JP2013520690A - マスク検査装置の照明系及び投影対物系 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図7a
Description
に従い、ここで、以下の通りである。
x,y:マスク平面の座標を表し、
R:リング視野の半径を表し、かつ
α:入射平面(照明系からマスク上に入射する重心光線とマスクによって反射された重心光線とによって形成される)とy=0の平面との間の角度を表す。
650 照明系のブレード
660 投影対物系のブレード
OAp 光軸
Claims (26)
- マスク検査装置の照明系であって、
マスク検査装置の作動中の照明系(610)が、重心光線を有する照明光線束(615)でマスク(630)を照明し、
前記重心光線は、前記マスク(630)上の前記照明光線束(615)の入射場所に依存する方向を有する、
ことを特徴とする照明系。 - 前記マスク(630)の異なる場所上に入射する2つの光線束の入射平面の間の最大角度が、少なくとも3°、特に少なくとも5°、更に具体的には少なくとも10°、更に具体的には少なくとも15°であることを特徴とする請求項1に記載の照明系。
- 前記マスク(630)の異なる場所上に入射する2つの光線束の前記重心光線の間の最大角度が、少なくとも3°、特に少なくとも5°、更に具体的には少なくとも10°、更に具体的には少なくとも15°であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明系。
- 前記マスク検査装置の作動中に分析されるマスク(630)が、投影露光装置においてリングの断片の形状にある照明領域に対して用いられるように設計されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明系。
- 照明系(610)が、EUVモードにおける作動のために設計されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記マスク(630)上の前記照明光線束(615)の前記入射場所に依存する前記重心光線の前記方向の前記変動は、該重心光線と該マスク(630)上の表面法線との間の角度の大きさが維持されるようなものであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明系。
- 所定の移動平面内で可動である少なくとも1つのブレード(650)が、前記マスク(630)上の前記照明光線束の前記入射場所に依存する前記重心光線の前記方向の前記変動の調節のために設けられることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記移動平面は、前記マスク平面との実質的な共面関係で延びることを特徴とする請求項8に記載の照明系。
- 前記ブレード(650)が前記マスク(630)上の前記照明光線束の前記入射場所に依存する前記重心光線の前記方向の前記変動の調節のためにその上で可動である前記移動平面の領域(410)が、実質的にじん臓形の輪郭を有することを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の照明系。
- 前記ブレード(650)は、以下の照明設定、すなわち、四重極照明設定、二重極照明設定、輪帯照明設定、及び従来照明設定のうちの1つ又はそれよりも多くの調節に適応されることを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記ブレード(650)は、回転可能に配置されることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記ブレードは、可変調節可能なブレード配列の形態にあり、該ブレード配列の調節により、前記マスク検査装置内のEUV投影露光装置の照明瞳の輝度分布に部分構造を与えることができることを特徴とする請求項8から請求項12のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記ブレード配列は、互いに対して可動である少なくとも2つのブレード(910,920;950,960)を有することを特徴とする請求項13に記載の照明系。
- 前記ブレード(910,920;950,960)は、異なる形状及び/又はサイズのブレード開口部(911〜913;921〜923;951〜953;961〜963)を有することを特徴とする請求項14に記載の照明系。
- 前記ブレード(960)の少なくとも1つが、アポダイジングアームを有することを特徴とする請求項14又は請求項15に記載の照明系。
- 前記マスク(630)は、回転可能に配置されることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の照明系。
- マスク検査装置の投影対物系であって、
マスク検査装置の作動中の投影対物系(620)が、主要光線を有する観察光線束(625)を用いてマスク(630)を観察し、
前記主要光線は、前記マスク(630)上の前記観察光線束(625)の開始場所に依存する方向を有する、
ことを特徴とする投影対物系。 - 投影対物系(620)が、EUVモードの作動用に設計されることを特徴とする投影請求項18に記載の投影対物系。
- 所定の移動平面内で可動である少なくとも1つのブレード(660)が、前記マスク(630)上の前記観察光線束(625)の前記開始場所に依存する前記主要光線の前記方向の変動の調節のために設けられることを特徴とする請求項18又は請求項19に記載の投影対物系。
- 前記ブレード(660)が、前記マスク(630)上の前記観察光線束(625)の前記開始場所に依存する前記主要光線の前記方向の前記変動の調節のためにその上で可動である前記移動平面の領域(510)が、実質的にじん臓形の輪郭を有することを特徴とする請求項20に記載の投影対物系。
- 前記移動平面は、前記マスクの平面と実質的な共面関係で延びることを特徴とする請求項20又は請求項21に記載の投影対物系。
- 請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の照明系と、
請求項18から請求項22のいずれか1項に記載の投影対物系と、
を含むことを特徴とするマスク検査装置。 - 前記照明系(610)のブレード(650)と前記投影対物系(620)のブレード(660)が、反対方向に互いに対して同期して可動であることを特徴とする請求項23に記載のマスク検査装置。
- マスク検査装置を作動させる方法であって、
マスク検査装置の作動中に、照明系(610)が、重心光線を有する照明光線束(615)を用いてマスク(630)を照明し、
投影対物系(620)が、主要光線を有する観察光線束(625)を用いて前記マスク(630)を観察し、
前記重心光線の方向及び前記主要光線の方向が、前記マスク(630)上の場所に依存してそれぞれ変更される、
ことを特徴とする方法。 - マスク検査装置の照明系であって、
ブレード配列の調節によってEUV投影露光装置の照明瞳の輝度分布に部分構造を与えることができるような方法で可変調節可能である少なくとも1つのブレード配列を有する、
ことを特徴とする照明系。
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