JP2018006505A

JP2018006505A - シート剥離装置および剥離方法

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Publication number: JP2018006505A
Application number: JP2016129887A
Authority: JP
Inventors: 高野　健; Takeshi Takano; 健高野
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2016-06-30
Filing date: 2016-06-30
Publication date: 2018-01-11
Anticipated expiration: 2036-06-30
Also published as: JP6654976B2

Abstract

【課題】接着シートの折畳み不良を防止することができるシート剥離装置を提供すること。【解決手段】シート剥離装置１０は、接着シートＡＳを保持する保持手段２０と、保持手段２０で保持した接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＷＦから当該接着シートＡＳを剥離する張力付与手段３０と、張力付与手段３０で剥離された接着シートＡＳの面内における所定の位置を屈曲部として当該接着シートＡＳを折り曲げる折曲手段４０と、折曲手段４０で折り曲げられた接着シートＡＳを圧着する圧着手段５０とを備え、屈曲部を保持する屈曲部保持手段６０を更に備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。

従来、被着体に貼付された接着シートを剥離し、当該接着シートを折り畳んで回収するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特願２０１５−２３９６１３号

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置では、誘導ローラによって接着シートを折り曲げた後、当該誘導ローラを初期位置に復帰させる際、接着シートの屈曲部が誘導ローラと共に移動してしまい、圧着手段で圧着する前の段階で屈曲部の折り曲げ姿勢が崩れ、当該接着シートを正確に折り畳めなくなる折畳み不良が生じるおそれがある。

本発明の目的は、接着シートの折畳み不良を防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートを保持する保持手段と、前記保持手段で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与手段と、前記張力付与手段で剥離された接着シートの面内における所定の位置を折り曲げて屈曲部を形成する折曲手段と、前記折曲手段で折り曲げられた前記接着シートを圧着する圧着手段とを備え、前記折曲手段で形成された前記屈曲部を保持する屈曲部保持手段を更に備えている、という構成を採用している。

この際、本発明のシート剥離装置では、前記接着シートを貫通可能な貫通部材を備え、当該貫通部材を前記屈曲部に貫通させて当該屈曲部を保持する、ことが好ましい。

一方、本発明のシート剥離方法は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記接着シートを保持する保持工程と、前記保持工程で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与工程と、前記張力付与工程で剥離された接着シートの面内における所定の位置を折り曲げて屈曲部を形成する折曲工程と、前記折曲工程で折り曲げられた前記接着シートを圧着する圧着工程とを備え、前記折曲工程で形成された前記屈曲部を保持する屈曲部保持工程を更に備えている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、屈曲部保持手段を備えているため、圧着手段で圧着する前の段階で屈曲部の折り曲げ姿勢が崩れてしまうことがなくなり、当該接着シートの折畳み不良を防止することができる。

この際、屈曲部保持手段が貫通部材を備えていれば、屈曲部をより強く保持できる。

本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。（Ａ）〜（Ｃ）はシート剥離装置の動作説明図。（Ａ）〜（Ｄ）はシート剥離装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート剥離装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する装置であって、接着シートＡＳを保持する保持手段２０と、保持手段２０で保持した接着シートＡＳに張力を付与してウエハＷＦから当該接着シートＡＳを剥離する張力付与手段３０と、張力付与手段３０で剥離された接着シートＡＳの面内における所定の位置を折り曲げて屈曲部ＡＳ１（図３（Ａ）参照）を形成する折曲手段４０と、折曲手段４０で折り曲げられた接着シートＡＳを圧着する圧着手段５０と、折曲手段４０で形成された屈曲部ＡＳ１を保持する屈曲部保持手段６０と、接着シートＡＳを回収する回収手段としての回収箱７０とを備えている。なお、屈曲部ＡＳ１とは、折曲手段４０で接着シートＡＳを折り曲げた際、この折り曲げを実現するために当該接着シートＡＳが折れ曲がった部位のこととする。

保持手段２０は、巻回された剥離用テープＰＴを回転可能に支持するテープ支持手段２１と、テープ支持手段２１に支持された剥離用テープＰＴを当該テープ支持手段２１とで挟み込み、当該剥離用テープＰＴに繰出力または巻取力を付与する繰出手段２２と、剥離用テープＰＴのリード端部を保持するリード保持手段２３と、リード保持手段２３が剥離用テープＰＴを保持することを補助する保持補助手段２４と、リード保持手段２３に保持された剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに押圧して貼付する押圧手段２５と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段２６とを備え、剥離用テープＰＴを介して接着シートＡＳを保持する構成となっている。

