JP2017507356A5

JP2017507356A5 -

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Publication number: JP2017507356A5
Application number: JP2016553335A
Authority: JP
Filing date: 2015-02-16
Publication date: 2019-10-03
Anticipated expiration: 2035-02-16

Description

ミラーＭ８は掩蔽され、ミラーＭ６とＭ７の間の結像ビーム経路内の照明光３の通過のための通過開口部５４を含む。通過開口部５４の結果として投影光学ユニット５０の開口数の２０％未満しか掩蔽されない。従って、投影光学ユニット５０の系瞳内では、掩蔽に起因して照明されない面は、全体の系瞳面の０．２０ ² 倍よりも小さい。系瞳内の非照明面は、ｙ方向とは異なる広がりをｘ方向に有することができる。更に、照明することができない系瞳内のこの面は、系瞳の中心に対してｘ方向及び／又はｙ方向に偏心させることができる。

Claims

物体視野（８）を照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット（１１）であって、
光源（２）から発する照明光（３）を導くための第１の伝達光学ユニット（４）を含み、
前記第１の伝達光学ユニット（４）の下流に配置され、かつ多くの照明事前決定ファセット（２５）を含み、照明される照明事前決定ファセット（２５）の配置を用いて前記物体視野（８）の予め決められた照明を発生させる照明事前決定ファセットミラー（７）を含み、
前記物体視野（８）内の照明角度分布を予め決定する照明光学ユニット（１１）の最大広がりを有する照明瞳の円形形態から外れている包線（３３）を有する照明をもたらすような照明光学ユニット（１１）の配置を含み、
前記照明瞳は、行単位（ｌｉｎｅ−ｂｙ−ｌｉｎｅ）（Ｚ）及び／又は列単位（ｃｏｌｕｍｎ−ｂｙ−ｃｏｌｕｍｎ）（Ｓ）方式に配置されて存在する複数の部分瞳領域（３０）に細分される、
ことを特徴とする照明光学ユニット（１１）。
前記照明事前決定ファセットミラー（７）は、複数の瞳ファセットを含みかつ照明光学ユニットの瞳平面（３２）に又はそれと共役な平面（３２ａ）に配置された瞳ファセットミラー（７）として構成され、該瞳ファセットは、前記照明瞳内の前記部分瞳領域（３０）を予め決定することを特徴とする請求項１に記載の照明光学ユニット。
前記物体視野（８）の前記予め決められた照明は、
前記照明事前決定ファセットミラー（７）の照明可能縁部形態と、
前記照明事前決定ファセット（２５）の個々の傾斜角と、
を用いて前記物体視野（８）の視野形態及び照明角度分布の予め決められた照明として予め決定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の照明光学ユニット。
前記照明瞳の前記包線（３３）が、第１の瞳寸法（ｘ）に最大広がり（Ａ）及び第２の瞳寸法（ｙ）に最小広がり（Ｂ）を有し、該最大広がり（Ａ）と該最小広がり（Ｂ）の間の比が、少なくとも１．１であるような配置を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記配置の前記列のうちの１つ（Ｓ_i）の前記部分瞳領域（３０）は、該配置の隣接列（Ｓ_j）の該部分瞳領域（３０）に対して列内で互いに隣接する部分瞳領域（３０）の間隔（ｂ_ij）の半分だけ互いからオフセットされて配置されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記部分瞳領域（３０）の配置は、該部分瞳領域（３０）の六角形配置が得られるようになっていることを特徴とする請求項５に記載の照明光学ユニット。
前記部分瞳領域（３０）の配置は、該部分瞳領域（３０）の回転した直交配置が得られるようになっていることを特徴とする請求項５に記載の照明光学ユニット。
前記照明光学ユニット（１１）の配置は、該照明光学ユニット（１１）の照明瞳の前記包線（３３）が楕円形状を有するようになっていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記照明瞳内の前記部分瞳領域（３０）は、第１の部分瞳寸法（ｘ）に最大広がり及び第２の部分瞳寸法（ｙ）に最小広がりを有し、該最大広がりと該最小広がりの間の比が、少なくとも１．１であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記第１の伝達光学ユニットは、複数の伝達ファセット（２１）を有する伝達ファセットミラー（６）を含むことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記伝達ファセットミラーの包線が、第１の視野寸法（ｙ）に最大広がり及び第２の視野寸法（ｘ）に最小広がりを有し、該最大広がりと該最小広がりの間の比が、少なくとも１．１であることを特徴とする請求項１０に記載の照明光学ユニット。
前記伝達光学ユニット（４）は、照明光学ユニット（１１）の前記照明瞳上に前記光源（２）のアナモルフィック像を発生させるコレクター（３４）を含むことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
前記照明瞳を発生させるために前記照明事前決定ファセットミラー（７）の下流に配置された更に別の伝達光学ユニット（４２；４７；４８）を特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
瞳ファセットミラー（７）の前記包線（３３）の配置が楕円形状を有し、瞳ファセット（２５）が六角形配置を有する、請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の照明光学ユニット（１１）の一部としての該瞳ファセットミラー（７）。
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の照明光学ユニットと、
物体視野（８）を像視野（１７）に結像するための投影光学ユニット（１０）と、
を含むことを特徴とする光学系。
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の照明光学ユニットと、
光源（２）と、
を含むことを特徴とする照明系。
請求項１５に記載の光学系と、
光源（２）と、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
微細構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル（８）を与える段階と、
照明光（３）に感応するコーティングを有するウェーハ（１９）を与える段階と、
請求項１７に記載の投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（８）の少なくとも一部分を前記ウェーハ（１９）上に投影する段階と、
前記照明光（３）に露光された前記光感応層を前記ウェーハ（１９）上で現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。