JP2018028496A - 変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 - Google Patents
変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018028496A JP2018028496A JP2016160979A JP2016160979A JP2018028496A JP 2018028496 A JP2018028496 A JP 2018028496A JP 2016160979 A JP2016160979 A JP 2016160979A JP 2016160979 A JP2016160979 A JP 2016160979A JP 2018028496 A JP2018028496 A JP 2018028496A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- nozzle
- imaging
- displacement
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/03—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
- G06T7/73—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
- G06T7/74—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods involving reference images or patches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
- B05B12/08—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area responsive to condition of liquid or other fluent material to be discharged, of ambient medium or of target ; responsive to condition of spray devices or of supply means, e.g. pipes, pumps or their drive means
- B05B12/12—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area responsive to condition of liquid or other fluent material to be discharged, of ambient medium or of target ; responsive to condition of spray devices or of supply means, e.g. pipes, pumps or their drive means responsive to conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature position or movement of the target relative to the spray apparatus
- B05B12/124—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area responsive to condition of liquid or other fluent material to be discharged, of ambient medium or of target ; responsive to condition of spray devices or of supply means, e.g. pipes, pumps or their drive means responsive to conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature position or movement of the target relative to the spray apparatus responsive to distance between spray apparatus and target
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/04—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation
- B05B13/0405—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation with reciprocating or oscillating spray heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
- G06T7/73—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67075—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
- H01L21/6708—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30204—Marker
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Weting (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
11 スピンチャック(保持手段)
32,42,52 アーム(移動手段)
33,43,53 ノズル(位置決め対象物、撮像対象物、ノズル)
72 カメラ(撮像手段)
81 CPU(変位検出手段、判定手段)
82 メモリ(記憶手段)
83 アーム駆動部(移動手段)
86 画像処理部(変位検出手段)
W 基板(ワーク)
Claims (13)
- 位置決め対象物を移動位置決めする移動手段と、
前記位置決め対象物を撮像対象物として、または前記位置決め対象物の変位に伴い前記位置決め対象物と一体的に変位する物体を撮像対象物として、該撮像対象物を含む画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記画像から前記撮像対象物を検出し、前記画像内で検出された前記撮像対象物の位置に基づき、前記位置決め対象物の変位を検出する変位検出手段と
を備え、
前記変位検出手段は、前記画像内における前記撮像対象物の位置と所定の基準位置との距離に、前記画像内における前記撮像対象物の大きさに応じて定まる係数を乗じた値から前記位置決め対象物の変位量を求める変位検出装置。 - 前記変位検出手段は、前記撮像対象物に対応して予め用意された基準画像に相当する領域を前記画像内で探索して、前記画像における前記撮像対象物の位置を検出する請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記画像内における前記撮像対象物の位置と当該位置に対応付けられた前記係数との関係を記憶する記憶手段を備え、
前記変位検出手段は、前記画像内における前記撮像対象物の位置と前記記憶手段に記憶された前記関係とに基づき、前記位置決め対象物の変位量を求める請求項1または2に記載の変位検出装置。 - 前記撮像対象物の位置と前記係数との関係は、前記移動手段により複数の位置に順次位置決めされた前記撮像対象物を前記撮像手段が撮像した複数の画像から検出された、前記画像内における前記撮像対象物の位置と大きさとの関係に基づき予め求められている請求項3に記載の変位検出装置。
- 前記変位検出手段は、前記画像内で検出された前記基準画像に相当する領域と前記基準画像との大きさの比に基づき前記係数を設定する請求項2に記載の変位検出装置。
- 前記変位検出手段は、前記画像内で検出された撮像対象物の大きさを検出し、検出結果に基づき前記係数を設定する請求項1または2に記載の変位検出装置。
- ワークを保持する保持手段と、
流体を吐出し前記ワークに供給するノズルと、
前記ノズルを前記位置決め対象物とする請求項1ないし6のいずれかに記載の変位検出装置と