テープ支持手段２１は、回転軸２１Ａを中心に回動可能な回動アーム２１Ｂの自由端側に支持され、巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１Ｃと、回動アーム２１Ｂを繰出手段２２方向に付勢する付勢手段としてのばね２１Ｄとを備えている。
繰出手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動される繰出ローラ２２Ｂを備えている。
リード保持手段２３は、駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持された収容手段２３Ｃ内に収容され、収容手段２３Ｃの底面である吸着面２３Ｄに形成された吸引孔２３Ｅを介して剥離用テープＰＴを吸着保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段２３Ｆを備えている。
保持補助手段２４は、駆動機器としての直動モータ２４Ａの出力軸２４Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる補助ローラ２４Ｃを備えている。
押圧手段２５は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２５Ａのスライダ２５Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた押圧ヘッド２５Ｃと、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段２５Ｄとを備えている。
切断手段２６は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２６Ａのスライダ２６Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた切断刃２６Ｃを備えている。

張力付与手段３０は、剥離用テープＰＴとウエハＷＦを相対移動させる移動手段３１と、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳをウエハＷＦ方向に押え付け、ウエハＷＦが接着シートＡＳの剥離方向へ移動することを規制する押え付け手段３２と、押え付け手段３２とで剥離用テープＰＴや接着シートＡＳを挟み込む挟み込み手段３３とを備えている。
移動手段３１は、駆動機器としてのリニアモータ３１Ａのスライダ３１Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面３１Ｃを有するテーブル３１Ｄを備えている。
押え付け手段３２は、駆動機器としてのリニアモータ３２Ａのスライダ３２Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ３２Ｃと、回動モータ３２Ｃの図示しない出力軸に支持された押え付けローラ３２Ｄとを備えている。
挟み込み手段３３は、駆動機器としての直動モータ３３Ａの出力軸３３Ｂに支持された支持部材３３Ｃと、支持部材３３Ｃに支持されたピンチローラ３３Ｄと、支持部材３３Ｃに支持され、その上面に切断刃２６Ｃの進入を受容する溝３３Ｆが形成されたシート支持部材３３Ｅとを備えている。

折曲手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、外周に逃げ溝４２Ａが形成された当接ローラ４２を備えている。

圧着手段５０は、屈曲部ＡＳ１側を圧着する屈曲部圧着手段５１と、屈曲部ＡＳ１の反対側に位置し、折り曲げられた接着シートＡＳにおいて対向する外周部である反対端部ＡＳ２（図３（Ａ）参照）同士を圧着する外周部圧着手段５２とを備え、折り曲げられた接着シートＡＳを圧着して折り畳むようになっている。
屈曲部圧着手段５１は、駆動機器としてのリニアモータ５１Ａのスライダ５１Ｂに支持された支持フレーム５１Ｃと、支持フレーム５１Ｃに支持された駆動機器としての直動モータ５１Ｄと、その出力軸５１Ｅに支持された上チャック部材５１Ｆと、上チャック部材５１Ｆ上に支持された駆動機器としての直動モータ５１Ｇと、その出力軸５１Ｈに支持され、上チャック部材５１Ｆに形成された孔５１Ｊ内に配置された吸着パッド５１Ｋと、支持フレーム５１Ｃの下部に支持された下チャック部材５１Ｌとを備えている。なお、吸着パッド５１Ｋは、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能に設けられている。
外周部圧着手段５２は、保持手段２０の収容手段２３Ｃと、張力付与手段３０のシート支持部材３３Ｅとで構成されている。

屈曲部保持手段６０は、上チャック部材５１Ｆ上に支持された駆動機器としての直動モータ６１と、その出力軸６１Ａに支持され、上チャック部材５１Ｆに形成された孔５１Ｍ内に配置されて接着シートＡＳを貫通可能な貫通部材としてのニードル６２とを備え、当該ニードル６２を屈曲部ＡＳ１に貫通させて当該屈曲部ＡＳ１を保持するようになっている。

以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、作業者が剥離用テープＰＴを図１中実線で示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート剥離装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態でウエハＷＦが支持面３１Ｃ上に載置されると、張力付与手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを右方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの左端部を押圧ヘッド２５Ｃの直下に位置させる。

