JP2017179612A - 成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)基板にCVD法により膜を成膜するCVD装置において、
チャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記基板を保持する基板ホルダーと、
前記チャンバー内に原料ガスを導入するガス導入機構と、
を具備し、
前記チャンバーの内面、前記基板ホルダー、前記チャンバー内に配置された防着板、前記チャンバー内に配置された治具および前記原料ガスを前記チャンバー内にシャワー状に導入するガスシャワー部材の少なくとも一つに、金属、セラミックス、プラスチックおよびサーメットのいずれかの材料からなる膜が形成されていることを特徴とするCVD装置。
前記材料は、Cr、W及びMoの少なくとも一つを10重量%以上含有することを特徴とするCVD装置。
前記材料は、Crを1重量%以上50重量%以下含有し、WCを0重量%以上49重量%以下含有し、Moを0重量%以上49重量%以下含有し、且つCrとWCとMoを合計で50重量%以下含有し、Fe、Si、C、B、Al及びCuを合計で0重量%以上50重量%以下含有し、残部がNiおよび不可避的不純物からなることを特徴とするCVD装置。
前記Feを0重量%以上10重量%以下含有し、前記Siを0重量%以上10重量%以下含有し、前記Cを0重量%以上3重量%以下含有し、前記Bを0重量%以上7重量%以下含有し、前記Alを0重量%以上15重量%以下含有し、前記Cuを0重量%以上5重量%以下含有することを特徴とするCVD装置。
前記材料は、Crを9重量%以上20重量%以下含有することを特徴とするCVD装置。
前記材料は、Moを3重量%以上10重量%以下含有することを特徴とするCVD装置。
前記材料は、WCを30重量%以上40重量%以下含有することを特徴とするCVD装置。
前記材料は、Moを80重量%以上含有し、残部が不純物および不可避的不純物からなることを特徴とするCVD装置。
前記不純物は、Fe、Si及びCの少なくとも一つであることを特徴とするCVD装置。
前記材料からなる膜は溶射によって形成されていることを特徴とするCVD装置。
前記基板に成膜する前記膜は、炭素膜であることを特徴とするCVD装置。
図1は、本発明の一態様に係るプラズマCVD装置を概略的に示す断面図である。
被成膜基板(図示せず)をプラズマCVD装置の成膜室103内に挿入し、この成膜室内のステージ電極104上に被成膜基板を保持する。
図2は、本発明の一態様に係るプラズマCVD装置を概略的に示す断面図である。このプラズマCVD装置は被成膜基板(例えばディスク基板)111に対して左右対称の構造を有しており、被成膜基板111の両面に同時に成膜可能な装置であるが、図2では、被成膜基板111に対して左側を示し、右側は省略している。
C7H8+e− →C7H8 + +2e− ・・・(1)
C7H8 + +e− →C7H2 +3H2↑ ・・・(2)
SUSからなる基板の表面に溶射法によって表1に示す5つの溶射膜を形成する。この際の溶射法はパウダーを用いたガスフレーム溶射法である。このようにして、5つの溶射膜それぞれが基板表面に形成されたサンプル1〜5を用意した(表1参照)。
SUSおよびAlそれぞれからなる基板の表面をブラスト処理したサンプル6,7を用意した(表2参照)。この際のブラスト処理では粒度F36のアルミナ材を用いた。
成膜装置: 図1に示すプラズマCVD装置
出発原料: トルエン(C7H8)
ガス流量: 30sccm
ガス圧力: 0.5Pa
高周波出力の周波数: 13.56MHz
高周波出力: 300W
DLC膜の膜厚: 100nm
102…蓋
103…成膜室
104…ステージ電極
105,108…アースシールド
106…高周波電源
107…ガスシャワー電極
110…排気口
111…被成膜基板
112…チャンバー
113…カソード電極(ホットカソード)
114…アノード電極(ホーンアノード)
115…交流電源
116…アース
117…DC電源
118…プラズマウォール
122…DC電源
Claims (8)
- 基板にCVD法によりDLC膜または炭素膜を成膜する方法であって、
チャンバーの内面、基板ホルダー、前記チャンバー内に配置された防着板、前記チャンバー内に配置された治具、および原料ガスを前記チャンバー内にシャワー状に導入するガスシャワー部材の少なくとも一つの表面に、Crを1重量%以上50重量%以下含有し、WCを0重量%以上49重量%以下含有し、Moを0重量%以上49重量%以下含有し、且つCrとWCとMoを合計で50重量%以下含有し、Fe、Si、C、B、Al及びCuを合計で0重量%以上50重量%以下含有し、残部がNiおよび不可避的不純物からなる材料からなる膜が形成されたCVD装置を準備し、
前記基板ホルダーに基板を保持し、
前記チャンバーを真空排気し、
前記原料ガスを前記チャンバー内にシャワー状に導入し、
電力を供給して前記チャンバー内にプラズマを発生させることで、前記少なくとも一つの表面に形成された前記膜上に前記DLC膜または前記炭素膜が付着し、この付着した前記DLC膜または前記炭素膜を剥がれにくくしながら、前記基板に前記DLC膜または前記炭素膜を成膜することを特徴とする成膜方法。 - 基板にCVD法によりDLC膜または炭素膜を成膜する方法であって、
チャンバーの内面、基板ホルダー、前記チャンバー内に配置された防着板、前記チャンバー内に配置された治具、および原料ガスを前記チャンバー内にシャワー状に導入するガスシャワー部材の少なくとも一つの表面に、Cr、W及びMoの少なくとも一つを10重量%以上含有し、Moを80重量%以上含有し、残部が不純物および不可避的不純物からなる材料からなる膜が形成されたCVD装置を準備し、
前記基板ホルダーに基板を保持し、
前記チャンバーを真空排気し、
前記原料ガスを前記チャンバー内にシャワー状に導入し、
電力を供給して前記チャンバー内にプラズマを発生させることで、前記少なくとも一つの表面に形成された前記膜上に前記DLC膜または前記炭素膜が付着し、この付着した前記DLC膜または前記炭素膜を剥がれにくくしながら、前記基板に前記DLC膜または前記炭素膜を成膜することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1において、
前記Feを0重量%以上10重量%以下含有し、前記Siを0重量%以上10重量%以下含有し、前記Cを0重量%以上3重量%以下含有し、前記Bを0重量%以上7重量%以下含有し、前記Alを0重量%以上15重量%以下含有し、前記Cuを0重量%以上5重量%以下含有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1または3において、
前記材料は、Crを9重量%以上20重量%以下含有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1、3及び4のいずれか一項において、
