JP2017502497A - 発光デバイスのウエハを分離する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 発光デバイスのウエハを分離する方法であって、
ウエハ上のダイシングストリート上で第1の溝をスクライブし、
前記ウエハ上の造形部に対する前記第1の溝の位置を用いて、前記ウエハのアライメントを検査し、且つ
前記アライメントを検査した後に、前記ダイシングストリート上で第2の溝をスクライブする、
ことを有する方法。 - 前記第2の溝は前記第1の溝よりも深い、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の溝は前記第1の溝よりも幅広である、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の溝は前記第1の溝の上でスクライブされる、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の溝に沿って前記ウエハを破断することを更に有する請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2の溝はサファイア基板内に形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記サファイア基板は200ミクロン以上の厚さである、請求項6に記載の方法。
- 前記第1の溝の深さは、前記第2の溝の深さの30%以下である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の溝の幅は、前記第2の溝の幅の70%以下である、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の溝をスクライブすることは、前記第1の溝を破壊する、請求項1に記載の方法。
- 前記ダイシングストリートは第1のダイシングストリートであり、当該方法は更に、
第2のダイシングストリート上で第3の溝をスクライブし、
第3のダイシングストリート上で第4の溝をスクライブし、前記第2のダイシングストリートが前記第1のダイシングストリートと当該第3のダイシングストリートとの間に配され、
前記第4の溝にて前記ウエハを破断し、
前記第2の溝にて前記ウエハを破断し、且つ
前記第4の溝にて前記ウエハを破断すること及び前記第2の溝にて前記ウエハを破断することの後に、前記第3の溝にて前記ウエハを破断する
ことを有する、請求項1に記載の方法。 - 発光デバイスのウエハを分離する方法であって、前記ウエハは、複数のストリートによって隔てられた複数の行に配された複数の発光デバイスを有し、当該方法は、
或る区画を前記ウエハの残りの部分から分離するように、ストリートに沿って前記ウエハを破断し、前記区画及び前記ウエハの前記残りの部分は各々、少なくとも2行の発光デバイスを有し、且つ
前記少なくとも2行の発光デバイス間に配されたストリートに沿って前記区画を破断する
ことを有する、方法。 - 前記区画は、4行の発光デバイスを有し、
前記少なくとも2行の発光デバイス間に配されたストリートに沿って前記区画を破断することは、2行の発光デバイスずつの2つの部分区画へと前記区画を破断することを有し、
当該方法は更に、前記2つの部分区画を個々の行の発光デバイスへと破断することを有する、
請求項12に記載の方法。 - 発光デバイスのウエハを分離する方法であって、前記ウエハは、複数のストリートによって隔てられた複数の部分に配された複数の発光デバイスを有し、当該方法は、
第1、第2、及び第3のストリートをスクライブし、且つ
前記第1、第2、及び第3のストリートを前記スクライブすることとは異なる順序で、前記第1、第2、及び第3のストリートにて前記ウエハを破断する
ことを有する、方法。 - 前記第1、第2、及び第3のストリートをスクライブすることは、前記第1のストリートをスクライブし、次いで、前記第2のストリートをスクライブし、次いで、前記第3のストリートをスクライブすることを有し、且つ
前記ウエハを破断することは、前記第1及び第3のストリートにて前記ウエハを破断することに先立って、前記第2のストリートにて前記ウエハを破断することを有する、
請求項14に記載の方法。
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