を備える基板処理装置。 - 前記変位検出手段により検出された前記ノズルの前記基準位置に対する変位量が所定の許容変位量を超えているか否かを判定する判定手段を備える請求項7に記載の基板処理装置。
- ワークを保持する保持手段と、
流体を吐出し前記ワークに供給するノズルと、
前記ノズルを移動位置決めする移動手段と、
前記ノズルを撮像対象物として、または前記ノズルの変位に伴い前記ノズルと一体的に変位する物体を撮像対象物として、該撮像対象物を含む画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記画像から前記撮像対象物を検出し、前記画像内で検出された前記撮像対象物の位置に基づき、前記ノズルの変位を検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段により検出された前記ノズルの変位量が所定の許容変位量を超えているか否かを判定する判定手段と
を備え、
前記判定手段は、前記画像内における前記撮像対象物の位置と所定の基準位置との距離が、前記許容変位量に前記画像内における前記撮像対象物の大きさに応じて定まる係数を乗じた値を超えるとき、前記変位量が前記許容変位量を超えると判定する基板処理装置。 - 前記ノズルには円筒形部位が設けられ、
前記変位検出手段は、前記円筒形部位の両側面間の距離を前記画像から検出し、その検出結果に応じて前記係数を設定する請求項7ないし9のいずれかに記載の基板処理装置。 - 移動手段により移動位置決めされる位置決め対象物の変位を検出する変位検出方法において、
前記位置決め対象物を撮像対象物として、または前記位置決め対象物の変位に伴い前記位置決め対象物と一体的に変位する物体を撮像対象物として、該撮像対象物を含む画像を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記画像から前記撮像対象物を検出し、前記画像内で検出された前記撮像対象物の位置に基づき、前記位置決め対象物の変位を検出する変位検出工程と
を備え、
前記変位検出工程では、前記画像内における前記撮像対象物の位置と所定の基準位置との距離に、前記画像内における前記撮像対象物の大きさに応じて定まる係数を乗じた値から前記基準位置に対する前記位置決め対象物の変位量を求める変位検出方法。 - 前記移動手段により複数の位置に順次位置決めされた前記撮像対象物を前記撮像手段が撮像した複数の画像から検出された前記画像内における前記撮像対象物の位置と大きさとの関係に基づき、前記撮像対象物の位置と前記係数との関係を決定する工程を、前記変位検出工程に先立って実行する請求項11に記載の変位検出方法。
- 前記撮像対象物に対応して予め用意された基準画像に相当する領域を前記画像内で探索することで前記画像における前記撮像対象物の位置を検出し、検出された前記撮像対象物の大きさに応じて前記係数を設定する請求項11または12に記載の変位検出方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160979A JP6785092B2 (ja) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 |
TW106119265A TWI651512B (zh) | 2016-08-19 | 2017-06-09 | 基板處理裝置以及變位檢測方法 |
KR1020170092119A KR101955804B1 (ko) | 2016-08-19 | 2017-07-20 | 변위 검출 장치, 변위 검출 방법 및 기판 처리 장치 |
US15/663,116 US10580163B2 (en) | 2016-08-19 | 2017-07-28 | Displacement detecting apparatus, displacement detecting method and substrate processing apparatus |
CN201710650900.4A CN107764193A (zh) | 2016-08-19 | 2017-08-02 | 位移检测装置、位移检测方法及基板处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016160979A JP6785092B2 (ja) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018028496A true JP2018028496A (ja) | 2018-02-22 |
JP6785092B2 JP6785092B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=61191910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016160979A Active JP6785092B2 (ja) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10580163B2 (ja) |
JP (1) | JP6785092B2 (ja) |
KR (1) | KR101955804B1 (ja) |
CN (1) | CN107764193A (ja) |
TW (1) | TWI651512B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019192898A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 |
JP2020034344A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
WO2022004276A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理監視に用いる設定情報の設定方法、基板処理装置の監視方法および基板処理装置 |
JP2022118052A (ja) * | 2018-08-28 | 2022-08-12 | 株式会社Screenホールディングス | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
WO2024070055A1 (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-04 | 株式会社Screenホールディングス | 学習装置、情報処理装置、基板処理装置、基板処理システム、学習方法および処理条件決定方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6815799B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2021-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
US10861723B2 (en) * | 2017-08-08 | 2020-12-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | EFEM robot auto teaching methodology |
JP6932597B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2021-09-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
US10670540B2 (en) * | 2018-06-29 | 2020-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Photolithography method and photolithography system |
JP7202106B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2023-01-11 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7165019B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2022-11-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN110017769A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-07-16 | 精诚工科汽车系统有限公司 | 基于工业机器人的零件检测方法及系统 |