次いで、保持手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ２４Ｃを収容手段２３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ２２Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段２３Ｃを接着シートＡＳの直上所定位置まで下降させる。その後、保持手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押圧ヘッド２５Ｃを下降させ、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの左端部に押圧して貼付する。このとき、保持手段２０が加熱手段２５Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱してもよい。接着シートＡＳへの剥離用テープＰＴの貼付が完了すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆの駆動を停止するとともに、リニアモータ２５Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、押圧ヘッド２５Ｃおよび収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させる。

その後、張力付与手段３０が直動モータ３３Ａを駆動し、ピンチローラ３３Ｄと押え付けローラ３２Ｄとで剥離用テープＰＴを所定の押圧力で挟み込んだ後、リニアモータ３１Ａを駆動し、接着シートＡＳの左端部を押え付けローラ３２Ｄの最下部の直下に位置させる。次に、保持手段２０が回動モータ２２Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを所定長さ巻き取るとともに、張力付与手段３０がリニアモータ３２Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、押え付けローラ３２Ｄの最下部で剥離用テープＰＴの折曲部を押圧する。次いで、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａおよび回動モータ３２Ｃを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させるとともに、押え付けローラ３２Ｄを反時計回転方向に回転させる。これにより、接着シートＡＳは、その折曲部が押え付けローラ３２Ｄの最下部で押え付けられながらウエハＷＦから剥離される。なお、接着シートＡＳの剥離中は、折曲手段４０がリニアモータ４１を駆動し、押え付けローラ３２Ｄおよびピンチローラ３３Ｄによって繰り出された剥離用テープＰＴや接着シートＡＳに当接ローラ４２を当接させ、それらに所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴや接着シートＡＳが２つ折りになるように誘導する。

そして、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、張力付与手段３０および折曲手段４０が回動モータ３２Ｃおよびリニアモータ４１の駆動を停止し、図２（Ｃ）に示すように、押え付けローラ３２Ｄとピンチローラ３３Ｄとで接着シートＡＳの剥離後端部を挟み込んだ状態で、回動モータ３２Ｃの回転をロックさせる。次に、圧着手段５０がリニアモータ５１Ａを駆動し、スライダ５１Ｂを左方向に移動させた後、保持手段２０および折曲手段４０が回動モータ２２Ａおよびリニアモータ４１を駆動し、接着シートＡＳの剥離先端部付近の剥離用テープＰＴが切断刃２６Ｃの直下に位置するように、当該剥離用テープＰＴおよび接着シートＡＳを移動させる。次いで、保持手段２０が回動モータ２２Ａの回転をロックさせた状態で、張力付与手段３０が回動モータ３２Ｃを駆動し、押え付けローラ３２Ｄとピンチローラ３３Ｄとの間から接着シートＡＳの剥離後端部を脱出させるとともに、折曲手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図３（Ａ）に示すように、接着シートＡＳの反対端部ＡＳ２の位置合わせを行う。その後、屈曲部保持手段６０が直動モータ６１を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、その先端部が逃げ溝４２Ａに入り込むまでニードル６２を下降させ、当該ニードル６２で屈曲部ＡＳ１を保持する。次に、圧着手段５０が図示しない減圧手段および直動モータ５１Ｇを駆動し、吸着パッド５１Ｋを昇降させて当該吸着パッド５１Ｋで接着シートＡＳを吸着保持した後、折曲手段４０がリニアモータ４１を駆動し、当接ローラ４２を初期位置に復帰させる。このとき、屈曲部ＡＳ１に当接ローラ４２の移動方向への力が加わるが、屈曲部ＡＳ１は、ニードル６２の貫通によって保持されているので移動することはなく、接着シートＡＳの折り曲げ姿勢が崩れることはない。そして、圧着手段５０が直動モータ２３Ａ、５１Ｄを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、収容手段２３Ｃとシート支持部材３３Ｅとで反対端部ＡＳ２を圧着するとともに、上チャック部材５１Ｆと下チャック部材５１Ｌとで屈曲部ＡＳ１を圧着することで、接着シートＡＳを折り畳む。次に、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、リニアモータ２６Ａを駆動し、溝３３Ｆを利用して切断刃２６Ｃを昇降させることで剥離用テープＰＴを切断する。その後、保持手段２０が直動モータ２３Ａを駆動し、収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させた後、直動モータ２４Ａを駆動し、補助ローラ２４Ｃを初期位置に復帰させる。

