JPH04311907A - レーザ光軸調節装置 - Google Patents
レーザ光軸調節装置Info
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- JPH04311907A JPH04311907A JP10488691A JP10488691A JPH04311907A JP H04311907 A JPH04311907 A JP H04311907A JP 10488691 A JP10488691 A JP 10488691A JP 10488691 A JP10488691 A JP 10488691A JP H04311907 A JPH04311907 A JP H04311907A
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- Japan
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- mirror
- laser
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- optical axis
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機のレーザ
光軸をミラー中心に合わせるための調節装置に関するも
のである。
光軸をミラー中心に合わせるための調節装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工機においては、図７に示すよ
うにレーザ発振器１０１が発するレーザ光を加工面１０
２に導くために、複数個のミラー１０３，１０４を用い
て光軸の方向をかえている。このレーザ光は正しくミラ
ー中心に照射するように設計されており、例えば図８に
示すようにレーザ光軸がミラー中心を通る理想光軸より
ずれている場合、ミラー１０４と共にレンズ１０５を有
するＺ軸ユニット１０６がＹ軸方向に移動すると、レン
ズ１０５の光軸とレーザ光軸のずれが次第に大きくなり
、所定の出力が出なくなる。
うにレーザ発振器１０１が発するレーザ光を加工面１０
２に導くために、複数個のミラー１０３，１０４を用い
て光軸の方向をかえている。このレーザ光は正しくミラ
ー中心に照射するように設計されており、例えば図８に
示すようにレーザ光軸がミラー中心を通る理想光軸より
ずれている場合、ミラー１０４と共にレンズ１０５を有
するＺ軸ユニット１０６がＹ軸方向に移動すると、レン
ズ１０５の光軸とレーザ光軸のずれが次第に大きくなり
、所定の出力が出なくなる。
【０００３】従来、レーザ光軸を理想光軸と一致させる
ために行う光軸合わせは、図９に示すようにミラー取付
台１０７から、ミラーホルダごとミラー１０３又は１０
４を取外し、代わりに十字フィルタ１０８を有する筒１
０９を取付け、不可視で高出力な加工用レーザ光の代わ
りに、可視光で低出力のＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１１０
からＨｅ−Ｎｅレーザ光を十字フィルタ面に照射して、
目視で十字中心に輝点がくるようミラー角度の調節を行
っていた。
ために行う光軸合わせは、図９に示すようにミラー取付
台１０７から、ミラーホルダごとミラー１０３又は１０
４を取外し、代わりに十字フィルタ１０８を有する筒１
０９を取付け、不可視で高出力な加工用レーザ光の代わ
りに、可視光で低出力のＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１１０
からＨｅ−Ｎｅレーザ光を十字フィルタ面に照射して、
目視で十字中心に輝点がくるようミラー角度の調節を行
っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べた十
字フィルタ上の可視光の輝点を見ながら角度調整する方
法は、ミラーを十字フィルタに取り換える手間と時間を
要し、更に目視による不正確さが残るという問題点を有
している。本発明は、従来の技術の有する問題点に鑑み
なされたものであり、、その目的とするところは、より
正確かつ操作性に富む調節装置を提供しようとするもの
である。
字フィルタ上の可視光の輝点を見ながら角度調整する方
法は、ミラーを十字フィルタに取り換える手間と時間を
要し、更に目視による不正確さが残るという問題点を有
している。本発明は、従来の技術の有する問題点に鑑み
なされたものであり、、その目的とするところは、より
正確かつ操作性に富む調節装置を提供しようとするもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のレーザ光軸調節装置は、受光側のミラー中心
にレーザ光が照射されるよう反射光を送り出す側のミラ
ー角度を変えて光軸を調節する装置であって、角度調節
可能に設けられたミラー裏面のミラー中心の対称位置に
少なくとも四個の温度センサを設け、該温度センサの対
称位置の二個を一組とする二組の検出温度差を算出する
手段を設けてなり、受光側ミラーの二組の温度差がゼロ
になるよう反射光を送り出す側のミラーの角度調節を行
うものである。
に本発明のレーザ光軸調節装置は、受光側のミラー中心
にレーザ光が照射されるよう反射光を送り出す側のミラ
ー角度を変えて光軸を調節する装置であって、角度調節
可能に設けられたミラー裏面のミラー中心の対称位置に
少なくとも四個の温度センサを設け、該温度センサの対