前記材料は、Moを3重量%以上10重量%以下含有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1、3乃至5のいずれか一項において、
前記材料は、WCを30重量%以上40重量%以下含有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項2において、
前記不純物は、Fe、Si及びCの少なくとも一つであることを特徴とする成膜方法。 - 請求項1乃至7のいずれか一項において、
前記材料からなる膜は溶射によって形成されていることを特徴とする成膜方法。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06136544A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH10321555A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ成膜装置及びそのクリーニング方法 |
JP2001247957A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Toshiba Corp | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット装置 |
JP2002033286A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ウエハ支持台及び半導体製造装置 |
JP2002033497A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Nihon University | 太陽電池並びに太陽電池パネル |
JP2002088461A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-27 | Kawasaki Steel Corp | 耐食性ロール |
JP2002155372A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Mitsubishi Chemicals Corp | 製膜装置および製膜方法ならびに情報記録媒体の製造方法 |
JP2008045180A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Denso Corp | Dlc膜の形成方法及びdlc膜の製造装置 |
JP2010024476A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Plasma Ion Assist Co Ltd | ダイヤモンドライクカーボン及びその製造方法 |
JP2010171388A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-08-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法及び基板処理用反応管 |
Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
JPH11335842A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Hitachi Ltd | Cvd装置及びその装置のクリ−ニング方法 |
KR20010062209A (ko) * | 1999-12-10 | 2001-07-07 | 히가시 데쓰로 | 고내식성 막이 내부에 형성된 챔버를 구비하는 처리 장치 |
JP4647249B2 (ja) * | 2004-06-09 | 2011-03-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 薄膜形成装置用部品およびその製造方法 |
JP2009068067A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Covalent Materials Corp | 耐プラズマ性セラミックス溶射膜 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06136544A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH10321555A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ成膜装置及びそのクリーニング方法 |
JP2001247957A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Toshiba Corp | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット装置 |
JP2002033497A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Nihon University | 太陽電池並びに太陽電池パネル |
JP2002033286A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ウエハ支持台及び半導体製造装置 |
JP2002088461A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-27 | Kawasaki Steel Corp | 耐食性ロール |
JP2002155372A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Mitsubishi Chemicals Corp | 製膜装置および製膜方法ならびに情報記録媒体の製造方法 |
JP2008045180A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Denso Corp | Dlc膜の形成方法及びdlc膜の製造装置 |
JP2010024476A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Plasma Ion Assist Co Ltd | ダイヤモンドライクカーボン及びその製造方法 |
JP2010171388A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-08-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法及び基板処理用反応管 |
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