次いで、圧着手段５０がリニアモータ５１Ａを駆動し、スライダ５１Ｂを初期位置に復帰させ、図示しない減圧手段の駆動を停止した後、圧着手段５０および屈曲部保持手段６０が直動モータ５１Ｄ、５１Ｇおよび６１を駆動し、上チャック部材５１Ｆ、吸着パッド５１Ｋおよびニードル６２を初期位置に復帰させる。これにより、２つ折りにされた接着シートＡＳは、図３（Ｄ）に示すように、その自重によって回収箱７０内に落下する。なお、上チャック部材５１Ｆを初期位置に復帰させるときに、圧着手段５０が加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段を駆動し、吸着パッド５１Ｋから空気やガス等の気体を噴出してもよい。

ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、人手または図示しない搬送手段がテーブル３１Ｄ上のウエハＷＦを次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を
駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、屈曲部保持手段６０を備えているため、圧着手段５０で圧着する前の段階で屈曲部ＡＳ１の折り曲げ姿勢が崩れてしまうことがなくなり、当該接着シートＡＳの折畳み不良を防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、保持手段２０は、枚葉の剥離用テープを接着シートＡＳに押圧して貼付する構成でもよいし、剥離用テープＰＴを介することなく、駆動機器や吸着保持等で直接接着シートＡＳを保持してもよい。
テープ支持手段２１は、繰出手段２２方向に付勢されることなく剥離用テープＰＴを支持してもよく、この場合、繰出手段２２は、繰出ローラ２２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
保持補助手段２４は、補助ローラ２４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付けで剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる構成を採用することができるし、接着シートＡＳ剥離後の剥離用テープＰＴをリード保持手段２３のみで保持可能であれば、なくてもよい。
加熱手段２５Ｄは、剥離用テープＰＴが感圧接着性の接着シートの場合、あってもよいし、なくてもよい。
押圧手段２５および切断手段２６の少なくとも一方は、収容手段２３Ｃに収容されずに、リニアモータ２５Ａ、２６Ａが図示しないフレームで支持されていてもよい。
付勢手段は、ばね２１Ｄに代えてまたは併用して、ゴム、樹脂等の弾性部材や、駆動機器等を採用してもよい。
他の装置で剥離用テープＰＴが接着シートＡＳに貼付されている場合、保持手段２０は、テープ支持手段２１、繰出手段２２、リード保持手段２３、保持補助手段２４、押圧手段２５および切断手段２６はなくてもよく、それらの代わりに駆動機器や吸着保持等で接着シートＡＳに貼付されている剥離用テープＰＴを保持する構成を採用すればよい。
他の装置で剥離用テープＰＴを切断する場合、本願発明において切断手段２６はなくてもよいし、剥離用テープＰＴを切断しなくてもよい。

張力付与手段３０は、繰出手段２２の駆動、回動モータ３２Ｃの駆動およびリニアモータ３１Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で接着シートＡＳを剥離してもよいし、テーブル３１Ｄを固定しておき、または、移動させつつ保持手段２０等を移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離してもよいし、他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、本願発明において移動手段３１はなくてもよい。
押え付け手段３２は、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳに接触するように押え付けてもよいし、接触しないように押え付けてもよいし、接着シートＡＳの左端部、中間部、右端部等、どの位置で当該接着シートＡＳを押え付けてもよいし、押え付けローラ３２Ｄの最下部以外の位置で接着シートＡＳの折曲部を押え付けてもよいし、なくてもよい。
挟み込み手段３３は、ピンチローラ３３Ｄに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で押え付けローラ３２Ｄとで剥離用テープＰＴ等を挟み込んでもよいし、なくてもよい。
シート支持部材３３Ｅは、直動モータ３３Ａ以外の駆動機器で移動するようにしてもよいし、溝３３Ｆがなくてもよい。

折曲手段４０は、前記実施形態では、接着シートＡＳを１回だけ折り曲げて２つ折りとしたが、２回以上折り曲げて３つ折り以上としてもよいし、ウエハＷＦに当接していた面の反対側の面同士が対向する２つ折りとした上で、３つ折り以上となるように接着シートＡＳを折り曲げてもよいし、当接ローラ４２に代えてまたは併用して、棒状部材や板状部材等を採用してもよいし、エアの吹き付け等で２つ折または３つ折り以上となるように接着シートＡＳを折り曲げてもよい。
逃げ溝４２Ａは、ニードル６２が複数設けられている場合、各逃げ溝４２Ａにニードル６２が１本ずつまたは複数本ずつ入るように設けてもよいし、なくてもよい。

