KR101265203B1 - 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 - Google Patents

Abstract

(과제) 저온 소성 세라믹 기판 등의 기판을 스크라이브할 때에, 정확하게 소망하는 라인을 따라 스크라이브할 수 있도록 하는 것이다.
(해결 수단) 테이블(106)을 y축 방향으로 이동이 자유롭게 함과 함께, 모터(105)에 의해 회전이 자유롭게 한다. 또한 스크라이브 헤드(112) 및 카메라(116)를 x축 방향을 따라 이동이 자유롭게 한다. 스크라이브시에는 취성 재료 기판(107)을 테이블(106) 상에 고정하여, 격자 형상으로 기능 영역이 형성된 취성 재료 기판(107)을 격자 형상으로 스크라이브할 때에 기능 영역의 경계점을 측정 포인트로 하여 위치를 검출하고, 이 점을 통과하도록 스크라이브 라인을 설정한다. 그리고 설정한 스크라이브 라인이 되도록 스크라이브를 행한다. 이렇게 하면 곡선 형상으로 스크라이브할 수 있어, 변형이 발생하기 쉬운 취성 재료 기판이라도, 기능 영역을 등분으로 분단하도록 스크라이브할 수 있다.

Description

스크라이브 장치 및 스크라이브 방법{SCRIBING DEVICE AND SCRIBING METHOD}

본 발명은 특히 저온 소성 세라믹 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 절단에 이용되는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 것이다.

저온 소성 세라믹(이하, LTCC라고 함)은, 알루미나의 골재와 유리 재료를 혼합한 시트에 도체를 배선하여 다층막으로 하고, 이 다층막을 800℃ 정도의 저온에서 소성한 기판이다. LTCC 기판은 1매의 머더 기판(mother substrate) 상에 다수의 기능 영역이 격자 형상으로 동시에 형성되고, 이들의 기능 영역을 각 기능 영역마다 분단(dividing)하여 이용된다. 종래는 특허문헌 1에 나타나는 바와 같이 세라믹용의 스크라이버를 이용해 스크라이브하여, LTCC 기판을 분단하고 있었다. 또한 LTCC 기판을 커팅 툴(cutting tool)에 의해 기계적으로 커팅함으로써 분단하도록 하고 있었다.

또한 특허문헌 2에는 LTCC 기판을 분단할 때에 스크라이브 라인마다 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 형성해 두고, 소성 후의 왜곡(distortion)이 발생하고 있는 기판에 대하여 얼라인먼트 마크를 모니터로 확인하고, 얼라인먼트 마크를 연결하도록 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 제안되고 있다.

일본특허 제3116743호 공보 일본공개특허공보 평2009-220405호

종래의 기계적인 커팅에 의한 분단 방법에서는, 커팅에 시간이 걸릴 뿐만 아니라, 정확하게 커팅하는 것이 어렵다. 또한 절단시에 분진이 발생하거나, 머더 기판 상에는 각 소(小)기판간에 절단을 위해 일정한 스페이스를 형성해 둘 필요가 있다는 결점이 있었다.

한편 평면 디스플레이용 등으로, 유리제의 기능 영역이 격자 형상으로 형성된 머더 기판 등을 다수의 소기판으로 분단하는 경우에는, 우선 스크라이브 장치를 이용하여 격자 형상으로 스크라이브한다. 이를 위해 도 1에 나타내는 바와 같이 머더 기판의 주위에 부착한 얼라인먼트 마크로부터 한 쌍의 마크를 선택하여 이 마크를 연결하는 라인을 스크라이브한다. 다음으로 이 라인으로부터 기능 영역의 크기를 고려한 소정의 피치를 설정하여, 다른 평행한 스크라이브 라인을 형성한다. 도면 중 일점 쇄선으로 나타내는 라인은, 스크라이브해야 할 라인을 나타낸다. 유리 기판에서는, 얼라인먼트 마크 형성 후, 불가역적으로 크게 변형하는 일이 없어, 얼라인먼트 마크의 정밀도가 높기 때문에, 이와 같이 주위의 얼라인먼트 마크로부터 소정의 피치로 머더 기판을 평행 이동시켜 스크라이브를 해도, 정확하게 머더 기판을 스크라이브하여, 분단할 수 있다.