称位置の二個を一組とする二組の検出温度差を算出する
手段を設けてなり、受光側ミラーの二組の温度差がゼロ
になるよう反射光を送り出す側のミラーの角度調節を行
うものである。
【０００６】
【作用】反射光を受ける側のミラーに貼着された対称位
置の二個を一組とする二組の温度センサの検出温度差の
表示数値を見ながら反射光を送り出す側のミラーの角度
を調節し、表示数値がすべてゼロになるようにする。
置の二個を一組とする二組の温度センサの検出温度差の
表示数値を見ながら反射光を送り出す側のミラーの角度
を調節し、表示数値がすべてゼロになるようにする。
【０００７】
【実施例】実施例について図１〜図６を参照して説明す
る。図１のレーザ加工機の配置図において、Ｘ軸方向前
向きにレーザ光を出力するレーザ発振器１から、Ｙ軸方
向に移動可能なＺ軸ユニットにレーザ光を導くためのミ
ラー３，４が角度調節可能に設けられている。このミラ
ー３はレーザ発振器前方位置に、またミラー４はＺ軸ユ
ニット２の上方位置に取付けられ、Ｚ軸ユニットと共に
Ｙ軸移動するようになっている。
る。図１のレーザ加工機の配置図において、Ｘ軸方向前
向きにレーザ光を出力するレーザ発振器１から、Ｙ軸方
向に移動可能なＺ軸ユニットにレーザ光を導くためのミ
ラー３，４が角度調節可能に設けられている。このミラ
ー３はレーザ発振器前方位置に、またミラー４はＺ軸ユ
ニット２の上方位置に取付けられ、Ｚ軸ユニットと共に
Ｙ軸移動するようになっている。
【０００８】ミラー３，４の角度調節機構は、図２，図
３に示すように取付台５のレーザ光の入射光軸および反
射光軸に対してそれぞれ４５°傾斜する面５ａに外側リ
ング６が嵌着されており、この外側リング６の軸心上で
ミラー３，４の中心Ｏを通り入射光軸と反射光軸のなす
平面と直角なＭ軸上に中心Ｏに対して対称位置に設けら
れた二個の軸受８，８により内側リング７が旋回可能か
つ同心に枢支され、内側リング７のＭ軸と直交し中心Ｏ
を通るＬ軸上に、中心Ｏに対して対称位置に設けられた
二個の軸受９，９によりミラーホルダ１１が旋回可能か
つ同心に枢支されている。
３に示すように取付台５のレーザ光の入射光軸および反
射光軸に対してそれぞれ４５°傾斜する面５ａに外側リ
ング６が嵌着されており、この外側リング６の軸心上で
ミラー３，４の中心Ｏを通り入射光軸と反射光軸のなす
平面と直角なＭ軸上に中心Ｏに対して対称位置に設けら
れた二個の軸受８，８により内側リング７が旋回可能か
つ同心に枢支され、内側リング７のＭ軸と直交し中心Ｏ
を通るＬ軸上に、中心Ｏに対して対称位置に設けられた
二個の軸受９，９によりミラーホルダ１１が旋回可能か
つ同心に枢支されている。
【０００９】更に外側リング６にはＬ軸上に調節ボルト
１４が直角に螺設され、Ｌ軸上の対称位置に、内側リン
グ７を常時調節ボルト１４に押圧するばね１５が張設さ
れている。また内側リング７にもＭ軸上に調節ボルト１
６が直角に螺設されており、Ｍ軸上の対称位置にミラー
ホルダ１１を常時調節ボルト１６に押圧するばね１７が
張設されている。
１４が直角に螺設され、Ｌ軸上の対称位置に、内側リン
グ７を常時調節ボルト１４に押圧するばね１５が張設さ
れている。また内側リング７にもＭ軸上に調節ボルト１
６が直角に螺設されており、Ｍ軸上の対称位置にミラー
ホルダ１１を常時調節ボルト１６に押圧するばね１７が
張設されている。
【００１０】そしてミラーホルダ１１にミラー３又は４
が締付リング１２により同心に固着されており、更に締
付リング１２に蓋１３が固着されている。ミラー３，４
裏面のＬ軸及びＭ軸上のミラー中心Ｏより等距離の位置
に、四個の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄが貼着されている
。
が締付リング１２により同心に固着されており、更に締
付リング１２に蓋１３が固着されている。ミラー３，４
裏面のＬ軸及びＭ軸上のミラー中心Ｏより等距離の位置
に、四個の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄが貼着されている
。
【００１１】一方Ｚ軸ユニット２は先端部に集光レンズ
１９を有し、先端部はレーザ光が工作物Ｗ上に焦点を結
ぶようにＺ軸方向の位置調節可能とされている。更に機
外に温度差表示装置２１が設置されており、温度差表示
装置２１は対称位置の温度センサ１８Ａ，１８Ｂ及び１
８Ｃ，１８Ｄの二組の温度差を求めて、その数値を表示
する機能を有し、ミラー３の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄ
とミラー４の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄとの入力切換え
機構をも有している。更に発振器１内にもほぼ同様にし
てミラー角度を変え出力光軸を調節するレーザ光軸調節
ねじ２２，２３が設けられている。
１９を有し、先端部はレーザ光が工作物Ｗ上に焦点を結
ぶようにＺ軸方向の位置調節可能とされている。更に機
外に温度差表示装置２１が設置されており、温度差表示
装置２１は対称位置の温度センサ１８Ａ，１８Ｂ及び１
８Ｃ，１８Ｄの二組の温度差を求めて、その数値を表示
する機能を有し、ミラー３の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄ
とミラー４の温度センサ１８Ａ〜１８Ｄとの入力切換え
