JP4647249B2 - 薄膜形成装置用部品およびその製造方法 - Google Patents
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Images
Description
2、11 遮蔽版
3 遮蔽板支柱
4 溶射機
5 溶射材料吐出口
6、13 開口穴
7、8、12、14 金属溶射皮覆
9 金属材料粒子
10 粒子経路
Claims (6)
- 薄膜形成装置に使用される薄膜形成装置用部品において、該薄膜形成装置用部品の表面に、溶射機より吐出された溶射材料が遮蔽板の開口部を通ることで形成された凸状金属含有溶射被覆と、該凸状金属含有溶射被覆の上面を含む前記薄膜形成装置用部品の表面にさらに金属含有溶射被覆とを備え、前記金属含有溶射被覆の膜厚は前記凸状金属含有溶射被覆の厚さよりも厚く、前記金属含有溶射被覆は45°以下の傾斜角度を有することを特徴とする薄膜形成装置用部品。
- 前記凸状金属含有溶射被覆は、さらに前記遮蔽板の開口部と異なる開口部を備えた第2の遮蔽板を用いて形成された第2の凸状金属含有溶射被覆を備えていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成装置用部品。
- 前記凸状金属含有溶射被覆及び前記金属含有溶射被覆は、Al、Ti、Cu、Mo、Wのいずれか1種又は2種以上の金属または合金、及びAl2O3、TiO3、MgO、ZrO2、SiO2のいずれか1種又は2種以上の酸化系セラミック、を少なくとも1つ含むことを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜形成装置用部品。
- 薄膜形成装置に使用される薄膜形成装置用部品の製造方法において、該薄膜形成装置用部品の表面に、溶射機より吐出された溶射材料が遮蔽板の開口部を通ることで凸状金属含有溶射被覆を形成する工程と、該凸状金属含有溶射被覆の上面を含む前記薄膜形成装置用部品の表面にさらに前記凸状金属含有溶射被覆の厚さよりも厚い金属含有溶射被覆とを形成する工程と、を備えたことを特徴とする薄膜形成装置用部品の製造方法。
- 前記凸状金属含有溶射被覆を形成する工程は、さらに前記遮蔽板の開口部と異なる開口部を備えた第2の遮蔽板を用いて第2の凸状金属含有溶射被覆を形成する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の薄膜形成装置用部品の製造方法。
- 前記凸状金属含有溶射被覆及び前記金属含有溶射被覆は、Al、Ti、Cu、Mo、Wのいずれか1種又は2種以上の金属または合金、及びAl2O3、TiO3、MgO、ZrO2、SiO2のいずれか1種又は2種以上の酸化系セラミック、を少なくとも1つ含んで形成することを特徴とする請求項4または5に記載の薄膜形成装置用部品の製造方法。
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