圧着手段５０は、上チャック部材５１Ｆに形成された孔５１Ｊと同等の孔を下チャック部材５１Ｌに設け、直動モータ５１Ｇおよび吸着パッド５１Ｋと同等のものを下チャック部材５１Ｌの下面に設け、上側の吸着パッド５１Ｋと下側の吸着パッド５１Ｋとの少なくとも一方で接着シートＡＳを吸着保持してもよいし、上下チャック部材５１Ｆ、５１Ｌとして、板状部材の他にローラ部材等の他の部材を採用してもよいし、エアの吹き付けで接着シートＡＳを圧着してもよいし、折り畳まれた接着シートＡＳを１枚ずつ保持して、回収箱７０内に重ねて収納する重ね収納手段を備えてもよいし、なくてもよい。重ね収納手段は、駆動機器等を適宜組み合せて構成することができる。
外周部圧着手段５２は、収容手段２３Ｃおよびシート支持部材３３Ｅ以外の部材で反対端部ＡＳ２を圧着する構成としてもよいし、保持手段２０で保持した端部とは別の端部と他の端部とを、折り曲げられた接着シートＡＳにおいて対向する外周部同士として圧着する構成としてもよいし、対向する外周部の全体を圧着してもよいし、一部を圧着してもよいし、なくてもよい。

屈曲部保持手段６０は、ニードル６２を複数設け、各ニードル６２を１個の直動モータ６１で移動させたり、各ニードル６２をそれぞれ１個の直動モータ６１で移動させたりしてもよいし、ニードル６２の下方への移動量を増やし、屈曲部ＡＳ１の上側と下側との両方を貫通するように構成してもよいし、上チャック部材５１Ｆに形成された孔５１Ｍと同等の孔を下チャック部材５１Ｌに設け、直動モータ６１およびニードル６２と同等のものを下チャック部材５１Ｌの下面に設け、上側のニードル６２と下側のニードル６２との少なくとも一方で屈曲部ＡＳ１を保持してもよいし、貫通部材として針金、樹脂、木材、駆動機器の出力軸等のニードル以外の部材を採用してもよいし、吸着パッド、接着、粘着、磁着等の接着シートＡＳを貫通させることなく屈曲部ＡＳ１を保持できるものを採用してもよいし、屈曲部ＡＳ１の上側、下側および側方等、いずれの位置から保持を行ってもよいし、例えば、Ｙ軸方向に進退可能なシャフト部材や、屈曲部ＡＳ１の前側および後側を引掛けることが可能なフック部材等を屈曲部ＡＳ１の折り曲げ内側に挿入し、当該屈曲部ＡＳ１を保持するようにしてもよい。

回収手段は、回収箱７０以外に、剥離した接着シートＡＳを搬送するベルトコンベアや多間接ロボット等でもよいし、なくてもよい。
前記実施形態では、接着シートＡＳの反対端部ＡＳ２の位置合わせを行ったが、当該反対端部ＡＳ２の位置合わせは行わなくてもよい。

また、本発明における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着形態のものが採用された場合の貼付は、接着シートＡＳや剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着すればよい。また、このような接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートを保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

１０シート剥離装置
２０保持手段
３０張力付与手段
４０折曲手段
５０圧着手段
６０屈曲部保持手段
６２ニードル（貫通部材）
ＡＳ接着シート
ＡＳ１屈曲部
ＷＦウエハ（被着体）

Claims

被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートを保持する保持手段と、
前記保持手段で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与手段と、
前記張力付与手段で剥離された接着シートの面内における所定の位置を折り曲げて屈曲部を形成する折曲手段と、
前記折曲手段で折り曲げられた前記接着シートを圧着する圧着手段とを備え、
前記折曲手段で形成された前記屈曲部を保持する屈曲部保持手段を更に備えていることを特徴とするシート剥離装置。
前記屈曲部保持手段は、前記接着シートを貫通可能な貫通部材を備え、当該貫通部材を前記屈曲部に貫通させて当該屈曲部を保持することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートを保持する保持工程と、
前記保持工程で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与工程と、
前記張力付与工程で剥離された接着シートの面内における所定の位置を折り曲げて屈曲部を形成する折曲工程と、
前記折曲工程で折り曲げられた前記接着シートを圧着する圧着工程とを備え、
前記折曲工程で形成された前記屈曲部を保持する屈曲部保持工程を更に備えていることを特徴とするシート剥離方法。