그러나 LTCC 기판은, 기능 영역 및 얼라인먼트 마크가 소성 전에 형성되지만, 소성시에 도 2에 나타내는 바와 같이 만곡(curved)하여 수축하는 경우가 있다. 그 때문에 LTCC 기판의 주위에 미리 얼라인먼트 마크를 부착하고, 이 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여 소망하는 피치로 머더 기판을 평행 이동시켜도, 기능 영역을 정확하게 등분하도록 스크라이브하는 것은 어렵다. 그 때문에 머더 기판을 기능 영역마다 정확하게 분단하여 제품 기판을 제조하는 것이 어렵다는 문제점이 있었다. 특히 기판과 제품 기판이 작은 경우(예를 들면 종횡(縱橫) 200㎜ 이하, 특히 100㎜ 이하의 기판을 분단하는 경우, 분단에 의해 종횡 10㎜ 이하(특히 5㎜ 이하)의 제품을 얻는 경우)에는, 기능 영역마다 정확하게 분단하여 제품 기판을 제조하는 것이 어려워진다.

또한 특허문헌 2에서는 기판의 주위에 다수의 얼라인먼트 마크를 형성하여, 얼라인먼트 마크를 연결하도록 스크라이브 라인을 형성하고 있지만, 이때에 형성하는 스크라이브 라인은 직선적인 라인으로, LTCC 기판이 곡선 형상으로 만곡하고 있던 경우, 각 기능 영역의 중간을 통과하도록 곡선 형상의 스크라이브 라인을 형성할 수 없다는 문제점이 있었다.

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 해소하는 것으로, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 스크라이브에 이용되고 있었던 스크라이브 장치를 이용하여, 저온 소성 세라믹 등과 같이 만곡하여 변형하는 것이 상정되는 취성 재료 기판이라도, 기능 영역의 사이를 정확하게 스크라이브하여 분단할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 격자 형상으로 다수의 기능 영역이 형성된 취성 재료 기판을 각 기능 영역마다 분단하여 제품 기판으로 하기 위해 스크라이브하는 스크라이브 장치로서, 상기 취성 재료 기판이 설치되는 테이블과, 상기 테이블 상에 취성 재료 기판에 대향하도록 승강이 자유롭게 설치되고, 그 선단(先端)에 스크라이빙 휠을 보지(保持;holding)하는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이빙 휠을 상기 취성 재료 기판의 표면에 누른 상태에서 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 수단과, 상기 취성 재료 기판의 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점을 촬상하는 카메라와, 상기 카메라의 화상으로부터 상기 기능 영역의 사이의 중간점의 위치를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 상기 기능 영역의 사이의 중간점 중 스크라이브해야 할 라인 상의 적어도 3개의 측정 포인트의 위치를 검출하고, 상기 측정 포인트를 연결하는 스크라이브 라인을 연산하고, 연산된 스크라이브 라인을 따라 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 헤드를 승강시켜 스크라이브를 행하는 컨트롤러를 구비하는 것이다.

여기에서 상기 테이블 상의 기능 영역의 사이의 중간을 촬상하는 상기 카메라를 이동시키는 카메라 이동 수단을 추가로 갖도록 해도 좋다.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 방법은, 격자 형상으로 다수의 기능 영역이 형성된 취성 재료 기판을 각 기능 영역마다 분단하여 제품 기판으로 하기 위해 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서, 상기 취성 재료 기판의 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점의 위치를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 상기 기능 영역의 사이의 중간점 중 스크라이브해야 할 라인 상에 적어도 3개의 측정 포인트의 위치를 검출하고, 측정되는 스크라이브 라인의 상기 측정 포인트를 연결하도록 스크라이브 라인을 연산하고, 연산된 스크라이브 라인을 따라 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 헤드를 승강시켜 상기 취성 재료 기판을 스크라이브하는 것이다.

또한, 본 명세서에서 말하는 스크라이브란, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판 상에 압접 상태로 하여 전동(rolling)시켜 스크라이브 라인을 새기는 것을 말한다. 분단시에는 스크라이브 라인을 형성하고, 그 라인을 따라 판두께 방향으로 신전(extension)하는 수직의 크랙을 발생시킴으로써 취성 재료 기판을 분단할 수 있다.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 기능 영역간의 측정 포인트를 통과하도록 스크라이브 라인을 연산하고, 이 라인을 따라 스크라이브를 행하고 있다. 그 때문에 소성시에 변형하기 쉬운 LTCC 기판 등의 취성 재료 기판에 대하여도, 정확하게 인접하는 기능 영역의 사이의 중간을 통과하도록 스크라이브할 수 있어, 이 스크라이브 라인에 기초하여 분단할 수 있다. 본 발명은 특히 기판과 제품 기판이 작은 경우(예를 들면 종횡 200㎜ 이하(특히 100㎜ 이하)의 기판을 분단하는 경우, 분단에 의해 종횡 10㎜ 이하(특히 5㎜ 이하)의 제품을 얻는 경우)에 유효하다.

도 1은 스크라이브 전의 유리 기판의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 소성 후 스크라이브 전의 저온 소성 세라믹 기판의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 컨트롤러를 나타내는 블록도이다.
도 5는 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 의해 스크라이브하기 전의 취성 재료 기판을 나타내는 도면이다.
도 6은 스크라이브 전의 취성 재료 기판의 부분 확대도이다.
도 7은 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 스크라이브 동작을 나타내는 플로우 차트이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

도 3은, 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략 사시도이다. 이 스크라이브 장치(100)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 보지되어 있다. 볼 나사(103)는 이동대(101)와 나사 결합하고 있다. 볼 나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 설치되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 여기에서 취성 재료 기판(107)은 저온 소성 세라믹 기판으로 한다. 이 기판(107)은 테이블(106) 상에 올려놓여져, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 보지된다.

스크라이브 장치(100)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브리지(110)가 x축 방향을 따라 지주(支柱; 111a, 111b)에 의해 가설(架設)되어 있다. 브리지(110)는 리니어 모터(113)에 의해 스크라이브 헤드(112)를 이동이 자유롭게 보지하고 있다. 리니어 모터(113)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 직선 구동하는 것이다. 스크라이브 헤드(112)의 선단부에는, 홀더(114)를 통하여 스크라이빙 휠(115)이 부착되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는, 스크라이빙 휠(115)을 취성 재료 기판의 표면 상에 적절한 하중으로 압접하면서 전동시켜 가며, 스크라이브 라인을 형성하는 것이다.

스크라이빙 휠(115)로서는, 일본특허 제3074153호에 나타나 있는 고침투형의 스크라이빙 휠을 이용하는 것이 바람직하여, 실시 형태에 있어서도 이 스크라이빙 휠을 이용하는 것으로 한다. 스크라이빙 휠의 재질로서는, 소결 다이아몬드(PCD), 초경합금 등을 사용할 수 있지만, 스크라이빙 휠의 수명의 점에서, 소결 다이아몬드(PCD)가 바람직하다.

리니어 모터(113)에는 병렬로 리니어 모터(116)가 설치되고, 리니어 모터(116)에 CCD 카메라(117)가 부착된다. 리니어 모터(116)는 CCD 카메라(117)를 x축 방향으로 구동하고, 후술하는 취성 재료 기판에 설치되는 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점을 촬상하는 카메라 이동 수단이다.

여기에서 이동대(101), 안내 레일(102a, 102b)이나 테이블(106) 및 이들을 구동하는 모터(104, 105) 및 스크라이브 헤드(112)를 이동시키는 리니어 모터(113)는, 스크라이브 헤드와 취성 재료 기판을 그 기판의 스크라이브되는 면에 평행한 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구성하고 있다.

다음으로 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(100)의 컨트롤러의 구성에 대해서, 블록도를 이용하여 설명한다. 도 4는 스크라이브 장치(100)의 컨트롤러(120)의 블록도이다. 본 도면에 있어서 CCD 카메라(117)로부터의 출력은 컨트롤러(120)의 화상 처리부(121)를 통하여 제어부(122)로 주어진다. 입력부(123)는 후술하는 바와 같이 취성 재료 기판의 기준 피치를 입력하는 것이다. 제어부(122)에는 X모터 구동부(124a, 124b)가 접속되고, 추가로 Y모터 구동부(125), 회전용 모터 구동부(126) 및 스크라이브 헤드 구동부(127)가 접속된다. X모터 구동부(124a, 124b)는 각각 리니어 모터(113, 116)를 구동하는 것이다. Y모터 구동부(125)는 모터(104)를 구동하는 것이다. 회전용 모터 구동부(126)는 모터(105)를 구동하는 것이다. 제어부(122)는 스크라이브 라인의 데이터에 기초하여, 테이블(106)의 y축 방향의 위치를 제어하여, 테이블(106)을 회전 제어한다. 또한 제어부(122)는 스크라이브 헤드 구동부(127)를 통하여 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 구동함과 함께, 스크라이빙 휠(115)의 전동시에 스크라이빙 휠(115)이 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하도록 구동하는 것이다. 또한 제어부(122)에는 모니터(128) 및 데이터 보지부(129)가 접속된다. 데이터 보지부(129)는 후술하는 촬상 포인트의 위치 데이터나 스크라이브를 위한 스크라이브 데이터를 보지하는 것이다.

다음으로 이 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 스크라이브 방법에 대해서, 플로우 차트 및 취성 재료 기판을 이용하여 설명한다. 도 5는 스크라이브 장치의 테이블(106) 상에 배치된 정사각형 형상의 취성 재료 기판(107)을 나타내는 도면으로, 여기에서는 11×11의 기능 영역이 격자 형상으로 형성된 LTCC 기판으로 한다. 여기에서는 이 취성 재료 기판(107)에 일점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 스크라이브 라인을 형성하는 것으로 한다. 취성 재료 기판(107)은 소성 전에는 정사각형 형상으로, 정사각형 형상의 기능 영역이 격자 형상으로 규칙적으로 형성되어 있지만, 소성 후에는 근소하게 왜곡이 발생하고 있다. 도 6은 소성 후에 왜곡이 발생한 기판의 일부를 과장하여 나타내는 것이다.

도 7에 나타내는 플로우 차트에 있어서, 동작을 개시하면, 우선 스텝 S11에 있어서 입력부(123)로부터 기준 피치를 입력한다. 기준 피치란 1개의 기능 영역 간의 피치로, 예를 들면 2.5×2.5㎜의 기능 영역이 격자 형상으로 형성되어 있는 경우에 2.5㎜로 한다. 이어서 스텝 S12로 진행하여 X모터 구동부(124b), Y모터 구동부(125)를 동작시켜, CCD 카메라(117)를 x축 방향 및 y축 방향으로 이동시킨다. 그리고 스텝 S13으로 진행하여 테이블(106) 상에 배치되어 있는 취성 재료 기판(107)의 촬상 포인트를 검출하여, 촬상 포인트를 촬상한다. 여기에서 촬상 포인트란 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점의 전부라도 좋고, 몇 개의 중간점으로부터 1개를 선택하여 촬상 포인트로 해도 좋다. 본 실시 형태에서는 3개 간격으로 중간점을 선택하여 촬상 포인트(P1∼P16)로 한다. 그리고 스텝 S14에 있어서 촬상 포인트의 위치 데이터를 보지한 후, 촬상이 종료되었는지 아닌지를 체크하여(스텝 S15), 종료되어 있지 않으면 스텝 S12로 되돌아와, 모든 촬상 포인트의 촬상이 종료될 때까지 이 동작을 반복한다.

그리고 도 5에 나타내는 각 측정 포인트의 위치 데이터를 데이터 보지부(129)의 메모리에 보지하면, 스텝 S16으로 진행하여 x축 왜곡 보정의 스크라이브 라인을 산출한다(스텝 S16). x축 왜곡 보정의 스크라이브 라인이란, 예를 들면 도 5에 나타내는 Lx1, Lx4, Lx7 등 복수의 촬상 포인트를 연결하는 x축에 거의 평행한 라인이다. 취성 재료 기판(107)이 정확하게 정사각형 형상이 아니라, 소성시에 왜곡이 발생하고 있는 점에서, 각 촬상 포인트를 연결하는 라인도 직선이 아니라 곡선이 된다. 따라서 이 라인을 연결하는 함수를 설정하고, 이에 의해 각 라인을 연결하는 x축 왜곡 보정 스크라이브 라인으로 한다. 이 x축 왜곡 보정 스크라이브 라인은 각 촬상 포인트를 직선적으로 연결하는 꺽은선과 유사해도 좋지만, 복수의 촬상 포인트를 매끄럽게 연결하는 곡선인 것이 바람직하다. 보정 스크라이브 라인을 산출하기 위해서는, 1개의 스크라이브 라인 상에 적어도 3점의 촬상 포인트가 필요해진다.

그리고 촬상 포인트를 연결하는 모든 x축 왜곡 보정을 스크라이브 라인(Lx1, Lx4, Lx7, Lx10)을 산출하면, 다음으로 x축 보간(補間) 스크라이브 라인을 산출한다. x축 보간 스크라이브 라인이란, 왜곡 보정 스크라이브 라인 이외의 x축에 거의 평행한 스크라이브 라인, 즉 도 5에 나타내는 바와 같이 Lx0, Lx2, Lx3, Lx5, Lx6, Lx8, Lx9, Lx11의 라인이다. 이들 스크라이브 라인은 인접하는 2개의 측정 포인트, 예를 들면 P1, P2를 3등분한 점을 가상적인 측정 포인트로 하고, 이들 가상적인 측정 포인트를 연결하는 라인으로 한다. 이렇게 하여 순차로 x축을 따른 라인을 연산하여, x축 보간 스크라이브 라인의 모든 연산을 마친다. 또한 x축 보간 스크라이브 라인(Lx0)은 Lx1을 기준으로 하여, Lx2의 역방향으로 만곡시켜 형성하는 것으로 한다. 연산한 스크라이브 라인의 데이터는 데이터 보지부(129)에 보지해 둔다.

다음으로 y축 왜곡 보정 스크라이브 라인을 산출한다(스텝 S18). 이것도 도 5에 나타내는 바와 같이 y축을 따른 측정 포인트를 연결하는 스크라이브 라인으로, Ly1, Ly4, Ly7, Ly10이다. 이 경우도 각 측정 포인트를 완만하게 연결하는 곡선으로 하는 것이 바람직하다. 그리고 스텝 S19에 있어서 x축 보간 스크라이브 라인의 연산과 동일하게 하여, y축에 거의 평행한 보간 스크라이브 라인(Ly0, Ly2, Ly3, Ly5, Ly6, Ly8, Ly9, Ly11)을 산출한다. 연산한 스크라이브 라인의 데이터는 데이터 보지부(129)에 보지해 둔다.

이렇게 하여 모든 스크라이브 라인을 연산하면, 스텝 S20으로 진행하여 우선 x축에 거의 평행한 스크라이브 라인(Lx0∼Lx11)까지를 순차로 스크라이브를 행한다(스텝 S20). 이것에는 우선 모터(104)를 구동하고, y축 방향으로 테이블(106)을 이동시켜, 각도 어긋남이 있을 때에 그 각도 어긋남을 없애도록 모터(105)를 구동하여 테이블(106)을 회전시켜, 위치 결정을 행한다. 이 얼라인먼트를 마치면 스크라이브 헤드(112)를 리니어 모터(113)에 의해 x축 방향으로 이동시켜, 스크라이브 헤드(112)를 강하시킨다. 그리고 x축 보간 스크라이브 라인의 데이터에 기초하여 모터(104)를 구동하고, y축 방향으로 테이블을 이동시켜, 스크라이브 라인(Lx0)을 따라 스크라이브를 행한다. 그리고 이 스크라이브가 종료되면, 스크라이브 헤드(112)를 상승시킨다. 다음으로 보지한 보간 스크라이브 라인의 데이터에 기초하여 모터(104)를 구동하고, y축 방향으로 테이블을 이동시켜, 스크라이브 라인(Lx0)으로부터 스크라이브 라인(Lx1)으로의 피치 전송을 행한다. 그리고 스크라이브 라인(Lx1)에 일치하도록 y축 위치의 미세조정을 행한다. 이어서 스크라이브 헤드(112)를 강하시켜 왜곡 보정 스크라이브 라인(Lx1)을 따라 스크라이브를 행한다. 이어서 보간 스크라이브 라인(Lx2, Lx3), 왜곡 보정 스크라이브 라인(Lx4…)을 따라 순차로 스크라이브를 행한다.

이렇게 하여 스텝 S20에 있어서, x축에 거의 평행한 전체 스크라이브 라인(Lx0∼Lx11)의 스크라이브를 마치면, 모터 구동부(126)로부터 모터(105)를 구동하여 테이블(106)을 90° 회전시킨다(스텝 S21). 그리고 y축 보간 스크라이브 라인(Ly0)을 따라 스크라이브를 행한다. 이하 동일하게 하여 y축 방향으로의 테이블의 이동과 스크라이브 라인(Ly1, Ly2…)을 따른 스크라이브를 반복한다(스텝 S22). 그리고 최후의 스크라이브를 마치면 처리를 종료한다.

이와 같이 실시 형태에서는, 스크라이브마다 인접하는 기능 영역의 사이의 중간의 측정 포인트를 통과점으로 하여 검출하고, 측정 포인트를 연결하는 곡선 형상의 라인을 스크라이브 라인으로 하고 있기 때문에, LTCC 기판과 같이 소성시에 왜곡이 발생하기 쉬운 취성 재료 기판의 경우에도, 각 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점을 연결한 스크라이브를 행할 수 있다. 이에 따라 제품 기판의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 실시 형태에서는 곡선 형상으로 스크라이브 라인을 형성하고 있기 때문에, 소성에 의한 수축의 치우침에 의해, 도 2에 나타내는 바와 같이 사다리꼴 형상으로 변형한 기판, 그 외의 비(非)정형의 기판에 대해서도, 기능 영역마다 분단할 수 있도록 스크라이브를 행할 수 있어, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

또한 여기에서 나타낸 취성 재료 기판과 그 얼라인먼트 마크는 일 예로, 추가로 다수의 기능 영역이나 얼라인먼트 마크를 갖는 기판이라도 좋다. 예를 들면 1매의 기판에 25×25의 기능 영역이 격자 형상으로 형성되어 있는 경우 등에, 예를 들면 5개의 교점마다 스크라이브 라인의 통과점을 검출하고, 이 통과점을 연결하도록 곡선 형상으로 스크라이브 라인을 형성해도 좋다. 또한 모든 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점을 측정 포인트로 하여 스크라이브 라인을 산출해도 좋다.

또한 이 실시 형태에서는 이동 수단에 의해 테이블을 y축 방향으로 이동시킴과 함께 테이블을 회전시켜, 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 이동시키는 것으로 하고 있다. 이것에 대신하여, 이동 수단으로서 테이블을 x축 및 y축 방향으로 이동시키는 것으로 해도 좋고, 또한 스크라이브 헤드를 x축 및 y축 방향으로 이동시키는 것으로 해도 좋다.