JP7282640B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2023-05-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および、基板処理方法 |
CN111739092A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-02 | 广东博智林机器人有限公司 | 一种吊篮、检测机器人、检测控制系统及检测方法 |
CN112317363B (zh) * | 2020-10-15 | 2022-10-21 | 大数金科网络技术有限公司 | 一种工业产品智能检测系统及检测方法 |
JP2022148237A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、教示情報生成方法、教示セットおよび基板型治具 |
US11852983B2 (en) * | 2021-08-12 | 2023-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Coater photoresist arm smart centering jig |
CN114719710B (zh) * | 2022-03-08 | 2024-01-30 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 位移偏差测量方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06226668A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Daifuku Co Ltd | 物品位置検出装置 |
JP2000294996A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-10-20 | Juki Corp | 部品装着装置および方法 |
US6302960B1 (en) * | 1998-11-23 | 2001-10-16 | Applied Materials, Inc. | Photoresist coater |
JP2002144267A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-21 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品吸着ノズル,倍率検出方法,吸着位置検出方法 |
JP2003194521A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-09 | Kajima Corp | 計測装置 |
WO2010055552A1 (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | サックバック高さ検査方法、サックバック高さ検査装置及びコンピュータ読取可能な記録媒体 |
JP2015152475A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 株式会社Screenホールディングス | 変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01216213A (ja) | 1988-02-25 | 1989-08-30 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
US4943716A (en) | 1988-01-22 | 1990-07-24 | Mitutoyo Corporation | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations |
JPH1173510A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置検出装置 |
US6185343B1 (en) | 1997-01-17 | 2001-02-06 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Position detection system and method |
JP4172554B2 (ja) * | 1998-03-12 | 2008-10-29 | 富士重工業株式会社 | ステレオカメラの調整装置 |
JP3610771B2 (ja) * | 1998-04-13 | 2005-01-19 | 松下電器産業株式会社 | ワークの位置認識方法 |
DE19882963T1 (de) | 1998-12-22 | 2001-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | Positionsfehler-Messverfahren und Einrichtung unter Verwendung einer Positionsmarke und Bearbeitungseinrichtung zum Korrigieren einer Position auf Grundlage eines Ergebnisses oder eines Messpositionsfehlers unter Verwendung einer Positionsmarke |
KR100877044B1 (ko) * | 2000-10-02 | 2008-12-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 세정처리장치 |
US6525805B2 (en) * | 2001-05-14 | 2003-02-25 | Ultratech Stepper, Inc. | Backside alignment system and method |
JP4088232B2 (ja) * | 2003-10-07 | 2008-05-21 | 株式会社新川 | ボンディング方法、ボンディング装置及びボンディングプログラム |
JP4970926B2 (ja) | 2006-01-16 | 2012-07-11 | 本田技研工業株式会社 | 車両周辺監視装置 |
JP4814840B2 (ja) * | 2007-05-23 | 2011-11-16 | オリンパス株式会社 | 画像処理装置又は画像処理プログラム |
JP5457384B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
JP5639797B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2014-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンマッチング方法,画像処理装置、及びコンピュータプログラム |
JP5923824B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2016-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 画像処理装置 |
CN103234454B (zh) * | 2013-04-23 | 2016-03-30 | 合肥米克光电技术有限公司 | 一种影像测量仪的自标定方法 |
JP6506153B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2019-04-24 | 株式会社Screenホールディングス | 変位検出装置および変位検出方法ならびに基板処理装置 |
-
2016
- 2016-08-19 JP JP2016160979A patent/JP6785092B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-09 TW TW106119265A patent/TWI651512B/zh active
- 2017-07-20 KR KR1020170092119A patent/KR101955804B1/ko active IP Right Grant
- 2017-07-28 US US15/663,116 patent/US10580163B2/en active Active
