分光手段を設け、この分光手段で分光
されたレーザ光および第２のビーム方向変更手段で照射
方向が変更されたレーザ光を夫々スクリーンに照射し、
スクリーンの受光位置から検出された基準位置に対する
レーザ光の光軸の位置に応じて第１および第２のビーム
方向変更手段を制御するようにすることによって、ビー
ム位置の補正を高精度に行うことができるという効果が
ある。
【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例の動作を示す図である。
【図３】従来例の構成を示すブロック図である。
３，５ ビーム方向変更部 ２，３ａ，１９ 全反射鏡 ３ｂ，５ｂ 自動ミラージンバル ４ 一部反射型反射鏡 ５ａ，６ 一部透過型反射鏡 ７，８ スクリーン ９，１０ レンズ １１，１２ ビーム位置検出器 １３ レーザ光計測装置 １４ 光学装置 １５ 角度誤差演算回路 １６，１７ ジンバル駆動回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 レーザ光源から出射され、照射方向が第
１および第２のビーム方向変更手段で変更されたレーザ
光の光軸が予め設定された基準位置に一致するよう補正
するレーザビーム位置補正装置であって、前記第１およ
び第２のビーム方向変更手段の間に設けられ、前記第１
のビーム方向変更手段からの前記レーザ光を分光する分
光手段と、前記分光手段で分光されたレーザ光を受光す
る第１のスクリーンと、前記第１のスクリーンの前記レ
ーザ光の受光位置から前記基準位置に対する前記レーザ
光の光軸の位置を検出する第１のビーム位置検出手段
と、前記分光手段で分光され、前記第２のビーム方向変
更手段で前記照射方向が変更されたレーザ光を受光する
第２のスクリーンと、前記第２のスクリーンの前記レー
ザ光の受光位置から前記基準位置に対する前記レーザ光
の光軸の位置を検出する第２のビーム位置検出手段と、
前記第１および第２のビーム位置検出手段の検出結果に
応じて前記第１および第２のビーム方向変更手段を制御
する制御手段とを有することを特徴とするレーザビーム
位置補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19596491A JPH0518815A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | レーザビーム位置補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19596491A JPH0518815A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | レーザビーム位置補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518815A true JPH0518815A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16349918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19596491A Pending JPH0518815A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | レーザビーム位置補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518815A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018036440A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | キヤノン株式会社 | 光学装置、加工装置、および物品製造方法 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP19596491A patent/JPH0518815A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018036440A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | キヤノン株式会社 | 光学装置、加工装置、および物品製造方法 |
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