機構をも有している。更に発振器１内にもほぼ同様にし
てミラー角度を変え出力光軸を調節するレーザ光軸調節
ねじ２２，２３が設けられている。
【００１２】続いて本実施例の作用について説明する。
ミラー３の中心Ｏにレーザ光軸を合わせる場合は、温度
差表示装置２１の入力切換レンジをミラー３側に切換え
、レーザ発振器１より発するレーザ光をミラー３に照射
する。ミラー３は照射部を中心に温度上昇し、この温度
分布状態が各温度センサ１８Ａ〜１８Ｄにより検出され
、Ｌ軸上の二個の温度センサ１８Ａ，１８ＢとＭ軸上の
二個の温度センサ１８Ｃ，１８Ｄの温度差がそれぞれ温
度差表示装置に表示される。
差表示装置２１の入力切換レンジをミラー３側に切換え
、レーザ発振器１より発するレーザ光をミラー３に照射
する。ミラー３は照射部を中心に温度上昇し、この温度
分布状態が各温度センサ１８Ａ〜１８Ｄにより検出され
、Ｌ軸上の二個の温度センサ１８Ａ，１８ＢとＭ軸上の
二個の温度センサ１８Ｃ，１８Ｄの温度差がそれぞれ温
度差表示装置に表示される。
【００１３】そして例えば図４に示すようにミラー３へ
の入射光軸がΔＭ，ΔＬだけミラー中心Ｏよりずれてい
る場合の各センサ１８Ａ〜１８Ｄの検出温度をＴＡ〜Ｔ
Ｄとすると、ＴＡ−ＴＢ＝ＴΔＬ、ＴＣ−ＴＤ＝ＴΔＭ
の各温度差が表示される。作業者はこの数値を見ながら
レーザ発振器１のレーザ光軸調節ねじ２２を回してＴΔ
Ｌ＝０となるよう調節すると、図５に示すように入射光
軸のずれはΔＭだけとなる。次いで調節ねじ２３を回し
てＴΔＭ＝０になるよう調節すれば、図６に示すように
入射光軸はミラー中心Ｏと一致する。
の入射光軸がΔＭ，ΔＬだけミラー中心Ｏよりずれてい
る場合の各センサ１８Ａ〜１８Ｄの検出温度をＴＡ〜Ｔ
Ｄとすると、ＴＡ−ＴＢ＝ＴΔＬ、ＴＣ−ＴＤ＝ＴΔＭ
の各温度差が表示される。作業者はこの数値を見ながら
レーザ発振器１のレーザ光軸調節ねじ２２を回してＴΔ
Ｌ＝０となるよう調節すると、図５に示すように入射光
軸のずれはΔＭだけとなる。次いで調節ねじ２３を回し
てＴΔＭ＝０になるよう調節すれば、図６に示すように
入射光軸はミラー中心Ｏと一致する。
【００１４】次にミラー３により反射されたレーザ光は
ミラー４に照射されるが、この場合も例えば図４に示す
ように前述と同様に入射光軸がΔＭ，ΔＬだけミラー中
心Ｏよりずれている時には、温度差表示のＴΔＬ側を見
ながら調節ボルト１４を回してＭ軸を中心に内側リング
７を旋回して、ミラー３の角度を変え、ＴΔＬ＝０にな
る点で止めればばね１５の張力で内側リング７が固定さ
れ、図５に示すように入射光軸のずれはΔＭだけとなる
。次いで調節ボルト１６によりミラーホルダ１１を旋回
してミラーの角度を変えＴΔＭ＝０になった点で止めれ
ば、ミラーホルダ１１はばね１７の張力で固定され、図
６に示すように入射光軸はミラー４中心Ｏと一致する。 尚、各調節ボルトをサーボモータ駆動とし、対称位置の
温度センサの検出温度差がゼロになるようＮＣ制御でミ
ラー角度を変えてレーザ光軸を自動調節するようにする
こともできる。
ミラー４に照射されるが、この場合も例えば図４に示す
ように前述と同様に入射光軸がΔＭ，ΔＬだけミラー中
心Ｏよりずれている時には、温度差表示のＴΔＬ側を見
ながら調節ボルト１４を回してＭ軸を中心に内側リング
７を旋回して、ミラー３の角度を変え、ＴΔＬ＝０にな
る点で止めればばね１５の張力で内側リング７が固定さ
れ、図５に示すように入射光軸のずれはΔＭだけとなる
。次いで調節ボルト１６によりミラーホルダ１１を旋回
してミラーの角度を変えＴΔＭ＝０になった点で止めれ
ば、ミラーホルダ１１はばね１７の張力で固定され、図
６に示すように入射光軸はミラー４中心Ｏと一致する。 尚、各調節ボルトをサーボモータ駆動とし、対称位置の
温度センサの検出温度差がゼロになるようＮＣ制御でミ
ラー角度を変えてレーザ光軸を自動調節するようにする
こともできる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。角度調節可能に設けら
れたミラーの裏面に、ミラー中心の周囲等間隔に四個の
温度センサを貼着し、四個の温度センサのうち対称位置
の二個を一組とする二組の温度センサの検出温度差表示
を見ながら、表示がゼロになるよう反射光を送り出す側
のミラー角度を調整するようにしたので、正確かつ迅速
にレーザ光軸を調整することが可能となり、経時変化に
対してもすばやく対応できるとともにＺ軸ユニットのＹ
軸方向移動時にレーザ光軸がずれることがなくなり、レ
ーザ出力が低下することがない。
で、次に記載する効果を奏する。角度調節可能に設けら
れたミラーの裏面に、ミラー中心の周囲等間隔に四個の
温度センサを貼着し、四個の温度センサのうち対称位置
の二個を一組とする二組の温度センサの検出温度差表示
を見ながら、表示がゼロになるよう反射光を送り出す側
のミラー角度を調整するようにしたので、正確かつ迅速
にレーザ光軸を調整することが可能となり、経時変化に
対してもすばやく対応できるとともにＺ軸ユニットのＹ
軸方向移動時にレーザ光軸がずれることがなくなり、レ
ーザ出力が低下することがない。
【図１】本実施例のレーザ光軸調節装置の斜視構成図で
ある。
ある。
【図２】ミラー角度調整機構の断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線視断面図である。
【図４】ミラー上のレーザ光軸の位置を表す説明図で、
Ｌ軸，Ｍ軸ともにずれた位置を示す図である。
Ｌ軸，Ｍ軸ともにずれた位置を示す図である。
【図５】ミラー上のレーザ光軸の位置を表す説明図で、
Ｍ軸方向のみにずれた位置を示す図である。
Ｍ軸方向のみにずれた位置を示す図である。
【図６】ミラー上のレーザ光軸の位置を表す説明図で、
ミラー中心に合った位置を示す図である。
ミラー中心に合った位置を示す図である。
【図７】従来技術のレーザ光軸調整装置の説明図である
。
。
【図８】レーザ光軸がミラー中心よりずれている場合の
Ｚ軸ユニットのＹ軸移動時に光軸のずれが次第に大きく
なることを示す従来技術の説明図である。
Ｚ軸ユニットのＹ軸移動時に光軸のずれが次第に大きく
なることを示す従来技術の説明図である。
【図９】従来技術のレーザ光軸調整装置に使用する十字
フィルタの断面図である。
フィルタの断面図である。
１ レーザ発振器
３，４ ミラー
１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ 温度センサ２１
温度差表示装置
温度差表示装置
Claims (1)
- 【請求項１】 受光側のミラー中心にレーザ光が照射
されるよう反射光を送り出す側のミラー角度を変えて光
軸を調節する装置であって、角度調節可能に設けられた
ミラー裏面のミラー中心の対称位置に少なくとも四個の
温度センサを設け、該温度センサの対称位置の二個を一
組とする二組の検出温度差を算出する手段を設けてなり
、受光側ミラーの二組の温度差がゼロになるよう反射光
を送り出す側のミラーの角度調節を行うことを特徴とす
るレーザ光軸調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488691A JPH04311907A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | レーザ光軸調節装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488691A JPH04311907A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | レーザ光軸調節装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04311907A true JPH04311907A (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=14392664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10488691A Pending JPH04311907A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | レーザ光軸調節装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04311907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4837217A (en) * | 1985-04-19 | 1989-06-06 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Pyridazinone derivatives, preparation thereof, and insecticidal, acaricidal, nematicidal, fungicidal compositions |
| US4874861A (en) * | 1984-11-29 | 1989-10-17 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Pyridazinone derivatives, preparation thereof, and insecticidal, acaricidal, nematicidal, fungicidal compositions |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP10488691A patent/JPH04311907A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4874861A (en) * | 1984-11-29 | 1989-10-17 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Pyridazinone derivatives, preparation thereof, and insecticidal, acaricidal, nematicidal, fungicidal compositions |
| US4837217A (en) * | 1985-04-19 | 1989-06-06 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Pyridazinone derivatives, preparation thereof, and insecticidal, acaricidal, nematicidal, fungicidal compositions |
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