- 2017-08-02 CN CN201710650900.4A patent/CN107764193A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06226668A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Daifuku Co Ltd | 物品位置検出装置 |
US6302960B1 (en) * | 1998-11-23 | 2001-10-16 | Applied Materials, Inc. | Photoresist coater |
JP2000294996A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-10-20 | Juki Corp | 部品装着装置および方法 |
JP2002144267A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-21 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品吸着ノズル,倍率検出方法,吸着位置検出方法 |
JP2003194521A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-09 | Kajima Corp | 計測装置 |
WO2010055552A1 (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | サックバック高さ検査方法、サックバック高さ検査装置及びコンピュータ読取可能な記録媒体 |
JP2015152475A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 株式会社Screenホールディングス | 変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019192898A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 |
JP7202858B2 (ja) | 2018-04-26 | 2023-01-12 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 |
JP2020034344A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
WO2020044884A1 (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
CN112639391A (zh) * | 2018-08-28 | 2021-04-09 | 株式会社斯库林集团 | 可动部位置检测方法、基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统 |
CN112639391B (zh) * | 2018-08-28 | 2022-08-02 | 株式会社斯库林集团 | 可动部位置检测方法、基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统 |
JP2022118052A (ja) * | 2018-08-28 | 2022-08-12 | 株式会社Screenホールディングス | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
WO2022004276A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理監視に用いる設定情報の設定方法、基板処理装置の監視方法および基板処理装置 |
TWI806072B (zh) * | 2020-06-30 | 2023-06-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 用於基板處理監視的設定資訊之設定方法、基板處理裝置之監視方法及基板處理裝置 |
JP7441131B2 (ja) | 2020-06-30 | 2024-02-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理監視に用いる設定情報の設定方法、基板処理装置の監視方法および基板処理装置 |
WO2024070055A1 (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-04 | 株式会社Screenホールディングス | 学習装置、情報処理装置、基板処理装置、基板処理システム、学習方法および処理条件決定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10580163B2 (en) | 2020-03-03 |
JP6785092B2 (ja) | 2020-11-18 |
TWI651512B (zh) | 2019-02-21 |
KR20180020880A (ko) | 2018-02-28 |
CN107764193A (zh) | 2018-03-06 |
US20180053319A1 (en) | 2018-02-22 |
KR101955804B1 (ko) | 2019-03-07 |
TW201823667A (zh) | 2018-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6785092B2 (ja) | 変位検出装置、変位検出方法および基板処理装置 | |
JP6352133B2 (ja) | 位置検出装置、基板処理装置、位置検出方法および基板処理方法 | |
JP6351992B2 (ja) | 変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法 | |
JP6506153B2 (ja) | 変位検出装置および変位検出方法ならびに基板処理装置 | |
JP2016122681A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JPWO2002023623A1 (ja) | アライメント装置 | |
WO2018061338A1 (ja) | 検出方法および検出装置 | |
WO2020071206A1 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
WO2020044884A1 (ja) | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム | |
KR20190018609A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2017029883A (ja) | 流下判定方法、流下判定装置および吐出装置 | |
JP2015096830A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2002270672A (ja) | アライメント方法及び基板検査装置 | |
JP6362466B2 (ja) | 基板保持検査方法および基板処理装置 | |
JP2019168411A (ja) | 位置検出装置、基板処理装置、位置検出方法および基板処理方法 | |
JP2018160691A (ja) | 基板保持検査方法および基板処理装置 | |
JP7248848B2 (ja) | 可動部位置検出方法、基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム | |
JP7254224B2 (ja) | 基板処理装置 | |
WO2020071212A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
TW202345211A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
TW202418424A (zh) | 位置判斷方法及位置判斷裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170725 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201026 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6785092 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |