JP2017191849A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<1.基板処理装置1の全体構成>
基板処理装置1の構成について、図1〜図3を参照しながら説明する。図1〜図3は、実施形態に係る基板処理装置1の構成を説明するための図である。図1、図2は、基板処理装置1の側面模式図、上面模式図である。図3は、基板処理装置1を斜め上方からみた概略斜視図である。
次に、基板処理装置1にて処理対象とされる基板9について、図13を参照しながら説明する。図13は、中心軸を含む平面における基板9の周縁部付近を示す断面図である。図13の断面図は、基板9の主面の中心c1を通る基板9(スピンチャック21)の回転軸a1を含む平面における断面図(「縦断面図」とも称される)である。
<回転保持機構2>
回転保持機構2は、基板9を、その一方の主面を上方に向けた状態で、略水平姿勢に保持しつつ回転可能な機構である。回転保持機構2は、基板9を、主面の中心c1を通る鉛直な回転軸a1を中心に回転させる。
飛散防止部3は、スピンチャック21とともに回転される基板9から飛散する処理液等を受け止める。
処理部5は、スピンチャック21上に保持された基板9の上面周縁部911および下側端面93bに対する処理を行う。具体的には、処理部5は、スピンチャック21上に保持された基板9の上面周縁部911に処理液を供給する。処理部5は、ノズル保持部材50、ノズル51、別部材52、および処理液供給部83を備えている。
ノズル移動機構6は、ノズル51および別部材52をそれぞれの処理位置と退避位置との間で移動させる機構である。ノズル移動機構6は、水平に延在するアーム63、ノズル基台66、昇降駆動部68、回転駆動部69を備える。ノズル保持部材50は、アーム63の先端部分に取り付けられている。
図4は、A1−A1切断線(図2)における別部材52と基板9の周縁部の断面模式図である。図5は、図4の位置関係とは異なる位置関係に配置された別部材52と基板9とを説明するための断面模式図である。図6〜図9は、他の実施形態に係る別部材52A〜52Dを説明するための断面模式図である。図4〜図9は、縦断面図によって示されている。図10は、別部材52における吐出目標領域521の例を示す上面模式図である。別部材52における吐出目標領域521の他の配置例を示す上面模式図である。図12は、別部材52の他の構成例として別部材52Eを説明するための上面模式図である。
図14は、基板処理装置1の動作の一例を示すフローチャートである。図15は、図14のフローチャートに示される動作を説明するための図である。
図16は、他の実施形態に係る基板処理装置1Aの構成を説明するための側面模式図である。図17は、基板処理装置1Aの構成を説明するための上面模式図である。図18は、基板処理装置1Aへの基板9の搬出入時における基板処理装置1Aの別部材73の動作を説明するための上面模式図である。
21 スピンチャック(保持部材)
23 回転駆動部
231 回転機構
251 回転機構
50 ノズル保持部材
51 ノズル
52,52A〜52E 別部材
68 昇降駆動部
69 回転駆動部
73 別部材
73a〜73c 円弧状部材
79 回転駆動部(回動機構)
Claims (11)
- 基板を下方から略水平に保持し、所定の回転軸を中心に回転可能に設けられた保持部材と、
前記保持部材を、前記回転軸を中心に回転させる回転機構と、
前記保持部材に保持されている前記基板の端面と隙間を隔てて前記基板の径方向に沿って前記基板の外側に配置される別部材と、
少なくとも一部が前記別部材の上面に含まれる吐出目標領域に当たるように前記吐出目標領域の上方から処理液を吐出するノズルと、
を備え、
前記別部材と前記基板の端面との前記隙間は、前記吐出目標領域に当たった前記処理液が、前記別部材の上面を流れて当該上面の前記回転軸側の内側端から排出され、前記基板の上面周縁部に上方から当たるように設定されている、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記吐出目標領域の全てが、前記別部材の上面に含まれている、基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記ノズルと前記別部材とを一体的に保持するノズル保持部材をさらに備える、基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記別部材は、前記回転軸を中心とする前記基板の周方向に沿って前記基板の周縁を取り囲む環状部材であり、
前記基板処理装置は、
前記別部材を前記基板と同じ回転速度で回転させる前記環状部材用の回転機構をさらに備える、基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置であって、
前記環状部材は、複数の円弧状部材を含んでおり、
前記複数の円弧状部材は、前記基板の周方向に沿って隣り合う2つの円弧状部材を含み、
前記2つの円弧状部材のそれぞれの前記基板の周方向における一端同士が互いに対向しており、前記2つの円弧状部材は、それぞれの他端を中心に水平面内でそれぞれ回動可能に設けられており、
前記基板処理装置は、前記2つの円弧状部材のそれぞれの他端を回転中心としてそれぞれの一端が互いに前記基板の径よりも離れるように前記2つの円弧状部材をそれぞれ回動させることができる回動機構をさらに備える、基板処理装置。 - 請求項1から請求項5の何れか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記別部材を前記基板の径方向に移動可能な径方向駆動部と、
前記径方向駆動部と、前記ノズルとを制御する制御部と、
を備え、
前記吐出目標領域に当たった前記処理液が、前記別部材の上面を流れて当該上面の前記回転軸側の内側端から排出され、前記基板の上面周縁部に上方から当たるときの前記別部材の位置によって前記別部材の処理位置を定義したとき、
前記制御部は、
前記径方向駆動部に前記別部材を前記処理位置よりも前記基板の径方向の外側の外側位置に配置させている間に、前記ノズルに前記吐出目標領域に向けて前記処理液の吐出を開始させるともに、前記ノズルに前記処理液の吐出をさせつつ、前記径方向駆動部に前記別部材を前記外側位置から前記処理位置に移動させる、基板処理装置。 - 請求項1から請求項6の何れか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記別部材の上面の前記回転軸側の内側端が、前記基板の周縁よりも前記基板の径方向に沿って前記回転軸側に位置する、基板処理装置。 - 請求項1から請求項7の何れか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記別部材は、前記基板の前記端面に対向する内側面を含み、前記内側面がその下端から上端に向かって前記回転軸に近づくように前記回転軸に対して傾斜している、基板処理装置。 - 請求項1から請求項7の何れか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記別部材は、前記基板の前記端面に対向する内側面を含み、前記内側面は、その下端から上端に向かって前記回転軸に近づくとともに、前記回転軸に対して斜め上方に張り出して湾曲している、基板処理装置。 - 請求項1から請求項7の何れか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記別部材は、前記基板の前記端面に対向する内側面を含み、前記回転軸を含む平面における前記内側面の断面形状は、前記基板の端面に沿って湾曲している、基板処理装置。 - 基板処理装置における基板処理方法であって、
当該基板処理装置は、
基板を下方から略水平に保持し、所定の回転軸を中心に回転可能に設けられた保持部材と、
前記保持部材を、前記回転軸を中心に回転させる回転機構と、
前記基板から離れて配置される別部材と、
処理液を吐出可能なノズルと、
を備え、
前記基板処理方法は、
前記別部材を前記基板の端面と隙間を隔てて前記基板の径方向に沿って前記基板の外側に配置するステップと、
少なくとも一部が前記別部材の上面に含まれる吐出目標領域に当たるように、前記ノズルに前記吐出目標領域の上方から処理液を吐出させるステップと、
を備え、
前記別部材と前記基板の端面との前記隙間は、前記吐出目標領域に当たった前記処理液が、前記別部材の上面を流れて当該上面の前記回転軸側の内側端から排出され、前記基板の上面周縁部に上方から当たるように設定されている、基板処理方法。
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