또한 이 실시 형태에서는 취성 재료 기판을 저온 소성 세라믹 기판으로 하고 있지만, 변형하기 쉬운 기판에 대한 스크라이브에 유효하다. 특히 작은 기판에 대한 스크라이브나 작은 제품 기판을 얻기 위한 스크라이브에 특히 유효하다. 또한 액정 패널 등에 이용하는 유리 기판, 그 외의 기판이라도, 본 발명을 적용하여 보다 정확하게 스크라이브할 수 있다.

또한 이 실시 형태에서는 CCD 카메라를 스크라이브 헤드와 동일하게 리니어 모터에 의해 이동시키도록 하고 있다. 이에 따라 교점의 측정 포인트의 위치를 보다 정확하게 검출할 수 있다. 이것에 대신하여 고해상도의 CCD 카메라를 이용하는 경우에는 CCD 카메라를 고정으로 하고, 테이블 상의 취성 재료 기판을 촬상하는 것이라도 좋다. 이 경우는 카메라 이동 수단이 불필요해져, 구성을 간략하게 할 수 있다.

본 발명은 저온 소성 세라믹 기판의 분단이나 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 스크라이브 라인을 형성하는 공정에 널리 이용할 수 있다.

100 : 스크라이브 장치
101 : 이동대
102a, 102b : 안내 레일
103 : 볼 나사
104, 105 : 모터
106 : 테이블
107 : 취성 재료 기판
110 : 브리지
111a, 111b : 지주
112 : 스크라이브 헤드
113, 116 : 리니어 모터
114 : 홀더
115 : 스크라이빙 휠
117 : CCD 카메라
120 : 컨트롤러
121 : 화상 처리부
122 : 제어부
123 : 입력부
124a, 124b : X모터 구동부
125 : Y모터 구동부
126 : 회전용 모터 구동부
127 : 스크라이브 헤드 구동부
128 : 모니터
129 : 데이터 보지부

Claims (3)

1. 격자 형상으로 다수의 기능 영역이 형성된 취성 재료 기판을 각 기능 영역마다 분단(dividing)하여 제품 기판으로 하기 위해 스크라이브하는 스크라이브 장치로서,
   상기 취성 재료 기판이 설치되는 테이블과,
   상기 테이블 상에 취성 재료 기판에 대향하도록 승강이 자유롭게 설치되고, 그 선단(先端)에 스크라이빙 휠을 보지(holding)하는 스크라이브 헤드와,
   상기 스크라이빙 휠을 상기 취성 재료 기판의 표면에 누른 상태에서 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,
   상기 취성 재료 기판의 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점을 촬상하는 카메라와,
   상기 카메라의 화상으로부터 상기 기능 영역의 사이의 중간점의 위치를 검출하고, 상기 취성 재료 기판의 상기 기능 영역의 사이의 중간점 중 스크라이브해야 할 라인 상의 적어도 3개의 측정 포인트의 위치를 검출하고, 상기 측정 포인트를 연결하는 스크라이브 라인을 연산하고, 연산된 스크라이브 라인을 따라 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 헤드를 승강시켜 스크라이브를 행하는 컨트롤러를 구비하는 스크라이브 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 테이블 상의 기능 영역의 사이의 중간을 촬상하는 상기 카메라를 이동시키는 카메라 이동 수단을 추가로 갖는 스크라이브 장치.
3. 격자 형상으로 다수의 기능 영역이 형성된 취성 재료 기판을 각 기능 영역마다 분단하여 제품 기판으로 하기 위해 스크라이브를 형성하는 스크라이브 방법으로서,
   상기 취성 재료 기판의 인접하는 기능 영역의 사이의 중간점의 위치를 검출하고,
   상기 취성 재료 기판의 상기 기능 영역의 사이의 중간점 중 스크라이브해야 할 라인 상에 적어도 3개의 측정 포인트의 위치를 검출하고,
   측정되는 스크라이브 라인의 상기 측정 포인트를 연결하도록 스크라이브 라인을 연산하고,
   연산된 스크라이브 라인을 따라 상기 스크라이브 헤드 및 취성 재료 기판을 상대적으로 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 헤드를 승강시켜 상기 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 방법.

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