JP6963642B2 - 投影リソグラフィのための照明光学ユニット - Google Patents
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Description
これに代えて又はこれに加えて、円形形態から外れている照明瞳の包線は、照明事前決定ファセットミラーの下流に配置された更に別の伝達光学ユニットによって発生させることができる。
−照明チャネルVI、VIII、III
−照明チャネルIV、I、VII
−照明チャネルV、II、IX
従って、伝達ファセット21は、物体視野8のテレセントリック照明が図で示す照明例をもたらすように照明事前決定ファセット25に割り当てられる。
Δk=l(1/zEP−1/zSR)
32 瞳平面
33 包線
A 最大広がり
S 列
Claims (18)
- 物体視野(8)を照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット(11)であって、
光源(2)から発する照明光(3)を導くための第1の伝達光学ユニット(4)を含み、
前記第1の伝達光学ユニット(4)の下流に配置され、かつ多くの照明事前決定ファセット(25)を含み、照明される照明事前決定ファセット(25)の配置を用いて前記物体視野(8)の予め決められた照明を発生させる照明事前決定ファセットミラー(7)を含み、
前記物体視野(8)内の照明角度分布を予め決定する照明光学ユニット(11)の最大広がりを有する照明瞳の円形形態から外れている包線(33)を有する照明をもたらすような照明光学ユニット(11)の配置を含み、
前記照明瞳は、行単位(line−by−line)(Z)及び/又は列単位(column−by−column)(S)方式に配置されて存在する複数の部分瞳領域(30)に細分され、
前記照明事前決定ファセットミラー(7)は、複数の瞳ファセットを含みかつ照明光学ユニットの瞳平面(32)に又はそれと共役な平面(32a)に配置された瞳ファセットミラー(7)として構成され、該瞳ファセットは、前記照明瞳内の前記部分瞳領域(30)を予め決定し、
前記第1の伝達光学ユニットは、複数の伝達ファセット(21)を有する伝達ファセットミラー(6)を含み、
前記伝達ファセットミラーの包線が、第1の視野寸法(y)に最大広がり及び第2の視野寸法(x)に最小広がりを有し、該最大広がりと該最小広がりの間の比が、少なくとも1.1である、
ことを特徴とする照明光学ユニット(11)。 - 前記伝達ファセットは一体形成により具現化される、請求項1に記載の照明光学ユニット。
- 前記伝達ファセットは個々のMEMSミラーの群として具現化される、請求項1に記載の照明光学ユニット。
- 前記伝達ファセット又は伝達ファセットの群は、円柱光学ユニットとして具現化される、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の照明光学ユニット。
- 前記伝達ファセットミラー(6)の最大視野寸法(y)の延びは、最小瞳寸法と平行である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の照明光学ユニット。
- 前記伝達ファセットミラー(6)の最小視野寸法(x)の延びは、最大瞳寸法と平行である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の照明光学ユニット。
- 前記照明瞳の前記包線(33)が、第1の瞳寸法(x)に最大広がり(A)及び第2の瞳寸法(y)に最小広がり(B)を有し、該最大広がり(A)と該最小広がり(B)の間の比が、少なくとも1.1であるような配置を特徴とする請求項1乃から請求項6のいずれか一項に記載の照明光学ユニット。
- 前記配置の前記列のうちの1つ(Si)の前記部分瞳領域(30)は、該配置の隣接列(Sj)の該部分瞳領域(30)に対して列内で互いに隣接する部分瞳領域(30)の間隔(bij)の半分だけ互いからオフセットされて配置されることを特徴とする請求項1から請求項7に記載の照明光学ユニット。
- 前記部分瞳領域(30)の配置は、該部分瞳領域(30)の六角形配置が得られるようになっていることを特徴とする請求項8に記載の照明光学ユニット。
- 前記部分瞳領域(30)の配置は、該部分瞳領域(30)の回転した直交配置が得られるようになっていることを特徴とする請求項8に記載の照明光学ユニット。
- 前記照明光学ユニット(11)の配置は、該照明光学ユニット(11)の照明瞳の前記包線(33)が楕円形状を有するようになっていることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記伝達光学ユニット(4)は、照明光学ユニット(11)の前記照明瞳上に前記光源(2)のアナモルフィック像を発生させるコレクター(34)を含むことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記照明瞳を発生させるために前記照明事前決定ファセットミラー(7)の下流に配置された更に別の伝達光学ユニット(42;47;48)を特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 瞳ファセットミラー(7)の前記包線(33)の配置が楕円形状を有し、瞳ファセット(25)が六角形配置を有する、請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(11)の一部としての該瞳ファセットミラー(7)。
- 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の照明光学ユニットと、
物体視野(8)を像視野(17)に結像するための投影光学ユニット(10)と、
を含むことを特徴とする光学系。 - 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の照明光学ユニットと、
光源(2)と、
を含むことを特徴とする照明系。 - 請求項15に記載の光学系と、
光源(2)と、
を含むことを特徴とする投影露光装置。 - 微細構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(8)を与える段階と、
照明光(3)に感応するコーティングを有するウェーハ(19)を与える段階と、
請求項17に記載の投影露光装置(1)を用いて前記レチクル(8)の少なくとも一部分を前記ウェーハ(19)上に投影する段階と、
前記照明光(3)に露光された前記光感応層を前記ウェーハ(19)上で現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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